專利名稱：卡匣倉儲系統(tǒng)及其構(gòu)成方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種卡匣倉儲系統(tǒng)及其構(gòu)成方法，特別是涉及一種模塊化的卡匣倉儲系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
卡匣倉儲系統(tǒng)(Cassette Stocker)用以存放與搬送卡匣的倉儲系統(tǒng)。如圖1A所示，現(xiàn)有的卡匣倉儲系統(tǒng)具有一龐大的主體框架510，其內(nèi)具有基板交換器(Substrate Exchanger)等機(jī)臺520，用以分別存放卡匣560。另外，主體框架510還設(shè)有搬送裝置，例如設(shè)置在軌道530上的起重機(jī)(crane)540，對機(jī)臺520中存放的卡匣560進(jìn)行存取與搬送動作。如圖1B所示，起重機(jī)540具有可旋轉(zhuǎn)的平臺，可將機(jī)臺520中的卡匣560取出，并如圖1C所示，搬運(yùn)至其它機(jī)臺進(jìn)行處理。另外，主體框架510還設(shè)有一潔凈裝置550，例如一風(fēng)扇過濾單元(Fan Filter Unit，F(xiàn)FU)，過濾主體框架510內(nèi)部的空間的空氣，以減少污染。
上述現(xiàn)有的卡匣倉儲系統(tǒng)，由于以主體框架510包覆所有機(jī)臺520及搬送裝置，因此其外觀具有良好的整體感。然而，由于所有機(jī)臺520均設(shè)置于主體框架510內(nèi)部，一旦某一機(jī)臺520在操作時出現(xiàn)狀況，即可能影響主體框架510內(nèi)部的操作，此時若要對機(jī)臺520進(jìn)行拆卸或維修，必須將整個卡匣倉儲系統(tǒng)停機(jī)，以避免發(fā)生危險，因此會嚴(yán)重降低卡匣倉儲系統(tǒng)的操作效率。
另外，由于所有機(jī)臺520均設(shè)置于主體框架510內(nèi)部，而以單一的潔凈裝置550進(jìn)行主體框架510內(nèi)部空氣的過濾，因此所有機(jī)臺520均在同一環(huán)境下進(jìn)行操作，若是單一機(jī)臺520發(fā)生異常狀況而產(chǎn)生粉塵或微粒的污染，則可能由于起重機(jī)540的搬送及存取動作，連帶影響到其它機(jī)臺520，使得所有機(jī)臺均遭受污染，且不易分辨污染來源。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明的一目的在于提出一種卡匣倉儲系統(tǒng)，采用模塊化的機(jī)臺安裝方式，以避免現(xiàn)有的卡匣倉儲系統(tǒng)所產(chǎn)生的問題。
本發(fā)明揭示一種卡匣倉儲系統(tǒng)，包括一殼體、至少一機(jī)臺、以及一搬送裝置。殼體具有多個開口。機(jī)臺是對應(yīng)設(shè)置于該各開口，且具有一卡匣。搬送裝置設(shè)置于殼體內(nèi)，通過該各開口搬送該機(jī)臺內(nèi)存放的卡匣。
另外，本發(fā)明還揭示一種構(gòu)成卡匣倉儲系統(tǒng)的方法。該方法提供一殼體，具有多個開口；提供至少一機(jī)臺，對應(yīng)設(shè)置于該各開口，且具有一卡匣；以及提供一搬送裝置，設(shè)置于該殼體內(nèi)，通過該各開口搬送該機(jī)臺內(nèi)存放的該卡匣。
上述卡匣倉儲系統(tǒng)及其構(gòu)成方法中，機(jī)臺可設(shè)置于該殼體外側(cè)。另外，也可將機(jī)臺活動設(shè)置于該殼體內(nèi)側(cè)，此時卡匣倉儲系統(tǒng)可還包括多個擋板以及一移動裝置，擋板對應(yīng)設(shè)置于該各開口，活動阻擋該各開口，而移動裝置則可移動該機(jī)臺于該殼體內(nèi)側(cè)。
上述卡匣倉儲系統(tǒng)及其構(gòu)成方法中，搬送裝置可包括一軌道以及一起重機(jī)，起重機(jī)設(shè)置于軌道上，通過該軌道移動于該些開口之間。
另外，每一機(jī)臺可包括一第一潔凈裝置，過濾機(jī)臺中存放卡匣的空間的空氣。殼體也可包括一第二潔凈裝置，過濾殼體中的空氣。第一潔凈裝置或第二潔凈裝置均可為一風(fēng)扇過濾單元(Fan Filter Unit，F(xiàn)FU)。另外，更可將開口設(shè)置成與一外部裝置連接，該外部裝置可為一傳輸裝置及/或一生產(chǎn)機(jī)臺。
為使本發(fā)明的上述及其它目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉數(shù)個具體的較佳實(shí)施例，并配合所附圖式做詳細(xì)說明。


圖1A為現(xiàn)有卡匣倉儲系統(tǒng)的示意圖；圖1B為圖1A中起重機(jī)自機(jī)臺取放卡匣的示意圖；圖1C為圖1A中起重機(jī)搬送卡匣的示意圖；圖2為本發(fā)明一實(shí)施例中卡匣倉儲系統(tǒng)的示意圖；圖3A為本發(fā)明另一實(shí)施例中卡匣倉儲系統(tǒng)的示意圖；圖3B為圖3A中機(jī)臺20移動卡匣倉儲系統(tǒng)的示意圖。
具體實(shí)施例方式以下請參見圖2，以一實(shí)施例說明本發(fā)明的卡匣倉儲系統(tǒng)。
如圖2所示的實(shí)施例中，卡匣倉儲系統(tǒng)包括一殼體10、設(shè)置于殼體10外側(cè)的機(jī)臺20、以及設(shè)置于殼體內(nèi)側(cè)的搬送裝置。具體而言，機(jī)臺20可為待儲存物交換器(Pre-Stored Material Exchanger)，于此以基板交換器(Substrate Exchanger)為范例，而搬送裝置包括一軌道30以及設(shè)置于軌道上的一起重機(jī)40。
本實(shí)施例中，機(jī)臺20設(shè)置于殼體10外側(cè)，因此殼體10具有多個開口15，用以提供起重機(jī)40對機(jī)臺20進(jìn)行存取動作。機(jī)臺20對應(yīng)設(shè)置于開口15，且內(nèi)部具有卡匣60。卡匣60內(nèi)儲存有多個待儲存物(如基板、面板等，且未繪示于本實(shí)施例的圖形上)。未設(shè)置機(jī)臺20的開口15，則可設(shè)置擋板50，以維持殼體10的封閉狀態(tài)。起重機(jī)40可通過軌道30移動于各個開口15之間，經(jīng)由開口15存取機(jī)臺20中存放的卡匣60。再者，開口15的大小實(shí)質(zhì)上大于等于機(jī)臺20的大小或者開口15的大小實(shí)質(zhì)上大于待儲存物的大小。
另外，如圖2所示，每一機(jī)臺20可單獨(dú)設(shè)置一第一潔凈裝置25，例如常見的風(fēng)扇過濾單元(Fan Filter Unit，F(xiàn)FU)，以過濾機(jī)臺20中存放卡匣60內(nèi)的空氣。另外，殼體10也可設(shè)置有獨(dú)立的第二潔凈裝置70，過濾殼體10中的空氣。第二潔凈裝置70也可為一風(fēng)扇過濾單元。
本實(shí)施例的卡匣倉儲系統(tǒng)，由于殼體10內(nèi)僅設(shè)置有軌道30以及起重機(jī)40等搬送裝置，而機(jī)臺20均設(shè)置于殼體10外側(cè)，因此若是某一機(jī)臺20在操作時出現(xiàn)狀況時，僅需將其連接的開口15封閉，即可在不影響其它機(jī)臺20的狀況下將此單一機(jī)臺20進(jìn)行停機(jī)，并進(jìn)行拆卸或維修。如此，卡匣倉儲系統(tǒng)可維持正常操作，可縮短維修工時，且機(jī)臺20進(jìn)行維修時也不會因?yàn)榭ㄏ粋}儲系統(tǒng)繼續(xù)動作而發(fā)生危險，可增進(jìn)卡匣倉儲系統(tǒng)的安全性與操作效率，不受單一機(jī)臺20的影響。
另外，本實(shí)施例中，由于所有機(jī)臺20均設(shè)置于殼體10外側(cè)，且機(jī)臺20分別設(shè)置有獨(dú)立的第一潔凈裝置25，而殼體10也設(shè)置有第二潔凈裝置70，分別進(jìn)行空氣的過濾，因此每一機(jī)臺20均在獨(dú)立的環(huán)境下進(jìn)行操作。即使單一機(jī)臺20發(fā)生異常狀況而產(chǎn)生粉塵或微粒的污染，其污染來源也容易由系統(tǒng)辨認(rèn)而進(jìn)行隔離，同時通過第一潔凈裝置25以及第二潔凈裝置70的雙重過濾效果，可減少對其他機(jī)臺20的影響，避免污染的擴(kuò)散。
請?jiān)賲⒁妶D3A以及圖3B，說明另一實(shí)施例的卡匣倉儲系統(tǒng)。
圖3A以及圖3B的實(shí)施例中，卡匣倉儲系統(tǒng)同樣包括一殼體10、機(jī)臺20、以及設(shè)置于殼體10內(nèi)側(cè)的搬送裝置，其中殼體10具有多個開口15，而搬送裝置包括一軌道30以及設(shè)置于軌道上的一起重機(jī)40。圖3A以及圖3B的實(shí)施例與圖2的實(shí)施例不同之處，在于部分機(jī)臺20設(shè)置于殼體10內(nèi)側(cè)，且還設(shè)置有多個擋板50以及移動裝置55。擋板50對應(yīng)設(shè)置于該各開口15，可用以活動阻擋開口15；移動裝置55則可移動機(jī)臺20在殼體10內(nèi)側(cè)。如此即可使設(shè)置于殼體10內(nèi)側(cè)的每一機(jī)臺20均可通過移動裝置55經(jīng)由對應(yīng)的每一開口15而可移動于殼體10內(nèi)側(cè)與外側(cè)之間。移動裝置55可為滑軌、滾輪、滾珠、滾針、氣浮式平臺等各種移動裝置，本實(shí)施例特以滑軌為例說明之。
如圖3A所示，當(dāng)卡匣倉儲系統(tǒng)進(jìn)行運(yùn)作時，機(jī)臺20位于殼體10內(nèi)側(cè)，而其對應(yīng)的開口15則由擋板50封閉，以維持殼體10的密閉性。若是某一機(jī)臺20在操作時出現(xiàn)狀況時，僅需將其通過移動裝置55經(jīng)由對應(yīng)的開口15滑出殼體10外側(cè)，然后再將開口15以擋板50封閉，如圖3B所示，如此即可在不影響其它機(jī)臺20的狀況下將移出殼體10外側(cè)的此單一機(jī)臺20進(jìn)行停機(jī)，并進(jìn)行拆卸或維修。
在此必須說明，上述實(shí)施例中的機(jī)臺20之配置，可依機(jī)臺特性或空間配置因素而自由組合，換言之，同一卡匣自動倉儲系統(tǒng)中，可將部份機(jī)臺20分別設(shè)置于殼體10外側(cè)，也可將部分機(jī)臺20分別設(shè)置于殼體10內(nèi)側(cè)，而在開口15分別設(shè)置有擋板50以及移動裝置55，每一機(jī)臺20通過移動裝置經(jīng)由對應(yīng)的每一開口15可移動于殼體10內(nèi)側(cè)與外側(cè)之間。再者，開口15的大小實(shí)質(zhì)上大于或等于機(jī)臺20的大小。
另外，上述實(shí)施例的卡匣倉儲系統(tǒng)可依需求而通過該開口15和外部裝置連接及配合，且該外部裝置包括傳輸裝置、生產(chǎn)機(jī)臺或其它裝置。舉例說明可將殼體10的開口15連接于傳輸裝置及/或生產(chǎn)機(jī)臺，即可使得卡匣60可移動于卡匣自動倉儲系統(tǒng)中的機(jī)臺20與傳輸裝置及/或生產(chǎn)機(jī)臺之間。一般而言，傳輸裝置可為機(jī)器人、運(yùn)輸車、機(jī)械手臂或滾動平臺等裝置，而生產(chǎn)機(jī)臺則可為顯影機(jī)臺、薄膜沈積機(jī)臺(如PVD、CVD等機(jī)臺)、蝕刻機(jī)臺、清洗機(jī)臺、分類機(jī)臺等相關(guān)性機(jī)臺。
雖然結(jié)合以上具體的較佳實(shí)施例揭露了本發(fā)明，然而其并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉此項(xiàng)技術(shù)者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，仍可作一些的更動與潤飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)以權(quán)利要求所界定的為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種卡匣倉儲系統(tǒng)，包括一殼體，具有多個開口；至少一機(jī)臺，對應(yīng)設(shè)置于該各開口，且該機(jī)臺內(nèi)具有一卡匣；以及一搬送裝置，設(shè)置于該殼體內(nèi)，通過該各開口搬送該機(jī)臺內(nèi)的該卡匣。
2.如權(quán)利要求1所述的卡匣倉儲系統(tǒng)，其中該機(jī)臺設(shè)置于該殼體外側(cè)。
3.如權(quán)利要求1所述的卡匣倉儲系統(tǒng)，其中該機(jī)臺活動設(shè)置于該殼體內(nèi)側(cè)。
4.如權(quán)利要求3所述的卡匣倉儲系統(tǒng)，還包括多個擋板，對應(yīng)設(shè)置于該各開口，活動阻擋該各開口；以及一移動裝置，移動該機(jī)臺于該殼體內(nèi)側(cè)。
5.如權(quán)利要求1所述的卡匣倉儲系統(tǒng)，其中該搬送裝置包括一軌道；一起重機(jī)，設(shè)置在該軌道上，通過該軌道，移動于該各開口之間。
6.如權(quán)利要求1所述的卡匣倉儲系統(tǒng)，其中該機(jī)臺包括一第一潔凈裝置。
7.如權(quán)利要求6所述的卡匣倉儲系統(tǒng)，其中該第一潔凈裝置為一風(fēng)扇過濾單元(Fan Filter Unit，F(xiàn)FU)。
8.如權(quán)利要求1所述的卡匣倉儲系統(tǒng)，其中該殼體包括一第二潔凈裝置。
9.如權(quán)利要求8所述的卡匣倉儲系統(tǒng)，其中該第二潔凈裝置為一風(fēng)扇過濾單元。
10.如權(quán)利要求1所述的卡匣倉儲系統(tǒng)，其中該機(jī)臺為一待儲存物交換器(Pre-Stored Material Exchanger)。
11.如權(quán)利要求1所述的卡匣倉儲系統(tǒng)，其中該各開口，還與一外部裝置連接。
12.如權(quán)利要求1所述的卡匣倉儲系統(tǒng)，其中該外部裝置為傳輸裝置或生產(chǎn)裝置。
全文摘要
一種卡匣倉儲系統(tǒng)及其構(gòu)成方法，該卡匣倉儲系統(tǒng)包括一殼體、至少一機(jī)臺、以及一搬送裝置。該殼體具有多個開口。該機(jī)臺對應(yīng)設(shè)置于該各開口，且具有一卡匣。該搬送裝置設(shè)置于殼體內(nèi)，通過該各開口搬送機(jī)臺內(nèi)存放的卡匣。
文檔編號H01L21/67GK1631751SQ20041010372
公開日2005年6月29日 申請日期2004年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月28日
發(fā)明者張玉彥, 陳宏偉, 林謙田 申請人:友達(dá)光電股份有限公司