專利名稱：用于微機(jī)電系統(tǒng)(mems)器件的錨固件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于將器件固定在基底上的錨固件，尤其涉及用于將微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件固定在基底上的錨固件。
背景技術(shù)：
在許多領(lǐng)域中都會應(yīng)用到微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件，例如在通信、檢測、光學(xué)、微射流技術(shù)和材料特性測量等領(lǐng)域。在通信領(lǐng)域，MEMS無線電頻率(RF)開關(guān)和可變MEMS電容器用于可調(diào)RF濾波器電路中。MEMS無線電頻率開關(guān)和MEMS電容器比固態(tài)變?nèi)荻O管具有幾個方面的優(yōu)勢，包括較高的開/關(guān)電容比和較高品質(zhì)因子。
MEMS器件通常通過錨固件固定至基底。傳統(tǒng)錨固件的“足印”面積相對于設(shè)計準(zhǔn)則和加工限制最大化，以保證將MEMS器件適當(dāng)?shù)馗街诨咨?。錨固件必須具有足夠強度，以承受彎曲或伸縮MEMS器件產(chǎn)生的作用在錨固件上的應(yīng)力。傳統(tǒng)錨固件的缺點是，錨固件的強度是通過增加錨固件的“足印”面積而提高的，這樣就帶來了增加MEMS器件總體尺寸的不利結(jié)果，或者會給MEMS器件帶來另外的設(shè)計限制。另一個缺點是，傳統(tǒng)錨固件中的單一破裂能夠沿著錨固件的長度方向傳播，導(dǎo)致錨固件的機(jī)械故障。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供了一種錨固件系統(tǒng)，用于將MEMS器件的基部固定至基底上，所述錨固件系統(tǒng)包括多個錨固件來取代使其“足印”面積最大化的傳統(tǒng)錨固件。通過將所述錨固件系統(tǒng)分割成多個較小錨固件，本發(fā)明能夠增加錨固件系統(tǒng)的總體強度。
根據(jù)本發(fā)明一個實施例制成的MEMS結(jié)構(gòu)包括懸掛在基底上的柔性梁和連接至所述梁每個末端的基部。每個基部通過連接至所述基底的多個錨固件支撐在基底上。每個錨固件沿其離開基底支撐各個基部的側(cè)面還包括錨腿。
在一個實施例中，每個基部的錨固件位于遠(yuǎn)離所述梁與基部之間的界面。這樣做可以使由梁彎曲或伸縮產(chǎn)生的應(yīng)力遠(yuǎn)離錨固件，從而使所述錨固件不容易發(fā)生機(jī)械故障。
在另一個實施例中，錨固件的錨腿制成沿較好側(cè)壁階梯覆蓋層方向比沿較差側(cè)壁階梯覆蓋層方向更長。這樣做可以在使用金屬沉積加工來制造錨固件時增加錨固件系統(tǒng)的總體強度，所述金屬沉積加工在一個方向上提供比另一個方向上更好的側(cè)壁階梯覆蓋層。
通過結(jié)合附圖對本發(fā)明進(jìn)行說明，本發(fā)明的其他目的和特征將變得更為清楚。


圖1A是根據(jù)本發(fā)明實施例的MEMS氣橋(air-bridge)結(jié)構(gòu)的俯視圖，其中梁在兩端由多個錨固件附件支撐；圖1B是圖1A所示MEMS結(jié)構(gòu)沿線段1B-1B’的橫截面圖；圖1C是圖1A所示MEMS結(jié)構(gòu)沿線段1C-1C’的橫截面圖；圖2是顯示了根據(jù)本發(fā)明實施例的MEMS氣橋結(jié)構(gòu)的示意性加工流程；圖3A是根據(jù)本發(fā)明實施例的MEMS結(jié)構(gòu)的俯視圖，其中梁在一端由多個錨固件附件支撐，另一端自由；圖3B是圖3A所示MEMS結(jié)構(gòu)沿線段3B-3B’的橫截面圖；圖3C是圖3A所示MEMS結(jié)構(gòu)沿線段3C-3C’的橫截面圖；圖4是根據(jù)本發(fā)明實施例的MEMS結(jié)構(gòu)的俯視圖和兩個橫截面圖，其中一個橫截面圖說明了靜電激勵下的MEMS結(jié)構(gòu)；圖5是傳統(tǒng)MEMS結(jié)構(gòu)的俯視圖和兩個橫截面圖，其中一個橫截面圖說明了靜電激勵下的MEMS結(jié)構(gòu)；圖6(a)至圖6(f)是根據(jù)本發(fā)明實施例的由六個錨固件結(jié)構(gòu)支撐的基部的俯視圖；圖7(a)至圖7(f)是根據(jù)本發(fā)明實施例的由六個以上錨固件結(jié)構(gòu)支撐的基部的俯視圖。
具體實施例方式
請參看圖1A至圖1C，MEMS氣橋結(jié)構(gòu)10包括懸掛在基底35上的柔性梁15(“頂部電極”)。梁15優(yōu)選由具有良好柔韌性、較高電導(dǎo)率和易于沉積特征的金屬制成。適合用于梁15的金屬包括但不局限于金和銀。也可以采用其他材料，例如多晶硅。梁15在每一端連接至矩形基部25。每個基部25由連接至基底35表面的多個微釘錨固件30支撐在基底35上。每個微釘錨固件30沿離開基底35支撐基部25的四個側(cè)面包括錨腿32。錨固件30的位置遠(yuǎn)離梁15與每個基部25之間的界面45。其重要性將在下面進(jìn)行說明。
MEMS氣橋結(jié)構(gòu)10可以用于實現(xiàn)MEMS無線電頻率開關(guān)，其在梁15的中心部分下面的基底35上包括底部電極40。無線電頻率開關(guān)在“關(guān)”狀態(tài)中打開并在“開”狀態(tài)中閉合。在“關(guān)”狀態(tài)中，無線電頻率開關(guān)利用梁15與基底35上的底部電極40之間的間隙而打開。在“開”狀態(tài)中，偏壓施加在無線電頻率開關(guān)上以產(chǎn)生靜電力，所述靜電力向下彎曲梁15的中心部分以與底部電極40相接觸，從而閉合開關(guān)。為了獲得無線電頻率開關(guān)的高品質(zhì)因子，頂部電極15和/或底部電極40可以在MgO基底上由薄膜高溫超導(dǎo)體(HTS)材料制成。薄膜HTS材料目前是按照常規(guī)方法形成的并可以購買到，例如參看R.B.Hammond等的“Epitaxial Tl2Ca1Ba2Cu2O8ThinFilms With Low 9.6GHz Surface Resistance at High Power and above 77K”，Appl.Phy.Lett.，Vol.57，pp.825-27，1990。
圖2顯示了用于根據(jù)本發(fā)明實施例的MEMS氣橋結(jié)構(gòu)10的示意性制造流程。為了易于討論，底部電極被省略。在步驟(a)中，設(shè)置基底35。所述基底可以但不局限于由MgO或者硅制成。在步驟(b)中，犧牲層110沉積在基底35上。犧牲層110可以是任何適合的材料，例如光致抗蝕劑、聚酰亞胺或者氧化物。犧牲層110在制造過程中為梁15和相關(guān)基部25提供支撐。在步驟(c)中，犧牲層110被形成圖案以在暴露基底35的表面的犧牲層110中形成通路120。在步驟(d)中，金屬層130沉積在犧牲層110和通路120上。金屬層130可以通過電鍍、濺射或者電子束(e-beam)沉積法進(jìn)行沉積。在步驟(e)中，金屬層130形成圖案以形成梁15、連接至梁15每個末端的基部25和錨固件30。在步驟(f)中，犧牲層110被除去，以利用諸如蝕刻等適當(dāng)?shù)姆椒ㄡ尫帕?5。
在圖2中，沉積在通路120的垂直側(cè)壁上的金屬形成錨固件30的錨腿32。圖2顯示了一種理想狀態(tài)，其中錨固件30的錨腿32與基部25和梁15具有相同厚度。但是，在實踐中，許多金屬沉積技術(shù)(例如電子束沉積法和濺射)在水平表面上比在垂直或者大角度表面上提供更好的階梯覆蓋層。結(jié)果，錨腿32的厚度可以比基部25和梁15的厚度薄很多。
對于某些金屬沉積技術(shù)，垂直側(cè)壁階梯覆蓋層通常在一個方向上比在另一個方向上更有效。在圖1A至圖1C所示實例中，側(cè)壁階梯覆蓋層在方向B上比在方向C上更有效(在圖1A中用箭頭B和C表示)。沿圖1C中的線段1C-1C’獲取的橫截面顯示了沿方向B朝向的錨腿32的橫截面。圖1C顯示沿方向B朝向的錨腿32具有相對較好的階梯覆蓋層。沿圖1B中的線段1B-1B’獲取的橫截面顯示了沿方向C朝向的錨腿32的橫截面。圖1B顯示沿方向B朝向的錨腿32具有相對較差的階梯覆蓋層。結(jié)果，沿方向B朝向的錨腿32較厚，因此在此特殊實例中比沿方向C朝向的錨腿32更堅固。
為了增加錨固件30的總體強度，本發(fā)明使沿較好側(cè)壁階梯覆蓋層(方向B)方向的錨腿32的長度lB比沿較差側(cè)壁階梯覆蓋層(方向C)方向的錨腿32的長度lC更長。這樣，沿較好側(cè)壁階梯覆蓋層方向的錨腿32的長度被最大化，而沿較差側(cè)壁階梯覆蓋層方向的錨腿32的長度被最小化。
根據(jù)本發(fā)明的多個錨固件與使錨固件的“足印”面積最大化的傳統(tǒng)錨固件系統(tǒng)相比能提供幾個優(yōu)點。一個優(yōu)點是錨固件30的錨腿32的結(jié)合長度在沿較好階梯覆蓋層方向上比占據(jù)相同面積的傳統(tǒng)較大錨固件大很多。例如，在圖1A中，對于每個基部25的錨腿32沿較好側(cè)壁階梯覆蓋層(方向B)方向的結(jié)合長度通過將沿方向B朝向的全部錨腿32長度累加而建立。在這種情況下，對于每個基部25的錨腿32沿較好側(cè)壁階梯覆蓋層(方向B)方向的結(jié)合長度是18lB。通過對比，與對于每個基部25的多個錨固件30占據(jù)相同面積的單個傳統(tǒng)較大錨固件的錨腿結(jié)合長度沿方向B大約是2lB。結(jié)果，根據(jù)本發(fā)明的多個錨固件30的結(jié)合長度比傳統(tǒng)大錨固件的強度大很多，而且不需要基部面積比傳統(tǒng)錨固件大。當(dāng)金屬沉積加工用于制造錨固件30時，上述特征特別有利，所述金屬沉積加工沿一個方向并沿另一個方向提供更好的側(cè)壁階梯覆蓋層。
本發(fā)明的另一個優(yōu)點是錨固件的位置遠(yuǎn)離梁15與基部25之間的界面45。這一點非常重要，因為錨腿32與基部25之間的渡越區(qū)在錨固件30中形成易于發(fā)生機(jī)械故障的弱點。因為本發(fā)明的錨固件30的位置遠(yuǎn)離梁15與基部25之間的界面45，梁15彎曲或者伸縮產(chǎn)生的應(yīng)力不會在錨固件30的弱點處產(chǎn)生，而是集中在梁15與基部25之間的界面45上。這種現(xiàn)象示于圖4中，圖4顯示了處于靜電激勵下的根據(jù)本發(fā)明的MEMS結(jié)構(gòu)10。靜電激勵向下彎曲梁15以與底部電極40相互接觸。梁15彎曲產(chǎn)生的應(yīng)力發(fā)生在梁15與基部25之間的界面45上，并遠(yuǎn)離錨固件30的弱點。相反，圖5顯示了傳統(tǒng)錨固件80，其中錨固件80的弱點連接至梁15。在這種情況下，梁15彎曲產(chǎn)生的應(yīng)力發(fā)生在傳統(tǒng)錨固件80的弱點上，這加重了錨固件80的弱點并增加了發(fā)生機(jī)械故障的可能性。在本發(fā)明中，梁15彎曲產(chǎn)生的應(yīng)力發(fā)生的位置遠(yuǎn)離錨固件30，從而錨固件的弱點不受梁15彎曲的影響。這減小了錨固件30的應(yīng)力，從而改善了MEMS結(jié)構(gòu)10的可靠性。
本發(fā)明的另一個優(yōu)點是，其中一個錨固件30的破裂不會傳播至其他錨固件30。這是因為錨固件30相互分開。因此，如果一個錨固件30由于破裂而發(fā)生故障，其他錨固件30不受影響。另一個方面，在傳統(tǒng)大錨固件中，錨固件中的破裂沿著錨固件長度方向傳播，導(dǎo)致整個錨固件系統(tǒng)發(fā)生故障。
梁15還可以只在一端錨定，而在另一端自由。特別地，請參看圖3A至圖3C，MEMS結(jié)構(gòu)70可以用于實現(xiàn)MEMS無線電頻率開關(guān)，在梁15的末端(即自由端)下面的基底35上包括底部電極40。在“關(guān)”狀態(tài)，無線電頻率開關(guān)借助梁15與底部電極40之間形成的間隙而打開。在“開”狀態(tài)，偏壓施加在無線電頻率開關(guān)上以產(chǎn)生靜電力，所述靜電力向下彎曲梁15的末端以接觸底部電極40，從而閉合開關(guān)。圖3A至圖3C所示MEMS結(jié)構(gòu)還可用于實現(xiàn)可變MEMS電容器，在梁15下面的基底35上包括固定底部電極40。雖然在圖3B中梁15為直的，可變MEMS電容器的梁通常但不必須為從錨定端向上彎曲。在運轉(zhuǎn)中，可變MEMS電容器的電容通過改變時間在電容器上的偏壓而變化。所施加的偏壓在梁15上產(chǎn)生靜電力，相對于基底35上的底部電極40彎曲梁15，從而改變梁15與底部電極40之間的間隙。這進(jìn)而改變了MEMS電容器的電容。
根據(jù)本發(fā)明的六個示例性錨固件結(jié)構(gòu)示于圖6(a)至圖6(f)中，這些圖顯示了有六錨固件結(jié)構(gòu)支撐的基部150的俯視圖。每個基部150通過折疊彈簧160連接至梁155。折疊彈簧160通常用于使梁易于彎曲，從而需要較小靜點激勵來向下拉所述梁。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以理解，折疊彈簧160使可選擇的，梁155可以直接連接至基部150。
圖6(a)顯示了一個錨固件結(jié)構(gòu)的俯視圖，其中基部150由緊密間隔矩形錨固件165支撐。矩形錨固件165的錨腿的結(jié)合長度、進(jìn)而結(jié)合強度比與矩形錨固件165具有相同基部面積的傳統(tǒng)單個大錨固件大很多。圖(a)所示錨固件結(jié)構(gòu)可以用于金屬沉積加工，所述金屬沉積加工提供均勻的側(cè)壁階梯覆蓋層。
圖6(b)顯示了另一個錨固件結(jié)構(gòu)的俯視圖，其中梁基部150由兩行矩形錨固件170支撐。每個錨固件170的錨腿制成為在水平方向比在垂直方向更長(相對于所述俯視圖)。這種錨固件結(jié)構(gòu)增加了錨固件170對于沉積加工的強度，所述沉積加工提供在垂直方向上比在水平方向上提供更好的側(cè)壁階梯覆蓋層。圖6(c)顯示了包括單列較長矩形錨固件175的錨固件結(jié)構(gòu)。
圖6(f)顯示了另一個錨固件結(jié)構(gòu)的俯視圖，其中基部150由三行矩形錨固件180支撐。每個錨固件180的錨腿制成在水平方向上比在垂直方向更長(相對于俯視圖)。這種錨固件結(jié)構(gòu)增加了錨固件180對于沉積加工的強度，所述沉積加工提供在在水平方向上比垂直方向上提供更好的側(cè)壁階梯覆蓋層。
圖6(d)顯示了包括三行六邊形錨固件190的錨固件結(jié)構(gòu)。圖6(e)顯示了包括兩行八邊形錨固件185的錨固件結(jié)構(gòu)。
圖6(a)至圖6(f)說明了根據(jù)本發(fā)明的示意性錨固件結(jié)構(gòu)并且不是窮舉性的。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以理解，圖6(a)至圖6(f)所示錨固件結(jié)構(gòu)可以包括任何數(shù)量的錨固件和任何行數(shù)。
根據(jù)本發(fā)明的六個以上示意性錨固件結(jié)構(gòu)示于圖7(a)至圖7(f)中，其示出了由六個錨固件結(jié)構(gòu)制成的基部250的俯視圖。每個基部250直接連接至梁260。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以理解，每個梁260還可以利用折疊彈簧連接至基部250。圖7(a)說明了包括兩行十字錨固件265的錨固件結(jié)構(gòu)。圖7(b)說明了包括兩行小橢圓形錨固件270的錨固件結(jié)構(gòu)。圖7(c)說明了包括一行長橢圓形錨固件275的錨固件結(jié)構(gòu)。圖7(d)說明了包括兩行圓形錨固件280的錨固件結(jié)構(gòu)。圓形和橢圓形錨固件的優(yōu)點是使應(yīng)力集中點最小化，所述應(yīng)力集中點否則的話可能沿錨固件周長的拐角上發(fā)生。圖7(e)說明了包括兩行對角十字錨固件285的錨固件結(jié)構(gòu)。圖7(f)說明了包括三行寬橢圓形錨固件290的錨固件結(jié)構(gòu)。
盡管對本發(fā)明的一些實施例進(jìn)行了展示和說明，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解，在不偏離本發(fā)明的原理和實質(zhì)的情況下，可對這些實施例進(jìn)行改變。例如，根據(jù)本發(fā)明的多個錨固件系統(tǒng)不局限于說明書中所述MEMS器件，原則上可以用于將其他MEMS器件固定在基底上。例如，根據(jù)本發(fā)明的錨固件系統(tǒng)可以用于錨定許多MEMS激勵器器件，例如熱激勵器、磁激勵器、梳狀驅(qū)動激勵器、無線電頻率和直流開關(guān)、無線電頻率和直流繼電器和可變電容器(可變電抗器)。另外，根據(jù)本發(fā)明的錨固件系統(tǒng)還可以用于錨定許多MEMS傳感器器件，包括電容性傳感器、共振傳感器和加速計。因此，本發(fā)明的范圍僅由其權(quán)利要求及其等同物所限定。
權(quán)利要求
1.一種微機(jī)電系統(tǒng)錨固件系統(tǒng)，用于將微機(jī)電系統(tǒng)器件的基部固定至基底，包括將微機(jī)電系統(tǒng)器件的基部固定至基底的多個錨固件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電系統(tǒng)錨固件系統(tǒng)，其特征在于，每個錨固件包括多個錨腿，每個錨腿在一端連接至所述微機(jī)電系統(tǒng)器件的基部，在另一端連接至所述基底。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的微機(jī)電系統(tǒng)錨固件系統(tǒng)，其特征在于，所述多個錨腿包括沿第一方向定向的第一數(shù)量的錨腿和沿第二方向定向的第二數(shù)量的錨腿，并且所述第一數(shù)量的錨腿比第二數(shù)量的錨腿更堅固并更長。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的微機(jī)電系統(tǒng)錨固件系統(tǒng)，其特征在于，所述沿第一方向定向的第一數(shù)量的錨腿長度至少是沿第二方向定向的第二數(shù)量的錨腿長度的兩倍。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電系統(tǒng)錨固件系統(tǒng)，其特征在于，所述所述多個錨固件被設(shè)置在至少兩行中，每行包括至少兩個錨固件。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電系統(tǒng)錨固件系統(tǒng)，其特征在于，所述每行包括至少四個錨固件。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電系統(tǒng)錨固件系統(tǒng)，其特征在于，所述多個錨固件包括至少八個錨固件。
8.一種微機(jī)電系統(tǒng)裝置，包括梁；連接至所述梁一端的基部；基底；和將所述基部固定至基底的多個錨固件。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的微機(jī)電系統(tǒng)裝置，其特征在于，所述多個錨固件的位置遠(yuǎn)離連接至所述基部的梁的末端。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的微機(jī)電系統(tǒng)裝置，其特征在于，所述基部的寬度大于所述梁的寬度。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的微機(jī)電系統(tǒng)裝置，其特征在于，所述每個錨固件包括多個錨腿，每個錨腿在一端連接至所述基部，在另一端連接至所述基底。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的微機(jī)電系統(tǒng)裝置，其特征在于，所述多個錨腿包括沿第一方向定向的第一數(shù)量的錨腿和沿第二方向定向的第二數(shù)量的錨腿，并且所述第一數(shù)量的錨腿比第二數(shù)量的錨腿更堅固并更長。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的微機(jī)電系統(tǒng)裝置，其特征在于，所述沿第一方向定向的第一數(shù)量的錨腿長度至少是沿第二方向定向的第二數(shù)量的錨腿長度的兩倍。
14.根據(jù)權(quán)利要求8所述的微機(jī)電系統(tǒng)裝置，其特征在于，所述多個錨固件被設(shè)置在至少兩行中，每行包括至少兩個錨固件。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的微機(jī)電系統(tǒng)裝置，其特征在于，所述每行包括至少四個錨固件。
16.根據(jù)權(quán)利要求8所述的微機(jī)電系統(tǒng)裝置，其特征在于，所述多個錨固件包括至少八個錨固件。
17.根據(jù)權(quán)利要求8所述的微機(jī)電系統(tǒng)裝置，其特征在于，還包括將所述梁的一端連接至基部的折疊彈簧。
18.根據(jù)權(quán)利要求8所述的微機(jī)電系統(tǒng)裝置，其特征在于，所述梁的另一端自由。
19.一種微機(jī)電系統(tǒng)裝置，包括梁；兩個基部，每個基部連接至所述梁一端；基底；和兩組多個錨固件，每組多個錨固件將所述基部之一固定至所述基底。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的微機(jī)電系統(tǒng)裝置，其特征在于，所述每組多個錨固件的位置遠(yuǎn)離連接至各個基部的梁的末端。
21.根據(jù)權(quán)利要求19所述的微機(jī)電系統(tǒng)裝置，其特征在于，所述每個基部的寬度大于所述梁的寬度。
22.根據(jù)權(quán)利要求19所述的微機(jī)電系統(tǒng)裝置，其特征在于，所述每個錨固件包括多個錨腿，每個錨腿在一端連接至各個基部，在另一端連接至所述基底。
23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的微機(jī)電系統(tǒng)裝置，其特征在于，所述多個錨腿包括沿第一方向定向的第一數(shù)量的錨腿和沿第二方向定向的第二數(shù)量的錨腿，并且所述第一數(shù)量的錨腿比第二數(shù)量的錨腿更堅固并更長。
24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的微機(jī)電系統(tǒng)裝置，其特征在于，所述沿第一方向定向的第一數(shù)量的錨腿的長度至少是沿第二方向定向的第二數(shù)量的錨腿的長度的兩倍。
25.根據(jù)權(quán)利要求19所述的微機(jī)電系統(tǒng)裝置，其特征在于，所述多個錨固件被設(shè)置在至少兩行中，每行包括至少兩個錨固件。
26.根據(jù)權(quán)利要求25所述的微機(jī)電系統(tǒng)裝置，其特征在于，所述每行包括至少四個錨固件。
27.根據(jù)權(quán)利要求19所述的微機(jī)電系統(tǒng)裝置，其特征在于，所述多個錨固件包括至少八個錨固件。
28.根據(jù)權(quán)利要求19所述的微機(jī)電系統(tǒng)裝置，其特征在于，還包括將所述梁的一端連接至基部的折疊彈簧。
全文摘要
本發(fā)明提供一種錨固件系統(tǒng)，用于將MEMS器件的基部固定至基底上，其包括多個錨固件。根據(jù)本發(fā)明實施例制造的MEMS器件包括懸掛在基底上的柔性梁和連接至所述梁每個末端的基部。每個基部通過連接至所述基底的多個錨固件支撐在基底上。每個錨固件沿其離開基底支撐各個基部的側(cè)面還包括錨腿。在一個實施例中，每個基部的錨固件的位置遠(yuǎn)離所述梁與基部之間的界面之間。在另一個實施例中，錨固件的錨腿制成沿較好側(cè)壁階梯覆蓋層方向比沿較差側(cè)壁階梯覆蓋層方向更長。
文檔編號H01H59/00GK1565061SQ02819636
公開日2005年1月12日 申請日期2002年8月29日 優(yōu)先權(quán)日2001年10月4日
發(fā)明者埃里克·M·普羅弗特 申請人:超導(dǎo)技術(shù)有限公司