專利名稱：生產(chǎn)用溶液供給系統(tǒng)及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種生產(chǎn)用溶液供給系統(tǒng)及方法，特別是涉及一種用于制造液晶顯示器的生產(chǎn)用溶液供給系統(tǒng)及方法。
背景技術(shù)：
液晶顯示器(LCD)通常在形成共同電極和濾色器的上部面板和形成薄膜晶體管和像素電極等的下部面板之間注入液晶材料，向像素電極和共同電極之間施加互不相同的電壓，以形成電場(chǎng)，從而改變液晶分子排列，通過(guò)它調(diào)整光的透射比來(lái)顯示圖像。
在這種顯示器的制造中，利用各種生產(chǎn)用溶液(processsolutions)對(duì)多個(gè)導(dǎo)電層和絕緣層進(jìn)行顯像、蝕刻、和/或清洗。
特別是為了提高生產(chǎn)率，面板大小也大型化，集成度也增加了，這時(shí)就不好控制蝕刻均勻性，增大了產(chǎn)生均勻性不良和斑痕的可能性。即，在相同條件下，生產(chǎn)用溶液的溫度高，則蝕刻進(jìn)行得就快，而生產(chǎn)用溶液的溫度低，則蝕刻進(jìn)行得就慢。因此，大型面板由中心部和邊緣部的溫度差，可能產(chǎn)生中心部和邊緣部的蝕刻率之差。
為了防止這種蝕刻均勻性不良，優(yōu)選地，要保持一定的、向基片噴射的生產(chǎn)用溶液設(shè)定溫度。為了保持生產(chǎn)用溶液的設(shè)定溫度，調(diào)整了生產(chǎn)用溶液供給裝置之一的生產(chǎn)用溶液循環(huán)裝置的溫度。
然而，在這種情況下，很難正確調(diào)整向與生產(chǎn)用溶液循環(huán)裝置分離的生產(chǎn)裝置內(nèi)的基片噴射的生產(chǎn)用溶液溫度，從而很難提高基片各部位的蝕刻均勻性。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供了一種方便的生產(chǎn)用溶液供給系統(tǒng)及方法以使穿過(guò)基片的蝕刻速率恒定。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，提供了一種生產(chǎn)用溶液供給系統(tǒng)，該生產(chǎn)用溶液供給系統(tǒng)包括生產(chǎn)用溶液供給裝置，用于在第一溫度下提供生產(chǎn)用溶液，其中該生產(chǎn)用溶液供給裝置包括第一溫度控制器；處理裝置，包括用于向基片噴射生產(chǎn)用溶液的多個(gè)噴頭；以及通道，可操作地將生產(chǎn)用溶液供給裝置與多個(gè)噴頭，其中通道包括多個(gè)通路及第二溫度調(diào)整器，以便從多個(gè)噴頭噴射的生產(chǎn)用溶液具有基本等于來(lái)自生產(chǎn)用溶液供給裝置的生產(chǎn)用溶液的第一溫度的溫度。
根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例，提供了一種生產(chǎn)用溶液供給系統(tǒng)，該生產(chǎn)用溶液供給系統(tǒng)包括生產(chǎn)用溶液供給裝置，用于在第一溫度下提供生產(chǎn)用溶液，其中該生產(chǎn)用溶液供給裝置包括第一溫度控制器；處理裝置，包括用于向基片噴射生產(chǎn)用溶液的多個(gè)噴頭；以及通道，可操作地將生產(chǎn)用溶液供給裝置與多個(gè)噴頭，其中通道包括第二溫度調(diào)整器及與多個(gè)噴頭管平行排列的主供給管，將主供給管通過(guò)與多個(gè)噴頭管垂直設(shè)置的多個(gè)連接管與多個(gè)噴頭管連接，以便從多個(gè)噴頭噴射的生產(chǎn)用溶液具有基本等于來(lái)自生產(chǎn)用溶液供給裝置的生產(chǎn)用溶液的第一溫度的溫度。
根據(jù)本發(fā)明的再一個(gè)實(shí)施例，提供了一種用于供給生產(chǎn)用溶液的方法，包括以下步驟提供生產(chǎn)用溶液源，控制溫度以在第一溫度供給生產(chǎn)用溶液；提供多個(gè)噴頭，用于將來(lái)自生產(chǎn)用溶液源的生產(chǎn)用溶液噴射到基片上；以及通過(guò)控制溫度的通道將生產(chǎn)用溶液從生產(chǎn)用溶液源輸送到多個(gè)噴頭，以便從多個(gè)噴頭噴射的生產(chǎn)用溶液具有基本等于來(lái)自生產(chǎn)用溶液源的生產(chǎn)用溶液的第一溫度的溫度。
本發(fā)明的這些及其它特征及優(yōu)點(diǎn)將通過(guò)結(jié)合附圖將具體實(shí)施例進(jìn)行以下描述而變得顯而易見(jiàn)。


圖1是根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的生產(chǎn)用溶液供給系統(tǒng)示意圖；圖2是根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的生產(chǎn)用溶液供給管平面圖，示出了設(shè)置兩個(gè)輔助連接管的情形；以及圖3是根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的生產(chǎn)用溶液供給管平面圖，示出了設(shè)置三個(gè)輔助連接管的情形。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明的目的是提供一種對(duì)大型面板噴射的生產(chǎn)用溶液溫度進(jìn)行一定控制的生產(chǎn)用溶液供給系統(tǒng)，有利于使蝕刻保持一致性和有效性。
為了使本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠?qū)嵤┍景l(fā)明，現(xiàn)參照附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施例，但是本發(fā)明可表現(xiàn)為不同形式，它不局限于在此說(shuō)明的實(shí)施例。
下面對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例，參照附圖進(jìn)行詳細(xì)的說(shuō)明。
首先，參照?qǐng)D1及圖2對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的生產(chǎn)用溶液供給系統(tǒng)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
圖1是根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的生產(chǎn)用溶液供給系統(tǒng)示意圖。圖2是根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的平面圖，示出了設(shè)置有兩個(gè)輔助連接管的情形。圖3是根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的平面圖，示出了設(shè)置有三個(gè)輔助連接管的情形。
參照?qǐng)D1及圖2，根據(jù)本發(fā)明的生產(chǎn)用溶液供給系統(tǒng)包括生產(chǎn)用溶液1、特別提供蝕刻液的生產(chǎn)用溶液供給裝置20、作為從生產(chǎn)用溶液供給裝置20提供的生產(chǎn)用溶液流經(jīng)通道的生產(chǎn)用溶液供給管30。生產(chǎn)用溶液供給管30的端部設(shè)置有多個(gè)噴頭80，通過(guò)這些噴頭80向位于噴頭80下部的基片10噴射生產(chǎn)用溶液。
優(yōu)選地，生產(chǎn)用溶液供給裝置20，為了重新使用噴射生產(chǎn)用溶液而設(shè)置有循環(huán)線(未示出)的生產(chǎn)用溶液循環(huán)裝置結(jié)構(gòu)。為了調(diào)整生產(chǎn)用溶液供給裝置20內(nèi)的生產(chǎn)用溶液1的溫度，在生產(chǎn)用溶液供給裝置20上設(shè)置有第一溫度調(diào)節(jié)器40。第一溫度調(diào)節(jié)器40包括測(cè)定生產(chǎn)用溶液供給裝置20內(nèi)生產(chǎn)用溶液溫度的溫度計(jì)41、調(diào)整生產(chǎn)用溶液供給裝置20內(nèi)生產(chǎn)用溶液1溫度的加熱器42。利用加熱器42并用比例-積分-導(dǎo)數(shù)(PID)控制技術(shù)對(duì)通過(guò)溫度計(jì)41測(cè)定的生產(chǎn)用溶液供給裝置20內(nèi)的生產(chǎn)用溶液1的溫度進(jìn)行調(diào)整，以使其達(dá)到設(shè)定溫度。
這種生產(chǎn)用溶液供給裝置20內(nèi)的生產(chǎn)用溶液1，通過(guò)生產(chǎn)用溶液供給管30噴射到生產(chǎn)裝置100內(nèi)的基片10上。
如圖2所示，生產(chǎn)用溶液供給管30位于生產(chǎn)裝置100內(nèi)，包括設(shè)置有多個(gè)噴頭80的多個(gè)噴頭棒31、連接多個(gè)噴頭棒31和生產(chǎn)用溶液供給裝置20的兩個(gè)輔助連接棒32。
多個(gè)噴頭棒31與基片10分開(kāi)規(guī)定距離設(shè)置，各噴頭棒31可以左右旋轉(zhuǎn)30-45度，并通過(guò)噴頭80向基片10噴射生產(chǎn)用溶液。
多個(gè)噴頭棒31兩端設(shè)置有相互連接多個(gè)噴頭棒31的兩個(gè)輔助連接棒32。
圖2中示出了與多個(gè)噴頭棒31平行設(shè)置的一個(gè)主連接棒33和兩個(gè)輔助連接棒32。
通過(guò)主連接棒33的、由生產(chǎn)用溶液供給裝置20提供的生產(chǎn)用溶液，通過(guò)輔助連接棒32提供到多個(gè)噴頭棒31上。
設(shè)置兩個(gè)流有生產(chǎn)用溶液的輔助連接棒31，以此可以減少在生產(chǎn)用溶液供給裝置20中已達(dá)到設(shè)定溫度的生產(chǎn)用溶液熱量消耗。即，減少了從主連接棒33向多個(gè)噴頭棒31流出的生產(chǎn)用溶液移動(dòng)距離及移動(dòng)時(shí)間，最大限度地減少了生產(chǎn)用溶液的熱量消耗。因此，可以防止制造大型面板時(shí)由中心部和邊緣部的溫度差引起的中心部和邊緣部的蝕刻率差的出現(xiàn)。
這種輔助連接棒32，如圖3所示，也可以是三個(gè)，也可以是三個(gè)以上。
此外，調(diào)整流經(jīng)生產(chǎn)用溶液供給管30的生產(chǎn)用溶液溫度的第二溫度調(diào)節(jié)器50設(shè)置在主連接棒33周圍。優(yōu)選地，第二溫度調(diào)節(jié)器50設(shè)置在生產(chǎn)用溶液流經(jīng)的主連接棒33周圍的多個(gè)流體供給管51、52。這種流體供給管51、52也可以設(shè)置在輔助連接棒32的周圍，也可以設(shè)置在噴頭棒31的周圍。
這種多個(gè)流體供給管51、52與主連接棒33相接觸，優(yōu)選地，提供冷水或溫水或者冷氣或溫氣。而且，為了加熱主連接棒33，可以利用熱線圈，而為了冷卻主連接棒33，則可以利用空氣。
利用這種流體供給管51、52調(diào)整流經(jīng)主連接棒33的生產(chǎn)用溶液溫度，使在第一溫度調(diào)節(jié)器40中設(shè)定好的生產(chǎn)用溶液設(shè)定溫度，在生產(chǎn)裝置100內(nèi)噴射的生產(chǎn)用溶液中照樣保持。
另外，生產(chǎn)用溶液供給管30中設(shè)置有熱傳感器58，反饋傳感的溫度，并對(duì)第二溫度調(diào)節(jié)器40的條件進(jìn)行修正。即，利用流經(jīng)多個(gè)流體供給管51、52的冷水或溫水，用比例-積分-導(dǎo)數(shù)(PID)控制技術(shù)進(jìn)行調(diào)整，使其達(dá)到生產(chǎn)用溶液的設(shè)定溫度。
因此，對(duì)溫度按設(shè)定溫度進(jìn)行微調(diào)，可以較自由地進(jìn)行均勻的蝕刻，防止產(chǎn)生蝕刻均勻性不良。
將傳統(tǒng)生產(chǎn)用溶液的溫度設(shè)為40度時(shí)，大約產(chǎn)生1.5-2度的溫度偏差，但根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，只產(chǎn)生約0.3-0.5度的溫度偏差，可以縮小溫度變化幅度。
優(yōu)選地，位于生產(chǎn)裝置外部的生產(chǎn)用溶液供給管30上設(shè)置抽吸流經(jīng)生產(chǎn)用溶液供給管30生產(chǎn)用溶液的泵60和除去雜質(zhì)的過(guò)濾器70。
根據(jù)本發(fā)明的生產(chǎn)用溶液供給系統(tǒng)設(shè)置了調(diào)整流經(jīng)生產(chǎn)用溶液供給管的生產(chǎn)用溶液溫度的第二溫度調(diào)節(jié)器，使生產(chǎn)用溶液供給裝置內(nèi)生產(chǎn)用溶液溫度和通過(guò)生產(chǎn)用溶液供給管向基片噴射的生產(chǎn)用溶液溫度保持一致，可以提高大型面板的蝕刻均勻性。
以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種生產(chǎn)用溶液供給系統(tǒng)，包括生產(chǎn)用溶液供給裝置，用于在第一溫度下提供生產(chǎn)用溶液，其中所述生產(chǎn)用溶液供給裝置包括第一溫度控制器；處理裝置，包括用于向基片噴射所述生產(chǎn)用溶液的多個(gè)噴頭；以及通道，可操作地將所述生產(chǎn)用溶液供給裝置與多個(gè)噴頭，其中所述通道包括多個(gè)通路及第二溫度調(diào)整器，以便從所述多個(gè)噴頭噴射的所述生產(chǎn)用溶液具有基本等于來(lái)自所述生產(chǎn)用溶液供給裝置的所述生產(chǎn)用溶液的所述第一溫度的溫度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述生產(chǎn)用溶液供給管包括蝕刻溶液。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述第一溫度控制器包括與溫度計(jì)連通的加熱器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述基片包括要進(jìn)行蝕刻的面板。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述通道包括管道裝置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述通道包括與多個(gè)噴頭管平行設(shè)置的主供給管。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其中將所述主供給管與多個(gè)連接管可操作地連接，所述連接管與所述多個(gè)噴頭管可操作地連接在一起。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，其中將所述主供給管與所述生產(chǎn)用溶液供給裝置可操作地連接，并且進(jìn)一步地，其中所述多個(gè)噴頭管包括所述多個(gè)噴頭。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述第二溫度控制器包括填充有流體且可操作地接觸所述通道的至少兩個(gè)管以控制溫度偏差。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其中所述第二溫度控制器包括與所述通道可操作地連接的熱傳感器以提供關(guān)于從所述多個(gè)噴頭噴射出的所述生產(chǎn)用溶液的溫度信息。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，進(jìn)一步包括與所述通道可操作地連接的泵，用于通過(guò)所述通道抽吸所述生產(chǎn)用溶液。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，進(jìn)一步包括與所述通道可操作地連接的過(guò)濾器，用于通過(guò)所述多個(gè)噴頭被噴射之前從所述生產(chǎn)用溶液中過(guò)濾出雜質(zhì)。
13.一種生產(chǎn)用溶液供給系統(tǒng)，包括生產(chǎn)用溶液供給裝置，用于在第一溫度下提供生產(chǎn)用溶液，其中所述生產(chǎn)用溶液供給裝置包括第一溫度控制器；處理裝置，包括用于向基片噴射所述生產(chǎn)用溶液的多個(gè)噴頭；以及通道，可操作地將所述生產(chǎn)用溶液供給裝置與多個(gè)噴頭，其中所述通道包括第二溫度調(diào)整器及與多個(gè)噴頭管平行排列的主供給管，將所述主供給管通過(guò)與所述多個(gè)噴頭管垂直設(shè)置的多個(gè)連接管與多個(gè)所述噴頭管連接，以便從所述多個(gè)噴頭噴射的所述生產(chǎn)用溶液具有基本等于來(lái)自所述生產(chǎn)用溶液供給裝置的所述生產(chǎn)用溶液的所述第一溫度的溫度。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的系統(tǒng)，其中所述主供給管與所述生產(chǎn)用溶液供給裝置可操作地連接，并且進(jìn)一步地，其中所述多個(gè)噴頭管包括所述多個(gè)噴頭。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的系統(tǒng)，其中所述第二溫度控制器包括填充有流體且可操作地接觸所述通道的至少兩個(gè)管以控制溫度偏差。
16.一種用于供給生產(chǎn)用溶液的方法，包括以下步驟提供生產(chǎn)用溶液源，控制溫度以在第一溫度供給所述生產(chǎn)用溶液；提供多個(gè)噴頭，用于將來(lái)自所述生產(chǎn)用溶液源的所述生產(chǎn)用溶液噴射到基片上；以及通過(guò)控制溫度的通道將所述生產(chǎn)用溶液從所述生產(chǎn)用溶液源輸送到所述多個(gè)噴頭，以便從所述多個(gè)噴頭噴射的所述生產(chǎn)用溶液具有基本等于來(lái)自所述生產(chǎn)用溶液源的所述生產(chǎn)用溶液的所述第一溫度的溫度。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的系統(tǒng)，其中所述生產(chǎn)用溶液源利用溫度計(jì)和加熱器控制溫度。
18.根據(jù)權(quán)利要求16所述的系統(tǒng)，其中所述通道包括與多個(gè)噴頭管平行設(shè)置的主供給管。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的系統(tǒng)，其中將所述主供給管與多個(gè)連接管可操作地連接，所述連接管與所述多個(gè)噴頭管可操作地連接在一起。
20.根據(jù)權(quán)利要求16所述的系統(tǒng)，其中所述通道利用填充有流體的多個(gè)連接管控制溫度。
21.根據(jù)權(quán)利要求16所述的系統(tǒng)，其中所述通道利用管道裝置控制溫度。
22.根據(jù)權(quán)利要求16所述的系統(tǒng)，其中所述通道利用熱傳感器控制溫度。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種生產(chǎn)用溶液供給系統(tǒng)以及用于方便地供給生產(chǎn)用溶液的方法。生產(chǎn)用溶液供給裝置在可控的溫度下將生產(chǎn)用溶液提供給用于通過(guò)多個(gè)噴頭將生產(chǎn)用溶液噴射到基片上的處理裝置。將生產(chǎn)用溶液通過(guò)通道輸送到噴頭，在一個(gè)實(shí)施例中，其可包括管道裝置。通道可方便地利用連接管、熱傳感器、及管道裝置控制溫度，以便從多個(gè)噴頭噴射的生產(chǎn)用溶液的溫度基本等于最初從生產(chǎn)用溶液供給裝置供給的生產(chǎn)用溶液的溫度。
文檔編號(hào)H01L21/00GK1597134SQ20041007804
公開(kāi)日2005年3月23日 申請(qǐng)日期2004年9月20日 優(yōu)先權(quán)日2003年9月18日
發(fā)明者趙弘濟(jì), 金珍洙, 姜聖哲 申請(qǐng)人:三星電子株式會(huì)社