專利名稱：具有特殊工程需求數(shù)據(jù)庫(kù)的半導(dǎo)體晶圓制造執(zhí)行系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造系統(tǒng)，特別涉及一種包括制造執(zhí)行系統(tǒng)的半導(dǎo)體晶圓制造系統(tǒng)。
在強(qiáng)烈的競(jìng)爭(zhēng)之下，半導(dǎo)體制造設(shè)備被迫在考量節(jié)省成本的因素之下，必須確保處理工具的排程(scheduling)和使用更加有效率。為了增加設(shè)備的生產(chǎn)力(productivity)，許多現(xiàn)代化的半導(dǎo)體晶圓制造系統(tǒng)都包括一個(gè)中央制造執(zhí)行系統(tǒng)(manufacturing execution system，MES)。一個(gè)典型的制造執(zhí)行系統(tǒng)可以執(zhí)行下列功能工作進(jìn)行中(work in process，WIP)追蹤、資源配置和狀態(tài)、動(dòng)作排程、品管數(shù)據(jù)(quality data)收集和處理控制。制造執(zhí)行系統(tǒng)也可以被當(dāng)成一個(gè)用來收集數(shù)據(jù)和分配數(shù)據(jù)的中央存放處(central depository)。舉例來說，制造執(zhí)行系統(tǒng)可以實(shí)時(shí)地和動(dòng)態(tài)地，收集、組合和表示(express)原料(rawmaterials)、成品(finished products)、半成品(semi-finished products)、機(jī)器、時(shí)間和成本的數(shù)據(jù)，并且追蹤和控制每一個(gè)生產(chǎn)處理。
一個(gè)典型的制造執(zhí)行系統(tǒng)可以包括一個(gè)單一的數(shù)據(jù)庫(kù)、用來儲(chǔ)存用來自動(dòng)監(jiān)視和控制處理工具的信息。舉例來說，在一個(gè)包括制造執(zhí)行系統(tǒng)的半導(dǎo)體晶圓制造系統(tǒng)中，該制造執(zhí)行系統(tǒng)的單一數(shù)據(jù)庫(kù)，可以是一個(gè)包括“基本”記錄(或數(shù)據(jù)列)(basic records)的“基本”數(shù)據(jù)庫(kù)(basic database)，每一個(gè)基本記錄包括一個(gè)處理工具用來自動(dòng)執(zhí)行一個(gè)處理所需的信息。
在上述的半導(dǎo)體晶圓制造系統(tǒng)中，當(dāng)一個(gè)處理工具必須要執(zhí)行一個(gè)非標(biāo)準(zhǔn)或是特殊的程序時(shí)，有可能產(chǎn)生一種問題。在某些場(chǎng)合有可能需要像這樣的非標(biāo)準(zhǔn)或是特殊的程序，舉例來說，用在為了補(bǔ)償在一個(gè)像是進(jìn)行實(shí)驗(yàn)處理(proceeding experimental process)的上述處理中所產(chǎn)生的制造偏差(manufacturing deviation)時(shí)。
每當(dāng)一個(gè)處理工具必須要執(zhí)行一個(gè)非標(biāo)準(zhǔn)或是特殊程序時(shí)，使用者必須手動(dòng)的輸入處理工具執(zhí)行該非標(biāo)準(zhǔn)或是特殊程序所需的信息。這種手動(dòng)的輸入所需信息的工作，是既乏味而且又容易出錯(cuò)的。雖然可以將與至少某些非標(biāo)準(zhǔn)或是特殊程序有關(guān)的信息，連同與標(biāo)準(zhǔn)或是基本程序有關(guān)的信息一起，輸入到單一的數(shù)據(jù)庫(kù)，但是這種動(dòng)作將使得維護(hù)數(shù)據(jù)庫(kù)的工作變的更加困難。舉例來說，批次“1”是一個(gè)具有在工具A上指派有一個(gè)實(shí)驗(yàn)配方(experimental recipe)的實(shí)驗(yàn)批次，其中該實(shí)驗(yàn)配方是工具A的一個(gè)非標(biāo)準(zhǔn)配方。因此，針對(duì)在此范例中的批次“1”而言，必須要輸入指派給批次“1”，使用在工具A實(shí)驗(yàn)上的數(shù)據(jù)。在批次“1”被處理之后，制造執(zhí)行系統(tǒng)中的數(shù)據(jù)必須被刪除，但是制造執(zhí)行系統(tǒng)包括大量的經(jīng)常改變的數(shù)據(jù)，因此提高了錯(cuò)誤數(shù)據(jù)發(fā)生的機(jī)率。
因此，在公知的技術(shù)中，需要有一種可以記錄特殊批次數(shù)據(jù)的獨(dú)立數(shù)據(jù)庫(kù)，在這數(shù)據(jù)庫(kù)中的錯(cuò)誤并不會(huì)影響制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)，以確保生產(chǎn)批次不被影響。在公知技術(shù)中，更存在一種需求，以使得處理工具需要執(zhí)行的非標(biāo)準(zhǔn)或是特殊程序相關(guān)的信息，可以與該處理工具的標(biāo)準(zhǔn)或是基本程序相關(guān)的信息分開儲(chǔ)存。
以下將說明配備在制造執(zhí)行系統(tǒng)中的方法。該方法包括下列步驟接收來自處理工具的操作數(shù)據(jù)，該操作數(shù)據(jù)包括與在處理工具中所執(zhí)行的一個(gè)選定動(dòng)作(也就是一個(gè)使用者選定配方(user-selectedrecipe))相關(guān)的信息。接下來將操作數(shù)據(jù)與第一組數(shù)據(jù)列和的第二組數(shù)據(jù)列中的每一筆數(shù)據(jù)列相比較。如果操作數(shù)據(jù)在第一組數(shù)據(jù)列和第二組數(shù)據(jù)列中，無法找到任何一筆數(shù)據(jù)列與其相同，就會(huì)送出一個(gè)警告訊號(hào)給該處理工具。以下將說明配備在制造執(zhí)行系統(tǒng)中的方法。
其中各圖中標(biāo)記分別是20 半導(dǎo)體晶圓制造系統(tǒng)22 處理工具24 工作室26 半導(dǎo)體晶圓28 單元控制器30 制造執(zhí)行系統(tǒng)32 使用者界面34 使用者36 接收模塊38 輸出模塊40 比較模塊42 內(nèi)存系統(tǒng)44 基本數(shù)據(jù)庫(kù)46 特殊工程需求數(shù)據(jù)庫(kù)48 基本數(shù)據(jù)列50 特殊工程需求數(shù)據(jù)列以下將參考結(jié)合附圖，詳細(xì)說明本發(fā)明的較佳實(shí)施例。并且盡可能的使用相同或是類似的在附圖中所標(biāo)示的標(biāo)記，對(duì)相同或是類似的組件詳加說明。值得注意的是，附圖是簡(jiǎn)化的形式，并不符合實(shí)際大小。
雖然以下的說明只針對(duì)特定的實(shí)施例，這些實(shí)施例只是用來當(dāng)做說明的范例，本發(fā)明的范圍并不以此為限。雖然以實(shí)施例為例，下述的詳細(xì)說明的目的，是涵蓋所有對(duì)實(shí)施例的修改、選擇和等量的解釋定義。本發(fā)明的內(nèi)容在不脫離本發(fā)明之精神與范圍內(nèi)，當(dāng)以權(quán)利要求所界定者為準(zhǔn)。此外，在此所說明的處理步驟和結(jié)構(gòu)，并未涵蓋一個(gè)完整的半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)的完整程序流程。本發(fā)明可以與各種在公知技術(shù)中，常用的半導(dǎo)體制造技術(shù)搭配使用，而且本說明中只有包括使本發(fā)明更易讓人了解的實(shí)用處理步驟。
請(qǐng)參考
圖1，圖1中所繪示的一個(gè)半導(dǎo)體晶圓制造系統(tǒng)20的實(shí)施例，包括一個(gè)具有復(fù)數(shù)個(gè)處理工作室(processing chambers)24的晶圓制造處理工具(也就是處理工具)22。每一該些處理工作室24被架構(gòu)成用來接收一個(gè)晶圓群組或是批次的一個(gè)或是復(fù)數(shù)個(gè)半導(dǎo)體晶圓26。值得注意的是，一般來說，處理工具22可以包括一個(gè)或多個(gè)處理工作室24。
處理工具22被架構(gòu)成當(dāng)半導(dǎo)體晶圓26放置在該些工作室24的其中一工作室時(shí)，根據(jù)一個(gè)既定的程序(predefined procedure)(也就是一組預(yù)定的步驟或是“配方”)，在半導(dǎo)體晶圓26上，執(zhí)行一個(gè)晶圓制造動(dòng)作。在晶圓制造動(dòng)作期間，每一個(gè)或是多個(gè)半導(dǎo)體晶圓26的至少一個(gè)表面，會(huì)以某些方式而更動(dòng)。
舉例而言，處理工具22可以被架構(gòu)成在半導(dǎo)體晶圓26上，執(zhí)行一個(gè)分層布線(layering)動(dòng)作、布線圖案(patterning)動(dòng)作、摻雜(doping)動(dòng)作或是一個(gè)加熱處理(heat treatment)動(dòng)作。分層布線動(dòng)作通常是將一層想要的原料，加到半導(dǎo)體晶圓暴露的表面之上。布線圖案動(dòng)作是將分層布線動(dòng)作所成形的一或多層的選擇部分抹除。摻雜動(dòng)作是將摻雜劑微粒(dopant atoms)，放到半導(dǎo)體晶圓暴露的表面之上，以產(chǎn)生半導(dǎo)體動(dòng)作所需的p-n接合(junction)。
在圖1的實(shí)施例中，半導(dǎo)體晶圓制造系統(tǒng)20同時(shí)也包括一個(gè)單元控制器(cell controller)28，一個(gè)制造執(zhí)行系統(tǒng)30，和一個(gè)使用者界面32。如在圖1中所繪示，單元控制器28是與處理工具22和制造執(zhí)行系統(tǒng)30，互相連結(jié)而且相互溝通，而一起運(yùn)作的。
一般來說，制造執(zhí)行系統(tǒng)30控制單元控制器28的動(dòng)作，而單元控制器28則控制處理工具22的動(dòng)作。使用者界面32接受來自使用者34的輸入，并且將該輸入提供給制造執(zhí)行系統(tǒng)30。舉例來說，單元控制器28、制造執(zhí)行系統(tǒng)30、和使用者界面32，可以被內(nèi)含在分離的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)中。單元控制器28較偏好使用國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料(Semiconductor Equipment and Materials International，SEMI)(美國(guó)加州圣荷西)E5所描述的訊息傳輸協(xié)議(message transfer protocol)，與處理工具22建立起訊號(hào)通訊。并且使用SEMI設(shè)備通訊標(biāo)準(zhǔn)II(SECS II)，與處理工具22互相溝通。SEMI設(shè)備通訊標(biāo)準(zhǔn)(SECS)指定與半導(dǎo)體制造設(shè)備控制有關(guān)的一組訊息(messages)，以及該些訊息各自的語(yǔ)法(syntax)和語(yǔ)義(semantics)。對(duì)熟知此技術(shù)者而言，當(dāng)知還有其它的通訊標(biāo)準(zhǔn)存在，而且使用其它通訊標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)，也是包含在本發(fā)明的范圍之內(nèi)。
在圖1的實(shí)施例中，制造執(zhí)行系統(tǒng)30包括一個(gè)接收模塊36、一個(gè)輸出模塊38、一個(gè)比較模塊40和一個(gè)內(nèi)存系統(tǒng)42。接收模塊36連接到單元控制器28和比較模塊40。接收模塊36經(jīng)由界面輸入數(shù)據(jù)，輸出模塊38經(jīng)由界面輸出數(shù)據(jù)。一般來說，接收模塊36接收來自單元控制器28的訊號(hào)，所接收的訊號(hào)是傳送來自處理工具22的操作范例數(shù)據(jù)。輸出模塊38連接到單元控制器28、比較模塊40，并且再接到使用者界面32。一般來說，輸出模塊38提供訊號(hào)給單元控制器28，并且選擇性的提供訊號(hào)給使用者界面32。舉例來說，輸出模塊38可以經(jīng)由單元控制器28，輸出一個(gè)警告訊號(hào)給處理工具22，也可以輸出一個(gè)警告訊號(hào)給使用者界面32。比較模塊40連接到內(nèi)存系統(tǒng)42。
接收模塊36、輸出模塊38和/或比較模塊40，可以被內(nèi)含在軟件，硬件(例如像是特定用途集成電路(application-specific integratedcircuit，ASIC))，或是軟件和硬件的組合中。舉例來說，可以使用一個(gè)計(jì)算機(jī)裝置來實(shí)現(xiàn)模塊36、38、40和42的功能。該計(jì)算機(jī)裝置可以是一個(gè)典型的包括一個(gè)儲(chǔ)存裝置，一個(gè)界面，一個(gè)輸入裝置，和一個(gè)中央處理器(central processing unit，CPU)的計(jì)算機(jī)裝置。該儲(chǔ)存裝置可以是一個(gè)例如像是硬式磁盤驅(qū)動(dòng)器(HDD)，只讀光盤(CD-ROM)，動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取內(nèi)存(DRAM)，或是可電抹除可編程只讀存儲(chǔ)器(Electrically Erasable Programmable Read Only Memory，EEPROM)的計(jì)算機(jī)可讀取數(shù)據(jù)儲(chǔ)存裝置。該界面則是用來建立單元控制器28和使用者界面32之間的訊號(hào)通訊。較好的界面是使用一個(gè)局域網(wǎng)絡(luò)(local area network，LAN)，然而，熟知此技術(shù)者而言當(dāng)知，也可以使用其它的通訊方法，并且使用其它通訊方法的界面也是包含在本發(fā)明的范圍之內(nèi)。
內(nèi)存系統(tǒng)42包括一個(gè)基本數(shù)據(jù)庫(kù)44和一個(gè)特殊工程需求(specialengineer requirement，SER)數(shù)據(jù)庫(kù)46。一般來說，基本數(shù)據(jù)庫(kù)44包括與建立放置在處理工具22中的半導(dǎo)體晶圓上執(zhí)行的標(biāo)準(zhǔn)、基本或是例行程序有關(guān)的信息。特殊工程需求數(shù)據(jù)庫(kù)46包括與建立放置在處理工具22中的半導(dǎo)體晶圓上執(zhí)行的非標(biāo)準(zhǔn)，或是特殊程序有關(guān)的信息?？梢允褂糜?jì)算機(jī)裝置中的儲(chǔ)存裝置來實(shí)現(xiàn)內(nèi)存系統(tǒng)42的功能，而且內(nèi)存系統(tǒng)42可以包括一或多個(gè)內(nèi)存裝置(例如像是動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取內(nèi)存或是DRAM裝置)以及一或多個(gè)數(shù)據(jù)儲(chǔ)存裝置(例如像是硬式磁盤驅(qū)動(dòng)器，只讀光盤(CD-ROM)，...，等等的裝置)。
圖2繪示一個(gè)圖1中基本數(shù)據(jù)庫(kù)44實(shí)施例的方框圖。在圖2的實(shí)施例中，基本數(shù)據(jù)庫(kù)44包括復(fù)數(shù)個(gè)基本記錄(數(shù)據(jù)列)48。一般來說，基本數(shù)據(jù)庫(kù)44至少包括一個(gè)基本數(shù)據(jù)列48。在本實(shí)施例中，每一個(gè)基本數(shù)據(jù)列48都包括一個(gè)批次識(shí)別碼(lot ID)、一個(gè)配方識(shí)別碼(recipe ID)和一個(gè)工作室識(shí)別碼(chamber ID)，這些識(shí)別碼被使用在處理工具22的自動(dòng)執(zhí)行功能上。批次識(shí)別碼用來識(shí)別半導(dǎo)體晶圓的批次(也就是包含該些半導(dǎo)體晶圓26的批次)。配方識(shí)別碼用來識(shí)別在該些半導(dǎo)體晶圓26上所執(zhí)行的處理工具22的一組標(biāo)準(zhǔn)、基本或是例行步驟。工作室識(shí)別碼用來識(shí)別在該標(biāo)準(zhǔn)、基本或是例行處理期間，該些半導(dǎo)體晶圓26所被放置的該些工作室24的其中一工作室。
圖3繪示一個(gè)圖1中特殊工程需求數(shù)據(jù)庫(kù)46實(shí)施例的方框圖。在圖3的實(shí)施例中，特殊工程需求數(shù)據(jù)庫(kù)46包括復(fù)數(shù)個(gè)特殊工程需求記錄(數(shù)據(jù)列)50。一般來說，特殊工程需求數(shù)據(jù)庫(kù)46至少包括一個(gè)特殊工程需求數(shù)據(jù)列50。在本實(shí)施例中，每一個(gè)特殊工程需求數(shù)據(jù)列包括一個(gè)批次識(shí)別碼、一個(gè)配方識(shí)別碼和一個(gè)工作室識(shí)別碼，這些識(shí)別碼被使用在處理工具22的手動(dòng)執(zhí)行功能上。批次識(shí)別碼用來識(shí)別半導(dǎo)體晶圓的批次(也就是包含該些半導(dǎo)體晶圓26的批次)。配方識(shí)別碼用來識(shí)別在該些半導(dǎo)體晶圓26上，所執(zhí)行的處理工具22的一組特殊工程需求步驟。工作室識(shí)別碼用來識(shí)別在該特殊工程需求處理期間，該些半導(dǎo)體晶圓26所被放置的該些工作室24的其中一工作室。
請(qǐng)參考圖1，半導(dǎo)體晶圓制造系統(tǒng)20的一個(gè)主要的運(yùn)作特色是確保在處理工具22中的半導(dǎo)體晶圓上所執(zhí)行的任何程序(例如像是半導(dǎo)體晶圓制造系統(tǒng)20在手動(dòng)模式工作時(shí))，都是存在于(也就是通過一個(gè)數(shù)據(jù)列來指定)基本數(shù)據(jù)庫(kù)44或是特殊工程需求數(shù)據(jù)庫(kù)46中。
半導(dǎo)體晶圓制造系統(tǒng)20包括自動(dòng)和手動(dòng)兩種工作模式，處理工具22可以用自動(dòng)和手動(dòng)兩種工作模式在半導(dǎo)體晶圓26上執(zhí)行處理動(dòng)作。舉例來說，使用者34可以將半導(dǎo)體晶圓制造系統(tǒng)20架構(gòu)成手動(dòng)工作模式，將半導(dǎo)體晶圓26放置在處理工具22的其中一個(gè)工作室24中，并且(例如通過使用者界面32)選擇一個(gè)配方。在本實(shí)施例中，配方包括一個(gè)配方識(shí)別碼和一個(gè)工作室識(shí)別碼。配方識(shí)別碼用來識(shí)別在半導(dǎo)體晶圓26上中所執(zhí)行的處理工具22的一組步驟(也就是配方)。工作室識(shí)別碼用來識(shí)別半導(dǎo)體晶圓26所被放置的該些工作室24的其中一工作室。
使用者34選擇配方后，以及處理工具22在半導(dǎo)體晶圓26上執(zhí)行配方的任何步驟之前，處理工具22會(huì)提供操作數(shù)據(jù)給單元控制器28，單元控制器28會(huì)將該操作數(shù)據(jù)提供給接收單元36。該操作數(shù)據(jù)包括半導(dǎo)體晶圓26的一個(gè)批次識(shí)別碼和與使用者所選定的配方相關(guān)的配方識(shí)別碼和工作室識(shí)別碼。
圖4繪示一個(gè)方法52的流程圖，用來說明確保在處理工具22(圖1)中的半導(dǎo)體晶圓上執(zhí)行的一個(gè)選定程序，一定是在基本數(shù)據(jù)庫(kù)44(圖1和圖2)或是在特殊工程需求數(shù)據(jù)庫(kù)(圖1和圖3)中的步驟。圖4中的方法52可以被內(nèi)含在制造執(zhí)行系統(tǒng)30(圖1)中，并且當(dāng)半導(dǎo)體晶圓制造系統(tǒng)20在手動(dòng)工作模式時(shí)，可以通過制造執(zhí)行系統(tǒng)30來執(zhí)行其功能。
在方法52的一個(gè)動(dòng)作54期間，會(huì)接收來自處理工具22(圖1)的操作數(shù)據(jù)。如上所述，制造執(zhí)行系統(tǒng)30(圖1)的接收模塊36會(huì)接收該操作數(shù)據(jù)。舉例來說，使用者34選擇使用制造執(zhí)行系統(tǒng)30的一個(gè)手動(dòng)工作模式，并且首先選擇SEMI設(shè)備通訊標(biāo)準(zhǔn)II(SECS II)的一個(gè)線上-本地工作模式(online-local mode)。使用者34將一個(gè)批次(具有該批次識(shí)別碼)，輸入到處理工具22中，并且追蹤在該制造執(zhí)行系統(tǒng)30上的該批次識(shí)別碼。接下來，使用者34選擇在制造執(zhí)行系統(tǒng)30中的一個(gè)配方。該配方包括配方識(shí)別碼和工作室識(shí)別碼。在配方被選定之后，處理工具22會(huì)將批次識(shí)別碼，配方識(shí)別碼和工作室識(shí)別碼，當(dāng)成操作數(shù)據(jù)，通過SEMI設(shè)備通訊標(biāo)準(zhǔn)II，送出給單元控制器28。接下來，單元控制器28通過網(wǎng)絡(luò)，將該操作數(shù)據(jù)傳送給制造執(zhí)行系統(tǒng)30。
在方法52的一個(gè)動(dòng)作56期間，該操作數(shù)據(jù)會(huì)與特殊工程需求數(shù)據(jù)庫(kù)46(圖1和圖3)中的特殊工程需求數(shù)據(jù)列50(圖3)相比較。接收模塊36(圖1)將該操作數(shù)據(jù)，提供給比較模塊40(圖4)。比較模塊40讀取在特殊工程需求數(shù)據(jù)庫(kù)46(圖1)中的特殊工程需求數(shù)據(jù)列50(圖1和圖3)，并且將操作數(shù)據(jù)的批次識(shí)別碼、配方識(shí)別碼和工作室識(shí)別碼分別與每一筆特殊工程需求數(shù)據(jù)列50的批次識(shí)別碼、配方識(shí)別碼和工作室識(shí)別碼互相比較。
在方法52的一個(gè)決定動(dòng)作(decision operation)58期間，如果特殊工程需求數(shù)據(jù)列50(圖3)其中有一筆數(shù)據(jù)列50的批次識(shí)別碼、配方識(shí)別碼和工作室識(shí)別碼分別與操作數(shù)據(jù)的批次識(shí)別碼、配方識(shí)別碼和工作室識(shí)別碼完全相同(也就是互相吻合(match))，就會(huì)允許處理在處理工具22(圖1)中的該些半導(dǎo)體晶圓26(圖1)。比較模塊40(圖1)提供一個(gè)致能訊號(hào)(enable signal)給輸出模塊38(圖1)，輸出模塊38將該致能訊號(hào)，提供給單元控制器28(圖1)，單元控制器28再將該致能訊號(hào)提供給處理工具22(圖1)，響應(yīng)該致能訊號(hào)，處理工具22會(huì)激活在處理工具22中的該些半導(dǎo)體晶圓26的處理。
另一方面，如果特殊工程需求數(shù)據(jù)列50(圖3)其中并沒有任何一筆數(shù)據(jù)列50的批次識(shí)別碼、配方識(shí)別碼和工作室識(shí)別碼分別與操作數(shù)據(jù)的批次識(shí)別碼、配方識(shí)別碼和工作室識(shí)別碼完全吻合，則方法52的一個(gè)動(dòng)作60就會(huì)被執(zhí)行。在動(dòng)作60執(zhí)行期間，比較模塊40(圖1)讀取在基本數(shù)據(jù)庫(kù)44(圖1)中的基本數(shù)據(jù)列48(圖1和圖2)，并且將操作數(shù)據(jù)的批次識(shí)別碼、配方識(shí)別碼和工作室識(shí)別碼分別與基本數(shù)據(jù)庫(kù)44中的每一筆基本數(shù)據(jù)列48(圖2)的批次識(shí)別碼、配方識(shí)別碼和工作室識(shí)別碼互相比較。
在方法52的一個(gè)決定動(dòng)作62期間，如果基本數(shù)據(jù)列48(圖2)其中有一筆數(shù)據(jù)列48的批次識(shí)別碼、配方識(shí)別碼和工作室識(shí)別碼分別與操作數(shù)據(jù)的批次識(shí)別碼、配方識(shí)別碼和工作室識(shí)別碼完全相同(也就是互相吻合(match))，就會(huì)允許處理在處理工具22(圖1)中的該些半導(dǎo)體晶圓26(圖1)。如上所述，比較模塊40(圖1)提供一個(gè)致能訊號(hào)給輸出模塊38(圖1)，輸出模塊38將該致能訊號(hào)，提供給單元控制器28(圖1)，單元控制器28再將該致能訊號(hào)，提供給處理工具22。響應(yīng)該致能訊號(hào)，處理工具22會(huì)激活在處理工具22中的該些半導(dǎo)體晶圓26的處理。
另一方面，如果基本數(shù)據(jù)列48(圖1)其中并沒有任何一筆數(shù)據(jù)列48的批次識(shí)別碼、配方識(shí)別碼和工作室識(shí)別碼分別與操作數(shù)據(jù)的批次識(shí)別碼、配方識(shí)別碼和工作室識(shí)別碼完全吻合，則方法52的一個(gè)動(dòng)作64就會(huì)被執(zhí)行。此時(shí)，不會(huì)允許處理在處理工具22(圖1)中的該些半導(dǎo)體晶圓26(圖1)，而且比較模塊40(圖1)會(huì)提供一個(gè)警告訊號(hào)給輸出模塊38(圖1)。輸出模塊38將該警告訊號(hào)，提供給單元控制器28(圖1)，單元控制器28再將該警告訊號(hào)，提供給處理工具22。響應(yīng)該警告訊號(hào)，處理工具22會(huì)停止(halt)在處理工具22中的該些半導(dǎo)體晶圓26的處理。
在動(dòng)作64期間，輸出模塊38同時(shí)也可以(選擇性地)提供警告訊號(hào)給使用者界面32(圖1)。響應(yīng)該警告訊號(hào)，使用者界面32會(huì)將一個(gè)警告狀態(tài)(alarm condition)(也就是警報(bào)(alert))，傳送給使用者34(圖1)。舉例來說，響應(yīng)該警告訊號(hào)，使用者界面32有可能亮起一個(gè)警告指示燈，并且響起警報(bào)音響。
在圖4的方法52的實(shí)施例中，操作數(shù)據(jù)在與基本數(shù)據(jù)庫(kù)44(圖1)的基本數(shù)據(jù)列48(圖1和圖2)互相比較之前，會(huì)先與特殊工程需求數(shù)據(jù)庫(kù)46(圖1和圖3)中的特殊工程需求數(shù)據(jù)列50(圖3)互相比較。這是因?yàn)楫?dāng)使用者在將制造執(zhí)行系統(tǒng)30(圖1)設(shè)定在手動(dòng)工作模式時(shí)，絕大部分都會(huì)選擇特殊工程需求動(dòng)作。然而，值得注意的是，在方法52的其它實(shí)施例中，操作數(shù)據(jù)在與特殊工程需求數(shù)據(jù)庫(kù)46的該些特殊工程需求數(shù)據(jù)列50比較之前，有可能會(huì)事先，或是同時(shí)與基本數(shù)據(jù)庫(kù)44的該些基本數(shù)據(jù)列48互相比較。
雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例公開如上，但其并非用以限定本發(fā)明。任何熟悉該技術(shù)者，在不脫離本發(fā)明的精神與范圍內(nèi)，所作的少許變動(dòng)與潤(rùn)飾，均屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種制造執(zhí)行系統(tǒng)，包括一第一數(shù)據(jù)庫(kù)，儲(chǔ)存一第一復(fù)數(shù)個(gè)數(shù)據(jù)列(或稱為記錄)，其中每一該些數(shù)據(jù)列包括當(dāng)至少一半導(dǎo)體晶圓被放置在一處理工具中，指示在該至少一半導(dǎo)體晶圓上所執(zhí)行的一例行動(dòng)作的信息；一第二數(shù)據(jù)庫(kù)，儲(chǔ)存一第二復(fù)數(shù)個(gè)數(shù)據(jù)列(或稱為記錄)，其中每一該些數(shù)據(jù)列包括當(dāng)至少一半導(dǎo)體晶圓被放置在該處理工具中，指示在該至少一半導(dǎo)體晶圓上所執(zhí)行的一特殊動(dòng)作的信息。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造執(zhí)行系統(tǒng)，其特征在于該第一數(shù)據(jù)庫(kù)包括一基本數(shù)據(jù)庫(kù)，該第二數(shù)據(jù)庫(kù)包括一特殊工程需求(SER)數(shù)據(jù)庫(kù)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造執(zhí)行系統(tǒng)，其特征在于每一該些第一數(shù)據(jù)列包括一指定給至少一半導(dǎo)體晶圓的批次識(shí)別碼和一用來指示該例行動(dòng)作的配方識(shí)別碼。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造執(zhí)行系統(tǒng)，其特征在于該處理工具包括復(fù)數(shù)個(gè)被架構(gòu)成用來接收至少一半導(dǎo)體晶圓的工作室，而且每一該些第一數(shù)據(jù)列包括一工作室識(shí)別碼，用來指示在該例行動(dòng)作執(zhí)行期間，該至少一半導(dǎo)體晶圓所被放置在的該些工作室中的一工作室。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造執(zhí)行系統(tǒng)，其特征在于每一該些第二數(shù)據(jù)列包括一指定給至少一半導(dǎo)體晶圓的批次識(shí)別碼和一用來指示該特殊動(dòng)作的配方識(shí)別碼。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造執(zhí)行系統(tǒng)，其特征在于該處理工具包括復(fù)數(shù)個(gè)被架構(gòu)成用來接收至少一半導(dǎo)體晶圓的工作室，而且每一該些第二數(shù)據(jù)列包括一工作室識(shí)別碼，用來指示在該特殊動(dòng)作執(zhí)行期間，該至少一半導(dǎo)體晶圓所被放置在的該些工作室中的一工作室。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造執(zhí)行系統(tǒng)，其特征在于更加包括一接收模塊，接收來自該處理工具的一操作數(shù)據(jù)；一比較模塊，存取該第一數(shù)據(jù)庫(kù)和該第二數(shù)據(jù)庫(kù)，將該操作數(shù)據(jù)與每一該些第一數(shù)據(jù)列和每一該些第二數(shù)據(jù)列互相比較；一輸出模塊，當(dāng)該操作數(shù)據(jù)并未與任一該些第一數(shù)據(jù)列和任一該些第二數(shù)據(jù)列吻合時(shí)，提供一警告訊號(hào)給該處理工具。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制造執(zhí)行系統(tǒng)，其特征在于該操作數(shù)據(jù)是用來指定在至少一半導(dǎo)體晶圓上所執(zhí)行的一選定動(dòng)作。
9.一種制造執(zhí)行系統(tǒng)，包括一接收模塊，接收來自該處理工具的一操作數(shù)據(jù)；其中該處理工具在至少一放置在該處理工具中的半導(dǎo)體晶圓上執(zhí)行一選定動(dòng)作；一內(nèi)存系統(tǒng)，包括一第一數(shù)據(jù)庫(kù)，儲(chǔ)存一第一復(fù)數(shù)個(gè)數(shù)據(jù)列(或稱為記錄)，其中每一該些數(shù)據(jù)列包括指示在該至少一半導(dǎo)體晶圓上所執(zhí)行的一基本動(dòng)作的信息；一第二數(shù)據(jù)庫(kù)，儲(chǔ)存一第二復(fù)數(shù)個(gè)數(shù)據(jù)列(或稱為記錄)，其中每一該些數(shù)據(jù)列包括指示在該至少一半導(dǎo)體晶圓上所執(zhí)行的一特殊工程需求動(dòng)作的信息；一比較模塊，存取該第一數(shù)據(jù)庫(kù)和該第二數(shù)據(jù)庫(kù)，將該操作數(shù)據(jù)與每一該些第一數(shù)據(jù)列和每一該些第二數(shù)據(jù)列互相比較；一輸出模塊，當(dāng)該操作數(shù)據(jù)并未與任一該些第一數(shù)據(jù)列和任一該些第二數(shù)據(jù)列吻合時(shí)，提供一警告訊號(hào)給該處理工具。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的制造執(zhí)行系統(tǒng)，其特征在于該第一數(shù)據(jù)庫(kù)是一包括用在該處理工具自動(dòng)執(zhí)行功能的復(fù)數(shù)個(gè)基本數(shù)據(jù)列的基本數(shù)據(jù)庫(kù)，該第二數(shù)據(jù)庫(kù)是一包括用在該處理工具手動(dòng)執(zhí)行功能的復(fù)數(shù)個(gè)特殊工程需求數(shù)據(jù)列的特殊工程需求數(shù)據(jù)庫(kù)。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的制造執(zhí)行系統(tǒng)，其特征在于該操作數(shù)據(jù)包括一指定給至少一半導(dǎo)體晶圓的批次識(shí)別碼、一用來指示該選定動(dòng)作的配方識(shí)別碼和一工作室識(shí)別碼，用來指示該至少一半導(dǎo)體晶圓目前所被放置在的該些工作室中的一工作室。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的制造執(zhí)行系統(tǒng)，其特征在于該接收模塊接收從一單元控制器所送出，來自該處理工具的該操作數(shù)據(jù)；該輸出模塊將該警告訊號(hào)，經(jīng)由該單元控制器，輸出給該處理工具。
13.根據(jù)權(quán)利要求9所述的制造執(zhí)行系統(tǒng)，其特征在于每一該些第一數(shù)據(jù)列包括一指定給至少一半導(dǎo)體晶圓的批次識(shí)別碼、一用來指示該基本動(dòng)作的配方識(shí)別碼和一工作室識(shí)別碼，用來指示在該基本動(dòng)作執(zhí)行期間，該至少一半導(dǎo)體晶圓所被放置在的該些工作室中的一工作室；每一該些第二數(shù)據(jù)列包括一指定給至少一半導(dǎo)體晶圓的批次識(shí)別碼、一用來指示該特殊工程需求動(dòng)作的配方識(shí)別碼和一工作室識(shí)別碼，用來指示在該特殊工程需求動(dòng)作執(zhí)行期間，該至少一半導(dǎo)體晶圓所被放置在的該些工作室中的一工作室。
14.一種半導(dǎo)體晶圓制造系統(tǒng)，包括一處理工具，在放置在該處理工具之內(nèi)的至少一半導(dǎo)體晶圓上，執(zhí)行一選定動(dòng)作；一制造執(zhí)行系統(tǒng)，連接到該處理工具，包括一第一數(shù)據(jù)庫(kù)，儲(chǔ)存一第一復(fù)數(shù)個(gè)數(shù)據(jù)列(或稱為記錄)，其中每一該些數(shù)據(jù)列包括指示在該至少一半導(dǎo)體晶圓上所執(zhí)行的一例行動(dòng)作的信息；一第二數(shù)據(jù)庫(kù)，儲(chǔ)存一第二復(fù)數(shù)個(gè)數(shù)據(jù)列(或稱為記錄)，其中每一該些數(shù)據(jù)列包括指示在該至少一半導(dǎo)體晶圓上所執(zhí)行的一特殊動(dòng)作的信息。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的半導(dǎo)體晶圓制造系統(tǒng)，其特征在于該第一數(shù)據(jù)庫(kù)包括一基本數(shù)據(jù)庫(kù)，該第二數(shù)據(jù)庫(kù)包括一特殊工程需求(SER)數(shù)據(jù)庫(kù)。
16.一種半導(dǎo)體晶圓制造系統(tǒng)，包括一處理工具，在放置在該處理工具之內(nèi)的至少一半導(dǎo)體晶圓上，執(zhí)行一選定動(dòng)作；一制造執(zhí)行系統(tǒng)，包括一接收模塊，接收來自該處理工具的一操作數(shù)據(jù)，其中該操作數(shù)據(jù)是用來指定該指定動(dòng)作；一內(nèi)存系統(tǒng)，包括一第一數(shù)據(jù)庫(kù)，儲(chǔ)存一第一復(fù)數(shù)個(gè)數(shù)據(jù)列(或稱為記錄)，其中每一該些數(shù)據(jù)列包括指示在該至少一半導(dǎo)體晶圓上所執(zhí)行的一基本動(dòng)作的信息；一第二數(shù)據(jù)庫(kù)，儲(chǔ)存一第二復(fù)數(shù)個(gè)數(shù)據(jù)列(或稱為記錄)，其中每一該些數(shù)據(jù)列包括指示在該至少一半導(dǎo)體晶圓上所執(zhí)行的一特殊工程需求動(dòng)作的信息；一比較模塊，存取該第一數(shù)據(jù)庫(kù)和該第二數(shù)據(jù)庫(kù)，將該操作數(shù)據(jù)與每一該些第一數(shù)據(jù)列和每一該些第二數(shù)據(jù)列互相比較；一輸出模塊，當(dāng)該操作數(shù)據(jù)并未與任一該些第一數(shù)據(jù)列和任一該些第二數(shù)據(jù)列吻合時(shí)，提供一警告訊號(hào)給該處理工具。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的半導(dǎo)體晶圓制造系統(tǒng)，其特征在于該第一數(shù)據(jù)庫(kù)包括一基本數(shù)據(jù)庫(kù)，該第二數(shù)據(jù)庫(kù)包括一特殊工程需求(SER)數(shù)據(jù)庫(kù)。
18.一種方法，包括接收來自一處理工具的一操作數(shù)據(jù)，其中該操作數(shù)據(jù)用來指定在該處理工具中所執(zhí)行的一選定動(dòng)作；將該操作數(shù)據(jù)與每一該些第一數(shù)據(jù)列和每一該些第二數(shù)據(jù)列互相比較，其中每一該些第一數(shù)據(jù)列包括用來指定在該處理工具中，所執(zhí)行的一特殊動(dòng)作的信息，每一該些第二數(shù)據(jù)列包括用來指定在該處理工具中，所執(zhí)行的一例行動(dòng)作的信息；當(dāng)該操作數(shù)據(jù)并未與任一該些第一數(shù)據(jù)列和任一該些第二數(shù)據(jù)列吻合時(shí)，提供一警告訊號(hào)給該處理工具。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法，更加包括當(dāng)該操作數(shù)據(jù)并未與任一該些第一數(shù)據(jù)列和任一該些第二數(shù)據(jù)列吻合時(shí)，提供該警告訊號(hào)給一使用者界面，以對(duì)該使用者提出警告。
20.一種方法，包括接收來自一處理工具的一操作數(shù)據(jù)，其中該操作數(shù)據(jù)用來指定在該處理工具中所執(zhí)行的一選定動(dòng)作；將該操作數(shù)據(jù)與每一該些第一數(shù)據(jù)列互相比較，其中每一該些第一數(shù)據(jù)列包括用來指定在該處理工具中，所執(zhí)行的一特殊動(dòng)作的信息；當(dāng)該操作數(shù)據(jù)并未與任一該些第一數(shù)據(jù)列吻合時(shí)，將該操作數(shù)據(jù)與每一該些第二數(shù)據(jù)列互相比較，其中每一該些第二數(shù)據(jù)列包括用來指定在該處理工具中，所執(zhí)行的一例行動(dòng)作的信息；當(dāng)該操作數(shù)據(jù)并未與任一該些第二數(shù)據(jù)列吻合時(shí)，提供一警告訊號(hào)給該處理工具。
21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，其特征在于該特殊動(dòng)作信息是用在該處理工具的手動(dòng)執(zhí)行中，而該例行動(dòng)作信息是用在該處理工具的自動(dòng)執(zhí)行中。
22.根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，其特征在于該接收包括經(jīng)由一單元控制器，接收來自該處理工具的一操作數(shù)據(jù)；該提供包括經(jīng)由該單元控制器，提供該警告訊號(hào)給該處理工具。
23.根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，其特征在于更加包括當(dāng)該操作數(shù)據(jù)并未與任一該些第二數(shù)據(jù)列吻合時(shí)，提供該警告訊號(hào)給一使用者界面，以對(duì)該使用者提出警告。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種制造執(zhí)行系統(tǒng)，包括一個(gè)第一數(shù)據(jù)庫(kù)和一個(gè)第二數(shù)據(jù)庫(kù)。第一數(shù)據(jù)庫(kù)儲(chǔ)存第一組數(shù)據(jù)列，每一筆數(shù)據(jù)列包括當(dāng)至少有一個(gè)半導(dǎo)體晶圓放置在一個(gè)處理工具中時(shí)與在至少一半導(dǎo)體晶圓上所執(zhí)行的一個(gè)例行動(dòng)作相關(guān)的信息。第二數(shù)據(jù)庫(kù)儲(chǔ)存第二組數(shù)據(jù)列，每一筆數(shù)據(jù)列包括當(dāng)至少有一個(gè)半導(dǎo)體晶圓放置在該處理工具中時(shí)與在至少一個(gè)半導(dǎo)體晶圓上所執(zhí)行的一個(gè)特殊動(dòng)作相關(guān)的信息。本發(fā)明的配備在制造執(zhí)行系統(tǒng)中的方法。包括下列步驟接收來自處理工具的操作數(shù)據(jù)(operation data)，接下來將操作數(shù)據(jù)與第一組數(shù)據(jù)列和的第二組數(shù)據(jù)列中的每一筆數(shù)據(jù)列相比較。
文檔編號(hào)H01L21/00GK1455436SQ03122298
公開日2003年11月12日 申請(qǐng)日期2003年4月24日 優(yōu)先權(quán)日2002年4月30日
發(fā)明者蘇遠(yuǎn)志, 游振忠, 林誌煌, 尤竹山 申請(qǐng)人:旺宏電子股份有限公司