專利名稱：半導(dǎo)體制造中的維護方法及系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及生產(chǎn)半導(dǎo)體的系統(tǒng)，特別是涉及以原工序的制造處理數(shù)據(jù)為基礎(chǔ)來設(shè)定下一個工序的制造處理條件的方法及系統(tǒng)。
圖4是表示以往的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)構(gòu)成的方框圖。
該以往例是由半導(dǎo)體生產(chǎn)控制系統(tǒng)101、進行產(chǎn)品測定的測定器102、進行實際制造的制造裝置103及自動工藝控制系統(tǒng)104構(gòu)成的。另外，測定器102、制造裝置103及自動工序控制系統(tǒng)104，根據(jù)半導(dǎo)體的類別被設(shè)置為多個。
從半導(dǎo)體生產(chǎn)控制系統(tǒng)101，對測定器102送出測定類別和測定定時等的指示，從測定器102對半導(dǎo)體生產(chǎn)控制系統(tǒng)101及自動工藝控制系統(tǒng)104送出測定結(jié)果。半導(dǎo)體生產(chǎn)控制系統(tǒng)101和制造裝置103、自動工藝控制系統(tǒng)104和制造裝置103相互連接著。若從半導(dǎo)體生產(chǎn)控制系統(tǒng)101發(fā)出半導(dǎo)體的類別及制造的指示時，制造裝置103將制造該類別的半導(dǎo)體器件的信息送出到自動工藝控制系統(tǒng)104，自動工藝控制系統(tǒng)104進行為制造該類別的半導(dǎo)體器件的工藝控制。
以往，將半導(dǎo)體的制造作成最適宜的條件是通過對每個自動工藝控制系統(tǒng)的各工序、或者每個裝置專門設(shè)置的維護系統(tǒng)而進行的，各個維護方法也不統(tǒng)一。
另外，由于維護系統(tǒng)不與生產(chǎn)控制系統(tǒng)協(xié)調(diào)地構(gòu)成，所以存在著維護系統(tǒng)即使算出最適佳的條件，生產(chǎn)控制系統(tǒng)也不能用維護系統(tǒng)算出的條件進行記錄維護和工藝控制的問題。
本發(fā)明就是鑒于上述以往的技術(shù)中存在的問題點而進行的，其目的是實現(xiàn)半導(dǎo)體制造中的維護系統(tǒng)，可以在高效地構(gòu)筑維護系統(tǒng)的同時，使自動工藝控制系統(tǒng)的維護系統(tǒng)與半導(dǎo)體生產(chǎn)控制系統(tǒng)協(xié)作，生產(chǎn)控制系統(tǒng)可用維護系統(tǒng)算出的最適佳條件進行記錄維護和工藝控制。
本發(fā)明的半導(dǎo)體制造的維護方法是維護在半導(dǎo)體生產(chǎn)線的自動工藝控制系統(tǒng)中登記的工序流程的方法，該自動工藝控制系統(tǒng)具有用于制造各種半導(dǎo)體的各自不同的工序。
其特征是，對于全部的工序流程，根據(jù)包括工序流程名和在一個工序流程內(nèi)獨特的工序名的自動工藝控制信息，進行上述自動工藝控制系統(tǒng)中的自動工藝控制的設(shè)定。
此時，也可以將自動工藝控制信息供給到生產(chǎn)控制系統(tǒng)，該生產(chǎn)控制系統(tǒng)通過掌握半導(dǎo)體生產(chǎn)線上的批量生產(chǎn)進展?fàn)顩r和過去的記錄來總括制造工藝，使半導(dǎo)體生產(chǎn)控制系統(tǒng)和自動控制工藝控制系統(tǒng)根據(jù)共用的自動工藝控制信息來工作。
本發(fā)明的半導(dǎo)體制造的維護系統(tǒng)是維護工序流程的系統(tǒng)，該工序流程登記在半導(dǎo)體生產(chǎn)線的自動工藝控制系統(tǒng)中，具有制造各種半導(dǎo)體的各自不同的工序。
其特征是，對于全部的工序流程，根據(jù)包括工序流程名和在一個工序流程內(nèi)獨特的工序名的自動工藝控制信息，進行上述自動工序控制系統(tǒng)的自動工藝控制的設(shè)定。
本發(fā)明的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)是使用上述的半導(dǎo)體制造的維護系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)，其特征是，具有生產(chǎn)控制系統(tǒng)，通過掌握被供給了自動工藝控制信息的半導(dǎo)體生產(chǎn)線上的批量生產(chǎn)進展?fàn)顩r和過去的記錄來總括制造工藝，而且，半導(dǎo)體生產(chǎn)控制系統(tǒng)和自動控制工藝控制系統(tǒng)根據(jù)共用的自動工藝控制信息來工作。
在上述構(gòu)成的本發(fā)明中，對于登記在半導(dǎo)體生產(chǎn)控制系統(tǒng)內(nèi)的所有的工序流程，通過設(shè)定自動工藝控制信息的維護系統(tǒng)來進行自動工藝控制的設(shè)定，上述自動工藝控制信息包括工序流程名和在一個工序流程內(nèi)獨特的工序名。
自動工藝控制信息由于是根據(jù)工序流程名、工序名、測定項目名而唯一確定的，所以不需要象以往那樣專門設(shè)置各自動工藝控制系統(tǒng)中的各工序或者各裝置的維護系統(tǒng)。
另外，由于將自動工藝控制信息也供給到生產(chǎn)控制系統(tǒng)中，所以生產(chǎn)控制系統(tǒng)可通過維護系統(tǒng)算出的最適宜條件來進行記錄維護和工藝控制。


圖1表示本發(fā)明一實施例的方框圖。
圖2表示圖1中實施例動作的流程圖。
圖3是說明半導(dǎo)體生產(chǎn)控制系統(tǒng)2和自動工藝控制系統(tǒng)3的具體動作的圖。
圖4表示以往例構(gòu)成的方框圖。
圖1是表示本發(fā)明的一個實施例構(gòu)成的方框圖。本實施例由如下構(gòu)成的，即維護系統(tǒng)1；半導(dǎo)體生產(chǎn)控制系統(tǒng)2，存貯由英文/數(shù)字構(gòu)成的產(chǎn)品名、工序流程名、工序名、每個工序的產(chǎn)品處理條件等，根據(jù)這些內(nèi)容和預(yù)先確定的程序控制進行動作；自動工藝控制系統(tǒng)3，存貯各種信息，根據(jù)存貯的信息計算處理條件；測定產(chǎn)品的測定器4；制造產(chǎn)品的制造裝置5。
對本實施例的大概動作進行說明，通過數(shù)據(jù)檢索部7，從半導(dǎo)體生產(chǎn)控制系統(tǒng)2和自動工藝控制系統(tǒng)3檢索登記的工序流程名、工序名和過去維護了的自動工藝控制設(shè)定信息，并表示在輸出輸入裝置6上。工序流程名和工序名登記在半導(dǎo)體生產(chǎn)控制系統(tǒng)2上，自動工藝控制設(shè)定信息登記在自動工藝控制系統(tǒng)3上。
在數(shù)據(jù)存貯部8中，將每個工序流程名，以工序名和各工序名的測定項目名為關(guān)鍵詞存貯，該信息根據(jù)設(shè)定指示部9的指示向半導(dǎo)體生產(chǎn)控制系統(tǒng)2和自動工藝控制系統(tǒng)3通過輸出裝置6進行更新。
設(shè)定指示部9向半導(dǎo)體生產(chǎn)控制系統(tǒng)2，指示預(yù)先登記的工序流程名的工序名是否是自動工藝控制對象工序。向自動工藝控制系統(tǒng)3，指示自動工藝控制對象工序流程名、自動工藝控制原工序、控制原工序的測定項目名、對應(yīng)于自動工藝控制工序和控制計算式和計算式的處理條件。
另外，本實施例是使用由輸入裝置、輸出裝置、顯示裝置等極一般的計算機系統(tǒng)構(gòu)成的。
以下，詳細地說明本實施例的各部分的構(gòu)成。
維護系統(tǒng)1是由輸入輸出裝置6、數(shù)據(jù)檢索部7、數(shù)據(jù)存貯部8和設(shè)定指示部9構(gòu)成的。
輸入輸出裝置6是由鍵盤、顯示器等構(gòu)成的，起到用戶接口的作用。
數(shù)據(jù)檢索部7從半導(dǎo)體生產(chǎn)控制系統(tǒng)2檢索由英文/數(shù)字構(gòu)成的產(chǎn)品名、工序流程名、工序名、每個工序的產(chǎn)品處理條件等。
數(shù)據(jù)存貯部8從輸入輸出裝置6暫時地存貯設(shè)定的信息，根據(jù)再次呼出和指定，經(jīng)過數(shù)據(jù)檢索部7向輸入輸出裝置6傳遞信息。
設(shè)定指示部9將用于自動地算出自動工藝控制對象產(chǎn)品的產(chǎn)品處理條件的設(shè)定信息指示給半導(dǎo)體生產(chǎn)控制系統(tǒng)2和自動工藝控制系統(tǒng)3。
圖2是表示本實施例的動作的流程圖，以下，參照圖1和圖2對于本實施例的動作進行詳細地說明。
將輸入輸出裝置6提供的產(chǎn)品名和工序流程名等的輸入文字列供給到數(shù)據(jù)檢索部7。數(shù)據(jù)檢索部7調(diào)查與該文字列相同或者包括文字列的英文/數(shù)字是否登記在半導(dǎo)體生產(chǎn)控制系統(tǒng)2和自動工藝控制系統(tǒng)3上(步驟1、2)。
在不能檢索文字列時，將其顯示在輸入輸出裝置6上(步驟14)，檢索終了。
在輸入文字未登記在半導(dǎo)體生產(chǎn)控制系統(tǒng)2和自動工藝控制系統(tǒng)3兩方時，輸入錯誤。
另外，僅登記在半導(dǎo)體生產(chǎn)控制系統(tǒng)2中時，成為自動工藝控制設(shè)定信息的新追加，在可以登記在半導(dǎo)體生產(chǎn)控制系統(tǒng)2和自動工藝控制系統(tǒng)3兩方中時，進行自動工藝控制設(shè)定信息的更新。
在半導(dǎo)體生產(chǎn)控制系統(tǒng)2中存在含有輸入文字的英文/數(shù)字的產(chǎn)品名或者工序流程名時，對應(yīng)的產(chǎn)品名或者工序流程名的一覽表顯示在輸入輸出裝置6上。然后，設(shè)定者將從一覽顯示的產(chǎn)品名或者工序流程名中選擇工序流程名的指令輸入到輸出裝置6時，選擇的工序流程名、工序名、各工序的產(chǎn)品處理條件和工序流程圖即顯示在輸入輸出裝置6中。此時，在自動工藝控制系統(tǒng)3中登記了過去的設(shè)定信息時，也顯示出過去的設(shè)定信息(步驟3)。
設(shè)定者根據(jù)通過數(shù)據(jù)檢索部7進行檢索，并顯示在輸入輸出裝置6上的工序流程名、工序流程圖，從輸入輸出裝置6進行輸入，作為控制原工序，將自動工藝控制對象工序名向數(shù)據(jù)存貯部8登記或者變更(步驟4)。
同樣，從輸入輸出裝置6，對作為控制原工序的測定項目，從測定器4或者制造裝置5向半導(dǎo)體生產(chǎn)控制系統(tǒng)2報告的測定項目名和作為自動工藝控制原工序項目可采用的范圍值向數(shù)據(jù)存貯部8登記或者變更(步驟5)。同樣，從輸入輸出裝置6，作為控制目標工序，將自動工藝控制對象目標工序名向數(shù)據(jù)存貯部8登記或者變更(步驟6)。
同樣，從輸入輸出裝置6，向數(shù)據(jù)存貯部8進行控制目標計算式的登記.變更(步驟7)。在此，在數(shù)據(jù)存貯部8中也確認在登記時控制目標計算式是否有錯誤(步驟8)。
在步驟8中，在確認控制目標計算式是有錯誤時，數(shù)據(jù)存貯部8將不正確的指令向輸入輸出裝置6表示(步驟15)，在確認是否再設(shè)定后(步驟16)，進行是否暫時登記(步驟19)的確定。
在步驟8中，在確認控制目標計算式是沒有錯誤時，從輸入輸出裝置6，向數(shù)據(jù)存貯部8進行控制目標條件信息的登記.變更(步驟9)。然后，在數(shù)據(jù)存貯部8，確認在控制目標條件范圍是否有無問題(步驟10)。
在步驟10中，控制目標條件信息確認有錯誤時，數(shù)據(jù)存貯部8將發(fā)現(xiàn)錯誤的指令向輸入輸出裝置6表示(步驟17)，確認是否進行再設(shè)定(步驟18)。
在步驟18確認不進行再設(shè)定時，確認是否暫時登記(步驟19)。
在步驟18確認進行再設(shè)定時，返回到步驟9重復(fù)上述動作。
在步驟10中，在確認控制目標條件信息沒有錯誤時及在步驟19確認登記的指示時，進行全部控制信息的暫時登記(步驟11)，然后，確認是否更新控制信息(步驟12)。
在步驟12，更新控制信息被確認時，更新控制信息(步驟13)后，成為終了，在確認不更新控制信時，直接成為終了。
如上所述，為了進行自動工藝控制，登記.變更自動工藝控制信息，通過輸入輸出裝置6進行更新指示，從設(shè)定指示部9向半導(dǎo)體生產(chǎn)控制系統(tǒng)2和自動工藝控制系統(tǒng)3傳遞更新信息。
在此，向半導(dǎo)體生產(chǎn)控制系統(tǒng)2，對于作為自動工藝控制對象的既存的工序流程中的工序名，傳遞其是否自動工藝控制對象的工序的信息。另外，向自動工藝控制系統(tǒng)3，傳遞成為自動工藝控制對象的的工序流程名、控制原工序、控制原工序的測定項目名、測定項目名的范圍值、控制目標工序、控制計算式、依賴控制算出結(jié)果的產(chǎn)品處理條件的自動工藝控制信息的全部。
以下，使用具體的實施例說明本實施方式的動作。
圖3是說明半導(dǎo)體生產(chǎn)控制系統(tǒng)2和自動工藝控制系統(tǒng)3的具體的動作的圖。
圖3是考慮維護自動工藝控制信息的情況。從輸出輸入裝置6輸入工序流程名“FLOW*”時，數(shù)據(jù)檢索部7從半導(dǎo)體生產(chǎn)控制系統(tǒng)2檢索開頭文字具有FLOW*的工序流程名，一覽地表示在輸出輸入裝置6。設(shè)定者可從該一覽表開始選擇自動工藝控制對象的工序流程名(圖2中的步驟1、2)。此時，對于已經(jīng)選擇了的工序流程名，如果存在其設(shè)定在自動工藝控制系統(tǒng)中的信息，該信息也被表示。(圖2中的步驟3)。
在控制原工序和控制目標工序的信息登記中，也有從輸入輸出裝置6直接地輸入作為工序名的“A”和“C”的信息的方法，但是，在輸入輸出裝置6，如圖3的左側(cè)部所表示的那樣，由于是用箭頭連接工序流程的模式圖表示的，所以也可以用鼠標采用滑動&點擊的操作方法進行登記(圖2中的步驟4、6)。
在控制原工序的測定項目名的登記中，可以從輸入輸出裝置6直接輸入“DATA1”、“DATA2”的測定項目名。另外，此時，可以輸入作為自動工藝控制原工序項目的可采用的范圍值(圖2中的步驟5)。
在控制目標計算式的登記中，從輸入輸出裝置6設(shè)定“DATA1@A”、“DATA2@A”的@以下為變數(shù)的工序名。另外，使用四則運算和“(”“)”，自由地設(shè)定控制目標計算式(圖2中的步驟7)。這里，同時要確認四則運算是否重復(fù)，右括號和左括號的數(shù)是否一致的基本計算式的規(guī)則(圖2中的步驟8)。
在控制目標條件的登記中，從輸入輸出裝置6，根據(jù)控制目標計算式的結(jié)果的范圍值設(shè)定向何種產(chǎn)品處理條件進行變更。這里，同時要進行控制目標計算式的結(jié)果值的范圍是否重復(fù)，或者范圍值是否連續(xù)(圖2中的步驟9、10)。
更新自動工藝控制信息時，利用輸入輸出裝置6指定更新的控制目標工序，一次地決定更新對象的控制原工序和控制目標工序的組合(圖2中的步驟12、13)。這是由于作為含在目標工序信息中的控制目標計算式中的變數(shù)，可以掌握控制原工序的緣故。
此外，本發(fā)明的實施例的形式是將控制原工序作成一個，但是，由于將控制原工序的測定項目名作為“測定項目名@工序名”，用控制原計算式指定的，所以控制原工序可以通過工序名和測定項目名的組合進行多個指定。
另外，控制原工序的測定項目名數(shù)是2個，但是，對此沒有限制。同樣，控制目標條件信息是以3種類的產(chǎn)品條件作為例，但是控制目標的自動工藝控制的變更條件數(shù)沒有限制。
不依賴于測定器、制造裝置的臺數(shù)和機種。
另外，控制原信息和控制目標信息的組合，在工序上是以一個作為例子進行說明的，但是工序上的組合數(shù)沒有限制。
另外，關(guān)于更新指示，不僅是控制目標工序+控制原工序的信息的更新方法，也可以只是控制原工序的更新指示方法。
另外，本系統(tǒng)中所述半導(dǎo)體生產(chǎn)控制系統(tǒng)和自動工藝控制系統(tǒng)是以另外系統(tǒng)進行了說明，但是，作為系統(tǒng)的構(gòu)成，沒有必要是另外的系統(tǒng)。
本發(fā)明是如上說明的那樣構(gòu)成的，以下說明所起到的效果。
第1效果，關(guān)于自動工藝控制，在全部的工序流程中，可以用同一的維護系統(tǒng)對應(yīng)。其理由是，對于工序流程名或者產(chǎn)品名，可以用用戶水平設(shè)定工序名(一個工序流程內(nèi)一定是獨特的)和測定項目名和測定項目名為基礎(chǔ)的計算式，或者依計算結(jié)果范圍變換處理條件。
第2效果，自動工藝控制信息不僅在自動工藝控制系統(tǒng)也可以在半導(dǎo)體生產(chǎn)控制系統(tǒng)上共有，所以產(chǎn)品的自動搬運和自動工序控制的記錄維護可以一元化地維護。其理由是，兩個系統(tǒng)都保有自動工藝控制的要點的工序流程名和工序名的緣故。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體制造的維護方法，是維護在半導(dǎo)體生產(chǎn)線的自動工藝控制系統(tǒng)登記的工序流程的方法，該自動工序控制系統(tǒng)具有用于制造各種不同半導(dǎo)體的各自不同的工序，其特征在于，對于全部的工序流程，根據(jù)包括工序流程名和在一個工序流程內(nèi)獨特的工序名的自動工藝控制信息，來進行上述自動工藝控制系統(tǒng)中的自動工藝控制的設(shè)定。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造的維護方法，其特征在于，將自動工藝控制信息供給到生產(chǎn)控制系統(tǒng)，該生產(chǎn)控制系統(tǒng)通過掌握半導(dǎo)體生產(chǎn)線上的批量生產(chǎn)進展?fàn)顩r和過去的記錄來總括制造工藝，使半導(dǎo)體生產(chǎn)控制系統(tǒng)和自動控制工藝控制系統(tǒng)根據(jù)共用的自動工藝控制信息來工作。
3.一種半導(dǎo)體制造的維護系統(tǒng)，是維護在半導(dǎo)體生產(chǎn)線的自動工藝控制系統(tǒng)中登記的工序流程的系統(tǒng)，該控制系統(tǒng)具有用于制造各種不同半導(dǎo)體的各自不同的工序，其特征在于，對于全部的工序流程，根據(jù)包括工序流程名和在一個工序流程內(nèi)獨特的工序名的自動工藝控制信息，來進行上述自動工藝控制系統(tǒng)中的自動工藝控制的設(shè)定。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體制造的維護系統(tǒng)，其特征在于，具有生產(chǎn)控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)通過掌握被供給自動工藝控制信息的半導(dǎo)體生產(chǎn)線上的批量生產(chǎn)進展?fàn)顩r和過去的記錄來總括制造工藝，半導(dǎo)體生產(chǎn)控制系統(tǒng)和自動控制工藝控制系統(tǒng)根據(jù)共用的自動工藝控制信息來工作。
全文摘要
在自動工藝控制的設(shè)定中，各種工藝控制方法的維護方法是共用的。用數(shù)據(jù)檢索部7檢索登記在半導(dǎo)體生產(chǎn)控制系統(tǒng)2上的工序流程名或者產(chǎn)品名，將該工序的流程名的工序名作成關(guān)鍵詞，從輸入輸出裝置6設(shè)定控制原工序、控制原工序測定項目名和控制目標工序、控制目標計算式、控制目標條件信息，將數(shù)據(jù)暫時存儲到數(shù)據(jù)存儲部8后，從設(shè)定指示部8向半導(dǎo)體生產(chǎn)控制控制系統(tǒng)2和自動工藝控制系統(tǒng)3進行自動工藝控制信息的更新的系統(tǒng)。
文檔編號H01L21/02GK1457084SQ03130968
公開日2003年11月19日 申請日期2003年5月8日 優(yōu)先權(quán)日2002年5月8日
發(fā)明者折本順二 申請人:恩益禧電子股份有限公司