專利名稱：多位止動機構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種在半導(dǎo)體器件制造系統(tǒng)內(nèi)部的半導(dǎo)體襯底定位機構(gòu)。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體襯底的處理當(dāng)中，襯底在不同的時間被放置在處理室內(nèi)部，在不同的處理參數(shù)下進(jìn)行處理。例如，在蝕刻處理室內(nèi)，半導(dǎo)體晶片被置于諸如夾盤組件的半導(dǎo)體支撐元件(其可以充當(dāng)下電極)上。定位在夾盤上方的是上電極組件。夾盤組件和上電極組件產(chǎn)生用來例如蝕刻置于夾盤組件上的半導(dǎo)體晶片的等離子體。
在該蝕刻處理室中，半導(dǎo)體晶片應(yīng)當(dāng)定位在距上電極組件的一定距離處。為了完成該操作，使安裝有半導(dǎo)體晶片的夾盤組件在處理室內(nèi)借助于驅(qū)動系統(tǒng)而上下移動至上電極組件下方所需高度。例如，半導(dǎo)體處理設(shè)備的操作員能通過調(diào)節(jié)傳動絲杠的伸展范圍至所需范圍來設(shè)定處理室內(nèi)半導(dǎo)體晶片的所需高度。夾盤組件的移動接觸傳動絲杠的末端，從而使夾盤停止在半導(dǎo)體處理室內(nèi)所需高度。如在本領(lǐng)域所公知的，可以采用各種傳感器和反饋系統(tǒng)以監(jiān)測處理室內(nèi)夾盤的高度，從而確保夾盤將半導(dǎo)體晶片支撐在所需高度。
因而，現(xiàn)有技術(shù)的定位裝置可涉及利用多頭絲杠組件或氣動組件來使夾盤組件移動。這些類型的機構(gòu)通常利用止動機構(gòu)連同關(guān)聯(lián)的傳感器和反饋裝置將夾盤組件停止在半導(dǎo)體處理設(shè)備內(nèi)所需位置處。
例如，諸如由Eason Jr.等人在美國專利No.6,334,398中所描述的氣動系統(tǒng)。該文獻(xiàn)的全部內(nèi)容通過引用而包含于此。如圖3所示，該氣動系統(tǒng)已經(jīng)使用止動件以將半導(dǎo)體支撐元件定位在半導(dǎo)體處理設(shè)備內(nèi)部。圖3示出在其上固定半導(dǎo)體晶片的夾盤121。夾盤121又由上下移動經(jīng)過上支撐托座127和下支撐托座125的氣缸122支撐。氣缸122還包括裝在氣缸122上以和氣缸122一起移動的下底座126。
為了確保夾盤121在處理室內(nèi)合適高度，下底座126包括三個止動螺釘124。這些止動螺釘124可以調(diào)節(jié)至不同高度。而且，該裝置包括具有構(gòu)造成不同高度的止動表面133和134的可轉(zhuǎn)動環(huán)132，這些止動表而可以與止動螺釘124對齊。當(dāng)氣缸122向上移動時，止動螺釘124將頂靠表面133、表面134或下支撐托座125的底部以將氣缸122停止在合適的位置處。結(jié)果，夾盤121停止在處理室內(nèi)合適的高度處。半導(dǎo)體設(shè)備的操作員可以調(diào)節(jié)環(huán)132和/或止動螺釘124的定位以調(diào)節(jié)夾盤121在處理室內(nèi)停止的位置。
盡管諸如圖3所示的現(xiàn)有技術(shù)的夾盤高度調(diào)節(jié)系統(tǒng)允許夾盤組件調(diào)節(jié)至不同的高度，但是諸如可轉(zhuǎn)動環(huán)132的調(diào)節(jié)部件通常大而復(fù)雜，因而一般需要諸如氣缸和關(guān)聯(lián)的控制電路的移動裝置以提供精確和可反復(fù)的移動。而且，現(xiàn)有技術(shù)調(diào)節(jié)系統(tǒng)的復(fù)雜性使得很難針對現(xiàn)有的處理室改進(jìn)該系統(tǒng)。此外，公知的調(diào)節(jié)系統(tǒng)一般被限制在少數(shù)幾個調(diào)節(jié)位置。例如，圖3的機構(gòu)提供只有三個不同的高度，這些高度通過一套給定的止動螺釘而實現(xiàn)。最后，現(xiàn)有技術(shù)調(diào)節(jié)系統(tǒng)一般使用金屬的硬止動件，它在反復(fù)接觸之后會磨損或損壞部件。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個目的是解決以上所述和/或在半導(dǎo)體處理設(shè)備的技術(shù)中其他問題。
本發(fā)明的另一個目的是提供適合在半導(dǎo)體處理設(shè)備中應(yīng)用的允許所支撐的物體的高度變化的多位止動機構(gòu)。
因此，本發(fā)明的一個目的是提供一種能夠插在兩個物體的加載路徑中為兩個物體之間的相對移動提供多個止動件的多位止動機構(gòu)。
本發(fā)明的另一個目的是提供一種多位止動機構(gòu)，能夠在使用中提供與半導(dǎo)體處理場合所要求的功能一樣多的多個停止位置。
本發(fā)明的另一個目的是提供一種多位止動機構(gòu)，能由操作員手動或者以一些其他的方法進(jìn)行調(diào)節(jié)和/或變化。
本發(fā)明的另一個目的是提供一種具有硬或軟止動件的多位止動機構(gòu)。
相應(yīng)地，這些和其他的各個目的可以在本發(fā)明的至少一個示例性實施例中實現(xiàn)，本發(fā)明包括用于在可移進(jìn)互相接觸和移開脫離接觸的第一和第二物體之間提供多個停止位置的多位止動機構(gòu)。本發(fā)明的多位止動機構(gòu)包括將多位止動機構(gòu)固定到第一物體或第二物體或兩者的殼體、可轉(zhuǎn)動地安裝在殼體上的可轉(zhuǎn)動軸和位于可轉(zhuǎn)動軸上的多個止動件。當(dāng)該軸在殼體內(nèi)轉(zhuǎn)動時，這些止動件相對于殼體轉(zhuǎn)動至不同的位置。這樣，可轉(zhuǎn)動軸將止動件中的一個定位，以接觸沒有裝上多位止動機構(gòu)的第一或第二物體。
在本發(fā)明的一方面，多位止動機構(gòu)允許相對于半導(dǎo)體處理設(shè)備(其中定位裝置是其一個部件)的不同部件進(jìn)行獨立的高度調(diào)節(jié)，接著又提供半導(dǎo)體晶片從半導(dǎo)體處理設(shè)備的一個部分相對于另一個部分的移動調(diào)節(jié)、位置控制或兩者。


結(jié)合附圖，參照下面詳細(xì)的描述，可以容易地獲得本發(fā)明的更加完整的理解和其伴隨的許多優(yōu)點，其中圖1A示出具有根據(jù)本發(fā)明的多位止動機構(gòu)的氣動半導(dǎo)體夾盤組件；圖1B示出本發(fā)明的多位止動機構(gòu)的平面視圖；圖2A示出使用單向推力軸承的本發(fā)明的多位止動機構(gòu)的一個實施例的剖面圖；圖2B示出使用雙向推力軸承的本發(fā)明的多位止動機構(gòu)的另一個實施例的剖面圖；圖2C示出使用單一作用推力軸承和相關(guān)聯(lián)的預(yù)載軸承的本發(fā)明的多位止動機構(gòu)的一個實施例的剖面圖。
圖2D示出本發(fā)明的多位止動機構(gòu)另一個實施例的剖面圖，該實施例包括使多位止動機構(gòu)的軸轉(zhuǎn)動的驅(qū)動馬達(dá)和關(guān)聯(lián)的蝸輪；圖2E示出本發(fā)明的多位止動機構(gòu)另一個實施例的剖面圖，該實施例使用驅(qū)動馬達(dá)、傳動皮帶輪或齒輪和相關(guān)聯(lián)的傳動帶或傳動鏈?zhǔn)苟辔恢箘訖C構(gòu)的軸轉(zhuǎn)動；圖2F示出本發(fā)明的多位止動機構(gòu)另一個實施例的剖面圖，該實施例在多位多位止動機構(gòu)的運動件之間使用了襯套式界面；圖2G示出本發(fā)明多位止動機構(gòu)的另一個實施例的剖面圖，該實施例使用止動定位銷接合多位止動機構(gòu)的軸上的止動定位孔；圖3示出氣動半導(dǎo)體夾盤組件。
具體實施例方式
現(xiàn)參照附圖，圖1A示出用在半導(dǎo)體處理系統(tǒng)中的本發(fā)明一個實施例的多位止動機構(gòu)的視圖。其他類型的機械或機電設(shè)備以及半導(dǎo)體處理系統(tǒng)能夠利用本發(fā)明的多位止動機構(gòu)。
盡管圖1A示出的發(fā)明用在氣動半導(dǎo)體處理室上，但是本技術(shù)領(lǐng)域中的普通技術(shù)人員會認(rèn)識到本發(fā)明可用在一臺設(shè)備的兩個分開的部件或組件互相之間以某種方式移動(諸如例如在圖1A所示的半導(dǎo)體夾盤設(shè)備的部件125和126之間移動)的場合。本發(fā)明一般的執(zhí)行方式是，在通過移動而相互接觸或者脫離接觸的可平動的板之間提供不同的停止距離。在這點上，本發(fā)明置于兩個物體(例如板)之間，使兩個物體停止接觸。因而，物體自身不必在物體之間配置使該物體之間的相對移動135停止的接觸止動件。這種移動的示例可以是線性的、圓周運動或其他規(guī)定的方向。一個構(gòu)件，諸如部件125，可以視為靜態(tài)的，而其他構(gòu)件，諸如部件126，可以視為動態(tài)的。本發(fā)明的多位止動機構(gòu)10可以固定在靜態(tài)構(gòu)件或動態(tài)構(gòu)件上，或固定在這兩個構(gòu)件上，使部件之間相對移動提停止。
圖1B示出根據(jù)本發(fā)明一個實施例的多位止動機構(gòu)10的平面視圖。如在該圖中所示，通過將外殼22固定到安裝板20的安裝五金件24將多位止動機構(gòu)10安裝在安裝板20上。如上所論述的，安裝板20將多位止動機構(gòu)10固定到靜止的或可移動的部件中的任一一個。該機構(gòu)10包括相對于外殼22轉(zhuǎn)動的安裝軸16。安裝軸16包括可調(diào)節(jié)止動件14，這些可調(diào)節(jié)止動件14最好能夠被調(diào)節(jié)至不同的高度并能夠連同軸16一起轉(zhuǎn)動以將止動件14置于不同的停止位置。安裝軸16如何轉(zhuǎn)動以將可調(diào)節(jié)止動件14置于不同的停止位置的細(xì)節(jié)將在下面參照圖2A-2E進(jìn)一步地論述。
如圖1B以圖解方式所示，圖1B所示的多位止動機構(gòu)10包括能夠在該示例中實現(xiàn)六個位置的六個可調(diào)節(jié)止動件14。本發(fā)明的停止位置的個數(shù)不限于六個，而可依系統(tǒng)硬件的功能要求為任何個數(shù)的位置。在圖B中以圖解方式所示的可調(diào)節(jié)止動件14定位在圓形圖案上。然而，可調(diào)節(jié)止動件的布置不限于布置在圓形圖案上，而可以定位在任何所需的圖案上。進(jìn)一步地，每一個止動件的位置由系統(tǒng)硬件的功能要求(例如半導(dǎo)體處理設(shè)備的功能要求)來確定。
圖2A示出使用單向推力軸承18的本發(fā)明多位止動機構(gòu)的一個實施例的剖面圖。在本發(fā)明一個示例中的推力軸承18通過使用例如所示的安裝五金件24，使用例如約束外殼22而被夾至安裝板20上。安裝板20可以是系統(tǒng)硬件自身的一個部件(例如半導(dǎo)體處理系統(tǒng)的夾盤上一個部件)或可以是安裝到系統(tǒng)硬件的適配器。如圖2A以圖解方式示出的止動件安裝軸16與推力軸承18配合，并且在止動件安裝軸16的本體中設(shè)置例如螺紋孔(未示出)用以安裝可調(diào)節(jié)止動件14，在這里可調(diào)節(jié)止動件14被表示為標(biāo)準(zhǔn)六角螺栓。當(dāng)調(diào)節(jié)至所需位置時，六角螺母26被包括在內(nèi)以鎖定可調(diào)節(jié)止動件14。每一個可調(diào)節(jié)止動件通過這種方法固定到一個位置?？烧{(diào)節(jié)止動件可包括螺釘或銷，在一個實施例中，這些螺釘或銷被開孔而更加適應(yīng)在半導(dǎo)體處理中經(jīng)常采用的真空環(huán)境。
因而，止動件安裝軸16例如通過轉(zhuǎn)動能便于實現(xiàn)在裝置上不同的停止高度。當(dāng)止動件安裝軸16例如通過手工轉(zhuǎn)動而轉(zhuǎn)動以接近每一個不同的停止高度位置時，彈簧柱塞28能充當(dāng)制動器以將止動件安裝軸16保持就位。可以克服作用在制動器上的彈簧力，使止動件安裝軸16轉(zhuǎn)動到另外的停止位置。
一旦定位在所需位置中，由于其中一個可調(diào)節(jié)止動件14接觸配合表面，碰撞載荷通過整個組件傳遞至安裝板。其中一個可調(diào)節(jié)止動件14可具有附在頂部部分(即端部)的彈性體。當(dāng)可調(diào)節(jié)止動件14以這種方式構(gòu)造時，可調(diào)節(jié)止動件14變成軟止動件。沒有彈性體的止動件因而在這里被限定為硬止動件。利用軟止動件可以防止或減少由碰撞力引起的對接觸表面的磨損或損壞。任何個數(shù)的可調(diào)節(jié)止動件可包括一彈性體，因而在止動件安裝軸16上配置多個軟、硬止動件。進(jìn)一步地，可在任何兩個移動的構(gòu)件之間利用任何個數(shù)的本發(fā)明的多位止動機構(gòu)。
因而，尤其在使用四個或更少止動件的情況下，本發(fā)明提供相對較小的和簡單的多位止動機構(gòu)。這允許本發(fā)明針對某些有關(guān)聯(lián)的移動利用多個止動件，并且提供了針對現(xiàn)存的等離子體處理系統(tǒng)或其他機構(gòu)改進(jìn)本發(fā)明的能力。此外，本發(fā)明依其應(yīng)用場合可以單個地、成對地或多個地使用。而且，本發(fā)明可以配置分度止動件，夾持特定構(gòu)型的半導(dǎo)體晶片，從而提供相對于其他系統(tǒng)硬件容易地、精確地和可反復(fù)地定位止動件的能力。還進(jìn)一步地，本發(fā)明的多位止動機構(gòu)提供人工地或通過輔助的驅(qū)動機構(gòu)調(diào)節(jié)本發(fā)明的能力。
還進(jìn)一步地，本發(fā)明的多位止動機構(gòu)可以使用任何類型的驅(qū)動機構(gòu)，但是特別有用的是使用氣動驅(qū)動系統(tǒng)驅(qū)動與等離子體處理系統(tǒng)相關(guān)的夾盤組件。本發(fā)明的多位止動機構(gòu)可提供多個停止位置，可在等離子體處理工具或采用需要位置分度的移動機構(gòu)的任何其他系統(tǒng)中的各種位置中提供單個或兩個停止位置。例如，為了實施本發(fā)明的定位裝置(即多位止動機構(gòu))，在與裝上多位止動機構(gòu)的部件相對的單個部件上設(shè)置配合結(jié)構(gòu)部分(例如，在圖3中配合特征可以與部件125相對而設(shè)置在部件126上)以允許實現(xiàn)特定的多位停止位置。
圖2B示出使用雙向推力軸承30的本發(fā)明的多位止動機構(gòu)的另一個實施例的剖面圖。象以上揭示的單推力軸承一樣，雙向軸承可旋轉(zhuǎn)地將止動件安裝軸16支撐在外部殼體22中。雙向推力軸承30允許相對于重力方向在任何方向安裝該裝置。具有墊片32的軸承保持板34將雙向推力軸承30支撐至止動件安裝軸16。
圖2C示出使用單一作用推力軸承18和關(guān)聯(lián)的預(yù)載軸承36的本發(fā)明多位止動機構(gòu)另一個實施例的剖視圖。這兩個軸承18和36表示一種執(zhí)行與在圖2B中所述的雙向推力軸承30類似功能的構(gòu)造。具有墊片32的軸承保持板34將預(yù)載軸承36支撐在止動件安裝軸16中。
圖2D示出包括驅(qū)動馬達(dá)46和關(guān)聯(lián)蝸輪42用以使止動件安裝軸16轉(zhuǎn)動的本發(fā)明多位止動機構(gòu)另一個實施例的剖面圖。在該實施例中，所選擇的止動件沒有被手動地選擇。而是，在該實施例中，止動件安裝軸16借助于驅(qū)動馬達(dá)46(安裝托架47將驅(qū)動馬達(dá)46結(jié)合到安裝板20上)、關(guān)聯(lián)的蝸桿40和蝸輪42而轉(zhuǎn)動。在一個優(yōu)選實施例中，利用裝置馬達(dá)/轉(zhuǎn)速計/編碼器44來跟蹤哪一個止動件1與止動件安裝軸16接合。
圖2E示出使用驅(qū)動馬達(dá)(未示出)、傳動輪或齒輪48和關(guān)聯(lián)的傳動皮帶49或鏈條以使止動件安裝軸16轉(zhuǎn)動的本發(fā)明多位止動機構(gòu)另一個實施例的剖視圖。該實施例能夠利用幾個多位止動機構(gòu)，所有的多位止動機構(gòu)可以使用驅(qū)動馬達(dá)、傳動皮帶輪或齒輪和關(guān)聯(lián)的傳動皮帶或鏈條而同時轉(zhuǎn)動。
圖2F示出在移動的部件之間(諸如在止動件安裝軸16和外殼之間)使用襯套類型的界面60的本發(fā)明多位止動機構(gòu)另一個實施例的剖視圖。襯套結(jié)構(gòu)部分由外殼22和止動件安裝軸16的柱形配合結(jié)構(gòu)部分形成?？梢岳弥T如彈簧柱塞28的制動器機構(gòu)以在所需角位置處使止動件安裝軸16的轉(zhuǎn)動停止。轉(zhuǎn)動和位置的選擇能手動地或自動地完成。
圖2G示出使用止動定位銷50在止動件安裝軸16底部上接合止動定位孔52的本發(fā)明多位止動機構(gòu)另一個實施例的剖視圖。在這種情況下，當(dāng)止動件安裝軸轉(zhuǎn)動至所需停止位置時，選定該停止位置并且用止動定位銷50接合止動定位孔52來固定停止位置。轉(zhuǎn)動和位置的選擇能手動地或自動地完成。
根據(jù)以上的教導(dǎo)可以進(jìn)行本發(fā)明的許多修改和變型。因而應(yīng)當(dāng)了解的是，在權(quán)利要求的范圍內(nèi)，本發(fā)明可以用不同于這里具體描述的方式進(jìn)行實施。
權(quán)利要求
1.一種多位止動機構(gòu)，用于在可通過移動而互相止動接觸和脫離止動接觸的第一物體和第二物體之間，提供多個停止位置，其包括殼體，其構(gòu)造成將所述多位止動機構(gòu)固定到所述第一物體和所述第二物體中的一個；可轉(zhuǎn)動軸，其可轉(zhuǎn)動地安裝于所述殼體；多個止動件，其位于所述可轉(zhuǎn)動軸上，使得當(dāng)所述可轉(zhuǎn)動軸在所述殼體內(nèi)轉(zhuǎn)動時，所述止動件相對于所述殼體轉(zhuǎn)動至不同的位置，其中，當(dāng)所述第一物體和所述第二物體移動而互相止動接觸時，所述可轉(zhuǎn)動軸將所述止動件中的一個定位在所述止動件接觸所述第一物體和所述第二物體中沒有安裝所述多位止動機構(gòu)的另一個的位置處。
2.如權(quán)利要求1所述多位止動機構(gòu)，其中，所述第一物體和所述第二物體中的至少一個包括可平動的板。
3.如權(quán)利要求1所述的多位止動機構(gòu)，其中，所述止動件中至少一個包括可調(diào)節(jié)止動件，所述可調(diào)節(jié)止動件構(gòu)造成具有相對于所述殼體可調(diào)節(jié)的高度。
4.如權(quán)利要求3所述的多位止動機構(gòu)，其中，所述可調(diào)節(jié)止動件包括螺釘和帶孔的螺釘中的至少一種。
5.如權(quán)利要求1所示的多位止動機構(gòu)，其中，所述止動件中至少一個包括銷和帶孔的銷中的至少一種。
6.如權(quán)利要求1所述的多位止動機構(gòu)，其中，所述止動件中至少一個包括附在所述止動件一端的彈性體。
7.如權(quán)利要求1所述的多位止動機構(gòu)，進(jìn)一步包括軸承，所述軸承安裝于所述可轉(zhuǎn)動軸并且構(gòu)造成便于所述可轉(zhuǎn)動軸相對于所述殼體轉(zhuǎn)動。
8.如權(quán)利要求7所述的多位止動機構(gòu)，其中，所述軸承包括單向推力軸承。
9.如權(quán)利要求7所述的多位止動機構(gòu)，其中，所述軸承包括雙向推力軸承。
10.如權(quán)利要求7所述的多位止動機構(gòu)，其中，所述軸承包括單一作用推力軸承和關(guān)聯(lián)的預(yù)載軸承。
11.如權(quán)利要求1所述的多位止動機構(gòu)，進(jìn)一步包括在所述可轉(zhuǎn)動軸和所述殼體之間的襯套界面。
12.如權(quán)利要求1所述的多位止動機構(gòu)，進(jìn)一步包括驅(qū)動馬達(dá)；構(gòu)造成使所述可轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動的傳動機構(gòu)。
13.如權(quán)利要求12所述的多位止動機構(gòu)，其中，所述傳動機構(gòu)包括皮帶輪和齒輪中的至少一種。
14.如權(quán)利要求12所述的多位止動機構(gòu)，其中，所述傳動機構(gòu)包括皮帶和鏈條中的至少一種。
15.如權(quán)利要求1所述的多位止動機構(gòu)，進(jìn)一步包括構(gòu)造成定位所述可轉(zhuǎn)動軸的角位置的角位置定位機構(gòu)。
16.如權(quán)利要求15所述的多位止動機構(gòu)，其中，所述角位置定位機構(gòu)包括在所述可轉(zhuǎn)動軸的外周上的定位器；安裝在所述殼體上并構(gòu)造成接合所述器的銷。
17.如權(quán)利要求15所述的多位止動機構(gòu)，其中，所述角位置定位機構(gòu)包括安裝板，裝到固定所述可轉(zhuǎn)動軸的所述第一物體和所述第二物體中的所述至少一個；在所述可轉(zhuǎn)動軸的底部的止動定位孔；銷，通過固定所述可轉(zhuǎn)動軸的所述第一物體和所述第二物體中所述至少一個和所述安裝板中的至少一個，所述銷接合所述止動定位孔。
18.如權(quán)利要求15所述的多位止動機構(gòu)，其中，所述角位置定位機構(gòu)包括構(gòu)造成使所述可轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動的驅(qū)動馬達(dá)；構(gòu)造成確定所述可轉(zhuǎn)動軸的角位置的編碼器。
19.一種多位止動機構(gòu)，用于在能夠通過移動而互相止動接觸和脫離止動接觸的第一物體和第二物體之間提供多個停止位置，其包括殼體，其構(gòu)造成將所述多位止動機構(gòu)固定到所述第一物體和所述第二物體的中的一個；可轉(zhuǎn)動軸，其可轉(zhuǎn)動地安裝于所述殼體；多個止動件，其位于所述可轉(zhuǎn)動軸上，使得當(dāng)所述軸在所述殼體內(nèi)轉(zhuǎn)動時，所述止動件相對于所述殼體轉(zhuǎn)動至不同的位置；定位裝置，當(dāng)所述第一物體和所述第二物體移動而互相止動接觸時，所述定位裝置將所述止動件中的一個定位在所述止動件接觸所述第一和所述第二物體中沒有安裝所述多位止動機構(gòu)的另一個的位置處。
20.如權(quán)利要求19所述的多位止動機構(gòu)，其中，所述第一物體和所述第二物體中的至少一個包括可平動的板。
21.如權(quán)利要求19所述的多位止動機構(gòu)，其中，所述止動件中至少一個包括用于相對于所述殼體調(diào)節(jié)所述止動件中至少一個的的高度的調(diào)節(jié)裝置。
22.如權(quán)利要求21所述的多位止動機構(gòu)，其中，所述調(diào)節(jié)裝置包括螺釘和帶孔的螺釘中的至少一種。
23.如權(quán)利要求19所示的多位止動機構(gòu)，其中，所述止動件中至少一個包括銷和帶孔的銷中的至少一種。
24.如權(quán)利要求19所述的多位止動機構(gòu)，其中，所述止動件中至少一個包括附在所述止動件一端的彈性體。
25.如權(quán)利要求19所述的多位止動機構(gòu)，進(jìn)一步包括軸承，所述軸承安裝于所述可轉(zhuǎn)動軸并且構(gòu)造成便于所述軸相對于所述殼體轉(zhuǎn)動。
26.如權(quán)利要求25所述的多位止動機構(gòu)，其中，所述軸承包括單向推力軸承。
27.如權(quán)利要求25所述的多位止動機構(gòu)，其中，所述軸承包括雙向推力軸承。
28.如權(quán)利要求25所述的多位止動機構(gòu)，其中，所述軸承包括單一作用推力軸承和關(guān)聯(lián)的預(yù)載軸承。
29.如權(quán)利要求19所述的多位止動機構(gòu)，進(jìn)一步包括在所述可轉(zhuǎn)動軸和所述殼體之間的襯套界面。
30.如權(quán)利要求19所述的多位止動機構(gòu)，其中，所述定位裝置包括用于使所述可轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動的裝置。
31.如權(quán)利要求19所述的多位止動機構(gòu)，其中，所述定位裝置包括定位所述可轉(zhuǎn)動軸的角位置的裝置。
32.如權(quán)利要求31所述的多位止動機構(gòu)，其中，所述用于定位角位置的裝置包括用于確定所述可轉(zhuǎn)動軸的角位置的裝置。
全文摘要
一種多位止動機構(gòu)，用于在能夠通過移動而互相止動接觸和脫離止動接觸的第一物體和第二物體之間提供多個停止位置。本發(fā)明的多位止動機構(gòu)包括構(gòu)造成將多位止動機構(gòu)固定到第一物體和/或第二物體的殼體、可轉(zhuǎn)動地安裝于殼體的可轉(zhuǎn)動軸和位于可轉(zhuǎn)動軸上的多個止動件。當(dāng)軸在殼體內(nèi)轉(zhuǎn)動時，止動件相對于所述殼體轉(zhuǎn)動至不同的位置。這樣，可轉(zhuǎn)動軸將止動件中的一個定位，以接觸沒有裝所述多位止動機構(gòu)的第一或第二物體。
文檔編號H01L21/687GK1878967SQ200480033006
公開日2006年12月13日 申請日期2004年11月5日 優(yōu)先權(quán)日2003年12月23日
發(fā)明者史蒂文·T·芬克 申請人:東京毅力科創(chuàng)株式會社