專利名稱：半導(dǎo)體激光器裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體激光器裝置，它包括一個(gè)半導(dǎo)體激光器元件或多個(gè)并列裝配的具有多個(gè)出光面的單個(gè)激光器，由出光面中可以發(fā)出激光射線，該激光射線在一個(gè)第一方向具有比在與其垂直的第二方向更大的發(fā)散度，該裝置還包括至少一個(gè)與出光面間隔地設(shè)置在半導(dǎo)體激光器元件或單個(gè)激光器外部的具有至少一個(gè)反射面的反射裝置，該反射面可以將至少一部分由半導(dǎo)體激光器元件或單個(gè)激光器通過出光面發(fā)出的激光這樣反射回半導(dǎo)體激光器或單個(gè)激光器中，使得由此影響到半導(dǎo)體激光器或單個(gè)激光器的波模光譜(Modenspectrum)。
由I.Nelson，B.Chann，T.G.Walker，Opt.Lett.25，1352(2000)已知一種上述形式的半導(dǎo)體激光器裝置。在其中所述的半導(dǎo)體激光器裝置中使用一個(gè)外部諧振器，它使用一個(gè)光柵作為反射裝置。此外一個(gè)快軸準(zhǔn)直鏡(Fast-Axis-Kollimationslinse)位于直接連接在半導(dǎo)體激光器元件上的外部諧振器中。在快軸準(zhǔn)直鏡與光柵之間設(shè)置兩個(gè)作為望遠(yuǎn)鏡的透鏡。已經(jīng)證實(shí)在這種半導(dǎo)體激光器裝置中有缺陷的是，一方面由于多個(gè)光元件在外部諧振器內(nèi)產(chǎn)生相對(duì)較高的損耗，由此降低了半導(dǎo)體激光器裝置的輸出功率。另一方面，通過由現(xiàn)有技術(shù)已知的半導(dǎo)體激光器裝置只能接收半導(dǎo)體激光器元件的縱向波模或者說影響半導(dǎo)體激光器元件的各發(fā)射器。通過由現(xiàn)有技術(shù)已知的結(jié)構(gòu)不能夠影響所述半導(dǎo)體激光器裝置的橫向波模光譜。由于這個(gè)原因這種由現(xiàn)有技術(shù)已知的半導(dǎo)體激光器裝置的每個(gè)發(fā)射器具有多個(gè)不同的橫向波模，它們都對(duì)由半導(dǎo)體激光器裝置發(fā)出的激光做出貢獻(xiàn)。由于這個(gè)事實(shí)由按照現(xiàn)有技術(shù)的半導(dǎo)體激光器裝置發(fā)出的激光難以聚焦。
按照現(xiàn)有技術(shù)還嘗試通過對(duì)半導(dǎo)體激光器元件的有效區(qū)進(jìn)行構(gòu)造從而影響半導(dǎo)體激光器元件的波模光譜。這種構(gòu)造可以包括例如在不同的方向上改變折射率，由此通過在不同方向上變化的折射率優(yōu)先傳播各優(yōu)選的橫向激光波模。此外例如可以通過不同的摻雜率來影響用于進(jìn)行再次結(jié)合的電極空穴對(duì)數(shù)量的方法，由此在有效區(qū)的不同位置實(shí)現(xiàn)不同強(qiáng)度的激光。上述兩種優(yōu)選各橫向波模的方法需要可觀的加工費(fèi)用并且同樣不能得到真正令人滿意的半導(dǎo)體激光器裝置射線質(zhì)量以及輸出功率。
因此本發(fā)明要解決的問題是實(shí)現(xiàn)一個(gè)上述形式的半導(dǎo)體激光器裝置，它以改進(jìn)的射線質(zhì)量具有一個(gè)高的輸出功率。
按照本發(fā)明這個(gè)目的由此實(shí)現(xiàn)所述反射裝置的至少一個(gè)反射面凹下地彎曲。
通過這種方法與上述現(xiàn)有技術(shù)相比可以省去外部諧振器內(nèi)的附加透鏡，因?yàn)樗霭枷聫澢姆瓷涿婵梢酝瑫r(shí)作為成像元件。通過反射面的凹下曲率尤其可以省去半導(dǎo)體激光器元件的相當(dāng)費(fèi)事的構(gòu)造。
此外至少一個(gè)反射面可以使相應(yīng)的激光射線的部分射線這樣反射回各出光面，使這些出光面作為孔徑。通過這個(gè)措施可以通過最簡單的裝置影響半導(dǎo)體激光器元件的波模光譜。
與現(xiàn)有技術(shù)一樣，所述半導(dǎo)體激光器裝置可以包括一個(gè)設(shè)置在反射裝置與半導(dǎo)體激光器元件或單個(gè)元件之間的透鏡裝置，它至少可以在第一方向上至少部分地減小激光射線的發(fā)散度。因此這種透鏡裝置用來作為快軸準(zhǔn)直鏡按照本發(fā)明存在這種可能，使所述反射裝置具有一個(gè)反射面，在其上可以反射從不同的出光面發(fā)出的部分射線。作為替代，也可以選擇使所述反射裝置具有多個(gè)反射面，它們可以分別反射從各出光面發(fā)出的分射線。
按照本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例，所述半導(dǎo)體激光器裝置包括一個(gè)射線變換單元，它尤其實(shí)現(xiàn)為射線旋轉(zhuǎn)單元，并且最好可以分別單獨(dú)旋轉(zhuǎn)分射線，尤其是旋轉(zhuǎn)90°。通過一個(gè)這樣的射線變換單元可以使從半導(dǎo)體激光器裝置發(fā)出的激光射線這樣變換，使得它可以接著更易于聚焦。
按照本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例，所述射線變換單元設(shè)置在反射裝置與半導(dǎo)體激光器元件或單個(gè)激光器之間，尤其設(shè)置在反射裝置與透鏡裝置之間。通過所述射線變換單元在外部諧振器內(nèi)的這種布置可以提供更多的空間用于耦出。
此外所述半導(dǎo)體激光器裝置可以包括一個(gè)倍頻元件，它設(shè)置在反射裝置與半導(dǎo)體激光器元件或單個(gè)激光器之間，尤其設(shè)置在反射裝置與透鏡裝置之間。在此尤其是第二諧波可以至少部分地從半導(dǎo)體激光器裝置中耦出，并且用于影響波模光譜的基波波長至少部分地反射回半導(dǎo)體激光器元件或單個(gè)激光器中。
此外按照本發(fā)明存在這種可能，所述半導(dǎo)體激光器元件只在對(duì)應(yīng)于一個(gè)所期望的激光射線波模的空間延伸的局部區(qū)域內(nèi)施加電壓或者電流，用于產(chǎn)生電極空穴對(duì)。通過這個(gè)可以相對(duì)簡單實(shí)現(xiàn)的措施可以進(jìn)一步優(yōu)化所期望的激光射線波模。
本發(fā)明的其它特征和優(yōu)點(diǎn)借助于下面結(jié)合附圖對(duì)優(yōu)選實(shí)施例的描述給出。附圖中

圖1以示意俯視圖示出一個(gè)按照本發(fā)明的半導(dǎo)體激光器裝置的第一實(shí)施例；圖2以示意俯視圖示出一個(gè)按照本發(fā)明的半導(dǎo)體激光器裝置的第二實(shí)施例；圖3以示意俯視圖示出一個(gè)按照本發(fā)明的半導(dǎo)體激光器裝置的第三實(shí)施例；圖4以示意俯視圖示出一個(gè)按照本發(fā)明的半導(dǎo)體激光器裝置的第四實(shí)施例。
在圖1中所示的一個(gè)按照本發(fā)明的半導(dǎo)體激光器裝置的實(shí)施例包括一個(gè)半導(dǎo)體激光器元件1，它具有多個(gè)出光面2，3，4，5，從出光面可以發(fā)出激光射線。所述半導(dǎo)體激光器元件1由寬帶發(fā)射器陣列或由所謂的激光器二極管陣列構(gòu)成。在所示實(shí)施例中只示出四個(gè)用于光發(fā)射的相互獨(dú)立的出光面2，3，4，5。但是也可以具有更多的并列且相互間隔設(shè)置的出光面。
由每個(gè)出光面2，3，4，5發(fā)出的激光射線分別分裂成兩束分射線2a，2b；3a，3b；4a，4b；5a，5b，它們分別與出光面2，3，4，5的法線形成一個(gè)相互反向的相同角度。兩個(gè)分別相關(guān)的分射線2a，2b；3a，3b；4a，4b；5a，5b分別代表由對(duì)應(yīng)于相應(yīng)出光面2，3，4，5發(fā)射的半導(dǎo)體激光器元件1的局部區(qū)域發(fā)出的激光波模。
如同由圖1可以看到的那樣，一個(gè)按照本發(fā)明的半導(dǎo)體激光器裝置還在半導(dǎo)體激光器元件1的外部包括一個(gè)透鏡裝置6，它構(gòu)成快軸準(zhǔn)直鏡。該快速在所示的笛卡爾坐標(biāo)系中對(duì)應(yīng)于Y方向。該快軸在這種寬帶發(fā)射層中是垂直于各發(fā)射器相鄰設(shè)置的方向的方向。這種半導(dǎo)體激光器元件1在快軸中的發(fā)散度遠(yuǎn)大于在與其垂直的慢軸中的發(fā)散度，該慢軸在圖1中對(duì)應(yīng)于X方向。
在所述透鏡裝置6的后面，在與半導(dǎo)體激光器元件1適當(dāng)?shù)木嚯x處設(shè)置一個(gè)反射裝置7，它具有一個(gè)面對(duì)半導(dǎo)體激光器元件1的反射面8。從反射面8使分射線2a，3a，4a，5a反射回出光面2，3，4，5的方向。所述出光面2，3，4，5可以配有一個(gè)減反射的涂層，由此使反射回來的分射線2a，3a，4a，5a可以至少部分地這樣進(jìn)入半導(dǎo)體激光器元件1，使得由此影響半導(dǎo)體激光器元件1的波模光譜。尤其是可以根據(jù)反射裝置7相對(duì)于出光面2，3，4，5的取向、焦距和距離，在半導(dǎo)體激光器元件1中優(yōu)先傳播特定的波模。在一個(gè)按照本發(fā)明的半導(dǎo)體激光器裝置的在圖1中所示的實(shí)施例中，通常不使所有對(duì)應(yīng)于各出光面2，3，4，5的激光發(fā)射器在相同的波模上振蕩，因?yàn)樗龇稚渚€2a，3a，4a，5a從出光面2，3，4，5中發(fā)出的角度是不同的。
可以這樣選擇所述反射面8與出光面2，3，4，5的距離，使它基本對(duì)應(yīng)于反射面8的焦距。尤其是可以通過相應(yīng)選擇距離或焦距使射線腰(Strahltaille)在出光面2，3，4，5上基本對(duì)應(yīng)于其相應(yīng)的寬度。
按照?qǐng)D1從半導(dǎo)體激光器裝置的耦出可以通過分射線2b，3b，4b，5b實(shí)現(xiàn)。例如可以在圖1中在反射裝置7的下部接入另一局部反射的反射裝置，它用于耦出。附加地或者作為替代，也可以選擇在分射線2b，3b，4b，5b的射線光程中安置一個(gè)射線變換單元，它使耦出的分射線易于進(jìn)一步處理。
在圖2所示的一個(gè)按照本發(fā)明的半導(dǎo)體激光器裝置的實(shí)施例中，相同的部件具有相同的附圖標(biāo)記。在圖2中示出分射線2c，3c，4c，5c，它們對(duì)應(yīng)于半導(dǎo)體激光器元件1的各發(fā)射器的橫向波模，它基本平行于出光面2，3，4，5的法線，即基本在按照笛卡爾坐標(biāo)系中的Z方向從半導(dǎo)體激光器元件1中發(fā)出。在圖2中給出的反射裝置9不僅具有一個(gè)反射面，而且具有多個(gè)反射面10，11，12，13。因此對(duì)每個(gè)分射線2c，3c，4c，5c設(shè)置一個(gè)反射面10，11，12，13，由此在這個(gè)實(shí)施例中，每個(gè)對(duì)應(yīng)于出光面2，3，4，5的半導(dǎo)體激光器元件1的發(fā)射器可以以相同的橫向或縱向波模來工作。
為了優(yōu)選出一個(gè)唯一的縱向波模，在圖2中用虛線示出一個(gè)波長選擇元件14，它例如可以由標(biāo)準(zhǔn)具構(gòu)成。通過該波長選擇元件14能夠選擇特定的縱向波模、尤其是使所發(fā)出的激光射線具有一個(gè)小的光譜寬度的縱向波模。
從半導(dǎo)體激光器裝置中的耦出可以通過將反射裝置9設(shè)計(jì)為部分反射來實(shí)現(xiàn)，使得可以在正的Z方向上從反射裝置9中發(fā)出激光射線。作為替代，也可以選擇使所述半導(dǎo)體激光器元件背離由反射裝置9構(gòu)成的外部諧振器的一側(cè)可以局部地減反射或者非高反射，由此可以在圖2中的半導(dǎo)體激光器元件的左側(cè)上使激光射線在負(fù)的Z方向上發(fā)出。
按照另一可選方案，可以在圖2中的半導(dǎo)體激光器元件1的左側(cè)設(shè)置另一與反射裝置9相同的反射裝置，它可以使從半導(dǎo)體激光器元件1在負(fù)的Z方向上發(fā)出的激光射線反射回半導(dǎo)體激光器元件1中。在這種情況下外部諧振器由兩個(gè)反射裝置9構(gòu)成，其反射面相互面對(duì)。一個(gè)反射裝置9在此可以設(shè)計(jì)為部分反射，由此可以使激光射線部分地為了耦出而穿過這個(gè)反射裝置。
在圖2中在反射裝置的右側(cè)還用虛線示出一個(gè)射線變換單元15，它在激光在正的Z方向上從反射裝置9發(fā)出時(shí)可以變換射線。射線變換單元例如可以是一個(gè)射線旋轉(zhuǎn)單元，它可以將每個(gè)分射線2c，3c，4c，5c單獨(dú)旋轉(zhuǎn)例如90°。通過這種射線變換改進(jìn)了所發(fā)出的激光射線的聚焦性。按照本發(fā)明也可以在按照?qǐng)D1的實(shí)施例中使用這種射線變換單元。
按照?qǐng)D3的半導(dǎo)體激光器裝置與在圖2中所示的半導(dǎo)體激光器裝置的主要不同之處在于優(yōu)選出對(duì)應(yīng)于圖1以與法線成一個(gè)角度從出光面2，3，4，5發(fā)出的波模。在按照?qǐng)D3的半導(dǎo)體激光器裝置中設(shè)置的反射裝置16還具有多個(gè)反射面17，18，19，20。在以實(shí)線示出的反射裝置16的實(shí)施例中，這個(gè)反射裝置基本平行于X方向取向，由此使各分射線2a，3a，4a，5a在出光面2，3，4，5與反射面17，18，19，20之間的光程是相同的。作為替代，也可以設(shè)置一個(gè)反射裝置16’，它在圖3中用虛線示出，并可以與反射裝置16在同一位置安裝在半導(dǎo)體激光器裝置中。對(duì)于這種基本垂直于分射線2a，3a，4a，5a的傳播方向取向的反射裝置16’，所述分射線2a，3a，4a，5a在出光面2，3，4，5與反射裝置16’之間的光程是不同的。
在反射裝置16中，各反射面17，18，19，20相對(duì)于Z軸傾斜。而在反射裝置16’中不是這樣。但是在這個(gè)反射裝置中可以要求反射面的曲率半徑分別不同地構(gòu)成。
在圖3中同樣示出一個(gè)射線變換單元15，它設(shè)置在要被耦出的射線2b，3b，4b，5b中。穿過這個(gè)射線變換單元15的激光射線例如可以通過另一聚焦裝置聚焦到一個(gè)光纖的端部上。
按照本發(fā)明也可以在按照?qǐng)D1和圖3的實(shí)施例中設(shè)置一個(gè)波長選擇元件。這一點(diǎn)在按照?qǐng)D1的不同傾斜的分射線中可能需要一個(gè)彎曲的標(biāo)準(zhǔn)具，用于分別選擇相同的波長。
按照本發(fā)明，還可以在外部諧振器中，即在各反射裝置7，9，16，16’與半導(dǎo)體激光器元件1之間，尤其是在透鏡裝置6與反射裝置7，9，16，16’之間設(shè)置一個(gè)射線變換單元。這種布置帶來的優(yōu)點(diǎn)是，由此可以提供更多的用于耦出的空間。
一個(gè)例如由射線旋轉(zhuǎn)單元構(gòu)成的射線變換單元使各發(fā)射器的發(fā)射旋轉(zhuǎn)90°。在這樣旋轉(zhuǎn)后所述分射線2a，3a，4a，5a以相對(duì)于X-Z平面相同的角度向上延伸，而分射線2b，3b，4b，5b以相反方向的相同角度向下延伸。一個(gè)唯一的圓柱鏡面適用于慢軸準(zhǔn)直。如果要使用球形鏡面，在這種情況下對(duì)于慢軸準(zhǔn)直還需要一個(gè)鏡面陣列。
如果使用一個(gè)發(fā)射器陣列堆，則可以在一個(gè)具有射線旋轉(zhuǎn)單元的結(jié)構(gòu)中使用一個(gè)由圓柱鏡面構(gòu)成的單維陣列用于慢軸準(zhǔn)直。
按照本發(fā)明還可以在外部諧振器中安置一個(gè)倍頻元件，例如一個(gè)倍頻晶體。例如可以將這個(gè)元件安置在圖2中的透鏡裝置6與反射裝置9之間。在這種情況下所述反射面10，11，12，13對(duì)于基波波長是高反射的，而對(duì)于第二諧波的波長是透射的。在此所述透鏡裝置6可以這樣構(gòu)成，使得不阻礙基波波長穿過，而反射第二諧波，由此使第二諧波不耦回到半導(dǎo)體激光器元件1中。
按照本發(fā)明也可以使用一個(gè)發(fā)射器陣列堆作為半導(dǎo)體激光器元件1。在這種情況下可以使用例如一個(gè)球形鏡面或圓柱鏡面的兩維陣列或者圓柱鏡面的單維陣列。在此可以對(duì)應(yīng)于圖1的實(shí)施例確定所述距離和焦距。
代替一個(gè)由激光二極管陣列構(gòu)成的半導(dǎo)體激光器元件1，也可以使用多個(gè)獨(dú)立的并列裝配的單個(gè)激光器。它們可以作為單波模激光器工作并單獨(dú)控制。這種形式的多個(gè)單個(gè)激光器尤其適用于醫(yī)療技術(shù)領(lǐng)域。
由圖4可以看到一個(gè)半導(dǎo)體激光器元件21，它由激光二極管陣列構(gòu)成。該半導(dǎo)體激光器元件21具有多個(gè)出光面22，23，24，由這些出光面可以發(fā)出激光射線25，26，27。此外在按照?qǐng)D4的實(shí)施例中具有一個(gè)反射裝置28，它具有多個(gè)相鄰設(shè)置的反射面29，30，31，它們例如與圖2的反射面10，11，12，13一樣地構(gòu)成。與按照?qǐng)D2的實(shí)施例一樣，由反射面29，30，31使激光射線25，26，27的相應(yīng)分量通過相應(yīng)的出光面22，23，24反射回半導(dǎo)體激光器元件21中。在圖4中所示的激光射線的選出波模中，由每個(gè)反射面29，30，31使各激光射線25，26，27的分射線這樣反射回半導(dǎo)體激光器元件21中，使它們以與法線成一個(gè)角度反射到半導(dǎo)體激光器元件的相對(duì)設(shè)置的端面32上，由此使它們?cè)谶@次反射后從相鄰的出光面22，23，24中發(fā)出。通過這種方法可以實(shí)現(xiàn)在整個(gè)半導(dǎo)體激光器元件21中基本構(gòu)成一個(gè)唯一的激光射線波模。
例如可以規(guī)定，使各出光面與例如圖4中的中間出光面23一樣設(shè)置有高反射的涂層33，由此從這個(gè)出光面23不會(huì)有光射線從半導(dǎo)體激光器元件中發(fā)出。所述光射線在這種情況下反射到這個(gè)出光面并在繼續(xù)反射到相對(duì)設(shè)置的端面32上之后通過相鄰的出光面22，24從半導(dǎo)體激光器元件21中射出。
在按照?qǐng)D4的實(shí)施例中可以規(guī)定，只有半導(dǎo)體激光器元件21的特定局部區(qū)域34設(shè)置有電極，由此只對(duì)這些局部區(qū)域34施加電壓并由此只在這些部位34輸入電流，用于產(chǎn)生電極空穴對(duì)。在圖4中還示出局部區(qū)域35，它們不設(shè)置電極，因此也不能施加電壓。通過這種結(jié)構(gòu)優(yōu)化了一個(gè)或多個(gè)優(yōu)選的波模結(jié)構(gòu)。也可以在反射裝置28與半導(dǎo)體激光器元件21之間設(shè)置一個(gè)在圖4中未示出的透鏡裝置。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體激光器裝置，包括-一個(gè)半導(dǎo)體激光器元件(1，21)或多個(gè)并列裝配的具有多個(gè)出光面(2，3，4，5，22，23，24)的單個(gè)激光器，由出光面中可以發(fā)出激光射線，該激光射線在一個(gè)第一方向(Y)上具有比在與其垂直的第二方向上更大的發(fā)散度；以及至少一個(gè)與出光面(2，3，4，5，22，23，24)間隔地設(shè)置在半導(dǎo)體激光器元件(1)或單個(gè)激光器外部的具有至少一個(gè)反射面(8，10，11，12，13，17，18，19，20，29，30，31)的反射裝置(7，9，16，16’，28)，該反射面可以將至少一部分由半導(dǎo)體激光器元件(1，21)或單個(gè)激光器通過出光面(2，3，4，5，22，23，24)發(fā)出的激光射線這樣反射回半導(dǎo)體激光器(1，21)或單個(gè)激光器中，使得由此影響半導(dǎo)體激光器(1，21)或單個(gè)激光器的波模光譜，其特征在于，所述反射裝置(7，9，16，16’，28)的至少一個(gè)反射面(8，10，11，12，13，17，18，19，20，29，30，31)凹下地彎曲。
2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體激光器裝置，其特征在于，所述至少一個(gè)反射面(8，10，11，12，13，17，18，19，20，29，30，31)可以這樣將激光射線的分射線反射回出光面(2，3，4，5，22，23，24)中使出光面作為孔徑。
3.如權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體激光器裝置，其特征在于，所述半導(dǎo)體激光器裝置包括一個(gè)設(shè)置在反射裝置(7，9，16，16’，28)與半導(dǎo)體激光器元件(1，21)或單個(gè)激光器之間的透鏡裝置(6)，它至少在第一方向(Y)上可以至少部分地使激光射線的發(fā)散度減小。
4.如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體激光器裝置，其特征在于，所述反射裝置(7)具有一個(gè)反射面(8)，在其上可以反射從不同的出光面(2，3，4，5)發(fā)出的分射線(2a，3a，4a，5a)。
5.如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體激光器裝置，其特征在于，所述反射裝置(9，16，16’，28)具有多個(gè)反射面(10，11，12，13，17，18，19，20，29，30，31)，它們可以分別反射從各出光面(2，3，4，5，22，23，24)發(fā)出的分射線(2a，2c；3a，3c；4a，4c；5a，5c)。
6.如權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體激光器裝置，其特征在于，所述半導(dǎo)體激光器裝置包括一個(gè)射線變換單元(15)，它尤其由射線旋轉(zhuǎn)單元構(gòu)成，并最好分別使各分射線(2a，2b，2c；3a，3b，3c；4a，4b，4c；5a，5b，5c)旋轉(zhuǎn)，尤其是旋轉(zhuǎn)約90°。
7.如權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體激光器裝置，其特征在于，所述射線變換單元(15)設(shè)置在反射裝置(7，9，16，16’，28)與半導(dǎo)體激光器元件(1，21)或單個(gè)激光器之間，尤其是設(shè)置在反射裝置(7，9，16，16’)與透鏡裝置(6)之間。
8.如權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體激光器裝置，其特征在于，所述半導(dǎo)體激光器裝置還包括一個(gè)倍頻元件，它設(shè)置在反射裝置(7，9，16，16’，28)與半導(dǎo)體激光器元件(1，21)或單個(gè)激光器之間，尤其是設(shè)置在反射裝置(7，9，16，16’，28)與透鏡裝置(6)之間。
9.如權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體激光器裝置，其特征在于，所述半導(dǎo)體激光器元件(21)只在對(duì)應(yīng)于所期望的激光射線波模的空間延伸的局部區(qū)域(34)內(nèi)施加電壓或提供電流，用于產(chǎn)生電極空穴對(duì)。
全文摘要
一種半導(dǎo)體激光器裝置，包括一個(gè)半導(dǎo)體激光器元件(1，21)或多個(gè)并列裝配的具有多個(gè)出光面(2，3，4，5，22，23，24)的單個(gè)激光器，由出光面中可以發(fā)出激光射線，該激光射線在一個(gè)第一方向(Y)上具有比在與其垂直的第二方向上更大的發(fā)散度；以及至少一個(gè)與出光面(2，3，4，5，22，23，24)間隔地設(shè)置在半導(dǎo)體激光器元件(1)或單個(gè)激光器外部的具有至少一個(gè)反射面(8，10，11，12，13，17，18，19，20，29，30，31)的反射裝置(7，9，16，16’，28)，該反射面可以將至少一部分由半導(dǎo)體激光器元件(1，21)或單個(gè)激光器通過出光面(2，3，4，5，22，23，24)發(fā)出的激光射線這樣反射回半導(dǎo)體激光器(1，21)或單個(gè)激光器中，使得由此影響半導(dǎo)體激光器(1，21)或單個(gè)激光器的波模光譜，其中所述反射裝置(7，9，16，16’，28)的至少一個(gè)反射面(8，10，11，12，13，17，18，19，20，29，30，31)凹下地彎曲。
文檔編號(hào)H01S5/14GK1701479SQ03823782
公開日2005年11月23日 申請(qǐng)日期2003年8月1日 優(yōu)先權(quán)日2002年9月2日
發(fā)明者阿里克西·米科哈洛夫, 威蘭德·希爾, 保羅·A.·哈特恩 申請(qǐng)人:翰茲-利索茲切科專利管理有限公司及兩合公司