專利名稱：針清洗系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明一般地指向具有可受控移動的貯液筒的液體分發(fā)系統(tǒng)，更具體地說指向利用液體分發(fā)針或輸送釘?shù)囊后w分發(fā)系統(tǒng)及其自動的清洗系統(tǒng)和方法。本發(fā)明的現(xiàn)有技術(shù)幾個類型的現(xiàn)有技術(shù)的分發(fā)系統(tǒng)被用來供各種各樣的應(yīng)用定量分發(fā)液體或糊狀物。一個這樣的應(yīng)用是在印刷電路板和集成電路芯片的組裝中。分發(fā)系統(tǒng)在這個應(yīng)用中被用于用封裝材料封裝集成電路的過程和用密封劑底部填充倒裝集成電路芯片的過程中?，F(xiàn)有技術(shù)的分發(fā)系統(tǒng)還被用來把液體環(huán)氧樹脂或焊接劑的斑點(diǎn)或液滴分發(fā)到電路板和集成電路上。液體環(huán)氧樹脂和焊接劑主要被用于在集成電路范圍內(nèi)連接各個元器件。
在典型的分發(fā)系統(tǒng)中，泵和分發(fā)器組件被安裝到諸如橋形臺架之類用來沿著三條相互正交的軸(x，y，z) 用受計算機(jī)系統(tǒng)或控制器控制的伺服馬達(dá)或其它類似的裝置移動泵和分發(fā)器組件的移動組件上。為了把一定數(shù)量的液體在電路板或某種其它襯底上分發(fā)到預(yù)期的位置，通常包括與分發(fā)針耦合的噴嘴的泵和分發(fā)器組件沿著水平的x和y軸移動到它位于預(yù)期的位置上。然后，泵和分發(fā)器組件沿著垂直的Z軸下降到分發(fā)針在襯底上方某個適當(dāng)?shù)母叨?，在那里它通過針分發(fā)定量的液體。然后，泵和分發(fā)器組件沿著Z軸升起，沿著x和y軸移動到下一個預(yù)期的位置，再沿著垂直的Z軸下降以便在下一個位置分發(fā)定量的液體。
在如同上面描述的那些分發(fā)應(yīng)用中，系統(tǒng)分發(fā)液體的計量精度是該系統(tǒng)的重要特性。這些分發(fā)系統(tǒng)在把精確數(shù)量的經(jīng)過計量的材料分發(fā)到襯底上是有效的，然而，隨著時間的推移，少量的殘留的或其它的材料傾向于堆積在分發(fā)針或釘?shù)耐獗砻嫔?。過剩材料的堆積導(dǎo)致有害的材料滴落、材料飛濺和或線/斑點(diǎn)寬度變化。
因此，具有能夠周期性地把殘留材料從分發(fā)針或輸送釘?shù)耐獗砻嫔锨逑吹舻姆职l(fā)系統(tǒng)是所需要的。
所述系統(tǒng)可以是這樣建造和安排的，以致那殘留材料是在分發(fā)針/釘與容器組件之間不發(fā)生接觸的情況下從液體分發(fā)針或釘上被清除掉的。所述系統(tǒng)可以包括用來收集許多被清除的殘留材料的一次性的杯子。所述系統(tǒng)可以包括用來引導(dǎo)氣流流向一次性杯子的底部的管子。所述容器組件可以包括許多不同直徑的孔，以適應(yīng)多種不同規(guī)格的分發(fā)針或釘。所述真空源可以與許多不同直徑的孔當(dāng)中的一個或多個孔耦合，借此造成穿過許多不同直徑的孔當(dāng)中的一個或多個孔進(jìn)入容器組件的氣流。
本發(fā)明的另一方面指向用來從液體分發(fā)針或釘上清除殘留材料的針清洗系統(tǒng)，在這種場合所述系統(tǒng)包括具有開口直徑可變的可變光闌型閘板的容器組件；可操作地接到可變光闌型閘板上的真空源，其中真空源造成穿過直徑可變的開口進(jìn)入容器組件的氣流；以及使液體分發(fā)針或釘相對于可變光闌型閘板這樣定位以致氣流穿過直徑可變的開口把殘留材料從分發(fā)針或釘上除去的控制系統(tǒng)。
所述系統(tǒng)可以是這樣建造和安排的，以致可變光闌型閘板的直徑可變的開口的直徑可以為了適應(yīng)多種不同規(guī)格的分發(fā)針或釘而被增大或減小。所述控制系統(tǒng)可以是為了可操作地控制可變光闌型閘板的直徑可變的開口的直徑而建造和安排的。所述容器組件可以進(jìn)一步包括用來收集許多被清除的殘留材料的一次性杯子。
本發(fā)明的第三方面指向自動清洗的液體分發(fā)系統(tǒng)。所述系統(tǒng)包括用來接收來自液體來源的液體的裝置，用來穿過針或釘把液體分發(fā)到媒體上的裝置和用來在不接觸針或釘?shù)那闆r下從針或釘?shù)耐饷娌糠智宄S多殘留材料的裝置。
所述系統(tǒng)可以是這樣建造和安排的，以致用來清除殘留材料的裝置包括針清洗系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括具有至少一個孔的容器組件；可操作地接到容器組件上的真空源，其中真空源造成穿過至少一個孔進(jìn)入容器組件的氣流；以及用來使液體分發(fā)針或釘相對于至少一個孔可操作地定位的裝置，其中殘留材料是在分發(fā)針/釘與孔之間沒有接觸的情況下從分發(fā)針或釘上清除掉的。所述系統(tǒng)可以是這樣建造和安排的，以致用來使液體分發(fā)針或釘相對于孔可操作地定位的裝置包括計算機(jī)控制系統(tǒng)。
本發(fā)明的第四方面指向自動清洗的液體分發(fā)系統(tǒng)。所述系統(tǒng)包括至少一個分發(fā)針或釘；包括至少一個用來從至少一個分發(fā)針或釘可操作地清除殘留材料的真空源和用來使一個或多個分發(fā)針或釘相對于真空源可操作地定位的裝置的針清洗系統(tǒng)。所述系統(tǒng)可以是這樣建造和安排的，以致針清洗系統(tǒng)可以包括至少一個容器組件。容器組件可以是為了包括至少一個用來容納分發(fā)針或釘?shù)哪┒说目锥ㄔ旌桶才诺摹Ｈ萜鹘M件可以是為了包括許多不同直徑的孔而建造和安排的。容器組件可以是為了包括至少一個直徑可調(diào)整的孔而建造和安排的。所述系統(tǒng)可以是為了包括至少一個可以與容器組件這樣耦合以致引起空氣流穿過所述的孔流入容器組件的真空源而建造和安排的。
本發(fā)明的第五方面指向在液體分發(fā)系統(tǒng)用來清洗分發(fā)針或釘上的殘留材料的方法。所述方法包括下述步驟提供至少一個具有至少一個孔的容器組件；使針或釘相對于所述的至少一個孔定位；以及提供用來造成穿過孔進(jìn)入容器組件的氣流的真空源。其中氣流引起殘留材料從分發(fā)針或釘上剝落。所述方法可以進(jìn)一步包括在分發(fā)針/釘與孔之間沒有接觸的情況下從分發(fā)針或釘上清除殘留材料的步驟。
圖2是舉例說明

圖1所示的現(xiàn)有技術(shù)的液體分發(fā)系統(tǒng)的控制系統(tǒng)的方框圖；圖3是依照本發(fā)明的第一實施方案與針的清洗系統(tǒng)合并的液體分發(fā)系統(tǒng)的局部剖開的部件側(cè)視圖；圖4是圖3所示的針的清洗系統(tǒng)的俯視圖；圖5是舉例說明圖3和圖4所示的液體分發(fā)系統(tǒng)的控制系統(tǒng)的方框圖；圖6A舉例說明圖3和圖4所示的針清洗系統(tǒng)的局部剖視圖；圖6B舉例說明圖3、圖4和圖6A所示的針清洗系統(tǒng)的放大視圖；圖7是依照本發(fā)明的第二實施方案具有直徑可調(diào)整的孔的針清洗系統(tǒng)的俯視圖；圖8是舉例說明與圖7所示的針清洗系統(tǒng)合并的液體分發(fā)系統(tǒng)的控制系統(tǒng)的方框圖。
本發(fā)明的詳細(xì)說明為了說明的目的，本發(fā)明現(xiàn)在將參照與使用針型裝置把粘性材料分發(fā)到諸如印刷電路板之類的襯底上的可控制的液體分發(fā)系統(tǒng)一起使用的針清洗系統(tǒng)予以描述。然而，熟悉這項技術(shù)的人將清楚本發(fā)明的實施方案不局限于這樣的分發(fā)系統(tǒng)，而是可以用在需要通過針、輸送釘或其它類似的裝置分發(fā)來自容器的劑量受控制的材料的其它應(yīng)用中。
參照圖1，包括液體泵和分發(fā)器組件18和運(yùn)輸機(jī)組件20的現(xiàn)有技術(shù)的可控制的液體分發(fā)系統(tǒng)10被展示出來。液體泵和分發(fā)器組件18可以是為數(shù)眾多的已知系統(tǒng)之一，例如SpeedlineTechnologies，Inc.，Haverhill，MA，在商標(biāo)CAMALOTTM下出售的不同型號的液體分發(fā)器系統(tǒng)之一。在這個實例中，泵和分發(fā)器組件18包括在壓力下從注射器24接收液體并且通過分發(fā)針26分配液體的容積式泵21。所展示的容積式泵22被安裝到供計算機(jī)控制沿著相互正交的軸(x，y，z)的運(yùn)動的導(dǎo)螺桿30上。
運(yùn)輸機(jī)組件20可以是用來相對于液體泵和分發(fā)器組件18輸送和矯正工件的為數(shù)眾多的不同的定位系統(tǒng)當(dāng)中的任何一種。在這個實例中，運(yùn)輸機(jī)組件20具有一對加長的平行軌道40、42和一對在用來支撐和輸送工件50(例如電路板)的軌道旁沿著行進(jìn)方向52向前延伸的加長的運(yùn)輸機(jī)44、46。馬達(dá)(未示出)被安裝到軌道40、42上用來驅(qū)動運(yùn)輸機(jī)44、46。
當(dāng)工件50被輸送到液體分發(fā)系統(tǒng)10中的時候，諸如視覺檢查系統(tǒng)(未示出)之類的檢測器檢測工件50什么時候處在適合處理的位置。在工件50被適當(dāng)?shù)爻C正的情況下，液體泵和分發(fā)器組件18為了上述的許多不同的目的之一把材料可控制地分配到工件50上。附加的運(yùn)輸機(jī)或定位系統(tǒng)(未示出)通常被用于在預(yù)處理和后處理期間輸送工件50到和離開運(yùn)輸機(jī)組件20。
就大多數(shù)應(yīng)用而言，分發(fā)器組件18距襯底某個精確的距離是符合要求的。就這些應(yīng)用而言，高度傳感器(例如接觸式探針)可以被用來測量從分發(fā)針26的針尖到襯底的距離，以便幫助分發(fā)單元在分發(fā)前適當(dāng)?shù)囟ㄎ?。在這個實例中，高度傳感器54被展示安裝在容積式泵22上。高度傳感器54負(fù)責(zé)確定分發(fā)針26在工件50上方的高度并且可以像機(jī)械接觸式探針或諸如激光傳感器(未示出)之類的其它類似的裝置那樣操作。高度傳感器的一個實例是在已轉(zhuǎn)讓給Speedline Techuologies，Inc.，F(xiàn)ranklin，MA并且在此通過引證并入的美國專利第6,093,251號中描述的，雖然其它的高度傳感器也在考慮在內(nèi)。
現(xiàn)在參照圖2，用來控制圖1的液體分發(fā)系統(tǒng)10的不同功能的計算機(jī)控制系統(tǒng)56被展示出來。計算機(jī)控制系統(tǒng)56通常是這樣配置的，以致當(dāng)新型工件50(例如，新型的印刷電路板)提供給液體分發(fā)系統(tǒng)10的時候，需要由液體分發(fā)系統(tǒng)10分發(fā)的材料的位置、尺寸和數(shù)量都可能被調(diào)整。計算機(jī)控制系統(tǒng)56被可操作地接到與液體泵和分發(fā)器組件18耦合的泵和分發(fā)器控制系統(tǒng)58上。泵和分發(fā)器控制系統(tǒng)58是技術(shù)上已知的標(biāo)準(zhǔn)控制系統(tǒng)并且有選擇地確定被液體泵和分發(fā)器組件18分發(fā)到工件50上的材料的體積。
所展示的計算機(jī)控制系統(tǒng)56被可操作地接到與導(dǎo)螺桿30連接的驅(qū)動機(jī)構(gòu)48上。通過把驅(qū)動機(jī)構(gòu)48接到標(biāo)準(zhǔn)的動力控制系統(tǒng)(例如伺服馬達(dá))上，液體泵和分發(fā)器組件18沿著相互正交的軸(x，y，z)定位可以受到控制。由高度傳感器54產(chǎn)生的高度信息被計算機(jī)控制系統(tǒng)56和驅(qū)動機(jī)構(gòu)48用來把分發(fā)針26精確地定位在預(yù)期的高度。計算機(jī)控制系統(tǒng)56還可以被用來控制運(yùn)輸機(jī)組件20的操作。
現(xiàn)在參照圖3至6B，按照本發(fā)明的某些實施方案，針清洗系統(tǒng)60被展示機(jī)械地附著在軌道42上。在替代實施方案中，針清洗系統(tǒng)60可以附著到液體分發(fā)系統(tǒng)10的其它部件上，或者它可以是獨(dú)立單元。針清洗系統(tǒng)60使用與真空源連接的孔如同下面描述的那樣造成周期性地抽吸分發(fā)針26上殘留的或其它的材料的高速空氣流。
在這個實例中，針清洗系統(tǒng)60包括用來抽吸和收集來自分發(fā)針26的殘留材料的容器組件62。針清洗系統(tǒng)60包括一對轉(zhuǎn)盤66、68，其中每個轉(zhuǎn)盤包括許多清洗孔70。轉(zhuǎn)盤66、68可旋轉(zhuǎn)地安裝在一對依次安裝在容器組件62上的平臺72，74上。平臺72、74每個都有將允許氣流84經(jīng)過選定的清洗孔70穿過文氏管76進(jìn)入容器組件62的開口。清洗孔70有多種不同的直徑，這允許針清洗系統(tǒng)60適應(yīng)不同規(guī)格的分發(fā)針26?？偣舱故玖?0個孔70，然而，在需要時可以使用追加的或更少的孔。在操作之前，適當(dāng)?shù)那逑吹目?0被選定，其尺寸對應(yīng)于分發(fā)針26的尺寸。
容器組件62被真空軟管82可操作地接到真空源64上。當(dāng)真空源64被啟動的時候，它引起氣流84通過孔70流入容器組件62。諸如針的規(guī)格、針的長度和清洗頻率之類的一組用于分發(fā)針26的清洗參數(shù)可以被輸入到計算機(jī)控制系統(tǒng)56中。這些清洗參數(shù)可以被儲存在計算機(jī)控制系統(tǒng)56內(nèi)部或外部的磁性媒體上并且在需要時用適當(dāng)?shù)拇判蚤喿x裝置加載到計算機(jī)控制系統(tǒng)56中。作為替代，液體分發(fā)系統(tǒng)10的操作員可以把清洗參數(shù)用手輸入到計算機(jī)控制系統(tǒng)56中。清洗參數(shù)還可以包括清洗孔70相對于分發(fā)針26的坐標(biāo)、針26在清洗過程的起點(diǎn)應(yīng)該被定位在清洗孔70上方的距離、分發(fā)針26在清洗期間應(yīng)該插入清洗孔70的距離、分發(fā)針26應(yīng)有的前進(jìn)速率以及適當(dāng)?shù)厍逑捶职l(fā)針26需要的來自真空源64的真空壓力。
在這個實施方案中，尺寸適當(dāng)?shù)目?0(即，其直徑對應(yīng)于被清洗的分發(fā)針的規(guī)格的孔)可以是由計算機(jī)控制系統(tǒng)56選擇或撥盤的，也可以是由使用者手工選擇的。在某些實施方案中，不同的孔可以適應(yīng)一種以上規(guī)格的針。例如，直徑大約為0.025英寸的孔可以適當(dāng)?shù)剡m應(yīng)外徑在大約0.014-0.009英寸范圍內(nèi)變動的針。如上所述，在任何給定的時刻都只有一個孔70在操作中，然而，其余的孔70可以被連接到真空源64或替代真空源上并且被同時使用。
如同舉例說明的那樣，計算機(jī)控制系統(tǒng)56被可操作地接到真空源64上。一旦針26如圖6所示的適當(dāng)?shù)囟ㄎ辉谵D(zhuǎn)盤66中的清洗孔70上，或正好先于該位置，計算機(jī)控制系統(tǒng)56發(fā)信號給真空源64讓它啟動。在替代實施方案中，光電池或一組光電池(未示出)或近似類型的敏感元件可以為了檢測待清洗的分發(fā)針26的出現(xiàn)被置于適當(dāng)?shù)奈恢?。光電池可以是反射型光電池并且可以包括與檢測物體(例如，分發(fā)針26)的出現(xiàn)和/或到轉(zhuǎn)盤66、68的距離的CCD陣列(未示出)耦合的LED。在檢測分發(fā)針26時，光電池將通過啟動真空源64引發(fā)清洗過程。清洗之后，隨著分發(fā)針從清洗系統(tǒng)60中撤出，光電池將引發(fā)關(guān)掉真空源64。在這個實施方案中，光電池幫助減少操作針清洗系統(tǒng)所需要的電路(例如定時器)的數(shù)量。
在當(dāng)前的實施方案中，當(dāng)在真空源64被激活的時候，它在真空軟管82中造成抽吸力，這將引起氣流84流過分發(fā)針26的末端、穿過選定的孔70、再穿過文氏管76進(jìn)入容器組件62。氣流84流出文氏管76之后，它在容器90的底部經(jīng)歷第一次氣流反向86然后在容器90的頂部又經(jīng)歷第二次氣流反向88。氣流反向86、88引起充分的流動中斷，以致液體殘留物92與氣流分開。被清除的液體殘留物92以足以引起它粘附到容器底部的動量接觸容器的底部。
在真空源64被啟動的情況下，計算機(jī)控制系統(tǒng)56優(yōu)選利用從高度傳感器54獲得的高度信息命令驅(qū)動機(jī)構(gòu)48把分發(fā)針26降低某個適當(dāng)?shù)木嚯x進(jìn)入選定的孔70。分發(fā)針26在z軸上的運(yùn)動速度可以受計算機(jī)控制系統(tǒng)56控制而且可以在針的規(guī)格和被分發(fā)的材料方面進(jìn)行校準(zhǔn)，以使有效地清洗分發(fā)針26并且使它恢復(fù)其分發(fā)液體的主要功能所需要的時間最少。作為替代，分發(fā)針可以被控制在預(yù)先調(diào)試的速度下，其中針清洗系統(tǒng)適應(yīng)分發(fā)針的出現(xiàn)。
操作時，當(dāng)分發(fā)針26遇到真空源64造成的氣流84時，氣流84將把任何殘留材料從分發(fā)針26的外表面上拉下來。在當(dāng)前的實施方案中，一旦殘留材料從分發(fā)針26被清除下來，它將與迅速流動的空氣流一起流動，如同前面描述的那樣穿過文氏管76進(jìn)入一次性容器90。
作為替代，真空源64可以被直接連接到選定的孔70上，以致從分發(fā)針26上清除下來的殘留材料直接傳送到真空軟管82中，而不是進(jìn)入一次性杯子90。如上所述，真空源64受計算機(jī)控制系統(tǒng)56控制，然而，真空源64可以是手工控制的或者在液體分發(fā)系統(tǒng)10的操作期間保持連續(xù)運(yùn)行。在上述的清洗操作之前，計算機(jī)控制系統(tǒng)56將優(yōu)選關(guān)掉液體泵和分發(fā)器組件18，以致追加的液體將在清洗期間不從分發(fā)針26內(nèi)部被清除。
為了舉例說明的目的，所展示的時單一的泵和分發(fā)器組件18。在其它的實施方案中，針清洗系統(tǒng)60可以供各種各樣的其它的液體分發(fā)系統(tǒng)使用，例如在已轉(zhuǎn)讓給SpeedlineTechnologies，Inc.，Haverhill，MA并且通過引證在此被并入的美國專利第6,082,289號中描述的系統(tǒng)。這些液體分發(fā)系統(tǒng)可以使用尺寸和形狀可以改變的多樣的貯液筒和多樣的分發(fā)針。針的清洗系統(tǒng)60可以適應(yīng)使用多樣的分發(fā)針的分發(fā)系統(tǒng)通過個別地或同時把每個分發(fā)針引進(jìn)尺寸適當(dāng)?shù)那逑纯?0。為了適應(yīng)這些分發(fā)系統(tǒng)，多樣的孔70可以是在清洗期間由操作員或計算機(jī)控制系統(tǒng)56可控制地選定的。在替代實施方案中，具有個個都接到真空源上的多樣的直徑各不相同的清洗孔的單一的清洗系統(tǒng)可以被使用。
另外為了舉例說明，所展示的是單一的運(yùn)輸機(jī)組件，然而，多樣的運(yùn)輸機(jī)可以被分發(fā)系統(tǒng)10同時使用也在考慮之內(nèi)。
現(xiàn)在參照圖7和圖8，本發(fā)明的替代實施方案是經(jīng)過深思熟慮的，其中針清洗系統(tǒng)10為了適應(yīng)多樣的或不同規(guī)格的分發(fā)針26與直徑可調(diào)整的孔100合并。雖然其它類型的直徑可調(diào)整的孔也在考慮之內(nèi)，但是所展示的直徑可調(diào)整的孔100具有可變光闌閘板設(shè)計，其中孔100的直徑可以受計算機(jī)控制系統(tǒng)56控制，也可以由使用者手工調(diào)節(jié)。本發(fā)明的這個實施方案可以是為了適應(yīng)前面討論過的所有類型的分發(fā)系統(tǒng)(包括使用單一的或多樣的分發(fā)針以及單一的或多樣的運(yùn)輸機(jī)系統(tǒng)的分發(fā)系統(tǒng))而編程的。
至此已經(jīng)描述了至少一個本發(fā)明的說明性實施方案，各種各樣的變更、調(diào)整和改進(jìn)對于熟悉這項技術(shù)的人將輕而易舉地發(fā)生。然而，這樣的變更、調(diào)整和改進(jìn)傾向于落在本發(fā)明的精神和范圍之內(nèi)。因此，前面的描述僅僅是作為實例，而無意作為限制。本發(fā)明的限制僅僅是在權(quán)利要求書及其等同物中定義的。
權(quán)利要求
1.一種用來從液體分發(fā)針或釘上清除許多殘留材料的清洗系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括具有至少一個孔的容器組件；可操作地被接到容器組件上的真空源，其中真空源造成通過所述的至少一個孔進(jìn)入容器組件的氣流；以及使液體分發(fā)針或釘相對于容器組件上的至少一個孔定位的控制系統(tǒng)，其中殘留材料是用氣流從分發(fā)針或釘上清除的。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的清洗系統(tǒng)，其中殘留材料是在分發(fā)針或釘與容器組件之間沒有接觸的情況下從分發(fā)針或釘上清除的。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的清洗系統(tǒng)，其中容器組件進(jìn)一步包括用來收集許多被清除的殘留材料的一次性的杯子。
4.根據(jù)權(quán)利要求1的清洗系統(tǒng)，其中容器組件進(jìn)一步包括用來引導(dǎo)氣流流向一次性杯子的底部的管子。
5.根據(jù)權(quán)利要求1的清洗系統(tǒng)，其中容器組件包括許多不同直徑的孔，以適應(yīng)多種不同規(guī)格的分發(fā)針或釘。
6.根據(jù)權(quán)利要求5的清洗系統(tǒng)，其中真空源可以與許多不同直徑的孔當(dāng)中的一個或多個孔耦合，借此形成通過許多不同直徑的孔當(dāng)中的一個或多個孔流入容器組件的氣流。
7.根據(jù)權(quán)利要求5的清洗系統(tǒng)，其中容器組件進(jìn)一步包括用來收集許多被清除的殘留材料的一次性的杯子。
8.一種用來從液體分發(fā)針上清除許多殘留材料的清洗系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括具有開口直徑可變的可變光闌型閘板的容器組件；可操作地被接到可變光闌型閘板上的真空源，其中真空源造成穿過直徑可變的開口流入容器組件的氣流；以及使液體分發(fā)針或釘相對于可變光闌型閘板這樣定位以致穿過直徑可變的開口的氣流把殘留材料從分發(fā)針或釘上除去的控制系統(tǒng)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8的清洗系統(tǒng)，其中可變光闌型閘板的直徑可變的開口的直徑可以增大或減小，以便適應(yīng)多種不同規(guī)格的分發(fā)針或釘。
10.根據(jù)權(quán)利要求9的清洗系統(tǒng)，其中控制系統(tǒng)可操作地控制可變光闌型閘板的直徑可變的開口的直徑。
11.根據(jù)權(quán)利要求10的清洗系統(tǒng)，其中容器組件進(jìn)一步包括用來收集許多被清除的殘留材料的一次性杯子。
12.一種自動清洗的液體分發(fā)系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括用來接收來自液體源的液體的裝置；用來通過針或釘把液體分發(fā)到媒體上的裝置；以及用來在不接觸針或釘?shù)那闆r下把許多殘留材料從針或釘?shù)耐獗聿糠智宄难b置。
13.根據(jù)權(quán)利要求12的自動清洗的液體分發(fā)系統(tǒng)，其中用來清除殘留材料的裝置包括一個清洗系統(tǒng)，該清洗系統(tǒng)包括具有至少一個孔的容器組件；可操作地被接到容器組件上的真空源，其中真空源造成穿過至少一個孔進(jìn)入容器組件的氣流，以及用來使液體分發(fā)針相對于至少一個孔可操作地定位的裝置，其中殘留材料是在分發(fā)針/釘與孔之間沒有接觸的情況下從分發(fā)針或釘上清除掉的。
14.根據(jù)權(quán)利要求12的液體分發(fā)系統(tǒng)，用來使液體分發(fā)針或釘相對于孔可操作地定位的裝置包括計算機(jī)控制系統(tǒng)。
15.一種自動清洗的液體分發(fā)系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括至少一個分發(fā)針或釘；包括至少一個用來可操作地從至少一個分發(fā)針或釘?shù)耐獠壳宄龤埩舨牧系恼婵赵吹那逑聪到y(tǒng)；以及用來使至少一個分發(fā)針或釘相對于真空源可操作地定位的裝置。
16.根據(jù)權(quán)利要求15的自動清洗的液體分發(fā)系統(tǒng)，其中清洗系統(tǒng)進(jìn)一步包括至少一個容器組件。
17.根據(jù)權(quán)利要求16的液體分發(fā)系統(tǒng)其中至少一個容器組件進(jìn)一步包括至少一個用來容納分發(fā)針或釘?shù)哪┒说目住?br> 18.根據(jù)權(quán)利要求17的液體分發(fā)系統(tǒng)，其中容器組件包括許多不同直徑的孔。
19.根據(jù)權(quán)利要求17的液體分發(fā)系統(tǒng)，其中容器組件包括至少一個直徑可調(diào)整的孔。
20.根據(jù)權(quán)利要求17、18或19的液體分發(fā)系統(tǒng)，其中至少一個真空源與至少一個容器組件這樣耦合，以致真空源造成通過孔進(jìn)入容器組件的空氣流。
21.一種在液體分發(fā)系統(tǒng)中用來清洗掉分發(fā)針或釘上的殘留材料的方法，該方法包括下述步驟提供至少一個具有至少一個孔的容器組件；使針或釘相對于至少一個孔定位；以及提供用來造成通過孔進(jìn)入容器組件的氣流的真空源，其中氣流引起殘留材料從分發(fā)針或釘上剝落。
22.根據(jù)權(quán)利要求21在液體分發(fā)系統(tǒng)用來清洗掉分發(fā)針或釘上的殘留材料的方法，其中殘留材料是在分發(fā)針/釘與孔之間沒有接觸的情況下從分發(fā)針或釘上清除掉的。
全文摘要
與通過分發(fā)針或輸送釘液體分配定量的材料的分發(fā)系統(tǒng)一起使用的針的清洗系統(tǒng)包括與殘留材料收集裝置耦合的真空裝置，其中收集裝置包括至少一個形狀適合容納分發(fā)針或釘?shù)哪┒说目?。該液體分發(fā)系統(tǒng)進(jìn)一步包括用來使分發(fā)針或釘相對于收集裝置上的孔周期性地定位的控制裝置。真空裝置形成圍繞著針或釘?shù)耐獠苛鬟^然后進(jìn)入收集裝置的氣流，借此在沒有接觸的情況下把殘留材料從分發(fā)針或釘?shù)耐獠砍ァ?br> 文檔編號H01L21/02GK1411918SQ02143098
公開日2003年4月23日 申請日期2002年9月28日 優(yōu)先權(quán)日2001年10月10日
發(fā)明者斯蒂文·P·比博爾特, 肯尼斯·C·克勞奇 申請人:斯皮德萊技術(shù)公司