專利名稱：一種曝光掩模板的固定方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種液晶顯示器件生產(chǎn)的技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種曝光掩模板的固定方法。
背景技術(shù)：
在液晶顯示器件生產(chǎn)過程中，有一個(gè)曝光工序，它是用一張由菲林制成的曝光掩模板覆在已涂滿感光膠的ITO玻璃上，通過紫外光照射，使部分感光膠受光。對(duì)于曝光掩模板的固定，現(xiàn)有技術(shù)中一般采用膠帶1將曝光掩模板2粘貼在玻璃板3上的方式進(jìn)行，如圖1所示。該方法存在的問題是由于曝光掩模板自身重量或當(dāng)其工作時(shí)間較長而變熱時(shí)，曝光掩模板會(huì)變形下垂，如圖2所示，造成曝光出來的圖形變形，最終影響產(chǎn)品的質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是提供一種可避免曝光掩模板變形下垂，提高產(chǎn)品合格率的一種曝光掩模板的固定方法。
本發(fā)明的技術(shù)方案是這樣的一種曝光掩模板的固定方法，其特點(diǎn)是，該方法步驟為第一玻璃板底部放置曝光掩模板，曝光掩模板通過四周的膠帶與玻璃板緊密貼合；第二在玻璃板的邊緣處打一個(gè)小孔；
第三在小孔處裝一根管子，并將管子和玻璃板密封連接；第四再將管子的另一端與抽真空裝置連接；第五啟動(dòng)抽真空裝置，玻璃板和曝光掩模板之間形成一個(gè)真空區(qū)域。
本發(fā)明有益效果采用管子一端與玻璃板密封連接，另一端與抽真空裝置相連，在生產(chǎn)過程中，始終保持抽真空狀態(tài)，即玻璃板和曝光掩模板之間為一個(gè)真空區(qū)域，即使由于曝光掩模板粘貼不平或發(fā)熱變形，曝光掩模板也不會(huì)下垂，有效避免曝光圖形變形而造成對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的影響。


圖1是現(xiàn)有技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是現(xiàn)有技術(shù)的曝光圖形變形的示意圖；圖3是本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖與實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的說明。
圖3所示一種曝光掩模板的固定方法，其特點(diǎn)是，該方法步驟為第一玻璃板3底部放置曝光掩模板2，曝光掩模板2通過四周的膠帶1與玻璃板3緊密貼合；第二在玻璃板3的邊緣處打一個(gè)小孔；第三在小孔處裝一根管子4，并將管子4和玻璃板3密封連接；第四再將管子的另一端與抽真空裝置連接；第五啟動(dòng)抽真空裝置，玻璃板3和曝光掩模板2之間形成一個(gè)真空區(qū)域。
在玻璃板3的邊緣處打一個(gè)小孔，在小孔中裝一根管子4，并將管子和玻璃板的連接處密封以免漏氣。管子的另一端與抽真空裝置相連。在生產(chǎn)過程中，始終保持抽真空狀態(tài)。這樣，由于玻璃板和曝光掩模板之間為一個(gè)真空區(qū)域，即使由于曝光掩模板粘貼不平或發(fā)熱變形，掩模板也不會(huì)下垂，即可避免曝光圖形變形而造成對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的影響。
權(quán)利要求
1.一種曝光掩模板的固定方法，其特征在于，該方法步驟為第一玻璃板(3)底部放置曝光掩模板(2)，曝光掩模板(2)通過四周的膠帶(1)與玻璃板(3)緊密貼合；第二在玻璃板(3)的邊緣處打一個(gè)小孔；第三在小孔處裝一根管子(4)，并將管子(4)和玻璃板(3)密封連接；第四再將管子的另一端與抽真空裝置連接；第五啟動(dòng)抽真空裝置，玻璃板(3)和曝光掩模板(2)之間形成一個(gè)真空區(qū)域。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種曝光掩模板的固定方法。其特點(diǎn)是，該方法步驟為第一玻璃板底部放置曝光掩模板，曝光掩模板通過四周的膠帶與玻璃板緊密貼合；第二在玻璃板的邊緣處打一個(gè)小孔；第三在小孔處裝一根管子，并將管子和玻璃板密封連接；第四再將管子的另一端與抽真空裝置連接；第五啟動(dòng)抽真空裝置，玻璃板和曝光掩模板之間形成一個(gè)真空區(qū)域。采用管子一端與玻璃板密封連接，另一端與抽真空裝置相連，在生產(chǎn)過程中，始終保持抽真空狀態(tài)，即玻璃板和曝光掩模板之間為一個(gè)真空區(qū)域，即使由于曝光掩模板粘貼不平或發(fā)熱變形，曝光掩模板也不會(huì)下垂，有效避免曝光圖形變形而造成對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的影響。
文檔編號(hào)H01L21/02GK1828423SQ200510029208
公開日2006年9月6日 申請(qǐng)日期2005年8月30日 優(yōu)先權(quán)日2005年8月30日
發(fā)明者孫明 申請(qǐng)人:上海海晶電子有限公司