專利名稱：一種無(wú)油高壓倍加器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種高頻高壓倍加器，特別涉及一種應(yīng)用于離子注入機(jī)中的直流無(wú)油高壓倍加器。屬半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
集成電路制造技術(shù)的飛速發(fā)展，對(duì)各半導(dǎo)體工藝設(shè)備提出了更高的要求。離子注入機(jī)作為半導(dǎo)體離子摻雜工藝線的關(guān)鍵設(shè)備之一，也提出了很高的要求，尤其是在束流指標(biāo)、束能量純度、注入深度控制、注入均勻性與生產(chǎn)率等方面也受到非常嚴(yán)峻的挑戰(zhàn)。
其中，離子注入機(jī)的能量指標(biāo)，是注入機(jī)中最重要的技術(shù)指標(biāo)之一。為了獲得更高的能量，離子就需要在加速管中的電場(chǎng)下進(jìn)行加速以得到預(yù)定的能量。加速電場(chǎng)的形成是靠在加速電極兩極板之間加上直流高壓電壓而形成的。在離子注入機(jī)中，離子在加速管中獲得的能量可超過(guò)200KV，那么就要求施加在加速電極兩極板之間加上直流高壓電壓應(yīng)超過(guò)200KV。200KV的直流高壓是由高壓電源的產(chǎn)生的，高壓電源的工作原理是輸入交流220V經(jīng)輸入整流、LC濾波變?yōu)橹绷?DC)，直流電壓再經(jīng)過(guò)高頻開(kāi)關(guān)電路逆變，經(jīng)高頻脈沖變壓器升壓至5KV以上的高頻高壓，高頻高壓經(jīng)高壓倍加器進(jìn)行n級(jí)倍壓整流達(dá)到所需要的直流高壓。在注入機(jī)中高壓倍加器高度是受到機(jī)房尺寸的限制，要求小于加速管長(zhǎng)度。在過(guò)去，我們常常采用油箱結(jié)構(gòu)來(lái)防止高壓放電打火，但是油箱笨重不好安裝，而且容易滲油，這在超潔凈的半導(dǎo)體大生產(chǎn)線上是不允許的。因此，根據(jù)實(shí)際需要，我們?cè)O(shè)計(jì)了一種新型無(wú)油高壓倍加器。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述存在的問(wèn)題，本實(shí)用新型的目的是提供一種不漏油結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單合理的無(wú)油高壓倍加器。
本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的，一種無(wú)油高壓倍加器，包括金屬板，金屬圓盤(pán)，倍壓整流板，右邊倍壓電容板，左邊倍壓電容板，倍壓輸出濾波電容板，電壓取樣板，絕緣支撐桿，其中倍壓整流板與右邊倍壓電容板，左邊倍壓電容板，倍壓輸出濾波電容板同時(shí)連接，在右邊倍壓電容板與左邊倍壓電容板與倍壓輸出濾波電容板之間設(shè)置絕緣支撐桿，倍壓輸出濾波電容板與電壓取樣板之間支撐固定絕緣支撐桿；倍壓整流板、右邊倍壓電容板、左邊倍壓電容板及倍壓輸出濾波電容板的低壓端分別用螺釘固定在金屬板上；倍壓整流板、右邊倍壓電容板、左邊倍壓電容板的另一端及倍壓輸出濾波電容板的高壓端分別用螺釘固定在金屬圓盤(pán)上。
所述的倍壓整流板上設(shè)計(jì)三列插座，在右邊倍壓電容板，左邊倍壓電容板，倍壓輸出濾波電容板的一側(cè)分別設(shè)計(jì)一排插針，將右邊倍壓電容板，左邊倍壓電容板，倍壓輸出濾波電容板一側(cè)的插針?lè)謩e插入倍壓整流板的插座上。
所述的金屬環(huán)為空心，金屬環(huán)用四個(gè)絕緣扎帶分布系在倍壓整流板兩邊、右邊倍壓電容板和左邊倍壓電容板的外邊。
所述的金屬板是本實(shí)用新型高壓倍加器的接地板，金屬圓盤(pán)是高壓倍加器的高壓輸出端，倍壓整流板采用高絕緣材料的雙面印制板，在倍壓整流板上設(shè)計(jì)三列插座，并集成了所需要的倍壓整流器件和電流取樣器件。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是
1、無(wú)漏油，結(jié)構(gòu)合理，裝配簡(jiǎn)單。
2、倍加器的空間電場(chǎng)分布均勻，減少倍加器的空間放電，在大氣中，倍加器輸出200KV以上的高壓也不會(huì)對(duì)空氣產(chǎn)生影響。


圖1為本實(shí)用新型內(nèi)部結(jié)構(gòu)安裝圖；圖2為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為圖2的A-A向視圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述，但不作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。
如圖1-3所示，一種無(wú)油高壓倍加器，金屬板1是高壓倍加器的接地板，同時(shí)作為安裝固定端板之一，倍壓整流板3，右邊倍壓電容板4，左邊倍壓電容板5，倍壓輸出濾波電容板6的低壓端用螺釘固定在金屬板1上。金屬園盤(pán)2是高壓倍加器的高壓輸出端板，同時(shí)作為安裝固定端板之一倍壓整流板3，右邊倍壓電容板4，左邊倍壓電容板5，倍壓輸出濾波電容板6的高壓端用螺釘固定在金屬園盤(pán)2上。
所述倍壓整流板3是高絕緣材料的雙面印制板，在整流板3上設(shè)計(jì)三列插座12，并集成了所需要的倍壓整流器件和電流取樣器件。
所述右邊倍壓電容板4和左邊倍壓電容板5，都是高絕緣材料的雙面印制板，在其一側(cè)設(shè)計(jì)一排插針13，在其上集成了所需要的倍壓電容，其作用是提升電壓。
所述的倍壓輸出濾波電容板6是高絕緣材料的雙面印制板，在其一側(cè)設(shè)計(jì)一排插針13，在其上集成了所需要的輸出濾波電容，其作用是減小輸出電壓紋波。
所述的電壓取樣板7是高絕緣材料的雙面印制板，在其上集成了所需要直流取樣電阻的交流反饋電容，其作用是為高壓電源控制回路提供高壓測(cè)量取樣和交直流電壓反饋信號(hào)形成閉環(huán)控制，使輸出高壓穩(wěn)定性高。
所述絕緣支撐桿8作為右邊倍壓電容板4，左邊倍壓電容板5，倍壓輸出濾波電容板6的固定加強(qiáng)筋，將4、5、6三塊印制板連成一個(gè)整體。
絕緣支撐桿9其作用是將電壓取樣板7固定在倍壓輸出濾波電容板6上。金屬環(huán)10為六個(gè)金屬環(huán)均為空心金屬環(huán)，非等距地分布在倍加器上，金屬環(huán)上的電位與所處倍加器位置的電位相同，隨著倍加器的電壓升高金屬環(huán)之間的距離減小，其作用是盡量使倍加器的電場(chǎng)分布均勻，減少倍加器的空間放電，使電源作用穩(wěn)定。每個(gè)金屬環(huán)由四個(gè)絕緣扎帶11分別系在倍壓整流板3兩邊、右邊倍壓電容板4和左邊倍壓電容板5的外邊。
權(quán)利要求1.一種無(wú)油高壓倍加器，包括金屬板，金屬圓盤(pán)，倍壓整流板，右邊倍壓電容板，左邊倍壓電容板，倍壓輸出濾波電容板，電壓取樣板，絕緣支撐桿，其特征在于倍壓整流板與右邊倍壓電容板，左邊倍壓電容板，倍壓輸出濾波電容板同時(shí)連接，在右邊倍壓電容板與左邊倍壓電容板與倍壓輸出濾波電容板之間設(shè)置絕緣支撐桿，倍壓輸出濾波電容板與電壓取樣板之間支撐固定絕緣支撐桿；倍壓整流板、右邊倍壓電容板、左邊倍壓電容板及倍壓輸出濾波電容板的低壓端分別用螺釘固定在金屬板上；倍壓整流板、右邊倍壓電容板、左邊倍壓電容板的另一端及倍壓輸出濾波電容板的高壓端分別用螺釘固定在金屬圓盤(pán)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種無(wú)油高壓倍加器，其特征在于所述的倍壓整流板上設(shè)計(jì)三列插座，在右邊倍壓電容板，左邊倍壓電容板，倍壓輸出濾波電容板的一側(cè)分別設(shè)計(jì)一排插針，將右邊倍壓電容板，左邊倍壓電容板，倍壓輸出濾波電容板一側(cè)的插針?lè)謩e插入倍壓整流板的插座上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種無(wú)油高壓倍加器，其特征在于所述的金屬環(huán)為空心，金屬環(huán)用四個(gè)絕緣扎帶分布系在倍壓整流板兩邊、右邊倍壓電容板和左邊倍壓電容板的外邊。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種無(wú)油高壓倍加器，包括金屬板，金屬圓盤(pán)，倍壓整流板，右邊倍壓電容板，左邊倍壓電容板，倍壓輸出濾波電容板，電壓取樣板，絕緣支撐桿，倍壓整流板與右邊倍壓電容板，左邊倍壓電容板，倍壓輸出濾波電容板連接，在右邊倍壓電容板與左邊倍壓電容板與倍壓輸出濾波電容板之間設(shè)置支撐桿，倍壓輸出濾波電容板與電壓取樣板之間支撐固定支撐桿；倍壓整流板、右邊倍壓電容板、左邊倍壓電容板及倍壓輸出濾波電容板的低壓端固定在金屬板上；倍壓整流板、左、右倍壓電容板的另一端及倍壓輸出濾波電容板的高壓端分別固定在金屬圓盤(pán)上，本實(shí)用新型無(wú)漏油現(xiàn)象，結(jié)構(gòu)合理，裝配簡(jiǎn)單。倍加器的空間電場(chǎng)分布均勻，減少倍加器的空間放電。
文檔編號(hào)H01L21/425GK2914324SQ20062011305
公開(kāi)日2007年6月20日 申請(qǐng)日期2006年4月24日 優(yōu)先權(quán)日2006年4月24日
發(fā)明者孫雪平, 劉仁杰, 唐景庭, 姚琛 申請(qǐng)人:北京中科信電子裝備有限公司