專利名稱：潔凈容器內(nèi)固持組件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種潔凈容器內(nèi)固持組件，尤其涉及一種適用于可將潔凈容器內(nèi)的數(shù)個水平放置的工件整齊排列并固定位置以防止其滑動的固持組件。
背景技術(shù)：
目前半導(dǎo)體廠所生產(chǎn)的晶圓片往往是容納并水平排列于一卡匣(cassette)內(nèi)，此卡匣具有多個支撐凸緣而可用以插置多個晶圓片，且具有晶圓片的卡匣可再組設(shè)于一晶圓盒的底座上，之后再通過晶圓盒的盒蓋加以罩蓋以保護各個晶圓片不會受到污染。
然而，傳統(tǒng)的具有晶圓片的卡匣都僅僅置于晶圓盒內(nèi)，而由于晶圓盒盒內(nèi)具有比卡匣較大的空間，因此，卡匣上所插置的晶圓片有可能于晶圓盒的搬動過程中而產(chǎn)生滑移。為改善上述缺點，目前在晶圓盒盒內(nèi)皆會組設(shè)有一固定機構(gòu)，此固定機構(gòu)在晶圓盒的盒蓋罩蓋于卡匣上時，可先通過一滑塊頂住晶圓盒的底座，之后通過底座的頂推而相對帶動一固持件向前移動，并這樣固定卡匣上的晶圓片，但此種傳統(tǒng)方法所使用的連桿機構(gòu)往往在晶圓盒的底座產(chǎn)生摩擦，也即在頂推過程中，滑塊會與晶圓盒的底座產(chǎn)生摩擦并進而產(chǎn)生微粒，對于晶圓盒盒內(nèi)的晶圓片反倒造成不利的影響。
除上述放置于晶圓盒內(nèi)的晶圓片外，其它如容納有光罩、玻璃基板(substrate)等工件的潔凈容器也會產(chǎn)生相同問題。

發(fā)明內(nèi)容
本實用新型的主要目的是提供一種潔凈容器內(nèi)固持組件，能定位潔凈容器內(nèi)的工件，且通過連桿機構(gòu)的運動設(shè)計以避免在動作過程中產(chǎn)生摩擦及微粒的問題，進而保護潔凈容器內(nèi)的工件不會受到污染。
為達(dá)到上述目的，本實用新型提供了一種潔凈容器內(nèi)固持組件，組設(shè)于一潔凈容器內(nèi)，且此潔凈容器由一上罩蓋蓋設(shè)于一底座上所組成，在底座上方還固設(shè)有一卡匣，在卡匣上則橫向插置有數(shù)個工件。
此外，本實用新型的潔凈容器內(nèi)固持組件包括一固定件、一垂直滑塊、一固持件、及一連桿。其中，固定件固設(shè)于上述潔凈容器上罩蓋的內(nèi)壁上，且此固定件包括有一垂直滑槽及一第一水平樞孔，而垂直滑塊滑設(shè)于垂直滑槽內(nèi)，且于垂直滑塊的上部位置橫向延設(shè)有一水平滑槽。
另外，固持件設(shè)置于上述固定件與卡匣之間，且固持件的前表面有一止推面，此止推面可對應(yīng)于卡匣上的工件，固持件還包括對應(yīng)滑設(shè)于垂直滑塊的水平滑槽的一向后延伸水平滑座、及一第二水平樞孔。而上述連桿則分別在其二端形成有一第一樞軸及一第二樞軸，其中的第一樞軸對應(yīng)樞設(shè)于固定件的第一水平樞孔、且第二樞軸對應(yīng)樞設(shè)于固持件的第二水平樞孔。
因此，當(dāng)潔凈容器的上罩蓋由上往下罩合于底座時，上述的垂直滑塊的底端可先頂住底座，繼而垂直滑塊可相對于固定件的垂直滑槽向上滑移，促使上述連桿以第一樞軸為轉(zhuǎn)軸向上旋轉(zhuǎn)，并使固持件的水平滑座沿著垂直滑塊的水平滑槽橫向滑移，進而推動固持件也橫向滑移并以其止推面對應(yīng)頂推在卡匣內(nèi)的工件，以使工件可通過固持件而定位于卡匣上。
另外，由于本實用新型的垂直滑塊的底端頂住底座時，其兩者之間并不會產(chǎn)生相對滑移，而是保持固定接觸于一點，因此其兩者之間并不會產(chǎn)生摩擦以及微粒，可有效保護潔凈容器內(nèi)的工件不會受到污染。


圖1為本實用新型實際應(yīng)用的示意圖。
圖2為本實用新型的立體分解圖。
圖3為本實用新型動作示意圖之一。
圖4為本實用新型動作示意圖之二。
圖5為本實用新型另一較佳實施例的立體分解圖。
其中，附圖標(biāo)記說明如下1-晶圓盒；2-固定件；3-垂直滑塊；4-固持件；5-連桿；6-螺絲；7-固持件；11-上罩蓋；12-底座；13-晶圓片；21-垂直滑槽；22-第一水平樞孔；23-鎖固孔；
31-水平滑槽；32-底端；33-擋止塊；34-擋止凸起；41-水平滑座；42-第二水平樞孔；43-止推面；51-第一樞軸；52-第二樞軸；71-水平滑座；72-第二水平樞孔；111-內(nèi)壁；121-卡匣；211-擋止端；212-擋止凸緣；具體實施方式
首先，請參閱圖1本實用新型實際應(yīng)用的示意圖，其中顯示有一晶圓盒1(潔凈容器)，此晶圓盒1為一上罩蓋11蓋設(shè)于一底座12上所組成，且于底座12上方固設(shè)有一卡匣121并橫向插置有數(shù)個晶圓片13(工件)。
請同時參閱圖1、及圖2本實用新型的立體分解圖，其中顯示本實用新型的潔凈容器內(nèi)固持組件主要包括有一固定件2、一垂直滑塊3、一固持件4、及一連桿5。其中，固定件2固設(shè)于晶圓盒1上罩蓋11的內(nèi)壁111上，在本實施例中，固定件2的上部兩端分別形成有一鎖固孔23，且鎖固孔23分別通過一螺絲6而將固定件2鎖固于晶圓盒1上罩蓋11的內(nèi)壁111上。此外，固定件2還包括有一垂直滑槽21、及一第一水平樞孔22，且在垂直滑槽21的側(cè)緣處形成有一擋止端211、在垂直滑槽21內(nèi)形成有一擋止凸緣212。
另外，圖中的垂直滑塊3滑設(shè)于上述固定件2的垂直滑槽21內(nèi)，且于垂直滑塊3的上部位置橫向延設(shè)有一水平滑槽31、在垂直滑塊3的上部側(cè)邊形成有一擋止塊33、在垂直滑塊3的下部側(cè)邊形成有一擋止凸起34，上述的擋止塊33可對應(yīng)擋止于固定件2垂直滑槽21的擋止端211而使得垂直滑塊3不會向下掉落，而擋止凸起34則可對應(yīng)擋止于垂直滑槽21的擋止凸緣212，當(dāng)垂直滑塊3在垂直滑槽21內(nèi)滑移時，可形成一限位作用。
另外，固持件4設(shè)置于上述固定件2與卡匣121之間，且固持件4呈U字型并在其兩側(cè)前表面分別形成一止推面43，此止推面43對應(yīng)于卡匣121上的晶圓片13，同時固持件4還包括一向后延伸的水平滑座41對應(yīng)滑設(shè)于垂直滑塊3的水平滑槽31、及一第二水平樞孔42，在本實施例中，第二水平樞孔42與水平滑座41彼此間隔有一預(yù)定距離。
圖中的連桿5的二端分別形成有一第一樞軸51、及一第二樞軸52，且第一樞軸51對應(yīng)樞設(shè)于固定件2的第一水平樞孔22、第二樞軸52對應(yīng)樞設(shè)于固持件4的第二水平樞孔42。
請參閱圖3本實用新型動作示意圖之一，當(dāng)晶圓盒1的上罩蓋11由上往下罩合于底座12時，上述的垂直滑塊3的底端32可先頂住底座12，請同時參閱圖2及圖4，圖4為本實用新型動作示意圖之二，繼而垂直滑塊3可相對于固定件2的垂直滑槽21向上滑移，且垂直滑塊3通過其擋止凸起34可對應(yīng)擋止于固定件2的擋止凸緣212而形成一限位作用，之后，垂直滑塊3的滑移可促使連桿5以第一樞軸51為轉(zhuǎn)軸向上旋轉(zhuǎn)，并使固持件4的水平滑座41沿著垂直滑塊3的水平滑槽31橫向滑移，進而推動固持件4也橫向滑移并以其止推面43對應(yīng)頂推于卡匣121內(nèi)的晶圓片13，以使將晶圓片13定位于卡匣121上。
另外，由上述可知，當(dāng)垂直滑塊3的底端32與晶圓盒1的底座12接觸時，其兩者之間并不會產(chǎn)生相對滑移，而是保持固定接觸于一點，并通過垂直滑塊3的水平滑槽31與固持件4的水平滑座41、及連桿5等結(jié)構(gòu)所形成的連桿機構(gòu)而達(dá)到晶圓片13定位于卡匣121上的目的，因此，垂直滑塊3與底座12之間并不會產(chǎn)生摩擦以及微粒，可有效保護晶圓盒1盒內(nèi)的晶圓片13不會受到污染。
圖5為本實用新型另一較佳實施例的立體分解圖，第二水平樞孔形成于水平滑座上。其主要結(jié)構(gòu)皆與上述實施例相同，僅僅差別在于固持件7的水平滑座71與第二水平樞孔72形成于同一高度位置上，而不同于上述實施例將兩者間隔一預(yù)定距離，然而，將水平滑座71與第二水平樞孔72形成于同一高度位置上的設(shè)計方式并不影響本實用新型所具有的功能，其同樣可達(dá)到上述實施例所述的各種功效。
上述各實施例雖以晶圓盒為例說明，但并不以此為限，其它例如使用于光罩、玻璃基板等工件的潔凈容器也可裝設(shè)有本實用新型的固持組件，且同樣可達(dá)到上述各實施例所述的各種功效。
上述實施例僅為了方便說明而舉例而已，本實用新型的權(quán)利范圍應(yīng)以權(quán)利要求書所述為準(zhǔn)，而非僅限于上述實施例。
權(quán)利要求1.一種潔凈容器內(nèi)固持組件，組設(shè)于一潔凈容器內(nèi)，其特征是該潔凈容器由一上罩蓋蓋設(shè)于一底座上所組成，該底座上方固設(shè)有一卡匣并橫向插置有數(shù)個工件；其中，該潔凈容器內(nèi)固持組件包括一固定件，固設(shè)于該上罩蓋的內(nèi)壁上，且該固定件包括有一垂直滑槽、及一第一水平樞孔；一垂直滑塊，滑設(shè)于該垂直滑槽內(nèi)并可頂住該底座，且該垂直滑塊上橫向延設(shè)有一水平滑槽；一固持件，設(shè)置于該固定件與該卡匣之間，該固持件的前表面形成有一止推面并對應(yīng)于所述工件，該固持件還包括有一向后延伸的水平滑座并對應(yīng)滑設(shè)于該水平滑槽、及一第二水平樞孔；以及一連桿，分別于其二端形成有一第一樞軸、及一第二樞軸，該第一樞軸為對應(yīng)樞設(shè)于該第一水平樞孔，且該第二樞軸對應(yīng)樞設(shè)于該第二水平樞孔，該連桿可以第一樞軸為轉(zhuǎn)軸向上旋轉(zhuǎn)。
2.如權(quán)利要求1所述的潔凈容器內(nèi)固持組件，其特征是該固定件的上部兩端分別形成有一鎖固孔，且所述鎖固孔分別由一螺絲通過將該固定件鎖固于該上罩蓋的內(nèi)壁上。
3.如權(quán)利要求1所述的潔凈容器內(nèi)固持組件，其特征是該固持件呈U字型且于兩側(cè)分別形成該止推面。
4.如權(quán)利要求1所述的潔凈容器內(nèi)固持組件，其特征是該第二水平樞孔形成于該水平滑座上。
5.如權(quán)利要求1所述的潔凈容器內(nèi)固持組件，其特征是該固定件的垂直滑槽的側(cè)緣形成有一擋止端，且該垂直滑塊的上部側(cè)邊形成有一對應(yīng)擋止于該擋止端的擋止塊。
6.如權(quán)利要求1所述的潔凈容器內(nèi)固持組件，其特征是該固定件的垂直滑槽內(nèi)形成有一擋止凸緣，且該垂直滑塊的下部側(cè)邊形成有一對應(yīng)擋止于該擋止凸緣的擋止凸起。
7.如權(quán)利要求6所述的潔凈容器內(nèi)固持組件，其特征是該垂直滑塊在該垂直滑槽內(nèi)滑移，該擋止凸起擋止于該擋止凸緣。
8.如權(quán)利要求1所述的潔凈容器內(nèi)固持組件，其特征是該固持件的第二水平樞孔與該水平滑座彼此間隔有一預(yù)定距離。
9.如權(quán)利要求1所述的潔凈容器內(nèi)固持組件，其特征是該固持件的第二水平樞孔與該水平滑座形成于同一高度位置上。
10.如權(quán)利要求1所述的潔凈容器內(nèi)固持組件，其特征是該固定件以螺絲鎖固于該潔凈容器上罩蓋的內(nèi)壁上。
專利摘要本實用新型涉及一種潔凈容器內(nèi)固持組件，在潔凈容器內(nèi)組設(shè)有一連桿機構(gòu)，當(dāng)潔凈容器的上罩蓋罩合于底座時，連桿機構(gòu)的垂直滑塊底端可先頂住底座，并在一固定件的垂直滑槽內(nèi)向上滑移，促使一連桿向上旋轉(zhuǎn)并使一固持件的水平滑座沿垂直滑塊的水平滑槽橫向滑移，進而推動固持件也橫向滑移并以其止推面對應(yīng)頂住卡匣(cassette)內(nèi)的數(shù)個工件，以使工件可通過固持件而定位于卡匣內(nèi)。由于垂直滑塊與底座之間并不會相對滑移，而是保持固定接觸于一點，因此不會產(chǎn)生摩擦及微粒，可有效保護潔凈容器內(nèi)的工件不會受到污染。
文檔編號H01L21/68GK2651937SQ200320103889
公開日2004年10月27日 申請日期2003年11月11日 優(yōu)先權(quán)日2003年11月11日
發(fā)明者白維銘, 陳達(dá)仁, 李志中, 吳宗明, 林慧芝 申請人:財團法人工業(yè)技術(shù)研究院