專利名稱：復合壓電變壓器的制作方法
背景技術：
為了克服上述和線繞變壓器的許多其他問題，在現有技術中已提供了利用壓電效應的壓電陶瓷變壓器(或PT)。與電磁變壓器比較起來，PT具有準確的輸出電壓對輸入電壓率的頻率特性，其在諧振頻率有一個峰值。該諧振頻率取決于包括壓電陶瓷和電極在內的構成變壓器的材料的材料常數和材料大小以及變壓器的工作模式。此外，PT比一般的電磁變壓器具有很多優(yōu)點?？梢允筆T的尺寸比同等變換率的電磁變壓器更小，可以使PT不可燃，并且不產生電磁引發(fā)的干擾。
在PT中使用的陶瓷體采用各種形式和結構，包括環(huán)、平板等。在

圖1和圖2中說明了現有PT的典型示例。這種類型的PT一般稱為“羅森型(Rosen-type)”壓電變壓器?；镜牧_森型壓電變壓器在美國專利2,830,274號中被公開，并且這個基本裝置的多種變型在現有技術中是公知的。典型的羅森型PT包含長度比寬度明顯地長并且寬度比厚度寬很多的平陶瓷板20。在圖1的情況下，壓電體20為平板的形式，即它的寬度比厚度寬很多，并且長度比寬度長。
如圖1中所示，壓電體20被使用，其某些部分與其它部分不同地被極化。板20的絕大部分即在板的中心右面的發(fā)生器部分22被縱向地極化，并且其沿著極化的方向具有高的阻抗。板的剩余部分即振動器部分21朝板面的表面(沿厚度方向)被橫向地極化并且其沿著極化的方向具有低阻抗。在這種情況下，板的振動器部分21實際上被分成兩個部分。將振動器部分21的第一部分24沿一個方向橫向地極化，同時也將振動器部分21的第二部分26橫向地極化，但其是沿與振動器部分21的第一部分24中極化方向相反的方向。
為了使電壓能夠與板20中的機械應力相關而提供電極。如果需要，可以是如所示接地的公共電極28。為了板20的低阻抗振動器部分21對面的基本連接和相關電壓，在公共電極28對面有一個電極30。為了使電壓與板20的高阻抗發(fā)生器部分22中沿縱向產生應力相關，在板的末端上有一個用于同公共電極28相配合的第二或高壓電極35。電極35所示為在它的相對端與接地的輸出負載36的端子34相連。
在圖1說明的裝置中，將低阻抗振動器部分21的電極28和電極30間的施加電壓上升到在高阻抗發(fā)生器部分中電極28和電極35間的一個較高電壓，用以比在電極28和30之間施加的電壓高的電壓提供負載36。該施加電壓在X-Y和Y-Z表面區(qū)域中通過成比例的變化致使板變形。更具體地說，通過把交變電壓分別施加于驅動電極28和電極30控制羅森PT。在低阻抗振動器部分21中橫向效應模式(“d31模式”)下縱向振動由此被激勵。在低阻抗振動器部分21中橫向效應模式振動反過來在高阻抗發(fā)生器部分22中縱向效應縱向振動模式(“g33模式”)激勵振動。因此，在電極28和35之間獲得高電壓輸出。另一方面，如人們所了解的，為了獲得降低的電壓的輸出，進行縱向效應模式振動的高阻抗部分22可以用作輸入，同時，經受橫向效應模式振動的低阻抗部分21用作輸出。
發(fā)現的羅森型PT的缺點在于僅可使用的耦合系數是K31，其與非常小的橫向效應縱向振動模式(“d31模式”)有關，這導致只獲得一個非常小的帶寬。像這樣傳統的壓電變壓器僅工作在大約200千赫茲(KHz)以內。
這種現有PT內在的另一個問題是它們具有相對低的功率傳輸容量?，F有PT的這個缺點涉及到在裝置的振動部分21和裝置的驅動部分22之間很少或不能獲得任何機械優(yōu)勢，因為基本上每一個是相同電動部件的一個部分。這內在地限制裝置的機械能量傳輸能力，其又內在地限制這種裝置的電功率處理能力。
另外，甚至在諧振的情況下，由于通過X-Y和X-Y壓電部件表面區(qū)域中成比例的變化(或在某些實施例中，在X-Y和X′-Y′表面區(qū)域中變化)實現羅森型PT的壓電電壓傳輸功能，該變化的幅度相對地較低，因此使用這種壓電變壓器的現有電路的功率處理能力是固有地低。
此外，為了分別“推”和“拉”使部件進入需要的形態(tài)，典型的羅森變壓器通常必需在部件的振動器部分21的相對表面交替地施加正電壓和負電壓。
甚至在諧振的情況下，包含這種現有PT的現有電路效率相對較低，因為在“推”壓電部件進入第一形態(tài)的第一半周期操作期間需要的能量在“拉”半周期的操作期間大量地被損耗(即通過生成熱量)。該熱量的產生與電路效率的降低、增加失火的危險以及/或者在元件和電路方面降低可靠性相對應。
此外，為了降低這種熱生成電路的溫度，電路元件(典型地包括開關晶體管和其他元件以及變壓器自身)是過大的，其減少了其中可以利用該電路的應用，并且也增加了電路的成本/價格。
由于這種現有PT的功率傳輸容量太低，在現有技術中為了實現比獨自使用一個這種現有變壓器功率傳輸容量大的功率傳輸容量，通常是將幾個這種變壓器一起結合為多層“層疊結構當然，這增加了變壓器的體積和制造成本。
PT沿厚度方向極化和振動通常也是公知的(即振動是與層的極化方向平行的)。顯示在圖3和圖4中的Inoue發(fā)明的美國專利5,118,982號說明了這種“厚度模式”振動PT。典型地厚度模式振動PT包含低阻抗部分11和相互層疊的高阻抗部分12。典型地厚度模式PT的低阻抗部分11和高阻抗部分12包含一系列交替的陶瓷層和電極層。每一部分至少由兩個電極層和至少一個壓電材料層組成。將低阻抗部分11的壓電陶瓷層的每一個和高阻抗部分12的陶瓷層沿厚度方向極化(與陶瓷層間的界面垂直)。在每一部分11和12中每個交替的電極層可以被相互連接并可與所選擇的外部端子相連。
圖3的厚度模式PT包含含有多個壓電層的低阻抗部分11和含有一個壓電層的高阻抗振動器部分12，如圖4中所示，各層的每一個被整體地疊置并且在厚度擴張模式下被引起振動。
低阻抗部分11有一個疊層的結構，其包含通過134每一個被置于含有頂面電極層201和內部電極層131的電極之間的多層壓電層。高阻抗部分12由底部電極層202、內部電極層134和置于電極層202和電極層134之間的單一壓電層構成。在每一個壓電層中，極化是如箭頭所示分別朝厚度方向。在低阻抗部分11中，交替的壓電層沿相互相反的方向被極化。在高阻抗部分12中，極化也是朝厚度方向。
圖3的三端子結構帶有一個每個部分的一個端子16與其相連的公共電極134。在圖4中，四端子結構包含一對用于低阻抗部分11的端子16和17以及另一對用于高阻抗部分12的端子18和19。圖3或圖4的PT的每一層的厚度等于驅動頻率的半波長(λ/2)或一個全波長(λ)。
當交變電壓施加于振動器部分11的陶瓷層的電極層兩端時，在與各層的極化的方向平行的陶瓷層中以縱向振動模式(“d33模式”)振動被激勵。低阻抗部分11的這個振動在高阻抗部分12中激勵振動。當高阻抗部分12振動時，高阻抗部分12的g33模式變形在高阻抗部分12的電極生成電壓。當以厚度擴張模式操作PT時，以λ/2模式或λ模式的PT的諧振頻率取決于PT的各個層的厚度，并且PT因此在1-10兆赫茲(MHz)的頻率范圍內工作。更具體地說，PT各個層的每一個的厚度必須等于PT工作的諧振頻率的半波長的整倍數。
現有的厚度模式PT帶有的問題是對一些應用來說厚度模式諧振頻率太高。
現有的厚度模式PT帶有的另一個問題是對于一些應用來說它們沒有充足的功率傳輸容量。
現有的厚度模式PT帶有的又一個問題是陶瓷層添加到PT不能大大地增加這種裝置的功率強度，并且其可能增加容性和介電損耗。
因此，希望的是提供一種具有比同樣地大小的現有壓電變壓器大的功率傳輸容量的壓電變壓器設計。
同樣希望的是提供一種比現有的具有同樣功率傳輸容量的壓電變壓器小的壓電變壓器。
同樣希望的是提供一種壓電變壓器，其中，裝置的“驅動”部分和裝置的“被驅動”部分不是相同的電動部件。
提供一種在裝置的驅動部分和裝置的被驅動部分之間發(fā)揮極大的機械優(yōu)勢的壓電變壓器也將是希望的。
同樣希望的是提供一種壓電變壓器，其按照它的固有頻率振蕩，具有比同樣大小的現有壓電變壓器能實現的動量大的動量。
同樣希望的是提供一種壓電變壓器，其不產生與現有裝備一樣多的熱量，并因此降低由于熱量所造成的損耗。
PT的最外部分包含連接到PT的中央輸出部分的輸入部分。PT的結構允許它以應于它的總厚度的PT的縱向諧振頻率被驅動，其增加可實現的PT增益和功率強度。本發(fā)明的優(yōu)選實施例提供一種能夠實現高機械動量的多層壓電變壓器(并且，因此能夠高能量存儲和傳輸)。
因此，本發(fā)明的一個目的是提供一種比同樣地大小的現有PT功率傳輸容量大的PT設計。
本發(fā)明的另一個目的是提供一種比現有的具有同樣功率傳輸容量的PT小的PT。
本發(fā)明的又一個目的是提供一種PT，其中裝置的“驅動”部分和裝置的“被驅動”部分不是相同的電動部件。
提供一種在裝置的驅動部分和裝置的被驅動部分之間發(fā)揮真正的機械優(yōu)勢的PT是本發(fā)明的另外一個目的。
本發(fā)明的再一個目的是提供一種PT，其按照它的固有頻率，以比同等尺寸的現有PT可實現的動量大的動量振蕩。
本發(fā)明的另一個目的是提供一種比執(zhí)行類似的信號變換功能的現有PT相對便宜的PT。
本發(fā)明的另一個目的是提供一種以較大動量振動以實現比現有PT高的增益的PT。
本發(fā)明的又一個目的是提供一種以較低頻率振動以實現比現有PT高的增益的PT。
本發(fā)明的再一個目的是提供一種PT并且該PT比具有層疊結構的現有PT更易于生產。
本發(fā)明的另外一個目的是提供一種具有較少容性和介電損耗的PT。
圖8是顯示本發(fā)明使用隔離層的壓電變壓器的另一個實施例并顯示優(yōu)選的電子連接的透視圖；以及圖9是在顯示各個層的具體結構的圖8中沿著變壓器的線9-9的立剖面圖。
典型的厚度模式壓電變壓器(TMPT)利用多層結構試圖對電路應用提供較高的電壓增益和功率。變換率一般基本上與輸入和輸出部分的阻抗比的平方成正比。但是對加入陶瓷層的效能是有實際限制的，并且在某一點之后加入的陶瓷層不能對TMPT的增益產生影響。在本發(fā)明中發(fā)現利用將PT各層的結合在一起的特定結構并以特定的模式控制它可以在PT中有效地增加可實現的增益。
根據從能量的觀點簡化考慮，以厚度擴張模式振動工作的壓電變壓器的輸出功率P大致表示為P fr·V·33s·Kt2-P/Qm其中，fr表示厚度擴張模式諧振頻率；33s表示約束介電常數；V表示壓電變壓器的體積；Kt表示厚度擴張模式振動的機電耦合系數；以及Qm表示機械質量系數。所以在PT中，每一單位體積的功率輸出(功率強度)隨機電耦合系數Kt變化和壓電陶瓷諧振器的諧振頻率fr增高增加。通過增加壓電變壓器的機械質量系數，功率傳輸效率可以變得較高。運用分層技術，現有PT具有較差的平行精度和平面度，其結果導致了低的機械質量系數和較低的功率傳輸效率。
參照圖5-7在本發(fā)明中，該PT包含帶有兩個輸入部分31和33以及一個中央輸出部分32的復合結構。第一輸入部分31具有一個第一厚度T1，第二輸入部分33具有一個第二厚度T2并且輸出部分32具有一個第三厚度T3。將PT1的輸入部分31和33以及輸出部分32以一種形式即利用整個變壓器的低頻縱向諧振模式連接在一起。
在圖5的PT1中，PT1具有一個位于兩個輸入部分31和33之間的輸出部分32。PT1的輸出部分32包含由輸出端子47分離的壓電陶瓷的兩個層40-45。兩個輸出層40-45的每一個最好包含具有電極(銀和/或鎳)電沉積在其上的PZT材料的圓盤。更具體地說，第一輸出層40具有沉積在它的正對面上的電極143和144，同時第二輸出層45帶有沉積在它的正對面上的電極141和142。將兩個輸出層40和45的每一個沿它們主面的其中一個連接到中央輸出端子47。中央輸出端子47最好包含銅箔。在輸出層40和45的剩余主面上也連接有輸出端子46和48，輸出端子46和48的每一個也最好包含銅箔。更具體地說，將一個輸出端子46連接到第一輸出陶瓷層40的剩余主面，并且將另一個輸出端子48連接到第二輸出陶瓷層45的剩余主面。輸出層40和45與端子46，47和48的粘接最好使用由Ciba Specialty Chemicals Corporation，N.A.of EastLansing，Michigan生產的“Cibageigy AV118”(CIBA)粘合劑來完成。
輸出層40和45沿厚度方向即沿與盤40和45的主面垂直的方向被極化。一個輸出層例如40的極化方向最好與其他輸出層例如45的極化方向相反。輸出層40和45最好沿厚度朝向如由箭頭43和44表示的中央輸出端子47的方向被極化。或者層40和45可以沿厚度遠離中央輸出端子47的方向極化。
在PT的優(yōu)選實施例中，輸入部分31和33的每一個分別包含一對兩個壓電陶瓷輸入層50和55以及60和65。PT1的第一輸入部分31包含通過輸入端子51分離的壓電陶瓷的兩個輸入層50和55。兩個輸入層50和55的每一個最好包含在其上有電沉積電極(銀和/或鎳)的PZT材料的圓盤。更具體地說，第一輸入層50帶有沉積在它的正對面主面上的電極153和154，同時第二輸出層55帶有沉積在它的正對面主面上的電極151和152。將兩個輸入層50和55的每一個沿它們的主面的其中一個連接到中央輸入端子51。中央輸入端子51最好包含銅箔。將輸入部分31的一個主面即輸入層50的剩余面連接到輸出部分32的外側輸入端子48。在輸入部分31的剩余主面即輸入層55的剩余面上，將外側輸入端子52連接，其最好也包含銅箔。輸入層50和55與輸入端子48，51和52的粘接最好使用CIBA粘合劑來完成。
第一輸入部分31的輸入層50和55沿厚度方向即沿與盤的主面垂直的方向被極化。一個輸入層例如50的極化方向最好與其他的輸入層例如55的極化方向相反。輸入層50和55最好沿朝向如由箭頭53和54表示的第一輸入部分31的中央輸入端子51的方向被極化?；蛘邔?0和55可以沿厚度遠離中央輸入端子51的方向極化。
PT1的第二輸入部分33也包含由輸入端子61分離的壓電陶瓷的兩個輸入層60和65。兩個輸入層60和65的每一個最好包含在其上電沉積有電極(銀和/或鎳)的PZT材料的圓盤。更具體地說，第一輸入層60帶有沉積在它的正對面主面上的電極161和162，同時第二輸出層65帶有沉積在它的正對面主面上的電極163和164。將第二輸入部分33的兩個輸入層60和65的每一個沿它們的主面的其中一個連接到中央輸入端子61。中央輸入端子61最好包含銅箔。將輸入部分33的一個主面即輸入層60的剩余面連接到輸出部分32的外側輸入端子46。在輸出部分33的剩余主面即輸入層65的剩余面上，將外側輸入端子62連接，其最好也包含銅箔。輸入層60和65與輸入端子46，61和62的粘接最好使用CIBA粘合劑來完成。
輸入層60和65沿厚度方向即沿與盤的主面垂直的方向被極化。一個輸入層例如60的極化方向最好與其他的輸入層例如65的極化方向相反。輸入層60和65最好沿朝向如由箭頭63和64表示的第一輸入部分33的中央電極61的方向被極化?；蛘?，層60和65可以沿厚度向離開中央輸入端子61的方向極化。
圖7是顯示包含電極和粘附層的PT的所有層的PT1的剖面圖。輸出部分32包含第一輸出陶瓷層45，在它的主面的每一個上分別具有電極141和142和覆蓋電極141和142的每一個的粘附層101和102。輸出部分32還包含第二輸出陶瓷層40，在它的主面的每一個上分別具有電極143和144和覆蓋電極143和144的每一個的粘附層103和104。利用粘附層102和103將輸出層40和45的每一個分別連接到中央輸出端子47。輸出部分32還包含連接到輸出陶瓷層40和45的剩余面的輸出端子46和48。利用粘附層101將第一公共輸出端子46連接到第一輸出陶瓷層45，同時利用粘附層104將第二公共輸出端子48連接到第二輸出陶瓷層40。將輸出端子46和48稱作是“公共的”，因為在本實施例中，它們被粘接或連接到輸入部分31和33并與其共用。
PT1還包含第一輸入部分31。第一輸入部分31包含第一輸入陶瓷層55，在它的主面的每一個上分別具有電極151和152和覆蓋電極151和152的每一個的粘附層111和112。第一輸入部分31還包含第二輸入陶瓷層50，在它的主面的每一個上分別具有電極153和154和覆蓋電極153和154的每一個的粘附層113和114。利用粘附層112和113將輸入層50和55的每一個連接到中央端子51。利用粘附層114將第一輸入部分31的第二輸入層50連接到第一公共端子46。第一輸入部分31還包含利用粘附層111連接到第一輸入陶瓷層55的剩余面的外側端子52。
PT1還包含第二輸入部分33。第二輸入部分33包含第一輸入陶瓷層60在它的主面的每一個上分別具有電極161和162和覆蓋電極161和162的每一個的粘附層121和122。第二輸入部分33還包含第二輸入陶瓷層65在它的主面的每一個上分別具有電極163和164和覆蓋電極163和164的每一個的粘附層123和124。利用粘附層122和123將輸入層60和65的每一個連接到中央輸出端子61。利用粘附層121將第二輸入部分33的第一輸入層60連接到第二公共端子48。第二輸入部分33還包含具有粘附層124連接到第二輸入陶瓷層65的剩余面的外側端子62。
輸入層50和55以及60和65最好基本上具有和輸出層40和45一樣的周長。也可以根據裝置要求的諧振頻率沿極化的方向選擇比輸出層40和45薄或厚或者甚至選擇與輸出層40和45一樣厚度的輸入層50和55以及60和65?；蛘咻斎牒洼敵鰧?0、45、50和55以及60和65可以全部是不同的周長，但最好它們都具有相同的周長。最好輸出層40和45基本上厚度相同并且輸入層50和55以及60和65基本上具有相同的厚度。這既能使諧振的特性更加一致和可預知又能使裝置的外形減至最小。但是輸入層50和55以及60和65以及輸出層40和45在厚度上不必是完全相等。這是因為驅動PT的頻率與PT1的總厚度(包含所有的陶瓷層40和45，50和55，以及60和65；電極141-144，151-154和161-164；端子46，47，51，52，61和62以及粘附層101，102，103，104，111，112，113，114，121，122，123和124)相對應，而不是像傳統的TMPT中的與各個層的厚度相對應。所以，傳統的TMPT的小的公差(厚度與半波長相等)不適用于本發(fā)明，并且為了增強PT1的異向性，各層可以具有不匹配的厚度。
在每一個輸入部分31和33上的兩個陶瓷層的使用增加了PT1的質量和體積。PT1的質量的增加以及長度的增加降低了PT1的諧振頻率而提高了增益和功率強度。增益的增加是由于增加的質量增加了裝置的動量。增益的增大使功率體積比增加。此外，可以選擇層45和45，50和55以及60和65的長度以確保PT的工作期間，最大的壓力和張力被集中在輸入部分31和33以及輸出部分32之間的連接線56和58，結果形成增高的增益。
以PT1的大小作為示例，裝置的輸出部分32包含兩個PZT盤40和45，其每一個具有21毫米的直徑(10.2毫米半徑)和2毫米的厚度。輸入部分31和33其每一個包含一對具有21毫米的直徑和2毫米的厚度的PZT盤50和55以及60和65。將銅箔(3密耳)46，47，48，51，52，61和62連接到包含輸入部分31和33以及輸出部分32的盤40，45，50和55，60和65的每一個主面。該PT1具有大約1∶20的增益和80瓦的輸出功率。為PT1所選的大小僅是對說明該PT1其可能的外形，并且其他的形狀和厚度都是可能的和合乎需要的。例如，復合PT1不一定是圓柱形的，并且在高度或直徑上不一定如此厚。應當理解由于PT1沿厚度方向被極化，以致圓柱的剖面(切片)可以穿過它的高度截面并且復合PT將根據相同的原理工作。
參照圖6，以矩形板而不是圓柱形狀構形的復合PTZ被說明。然而圖6的PT2的部分與圖5中PT1一樣。在裝置中央的輸出部分32包含連接到中央端子47的壓電陶瓷材料(最好是PZT)的兩個層40和45和兩個外側端子46和48。輸入部分31和33連到輸出部分32的兩個外側端子46和48，輸入部分31和33的每一個分別包含一對輸入陶瓷層50和55、以及60和65。
輸出部分32的陶瓷層40和45都沿厚度方向被極化，并且最好朝如由箭頭表示的中央端子47極化。輸入部分31的陶瓷層50和55以及輸入部分33的陶瓷層60和65也都沿厚度方向被極化，并且最好將它們朝向如分別地由箭頭53和54以及箭頭63和64表示的各自的輸入部分31和33的中央端子51和61極化。
圖6描述了矩形板形狀構形的本發(fā)明的實施例，以及為了獲得明顯的電壓增益電引線連接的優(yōu)選實施例。在本發(fā)明的優(yōu)選實施例中，輸出部分32的外側端子46和48都接地連接，并且中央端子47是高電壓輸出連接。同樣，第一輸出部分31的中央端子51是連接到輸入電壓源的輸入端子，同時第二輸入部分33的中央端子是連接到輸入電壓源輸入端子，用于輸入各自的輸入部分31和33的層50和55兩端以及60和65兩端的電勢。將第一和第二輸入部分31和33的外側端子52和62同樣與地連接。這提供了一種PT2，其中所有的高電壓端子47，51和61在PTZ內部，并且外部端子52和62接地，所以降低了由于不希望有的短路或放電產生的勢能。
圖6描述了矩形板形狀構形的本發(fā)明的實施例，以及為了獲得明顯的電壓增益電引線連接的優(yōu)選實施例。在本發(fā)明的優(yōu)選實施例中，輸出部分32的外側端子46和48都接地連接，并且中央端子47是高電壓輸出連接。同樣，第一輸出部分31的中央端子51是連接到輸入電壓源的輸入端子，同時第二輸入部分33的中央端子是連接到輸入電壓源輸入端子，用于輸入各自的輸入部分31和33的層50和55兩端以及60和65兩端的電勢。將第一和第二輸入部分31和33的外側端子52和62同樣與地連接。這提供了一種PT2，其中所有的高電壓端子47，51和61在PTZ內部，并且外部端子52和62接地，所以降低了由于不希望有的短路或放電產生的勢能。
參照圖8和圖9，以圓柱形狀構形的另一個復合PT3也被說明。然而其在輸入層和輸出層以及附加的輸入端子之間具有施加的絕緣層。但是圖8的PT3的剩余部分和圖5中的PT1一樣。除兩個絕緣層以外，PT包含具有第一厚度T4的第一輸入部分231；具有第二厚度T5的第二輸入部分233和具有第三厚度T6的輸出部分232。裝置中央的輸出部分232包含連接到中央端子247的壓電陶瓷材料(最好是PZT)的兩個層240和245和兩個外側輸出端子246和248。將絕緣層70和75連接到輸出部分232的兩個外側端子246和248。將包含連接到中央端子252和兩個外側輸入端子251和253的一對輸入陶瓷層250和255壓電陶瓷材料(最好是PZT)的輸入部分231連接到第一絕緣層70。將包含連接到中央端子262和兩個外側輸入端子261和263的一對輸入陶瓷層260和265壓電陶瓷材料(最好是PZT)的輸入部分232連接到第二絕緣層75。
圖9顯示了包含陶瓷層和電極、絕緣層、端子和粘附層的PT3的所有層的具體結構。輸出部分232包含在相對主面上具有電極241和242的第一輸出層245以及在相對主面上具有電極243和244的第二輸出層240。電極241、242、243、和244最好包含銀或鎳，其被電沉積在其上并基本上覆蓋輸出層240和245的各面的每一個。使用粘附層203和204將第一和第二輸出層245和240連接到中央輸出端子247。利用粘附層202將第一輸出層245的剩余面連接到另一個輸出端子246，并且也利用粘附層205將第二輸出層240的剩余面連接到輸出端子248。在PT3的輸出部分232中所有的粘附層202、203、204和205最好包含CIBA粘合劑。
第一輸入部分231包含在相對主面上具有電極251和252的第一輸入層255以及在相對主面上具有電極253和254的第二輸入層250。電極251、252、253、和254最好包含銀或鎳，其被電沉積在其上并基本上覆蓋輸入層250和255的各面的每一個。使用粘附層212和213將第一和第二輸出層255和250連接到中央輸入端子257。利用粘附層211將第一輸入層255的剩余面連接到另一個輸入端子246，并且也利用粘附層214將第二輸入層250的剩余面連接到輸入端子258。在PT3的第一輸入部分231中所有的粘附層211、212、213和214最好包含CIBA粘合劑。
第二輸入部分233包含在相對主面上具有電極261和262的第一輸入層260以及在相對主面上具有電極263和264的第二輸入層265。電極261、262、263、和264最好包含銀或鎳，其被電沉積在其上并基本上覆蓋輸入層260和265的面的每一個。使用粘附層222和223將第一和第二輸出層265和260連接到中央輸入端子267。利用粘附層222將第一輸入層260的剩余面連接到另一個輸入端子266，并且也利用粘附層225將第二輸入層265的剩余面連接到輸入端子268。在PT3的第二輸入部分233中，所有的粘附層222、223、224和225最好包含CIBA粘合劑。
PT3還包含一對在PT3的輸出部分232和輸出部分231和233之間連接的絕緣層70和75。分別使用粘附層201和215將第一絕緣層70在輸出部分232的輸出端子246和第一輸入部分231的輸入端子258之間連接。分別使用粘附層206和221將第二絕緣層75在輸出部分232的輸出端子248和第二輸入部分233的輸入端子266之間連接。每一個絕緣層70和75最好包含例如鋁層、陶瓷層、介電層或其它剛性絕緣材料層。為了防止它們之間的電接觸，絕緣層70和75最好至少延伸到它們連接到的每個端子的邊緣。
將輸出部分232的陶瓷層240和245都沿厚度方向極化，并且最好朝如由箭頭表示的中央端子247極化。輸入部分231的陶瓷層250和255和輸入部分233的陶瓷層260和265也都沿厚度方向被極化，并且它們最好朝如分別由箭頭253和254以及箭頭263和264表示的各自的輸入部分231和233的各自的中央端子251和261極化。
再參照圖8在對變壓器的優(yōu)選電連接方案中，在輸入部分231和233的中央端子257和267提供電壓輸入，并且在輸出部分232的中央端子產生輸出。盡管如分離的輸入所示，最好將輸入端子257和267與公共電壓源相連接。并且輸入部分231和233最好分別將它們的外側端子256和258以及266和268接地。輸出部分232的外側端子246和248最好也與地相連，并且最好是底板的地而不是輸入部分231和233的地。
再參照圖5在操作中，將第一極化電壓施加于分別與電極152和153以及162和163相連的輸入端子51和61。當將該第一極化電壓施加于第一輸入端子51時，電勢存在于中央端子51和連接到第一輸入部分31的外側端子52和48的每一個之間。該電勢使第一輸入部分31的輸入陶瓷層50和55沿厚度方向壓電收縮(即平行于層50和55的極化方向的d33模式變形)。當反相的極化電壓施加于輸入端子51時，電勢又存在于中央端子51和連接到第一輸入部分31的外側端子52和48的每一個之間。該電勢使輸入陶瓷層50和55沿厚度方向壓電擴張(即也平行于層50和55的極化方向的d33模式變形)。
同樣，當第一極化電壓施加于第二輸入端子61時，電勢存在于中央端子61和連接到第二輸入部分33的外側端子62和46的每一個之間。該電勢使第二輸入部分33的輸入陶瓷層60和65沿厚度方向壓電收縮(即平行于層60和65的極化方向的d33模式變形)。當反相的極化電壓施加于輸入端子61時，電勢又存在于中央端子61和連接到第二輸入部分33的外側端子62和46之間。該電勢使輸入陶瓷層60和65沿厚度方向壓電擴張(即平行于層60和65的極化方向的d33模式變形)。
所以，通過將交變電壓以給定的頻率施加于PT1的輸入部分31和33，陶瓷層50和55以及60和65以施加的交變電壓的頻率周期地擴張和收縮(d33模式厚度振動)。d33模式是優(yōu)選的振動模式，因為與d31模式振動相比它是更加有效的振動模式(羅森PT正是如此)。
由于PT1的輸入部分31和33的陶瓷層50和55以及60和65擴張，輸入部分31和33向外移動。相反地，由于PT1的輸入部分31和33的陶瓷層50和55以及60和65收縮，輸入部分31和33向內移動。當施加于輸入部分31和33的陶瓷層50和55以及60和65的電壓的極化被反向時，陶瓷層50和55以及60和65的擴張或收縮的方向幾乎立即反向。輸入部分31和33的運動的平移方向并不很快地改變，像耦合的慣性彈簧系統，在改變方向沿與包含每一個輸入部分31和33的那個陶瓷層50和55以及60和65的收縮的擴張相同的方向移動之前，輸入部分31和33的動量使它們又繼續(xù)沿它們的原來方向移動。
由于輸出部分32被穩(wěn)固地連接到輸入部分31和33，輸入部分31和33沿它們原來的方向的繼續(xù)移動致使輸出部分32變形，即使陶瓷層40和45擴張或收縮。更具體地說，由于電壓極化改變，輸入層31和33繼續(xù)向外移動并且使輸出部分32的表面在連接線56和58向外移動，引起輸出部分32的層40和45擴張。由于施加電壓的極化再次改變，輸入層31和33繼續(xù)向內移動并且使輸出部分32的表面在連接線56和58向內移動，引起輸出部分32的輸出層40和45壓縮。
因此，移動和輸入部分31和33方向(振動)的改變使輸出部分32的層40和45沿厚度方向機械地壓縮或變形(由于慣性)，以或接近施加到輸入部分31和33的電壓的驅動頻率振動。所以輸入部分31和33的d33模式厚度振動引起在輸出部分32中g33模式厚度振動。輸出部分32的g33振動(變形)在電極141和142以及143和144的兩端壓電產生交變電壓，并因此分別經過端子47和48以及47和46連接到輸出部分32的陶瓷層40和45。
再參照圖8在絕緣的PT3中，將第一極化電壓施加于分別與電極252和253以及262和263相連的輸入端子257和267。當將該第一極化電壓施加于第一輸入端子257時，電勢存在于中央端子257和連接到第一輸入部分231的外側端子256和258的每一個之間。該電勢使第一輸入部分231的輸入陶瓷層250和255沿厚度方向壓電收縮(即平行于層250和255的極化方向的d33模式變形)。當反相的極化電壓施加于輸入端子257時，電勢又存在于中央端子257和連接到第一輸入部分231的外側端子256和258的每一個之間。該電勢使輸入陶瓷層250和255沿厚度方向壓電擴張(即也是平行于層250和255的極化方向的d33模式變形)。
同樣，當第一極化電壓施加于第二輸入端子267時，電勢存在于中央端子267和連接到第二輸入部分233的外側端子266和268的每一個之間。該電勢使第二輸入部分233的輸入陶瓷層260和265沿厚度方向壓電收縮(即平行于層260和265的極化方向的d33模式變形)。當反相的極化電壓施加于輸入端子267時，電勢又存在于中央端子267和連接到第二輸入部分233的外側端子266和268之間。該電勢使輸入陶瓷層260和265沿厚度方向壓電擴張(即平行于層260和265的極化方向的d33模式變形)。
所以，通過將交變電壓以給定的頻率施加于PT3的輸入部分231和233，陶瓷層250和255以及260和265以施加的交變電壓的頻率周期地擴張和收縮(d33模式厚度振動)。由于PT3的輸入部分231和233的陶瓷層250和255以及260和265擴張，輸入部分231和233向外移動。相反地，由于PT3的輸入部分231的陶瓷層250和255以及260和265收縮，輸入部分231和233向內移動。由于在圖5和圖7的PT的工作中，當施加于輸入部分231和233的陶瓷層250和255以及260和265的電壓的極化被反向時，陶瓷層250和255以及260和265的擴張或收縮的方向幾乎立即反向。但是，輸入部分231和233的運動的平移方向并不很快地改變，像耦合的慣性彈簧系統，在改變方向沿與構成每一個輸入部分231和233的陶瓷層250和255以及260和265的收縮或擴張相同的方向移動之前，輸入部分231和233的動量使它們又繼續(xù)沿它們的原來方向移動。
由于輸出部分232間接地通過各自的絕緣層70和75被穩(wěn)固地連接到輸入部分231和233，輸入部分231和233沿它們原來的方向的繼續(xù)移動致使輸出部分232變形，即使陶瓷層240和245擴張或收縮。更具體地說，由于電壓極化改變，輸入層231和233以及絕緣層70和75繼續(xù)向外移動并且使輸出部分232的表面在連接線270和275向外移動，引起輸出部分232的層240和245擴張。由于施加電壓的極化再次改變，輸入層231和233以及絕緣層70和75繼續(xù)向內移動并且使輸出部分232的表面在連接線270和275向內移動，引起輸出部分232的輸出層240和245壓縮。
因此，輸入部分231和233移動和方向(振動)的改變使輸出部分232的層240和245機械地沿厚度方向壓縮或變形(由于慣性)，以或接近施加到輸入部分231和233的電壓的驅動頻率振動。所以輸入部分231和233的d33模式厚度振動引起在輸出部分232中g33模式厚度振動。輸出部分232的g33振動(變形)在電極241和242以及243和244兩端壓電產生交變電壓，并因此分別經過端子247和248以及247和246連接到輸出部分232的陶瓷層240和245。
在每一個輸入部分231和233上的兩個陶瓷層的使用以及絕緣層70和75的使用增加了PT3的質量和體積。PT3的質量的增加以及長度的增加進一步降低了PT3的諧振頻率而提高了增益和功率強度。增益的增高實際是由于增加的質量增加了裝置的動量。增益的增高導致功率體積比增高。此外，可以選擇層245和245，250和255，260和265以及70和75的長度以確保PT1的工作期間，最大的壓力和張力被集中在輸入部分231和233以及輸出部分232之間的連接線270和275，結果形成增高的增益。
選擇施加于輸入部分31和33或213和233的頻率以與PT1、PT2或PT3的固有諧振頻率相對應，并且裝置輸出中的較大變形和較高增益被實現。更具體地說，在本PT1、PT2和PT3中，選擇施加電壓的頻率以與沿縱向的即沿著PT1、PT2和PT3的整個長度而不是沿半徑方向的PT的諧振頻率相對應。
本發(fā)明的PT1、PT2和PT3使用與PT的縱向尺寸相對應的諧振頻率，即尺寸與所有陶瓷、粘合劑和電極層(以及在PT3中，絕緣層)的厚度總和相對應?？v向方向的諧振頻率比沿PT的寬度或半徑的諧振頻率低。PT1、PT2和PT3可以利用使用縱向諧振頻率，因為該方向上的復合結構的異向性。更具體地說，PT1、PT2和PT3具有沿振動軸的異向性，因為在縱向方向上即具有確定諧振模式的最大長度的方向各自層的材料特性之間有區(qū)別。通過具有改變端子、粘合劑、電極和陶瓷層(以及絕緣層)之間的結構，復合結構在與振動軸平行的縱向方向具有彈性常數。該結構使輸入部分31和33以及輸出部分32能用作具有沿PT1的縱向方向的復合彈性常數的耦合諧波振蕩器。所以在兩個輸入部分31和33，或231和233之間具有輸出部分32或232的本PT的結構以及在縱向方向PT的異向性使本裝置能利用縱向諧振頻率工作。
本PT1、PT2和PT3的諧振與那個其他的現有PT不同。但是沿厚度方向厚度模式PT振動，它們的諧振頻率由PT的各個層的厚度控制而不是由整個PT的長度控制。典型的厚度模式PT不與本PT一樣長(即有較少和較薄的層)，因為用與本裝置一樣多的層或一樣厚構造的厚度模式PT不一定是有效的。此外，由于效能原因，在與那些裝置的總厚度相對應的應用頻率下典型的厚度模式PT不能工作。最后，傳統的TMPT不具有本PT的增益功率，例如圖5的PT1具有大約20-80的增益和大于100瓦的功率。
做為多層復合裝置的本PT的結構也消除了存在于典型的厚度模式裝置中的分開各個層的端子處的節(jié)(node)的產生。典型的厚度模式裝置當每一層以與每一層的厚度相對應的諧振頻率振動時在每一個電極具有節(jié)(無任何振動)。由于本PT1、PT2和PT3的合成和異向性，節(jié)不在每一個電極產生并且通過鄰近的電極、粘合劑、端子和絕緣層將能量從一個陶瓷層傳遞到另一個。所以在PT的層之間和通過PT的各層，振動能量的傳遞使PT的諧振頻率能與PT的總長度相對應。
PT1、PT2和PT3的諧振頻率不僅取決于裝置的長度(相對于應用頻率的波長)，而且取決于裝置的質量。PT的長度和質量的增大進一步降低了裝置的諧振頻率。也可以選擇輸出部分31和33或231和233的長度和質量，以增加輸入部分31和33，或231和233以及輸出部分32或232的動量，同時將壓力和張力集中在輸入部分和輸出部分之間的連接線56和58，或270和275。這些壓力和張力的增加也增高在PT中實現的增益。該設計通過使其能以減少通過裝置產生熱量的較低頻率工作也降低了PT中的消耗損失(熱可以增加介質損耗)。對于PT較大的質量也提供較大的動量，并因此既產生較高的電壓增益又增加功率處理容量。
在圖8的PT3中另一個優(yōu)點是，由于機械能量是通過厚度振動在不同的層之間被傳遞，所以絕緣層可以被任意地加厚，提供比現有裝置強的絕緣。換句話說，由于在絕緣層中的切應力，因為這些層傳遞各層的半徑變形的能力有限，所以在徑向的裝置中，絕緣層的最大厚度是有限的。因為在本PT3中傳遞能量，不出現由于切應力的衰減，并且實際上所有的厚度振動從輸入部分231和233被傳遞到輸出部分232。
盡管上述描述包含了許多特性，但它們不應被理解為對本發(fā)明的限制，而是應理解為一個優(yōu)選實施例的示例。許多其他的變化是可能的，例如在本發(fā)明的優(yōu)選實施例中，該陶瓷層最好由PZT陶瓷材料構成，但在它的位置可以使用其他的電動材料；該陶瓷層可以是壓電、鐵電或其他的電動部件；該輸入部分的每一個最好包含兩個陶瓷層，但該輸入部分可以包含和一個陶瓷層或可以具有多層結構；該PT的形狀不必是圓柱的或板狀的，并且可以是許多其他的形狀或構造；該輸入和輸出陶瓷層的極化方向不必是朝向中央電極，而可以是遠離中央電極的方向；可以使用其他的粘合劑例如酰亞胺、樹脂、環(huán)氧樹脂等等將該陶瓷層機械地連接到端子或電極或者例如通過烘制(cofiring)該陶瓷可以將其化學連接到金屬噴鍍層；該電極可以包含其他的金屬或導電材料并且可以包含粘合劑，例如導電環(huán)氧樹脂層；該高電壓電極對PT不一定是內部的并且不必是每層的中央電極，而可以包含任何層的外部電極。
因此，不應該通過說明的實施例，而且應通過所附的權利要求書以及它們的法律等同確定本發(fā)明的范圍。
權利要求
1.一種壓電變壓器包含第一輸入部分，其具有第一厚度，所述的第一輸入部分還包含第一輸入陶瓷層，其具有第一和第二相對電極的主面并且沿與垂直于所述的第一和第二相對主面的軸平行的方向被極化；以及第一輸入端子，其與所述第一輸入陶瓷層的所述第一主面相鄰；第二輸入部分，其具有第二厚度，所述的第二輸入部分還包含第二輸入陶瓷層，其具有第一和第二相對電極的主面并且沿與所述的軸平行的方向被極化；以及第二輸入端子，其與所述第二輸入陶瓷層的所述第一主面相鄰；以及輸出部分，其具有第三厚度，所述的輸出部分還包含第一輸出陶瓷層，其具有第一和第二相對電極的主面并且沿與所述的軸平行的方向被極化；第二輸出陶瓷層，其具有第一和第二相對電極的主面并且沿與所述的軸平行的方向被極化；輸出端子，其與所述第一輸出陶瓷層的所述第一主面和所述第二輸出陶瓷層的所述第一面相鄰；第一公共端子，其與所述第一輸出陶瓷層的所述第二主面和所述第一輸入陶瓷層的所述第二主面相鄰；以及第二公共端子，其與所述第二輸出陶瓷層的所述第二主面和所述第二輸入陶瓷層的所述第二主面相鄰；其中，第一振蕩電壓施加到所述第一輸入端子和所述第一公共端子兩端，所述第一輸入陶瓷層交替地沿與所述的軸平行的所述方向擴張和收縮；以及其中，第二振蕩電壓施加到所述第二輸入端子和所述第二公共端子兩端；所述第二輸入陶瓷層交替地沿與所述軸平行的所述方向擴張和收縮；以及其中，所述第一和第二輸入陶瓷層沿與所述軸平行的所述方向的所述擴張和收縮致使與所述軸平行的所述第一和第二輸出陶瓷層的第一振蕩機械變形；以及其中，所述第一和第二輸出陶瓷層的所述第一振蕩機械變形在所述第一和第二輸出陶瓷層的每一個的所述第一和第二面之間壓電生成第三振蕩電壓。
2.如權利要求1的壓電變壓器，其中所述的第一輸入部分還包含第三輸入陶瓷層，其具有第一和第二相對電極的主面并且沿與所述軸平行的方向被極化；所述第三輸入陶瓷層的所述第一主面與所述第一輸入端子相鄰；以及第三輸入端子；所述第三輸入陶瓷層的所述第二主面與所述第三輸入端子相鄰；其中，所述第一振蕩電壓施加到所述第一輸入端子和所述第三輸入端子兩端，所述第三輸入陶瓷層交替地沿與所述軸平行的所述方向擴張和收縮。
3.如權利要求2的壓電變壓器，其中所述的第二輸入部分還包含第四輸入陶瓷層，其具有第一和第二相對的主面并且沿與所述軸平行的方向被極化；所述第四輸入陶瓷層的所述第一主面與所述第二輸入端子相鄰；以及第四輸入端子；所述第四輸入陶瓷層的所述第二主面與所述第四輸入端子相鄰；其中，所述第二振蕩電壓施加到所述第二輸入端子和所述第四輸入端子兩端，所述第四輸入陶瓷層交替地沿與所述軸平行的所述方向擴張和收縮。
4.如權利要求3的壓電變壓器，其中利用粘合劑將所述第一輸入部分連接到所述輸出部分；以及其中利用粘合劑將所述第二輸入部分連接到所述輸出部分。
5.如權利要求4的壓電變壓器，其中所述第一公共端子還包含第一輸入陶瓷層的所述第一面和第一輸出陶瓷層的所述第一面之間的第一連線；以及其中在所述第一輸出陶瓷層中所述的機械變形被集中在所述的第一連線。
6.如權利要求5的壓電變壓器，其中所述的第二公共端子還包含第二輸入陶瓷層的所述第一面和第二輸出陶瓷層的所述第一面之間的第二連線；以及其中在所述第二輸出陶瓷層中，所述的機械變形被集中在所述的第二連線。
7.如權利要求6的壓電變壓器，還包含將用第一頻率的振蕩電壓施加到所述第一或第二輸入陶瓷層兩端的裝置。
8.如權利要求7的壓電變壓器，其中，所述的第一頻率是一個與所述的軸平行振蕩的諧振頻率；以及其中所述第一、第二和第三厚度的總和等于所述諧振頻率的半波長的整倍數。
9.如權利要求1的壓電變壓器，其中，所述的第一輸出陶瓷層和所述的第二輸出陶瓷層沿與所述軸平行的相反的方向被極化。
10.如權利要求3的壓電變壓器，其中，所述的第一輸入陶瓷層和所述的第三輸入陶瓷層沿與所述軸平行的相反的方向被極化。
11.如權利要求3的壓電變壓器，其中，所述的第二輸入陶瓷層和所述的第四輸入陶瓷層沿與所述軸平行的相反的方向被極化。
12.如權利要求7的壓電變壓器，其中所述的第一厚度不等于所述諧振頻率的半波長的整倍數；以及其中所述的第二厚度不等于所述諧振頻率的半波長的整倍數；以及其中所述的第三厚度不等于所述諧振頻率的半波長的整倍數。
13.壓電變壓器包含第一輸入部分，其具有第一厚度，所述的第一輸入部分還包含第一輸入陶瓷層，其具有第一和第二相對電極的主面并且與沿垂直于所述第一和第二相對主面的軸平行的方向被極化；第一輸入端子，其與所述第一輸入陶瓷層的所述第一主面相鄰；以及第二輸入端子，其與所述第一輸入陶瓷層的所述第二主面相鄰；第二輸入部分，其具有第二厚度，所述的第二輸入部分還包含第二輸入陶瓷層，其具有第一和第二相對電極的主面并且沿與所述軸平行的方向被極化；第三輸入端子，其與所述第二輸入陶瓷層的所述第一主面相鄰；以及第四輸入端子，其與所述第二輸入陶瓷層的所述第二主面相鄰；第一絕緣層，其具有第一和第二相對主面；所述第一絕緣層的所述第一主面與所述的第二輸入端子相鄰；第二絕緣層，其具有第一和第二相對主面；所述第二絕緣層的所述第一主面與所述的第四輸入端子相鄰；輸出部分，其具有第三厚度，所述的輸出部分還包含第一輸出陶瓷層，其具有第一和第二相對電極的主面并且沿與所述軸平行的方向被極化；第二輸出陶瓷層，其具有第一和第二相對電極的主面并且沿與所述軸平行的方向被極化；第一輸出端子，其與所述第一輸出陶瓷層的所述第一主面和所述第二輸出陶瓷層的所述第一面相鄰；第二輸出端子，其與所述第一輸出陶瓷層的所述第二主面和所述第一絕緣層的所述第二主面相鄰；以及第三輸出端子，其與所述第二輸出陶瓷層的所述第二主面和所述第二絕緣層的所述第二主面相鄰；其中第一振蕩電壓施加到所述的第一和第二輸入端子兩端，所述的第一輸入陶瓷層交替地沿與所述軸平行的所述方向擴張和收縮；以及其中第二振蕩電壓施加到所述的第三和第四輸入端子兩端，所述的第二輸入陶瓷層交替地沿與所述軸平行的所述方向擴張和收縮；以及其中所述的第一和第二輸入陶瓷層沿與所述軸平行的所述方向的所述擴張和收縮致使與所述軸平行的所述第一和第二輸出陶瓷層的第一振蕩機械變形；以及其中所述的第一和第二輸出陶瓷層的所述第一振蕩機械變形在所述第一和第二輸出陶瓷層的每一個的所述第一和第二面之間壓電生成第三振蕩電壓。
14.如權利要求13的壓電變壓器，其中所述的第一輸入部分還包含第三輸入陶瓷層，其具有第一和第二相對電極的主面并且沿與所述軸平行的方向被極化；所述第三輸入陶瓷層的所述第一主面與所述第一輸入端子相鄰；以及第五輸入端子；所述第三輸入陶瓷層的所述第二主面與所述第五輸入端子相鄰；其中所述第一振蕩電壓施加到所述第一輸入端子和所述第五輸入端子兩端，所述第三輸入陶瓷層交替地沿與所述軸平行的所述方向擴張和收縮；
15.如權利要求14的壓電變壓器，其中所述的第二輸入部分還包含第四輸入陶瓷層，其具有第一和第二相對主面并且沿與所述軸平行的方向被極化；所述第四輸入陶瓷層的所述第一主面與所述第三輸入端子相鄰；以及第六輸入端子；所述第四輸入陶瓷層的所述第二主面與所述第六輸入端子相鄰；其中所述第二振蕩電壓施加到所述第三輸入端子和所述第六輸入端子兩端，所述的第四輸入陶瓷層交替地沿與所述軸平行的所述方向擴張和收縮。
全文摘要
提供一種多層壓電變壓器(1)，其能夠實現高機械動量并因此能夠實現高能量傳遞。壓電變壓器(1)具有布置成一個復合結構的多個層(43，44，45，53，54，63，64)。壓電變壓器(1)的最外部分(31，33)包含輸入部分，其連接到壓電變壓器(1)的中央輸出部分(32)。壓電變壓器(1)的結構和異向性使得其能以與其總厚度相對應的壓電變壓器(1)的縱向諧振頻率被驅動，這增加了壓電變壓器(1)可實現的增益和功率強度。
文檔編號H01L41/107GK1418380SQ01806650
公開日2003年5月14日 申請日期2001年12月17日 優(yōu)先權日2000年12月15日
發(fā)明者克拉克·戴維斯·博伊德 申請人:克拉克·戴維斯·博伊德