專利名稱：基板檢測設備及玻璃基板檢測設備的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種基板檢測設備；具體而言，本發(fā)明涉及一種用于線上檢測的玻璃基板檢測設備。
背景技術：
一般用于制造如液晶顯示器(TFT-LCD)、等離子顯示器(PDP，PlasmaDisplay Panel)或電致發(fā)光組件(EL，Electroluminescence)等顯示裝置的玻璃基板經(jīng)由玻璃熔爐熔解并模壓為平面狀的玻璃基板，經(jīng)一次性按規(guī)格切割的工序制造后，繼續(xù)在加工線上運輸加工。接著在玻璃基板的加工線上，將玻璃基板再次裁切成符合各平面顯示器規(guī)格的尺寸，對通過裁切成形的四個鋒利的邊緣進行研磨并分別在此四個切角(Comer cut)定位標記。
上述玻璃基板的成形、裁切、研磨及操縱等一連串的操作中，因各種因素會產(chǎn)生氣泡、雜質或石子等異物混入，因此，會造成玻璃基板的污損、劃傷、切紋或裂紋等多種缺陷。此外，在產(chǎn)品制造過程中，玻璃基板上會進行各式加工，例如彩色濾光片加工等。為了制造出高質量的平面顯示器，應對玻璃基板本身或經(jīng)加工而產(chǎn)生的生成物的缺陷進行檢查，以區(qū)分合格品與不合格品，并試圖在制造工序中尋找不良因素，查明其產(chǎn)生原因并進行糾正。然而已有的檢查玻璃基板的方式是利用目視或利用照相機、顯微鏡等光學裝置檢查。此外，對玻璃基板進行整體檢查后，為了確保檢查的正確性及可靠性，還需要進行抽樣檢查。
如圖1所示，傳統(tǒng)上進行檢查程序時，檢查人員通常會利用機械手臂(圖中未示出)卸下在輸送線20上待檢查的玻璃基板10，將其放置在檢查站50上進行檢查；或者是另設一條輸送線30輸送此不良品至檢查站50。上述的檢查，一般而言是指利用檢查站50上方的發(fā)光組件或鹵素燈等照明設備(圖中未示出)，以目視來檢查玻璃基板10的缺陷。然而，不論是以機械手臂或另設輸送線輸送至檢查站的方式，均會增加運送玻璃基板的時間以及增設輸送線的設備成本，且無法實時監(jiān)視掌控生產(chǎn)質量。此外，對于玻璃基板的尺寸趨于大型化及薄形化，如何有效地將制造合格率及生產(chǎn)效率維持一定的品質；特別是，當玻璃基板的需求量越大時，能實時地監(jiān)控產(chǎn)品質量又不致影響產(chǎn)能，將是對面板廠商的嚴酷挑戰(zhàn)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種線上(生產(chǎn)線上)實時檢測的基板檢測設備及玻璃基板檢測設備。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種實時監(jiān)控產(chǎn)品質量的基板檢測設備及玻璃基板檢測設備。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種基板檢測設備及玻璃基板檢測設備，具有較高的生產(chǎn)效率。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種基板檢測設備及玻璃基板檢測設備，能有效節(jié)省產(chǎn)品檢測時間。
本發(fā)明的基板檢測設備，與輸送裝置配合使用。輸送裝置具有輸送面且用于輸送至少一個基板?；鍣z測設備包含支撐座、抬升機構及驅動機構。抬升機構設置在支撐座上方且具有多根抬升支架。每一抬升支架位于輸送面下方且與輸送面平行設置。驅動機構設置于支撐座中，且與抬升機構連接。
本發(fā)明的玻璃基板檢測設備，與輸送裝置配合使用。輸送裝置具有輸送面且用于輸送至少一個玻璃基板?；鍣z測設備包含支撐座、抬升機構及驅動機構。抬升機構設置在支撐座上方且具有多根抬升支架。每一抬升支架位于輸送面下方且與輸送面平行設置。光盒設置于該抬升機構上方。驅動機構設置于支撐座中，且與抬升機構連接。
在優(yōu)選實施例中，在抬升機構上方相對應位置處還設置光盒，用于檢測人員檢測玻璃基板是否為不良品。抬升支架分別具有支撐端及支點端，其中支撐端可繞支點端旋轉。當驅動機構驅動支撐端上升時，抬升支架上升并與輸送面成一夾角；當驅動機構驅動支撐端下降時，抬升支架回復至輸送面下方。此外，輸送裝置還設有多個輸送滾輪。輸送滾輪分別設置在輸送軸上，以形成輸送面并輸送基板。驅動機構還包含多根從動件，每一從動件連接每一抬升支架。此外，抬升機構在支撐部上方還設有制動器。在本發(fā)明的優(yōu)選實施例中，制動器優(yōu)選為氣壓缸。其中氣壓缸具有可伸縮的凸出部，用于伸出并抵觸基板的邊緣。
由此，當欲檢測通過抬升機構的某一基板時，驅動機構通過從動件將每一抬升支架抬起，氣壓缸的軸桿也會伸出并抵觸基板的邊緣，使基板不致因抬升角度變大而產(chǎn)生位移。當操作人員檢測完此基板并欲放下基板時，驅動機構也通過從動件將抬升支架降下至約略水平位置時，氣壓缸縮回，使基板回歸到原始位置，即在原傳輸線上繼續(xù)傳輸加工。


圖1為公知的玻璃基板的檢測流程示意圖；圖2為本發(fā)明基板檢測設備的部分立體圖，也即本發(fā)明抬升機構下降的動作圖；圖3為圖2的抬升機構升起的動作圖；圖4為圖3的抬升機構的局部放大圖；圖5為本發(fā)明基板檢測設備的部分正視圖；圖6a為本發(fā)明基板檢測設備的第二實施例圖，也即整體機臺的抬升機構尚未升起的側視示意圖；圖6b為圖6a的另一側視示意圖；圖7為本發(fā)明的抬升機構未升起的另一優(yōu)選實施例圖；及圖8為圖7的抬升機構升起的動作圖。
其中，附圖標記說明如下100基板檢測設備102支撐座104橫板110輸送裝置112輸送軸114輸送面116輸送滾輪118定位輪120抬升機構122抬升支架124支撐部126支點部128樞軸130止滑件132固定支架133固定柱 134扣環(huán) 136轉動輪138平板140制動器142凸出部150驅動機構151缺槽 152從動件154固定板 156滾珠螺桿 158馬達
160傳感器 200光盒 202發(fā)光組件A基板/玻璃基板θ角度具體實施方式
本發(fā)明提供了一種可應用于各式基板的檢測設備。然而，在優(yōu)選實施例中，本發(fā)明主要可應用于玻璃基板的檢測，特別是應用于經(jīng)過彩色濾光片(Color Filter，CF)處理的玻璃基板檢測。本發(fā)明具有線上實時檢測、監(jiān)控基板合格率，并具有大量生產(chǎn)的優(yōu)點。上述彩色濾光片主要應用于TFT-LCD、PDP或EL等平面顯示器中。然而，在不同的實施例中，基板也可應用于半導體、化工、傳統(tǒng)工業(yè)或其它不同領域。以下即配合附圖，進一步說明本發(fā)明的各具體實施例及其步驟圖2及圖3所示為本發(fā)明抬升機構的實施例示意圖。本發(fā)明的基板檢測設備100與輸送裝置110配合使用，其中輸送裝置110形成輸送面114并輸送至少一個基板A。本發(fā)明包含支撐座102、抬升機構120及驅動機構150。支撐座102優(yōu)選為多根結構鋼架所組成的機臺，輸送裝置110則設置在支撐座102上方。一般而言，輸送裝置110具有多根輸送軸112。每一輸送軸112上還分別設置有多個輸送滾輪116。輸送面114即指每一輸送滾輪116 上表面所共同定義的假想平面。其中傳動此輸送裝置110還包含傳動系統(tǒng)(圖中未示出)。上述傳動系統(tǒng)包含至少一馬達、至少一輸送帶及多個傳輸輪等裝置，用于傳動輸送裝置110。
如圖2所示，抬升機構120也設置在支撐座102上方且固定于支撐座102的一側。抬升機構120具有多根抬升支架122，每一抬升支架122位于輸送面114下方且大致與輸送面114平行設置。抬升支架122的長度及數(shù)量(寬度)根據(jù)所欲抬升的基板A的面積(尺寸)而定。換句話說，當所欲傳送的基板A面積越大時，抬升支架122的長度及數(shù)量會越長及/或越多。反之，當所欲傳送的基板A面積越小時，抬升支架122的長度及數(shù)量可相對越小及/或越少。在如圖2及圖3所示的實施例中，抬升支架122分別具有支撐部124及支點部126，支撐部124可繞支點部126旋轉。其中當抬升機構120的抬升支架122尚未升起時，每一抬升支架122均位于每一輸送軸112之間，且隱藏于輸送面114的下方。因此，當在正常流片(即輸送裝置110輸送基板A)時，抬升機構120的抬升支架并不會干擾基板A的運行。當通過驅動機構150將支撐部124抬起抬升機構120的抬升支架122時，支撐部124即可繞支點部126旋轉而升起。然而，在不同的實施例中，抬升支架122也可設計成由支點部126處或其它部位直接自體旋轉，而不需設置驅動機構150。
在此需要說明的是，在本實施例中，支點部126優(yōu)選延伸至樞軸128的扣環(huán)134上。然而樞軸128由固定在支撐座102上方左右兩側的固定支架132所支持。此外，固定支架132也具有定位且固定抬升機構120的每一抬升支架122的作用。抬升機構120還設置了樞軸128、固定支架132、平板138及制動器140，如圖2所示。平板138固定在抬升支架122上，主要用來設置制動器140。制動器140則用于支撐及固定基板A。在此實施例中的制動器140優(yōu)選為氣壓缸。然而在其它不同的實施例中，制動器140可為油壓缸或其它以電力來實現(xiàn)的制動器。因此，若制動器140為氣壓缸，其具有可供伸縮的凸出部142，用于支撐并保護基板A抬升后的垂直面的位移。
又如圖2及圖3的實施例中所示，在每一抬升支架122的上表面適當距離處優(yōu)選分別設有止滑件130，用于定位基板A在平行抬升支架122平面上的位移。上述止滑件130的材料優(yōu)選包含聚醚醚酮(Poly Ether Ether Ketone，PEEK)。此外，在抬升支架122左右兩側的平板138上，還連接轉動輪136作為支點。換句話說，轉動輪136在此是作為輔助抬升機構120抬升或下降的工具，也即當抬升支架122被抬起時，轉動輪136輔助抬升支架122作抬起的動作；當抬升支架122下降時，轉動輪136輔助抬升支架122作下降的動作。其中抬升機構120下降后，優(yōu)選以設置在支撐座102上的橫板104定位及擋止每一抬升支架122。
如圖5所示，驅動機構150優(yōu)選還包含多根從動件152。通過將從動件152與抬升支架122連接，用于驅動抬升支架122的支撐部124的升起及下降。在如圖5所示的實施例中，驅動機構150優(yōu)選以馬達158驅動滾珠螺桿156。其中從動件152分別定位在垂直于從動件152的固定板154，且固定板154又與滾珠螺桿156垂直連接。每一從動件152上緣具有缺槽151，用于與抬升支架122定位。由此，當滾珠螺桿156驅動支撐部124上升時，抬升支架122即會繞支點部126旋轉而上升并與輸送面114成一夾角；當滾珠螺桿156驅動支撐部124下降時，抬升支架122也會繞支點部126旋轉而回復至輸送面114下方。此外，在本實施例中，在輸送面114下方適當位置處設置若干傳感器160，用于控制輸送裝置110檢測、定位及限位的相關功能。
基本上，上述基板檢測設備100在生產(chǎn)線上通過抬升機構120的直接抬升或下降來檢測基板A。上述基板A采用廣義的定義，也即包含半導體、化工、傳統(tǒng)工業(yè)或其它領域中的基板檢測。然而，如圖6a及6b所示的實施例中，基板檢測設備100主要是用于線上檢測玻璃基板A，且還包含設置光盒200于抬升機構120的上方。其中光盒200由多根發(fā)光組件202組成。上述發(fā)光組件202包含鎢絲燈、鹵素燈、LED或其它發(fā)光裝置；然而，在其它不同的實施例中，光盒200還可設置如CCD、照相機、顯微鏡或其它光學檢測裝置。此外，在如圖6a及圖6b所示的實施例中，抬升機構120并未包含樞軸128，僅在固定支架132上設置定位輪118，以作為抬升支架122的支點部126。即抬升機構120的每一抬升支架的旋轉軸心。
如圖6b所示，當驅動機構150驅動抬升支架122的支撐部124上升時，抬升機構122會升起并直至碰到定位輪118。此時，抬升支架122會以定位輪118為支點旋轉，并使抬升支架122與輸送面114夾一角度θ。反之，當驅動機構150驅動支撐部124下降時，抬升機構122也會以定位輪118為支點旋轉，并逐漸縮小角度，直到抬升支架122降至輸送面114下。上述角度θ優(yōu)選為介于30度至80度之間，用于根據(jù)光的反射原理來目測或以其它方式檢測玻璃基板A合格與否。換句話說，當發(fā)光組件202照射玻璃基板A時，玻璃基板A產(chǎn)生光的反射來目測其合格與否。其中，當檢測人員發(fā)現(xiàn)有瑕疵品時，會先降下此不良品，再以機械手臂或流片至不合格區(qū)(圖中未示出)。
如圖7及圖8所示，其為本發(fā)明抬升機構的另一優(yōu)選實施例圖。在本實施例中，抬升機構120優(yōu)選為在樞軸128上設置定位輪118，而定位輪118可在樞軸128上轉動。特別是，定位輪118優(yōu)選可旋轉地設置在平板138上，而抬升支架122的支撐部124與定位輪118跟平板138的接觸點并非為一直線。由此，當驅動機構150驅動支撐部124升起或下降時，支撐部124得以繞支點部126旋轉。然而，在其它不同的實施例中，定位輪118也可以不用設置在平板138上，而可設置在支撐部124之后的任一空間位置上。此外，如圖7及圖8所示的實施例中，優(yōu)選設置四根抬升支架122。其中左右兩側的抬升支架122的支點部126，優(yōu)選為相對設置固定柱133，用于固定并旋轉抬升支架122。
又當驅動機構150驅動支撐部124升起時，設置在平板138上的制動器/氣壓缸140即伸出凸出物142。抬升支架122會分別以定位輪118及固定柱133為支點部126旋轉，直到上升至某適當角度θ后停止，以便檢測人員檢視基板A。當檢測完畢后，從動件152使每一抬升支架122降下，直到下降至輸送面114下，氣壓缸140的凸出部142也會縮回，而使基板A繼續(xù)流片。在本實施例中，分別設置有兩組不同的支點部126，使抬升機構120升起或下降。然而，在不同的實施例中，也可設置全由定位輪118為支點部126旋轉，或者設置全由固定柱133作為支點部126旋轉，又或者是選擇性地使用上述方式中的任一方式搭配使用，以達到抬升或下降抬升機構120的目的。其它結構同上所述，在此不再贅述。
本發(fā)明已由上述相關實施例加以描述，然而上述實施例僅為實施本發(fā)明的范例。必須指出的是，已披露的實施例并未限制本發(fā)明的范圍。相反地，包含于本發(fā)明范圍的精神及范圍的修改及均等設置均包含于本發(fā)明的范圍內(nèi)。
權利要求
1.一種基板檢測設備，與一輸送裝置配合使用，該輸送裝置具有一輸送面并用于輸送至少一個基板，該檢測設備包含一支撐座；一抬升機構，設置于該支撐座上，該抬升機構具有多根抬升支架，每一所述抬升支架位于該輸送面下方且與該輸送面平行設置；以及一驅動機構，設置于該支撐座中，并與該抬升機構連接。
2.如權利要求1所述的基板檢測設備，其中所述抬升支架表面還分別包含多個止滑件，用于定位該基板。
3.如權利要求2所述的基板檢測設備，其中所述止滑件的材料包含聚醚醚酮。
4.如權利要求1所述的基板檢測設備，其中該驅動機構包含一馬達。
5.如權利要求1所述的基板檢測設備，其中該驅動機構包含多根從動件，所述從動件分別連接并驅動所述抬升支架作上升或下降的運動。
6.如權利要求1所述的基板檢測設備，其中該抬升機構上分別設置一制動器，該制動器與該基板的邊緣相對應并可阻擋該基板抬升后的滑動位移。
7.如權利要求6所述的基板檢測設備，其中該制動器具有一可供伸縮的凸出部，該凸出部用于抵觸該基板的邊緣。
8.如權利要求1所述的基板檢測設備，其中所述抬升支架分別具有一支撐部及一支點部，其中該支撐部可繞該支點部旋轉。
9.如權利要求8所述的基板檢測設備，其中該抬升機構還包含至少一樞軸，所述樞軸通過該支撐座邊緣的兩固定支架固定，該支點部則包含一扣環(huán)，該扣環(huán)可扣接于所述樞軸上。
10.如權利要求1所述的基板檢測設備，其中該抬升機構還包含一定位輪，該定位輪分別由一樞軸定位，該樞軸還由固定于該支撐座的兩固定支架支持。
11.一種玻璃基板檢測設備，與一輸送裝置配合使用，該輸送裝置具有一輸送面用于輸送至少一個玻璃基板，該檢測設備包含一支撐座；一抬升機構，設置在該支撐座上，該抬升機構具有多根抬升支架，每一所述抬升支架位于該輸送面下方且與該輸送面平行設置；一光盒，設置在該抬升機構上方；一驅動機構，設置于該支撐座中，并與該抬升機構連接。
12.如權利要求11所述的玻璃基板檢測設備，其中該光盒包含至少一發(fā)光組件。
13.如權利要求11所述的玻璃基板檢測設備，其中所述抬升支架表面還分別包含多個止滑件，用于定位該基板。
14.如權利要求11所述的玻璃基板檢測設備，其中該驅動機構還包含多根從動件，所述從動件分別連接并驅動所述抬升支架作上升或下降的運動。
15.如權利要求11所述的玻璃基板檢測設備，其中該抬升機構上分別設置一制動器，該制動器與該基板的邊緣相對應并可阻擋該基板抬升后的滑動位移。
16.如權利要求15所述的玻璃基板檢測設備，其中該制動器包含一可供伸縮的凸出部，該凸出部用于抵觸該基板的邊緣。
17.如權利要求11所述的玻璃基板檢測設備，其中所述抬升支架分別具有一支撐部及一支點部，其中該支撐部可繞該支點部旋轉。
18.如權利要求17所述的玻璃基板檢測設備，其中該抬升機構還包含至少一樞軸，所述樞軸通過該輸送裝置邊緣成對設置的固定支架固定，該支點部則包含一扣環(huán)，該扣環(huán)可扣接在所述樞軸上。
19.如權利要求11所述的玻璃基板檢測設備，其中該抬升機構還包含一定位輪，該定位輪分別由一樞軸定位，該樞軸還由固定于該支撐座的兩固定支架支持。
全文摘要
一種基板檢測設備及玻璃基板檢測設備，其與輸送裝置配合使用。輸送裝置具有輸送面并用于輸送至少一個基板?；鍣z測設備包含支撐座、抬升機構、光盒及驅動機構。抬升機構設置在支撐座上。抬升機構具有多根抬升支架，每一抬升支架位于輸送面下方且與輸送面平行設置。光盒應與抬升機構相對應設置，用于檢視玻璃基板。驅動機構設置于支撐座中，并與該抬升機構連接。
文檔編號H01L21/66GK1987436SQ200610172429
公開日2007年6月27日 申請日期2006年12月27日 優(yōu)先權日2006年12月27日
發(fā)明者魏仲立, 郭永仁 申請人:友達光電股份有限公司