專利名稱：缺陷知識庫的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明通常涉及在半導(dǎo)體晶片加工系統(tǒng)中進(jìn)行缺陷分析地方法或相關(guān)裝置。更具體地，本發(fā)明涉及存儲有關(guān)半導(dǎo)體晶片上缺陷的圖像和其它信息的數(shù)據(jù)庫。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體晶片在加工期間易于產(chǎn)生缺陷。當(dāng)在其上構(gòu)成集成電路時，缺陷可能發(fā)生在晶片的任意加工階段。集成電路的制造者通常維護(hù)一個關(guān)于規(guī)則發(fā)生的缺陷的原因的數(shù)據(jù)庫。如果缺陷經(jīng)常發(fā)生并且有明確的解決方案，則數(shù)據(jù)庫可以包含一個關(guān)于缺陷、缺陷原因和缺陷解決方案的描述。例如，當(dāng)一個具體的容器室變臟時可能產(chǎn)生某些缺陷。當(dāng)這些缺陷產(chǎn)生時，數(shù)據(jù)庫會指定對具體容器室進(jìn)行清潔的解決方案。
各個集成電路制造者開發(fā)出其自己的缺陷信息專用數(shù)據(jù)庫。同樣地，大量資金不斷被用于建立包含完整的可能缺陷和解決方案列表的數(shù)據(jù)庫。
因此本領(lǐng)域需要匯集多個集成電路制造者的機密缺陷信息的方法。不同制造者可以通過不會暴露任何機密工藝信息的方式訪問這種缺陷信息?？梢詫喜⒌娜毕菪畔⑦M(jìn)行組織以便晶片缺陷來源或原因的分析可以和缺陷的適當(dāng)解決方案聯(lián)系起來。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是一個建立包括圖像和其它半導(dǎo)體晶片缺陷信息的數(shù)據(jù)庫的方法和裝置。數(shù)據(jù)庫被存儲在一個服務(wù)器上，該服務(wù)器有多個客戶端與之連接。從客戶端向數(shù)據(jù)庫提供圖像和其它信息?？蛻舳藦谋镜赜嬃繂卧占畔⒑蛨D像并且通過網(wǎng)絡(luò)向服務(wù)器發(fā)送信息和圖像。在數(shù)據(jù)庫中將信息、圖像與缺陷相關(guān)原因和解決方案組織起來以便構(gòu)成對各個缺陷的研究案例?？梢詮亩鄠€客戶端匯集缺陷研究案例以構(gòu)成一個全面的缺陷知識庫。任何經(jīng)過授權(quán)的客戶端均可以遠(yuǎn)程訪問數(shù)據(jù)庫以找到具體缺陷的原因和解決方案。
為了能夠?qū)崿F(xiàn)并詳細(xì)理解本發(fā)明的上述特征，參照附加附圖中圖解的本發(fā)明實施例更具體地描述前面加以概述的本發(fā)明。
圖1示出了一個基于本發(fā)明的缺陷來源識別器的模塊圖2示出了圖解包括圖1的缺陷來源識別器的裝置和數(shù)據(jù)庫的模塊圖3示出了圖2的缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖4示出了可以被圖1的缺陷來源識別器顯示的缺陷摘要屏幕；
圖5示出了可以被圖1的缺陷來源識別器顯示的案例圖像屏幕；
圖6示出了可以被圖1的缺陷來源識別器顯示的圖像屏幕；
圖7示出了可以被圖3的缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)顯示的瀏覽缺陷屏幕；
圖8示出了可以被圖3的缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)顯示的搜尋屏幕；
圖9示出了可以被圖3的缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)顯示的瀏覽缺陷屏幕；
圖10示出了可以被圖3的缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)顯示的編輯屏幕；
圖11示出了可以被圖3的缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)顯示的創(chuàng)建屏幕；
圖12示出了可以被圖3的缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)顯示的圖像庫屏幕；
圖13示出了可以被圖3的缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)顯示的配置屏幕；
圖14示出了圖13的配置屏幕的另一部分；而
圖15示出了一個涉及圖3的缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)的用戶交互方法。
然而應(yīng)當(dāng)注意，附圖只圖解了本發(fā)明的典型實施例，因此不被認(rèn)為是對本發(fā)明范圍的限制，本發(fā)明允許采用其它等效實施例。
具體實施例方式
缺陷知識庫系統(tǒng)186的一個實施例構(gòu)成圖1中缺陷來源識別器100的一部分。缺陷來源識別器100識別晶片加工系統(tǒng)102加工的晶片中的缺陷，確定缺陷來源并且提出減輕各個缺陷的解決方案。晶片加工系統(tǒng)102包含一或多個加工單元103。各個加工單元103(這里也被稱作加工工具)被用來對晶片完成諸如化學(xué)汽相沉積(CVD)，物理汽相沉積(PVD)，電化學(xué)電鍍(ECP)，化學(xué)機械拋光(CMP)，化學(xué)沉積，其它已知沉積或蝕刻加工的示例性加工。
缺陷知識庫(DKL)數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186在DKL數(shù)據(jù)庫190中存儲半導(dǎo)體晶片缺陷案例歷史記錄。通過DKL軟件188存儲，組織和訪問案例歷史記錄信息。缺陷來源識別器100的遠(yuǎn)程用戶(客戶端104)可以訪問這種半導(dǎo)體晶片缺陷案例歷史記錄以確定缺陷來源識別器100識別的晶片缺陷的來源和解決方案。
缺陷來源識別器100包含分析在晶片加工系統(tǒng)102內(nèi)的加工期間已經(jīng)產(chǎn)生的晶片缺陷的計量工具180并且使用計量工具180的輸出。缺陷來源識別器100的某些實施例向一個遠(yuǎn)程位置傳送晶片數(shù)據(jù)，圖像，和/或涉及晶片缺陷的信息以進(jìn)行分析。缺陷來源識別器100比較晶片圖像和晶片缺陷的案例歷史記錄，對晶片數(shù)據(jù)進(jìn)行光譜分析，并且接著向晶片加工系統(tǒng)(或位于晶片加工系統(tǒng)那里的操作員)發(fā)送那些缺陷的來源和可行解決方案信息。
術(shù)語″晶片″包含半導(dǎo)體晶片或某些其它形式的在其上進(jìn)行連續(xù)加工步驟的基底。圖1中示出的缺陷來源識別器100的實施例包含一個晶片加工系統(tǒng)102，一或多個缺陷來源識別器客戶端104，一或多個缺陷來源識別器服務(wù)器106，和一個網(wǎng)絡(luò)110。晶片加工系統(tǒng)102包含一個傳送單元120，多個加工單元103，一個晶片傳送系統(tǒng)121(也被稱作機器人)，和一個工廠接口122。
工廠接口122包含一個盒式裝載鎖123，至少一個計量單元124，和計量工具180。計量單元124和工具180可以被連接到系統(tǒng)102，也可以是一個獨立工作站。盒式裝載鎖123存儲一或多個晶片。計量工具180在工作時被連接到計量單元124。計量工具180測量和測試晶片特性和晶片缺陷。計量工具180可以包含一個掃描或發(fā)送電子顯微鏡，一個光學(xué)晶片缺陷檢查系統(tǒng)，空間特征分析工具或任何其他被用來分析晶片缺陷的工具。
多個缺陷來源識別器客戶端104在圖1的實施例中被圖示成缺陷來源識別器客戶端A，B，和C。下列描述涉及缺陷來源識別器客戶端A的細(xì)節(jié)，但是也代表所有的缺陷來源識別器客戶端。各個缺陷來源識別器客戶端104包含一個控制晶片加工系統(tǒng)102和晶片加工系統(tǒng)102中的單個加工單元103的操作的客戶端計算機105。缺陷來源識別器服務(wù)器106包含服務(wù)器計算機107。
客戶端計算機105通過網(wǎng)絡(luò)110與服務(wù)器計算機107交互以便接收服務(wù)器計算機107中存儲的數(shù)據(jù)。客戶端計算機105和服務(wù)器計算機107可以存儲有關(guān)晶片加工系統(tǒng)102加工的晶片的當(dāng)前和歷史(即研究案例)缺陷。同樣地，客戶端計算機105和服務(wù)器計算機107與計量單元124的計量工具180和各種數(shù)據(jù)庫交互以便存儲利于晶片缺陷分析的晶片缺陷案例歷史記錄。
網(wǎng)絡(luò)110在客戶端計算機105和服務(wù)器計算機107之間提供數(shù)據(jù)通信。網(wǎng)絡(luò)110可以使用互聯(lián)網(wǎng)，內(nèi)部網(wǎng)，廣域網(wǎng)(WAN)，或任何其他形式的網(wǎng)絡(luò)。例如，網(wǎng)絡(luò)110可以使用被諸如互聯(lián)網(wǎng)的網(wǎng)絡(luò)使用的計算機語言，比如超文本標(biāo)記語言(HTML)或可擴展標(biāo)記語言(XML)。HTML是當(dāng)前被互聯(lián)網(wǎng)使用的主流標(biāo)記語言，而XML是在互聯(lián)網(wǎng)中正被廣泛接受的標(biāo)記語言。使用HTML和/或XML需要在各個客戶端計算機105上安裝相應(yīng)的HTML和/或XML瀏覽器。
缺陷來源識別器客戶端104和服務(wù)器106進(jìn)行交互以確定晶片缺陷來源并且提供減輕晶片缺陷的解決方案。由一個具體的缺陷來源識別器客戶端104控制一個指定晶片加工系統(tǒng)102的操作。在缺陷來源識別器100的某些實施例中，缺陷來源識別器客戶端104從缺陷來源識別器服務(wù)器107接收解決方案。解決方案被提供給晶片加工系統(tǒng)102(自動提供或由一個操作員輸入)，，而解決方案被用來控制晶片加工系統(tǒng)的操作。
由于客戶端計算機105和服務(wù)器計算機107的操作和功能如此緊密相關(guān)(缺陷來源識別器100的不同實施例中的客戶端計算機105或服務(wù)器計算機107可以執(zhí)行類似的客戶/服務(wù)器操作)，客戶端計算機105中單元的編號被附加上一個額外的索引字符″a″。類似地，服務(wù)器計算機107的索引字符被附加上一個額外的索引字符″b″。在必須區(qū)別客戶端計算機105的單元和服務(wù)器計算機107的單元的公開內(nèi)容中，提供適當(dāng)?shù)膶?yīng)索引字符″a″或″b″。在客戶端計算機105或服務(wù)器計算機107的單元單獨或全部可以執(zhí)行規(guī)定任務(wù)的公開內(nèi)容中，可以省略索引字符之后附加的字母。
客戶端計算機105和服務(wù)器計算機107包括一個相應(yīng)的中央處理單元(CPU)160a，160b；一個存儲器162a，162b；支持電路165a，165b；一個輸入/輸出接口(I/O)164a，164b；和一個通信總線166a，166b?？蛻舳擞嬎銠C105和服務(wù)器計算機107可以均被實現(xiàn)成一個通用計算機，一個工作站計算機，一個個人計算機，一個膝上型計算機，一個微處理器，一個微控制器，一個模擬計算機，一個數(shù)字計算機，一個微芯片，一個微型計算機，或任何其他已知類型的適當(dāng)計算機。CPU160a，160b為對于相應(yīng)和服務(wù)器計算機107執(zhí)行處理和算術(shù)運算。
存儲器162a，162b包含單獨或組合存儲計算機程序，操作數(shù)，操作員，尺寸數(shù)值，晶片加工方法和配置，和其它控制缺陷來源識別裝置和晶片加工系統(tǒng)操作的參數(shù)的隨機訪問存儲器(RAM)，只讀存儲器(ROM)，可移動存儲器，和磁盤存儲器?？蛻舳擞嬎銠C105或服務(wù)器計算機107中的各個總線166a，166b在CPU 160a，160b；支持電路165a，165b；存儲器162a，162b；和I/O 164a，164b之間提供數(shù)字信息發(fā)送?？蛻舳擞嬎銠C105或服務(wù)器計算機107中的總線166a，166b還將I/O 164a，164b連接到晶片加工系統(tǒng)102中的相應(yīng)其它部分。
I/O 164a，164b提供一個控制客戶端計算機105和/或服務(wù)器計算機107中各個單元與晶片加工系統(tǒng)102的不同部分之間的數(shù)字信息發(fā)送的接口。支持電路165a，165b包括計算機中使用的公知電路，例如時鐘，高速緩存，電源，諸如顯示器和鍵盤的用戶接口電路，系統(tǒng)設(shè)備和其它與客戶端計算機105和/或服務(wù)器計算機107相關(guān)的附件。
缺陷來源識別器100使用一個自動缺陷來源識別軟件程序，自動缺陷來源識別軟件程序的部分182和184被存儲在存儲器162a或162b中以便分別在客戶端計算機105和服務(wù)器計算機107上執(zhí)行。DSI軟件182，184與DKL軟件188交互以利于通過DSI客戶端104訪問和處理DKL信息。缺陷來源識別器100自動導(dǎo)出缺陷來源，在只需要最小的用戶干預(yù)的情況下顯示可能原因并且/或者通過調(diào)整導(dǎo)致缺陷的晶片加工系統(tǒng)102工藝參數(shù)自動補救缺陷。通過自動與已往的歷史缺陷記錄進(jìn)行比較，缺陷來源識別器100減少了問題解決周期時間，簡化了缺陷來源識別裝置，并且改進(jìn)了缺陷識別準(zhǔn)確性。
缺陷來源識別器100可以被組織成一個產(chǎn)生執(zhí)行摘要屏幕的基于網(wǎng)絡(luò)的應(yīng)用程序，其中執(zhí)行摘要屏幕通常被細(xì)分成多個圖形用戶接口屏幕。在一個實施例中，圖形用戶接口屏幕在缺陷來源識別器客戶端104上顯示其接口和缺陷來源。缺陷來源識別器客戶端104的用戶因而可以和缺陷來源識別器客戶端交互以便加入根據(jù)缺陷來源識別器服務(wù)器106上存儲的數(shù)據(jù)產(chǎn)生的相應(yīng)屏幕。選擇缺陷來源識別器的配置主要取決于期望的操作和性能特性。
缺陷來源識別器操作和結(jié)構(gòu)
缺陷來源識別器100的不同實施例從各種數(shù)據(jù)庫和計量工具180中的一個或多個接收數(shù)據(jù)，文本，圖像，缺陷案例歷史記錄等等。圖2示出了缺陷來源識別器100使用的相關(guān)裝置和數(shù)據(jù)庫的一個實施例。
圖2的缺陷來源識別器100的實施例中包含的各種裝置包括一個缺陷來源識別器裝置210，晶片缺陷檢查裝置204，掃描電子顯微鏡裝置206，一個缺陷管理數(shù)據(jù)庫208，一個制造執(zhí)行數(shù)據(jù)庫210，一個缺陷來源識別器數(shù)據(jù)庫214，缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186(包含缺陷知識庫軟件188和一個缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫190)，和一個工具索引數(shù)據(jù)庫220。為了更好地理解本發(fā)明，讀者應(yīng)當(dāng)同時參照圖1和圖2?？梢允褂密浖布?，數(shù)據(jù)庫計量設(shè)備和/或任何所描述的的適當(dāng)部件實現(xiàn)計量工具180，數(shù)據(jù)庫208，210，214，216，218，220或裝置200中的某些部分。
晶片缺陷檢查裝置204和掃描電子顯微鏡裝置206被提供給計量單元124，并且可以被稱作計量工具180。計量工具180還可以包含諸如晶片缺陷檢查過程的裝置，一個掃描電子顯微鏡，一個發(fā)送電子顯微鏡，光學(xué)成像設(shè)備，空間特征分析器，聚集離子束分析器，和類似設(shè)備。通常，計量工具可以包含任何形式的利于識別晶片上的缺陷或晶片上構(gòu)成的集成電路中的缺陷(這里通常稱作缺陷或晶片缺陷，二者可以互換)的儀器，設(shè)備，或裝置。
San Jose，CA的KLA-TENCOR是諸如電子顯微鏡裝置206的計量工具的生產(chǎn)商。來自晶片缺陷檢查裝置204和/或掃描電子顯微鏡裝置206的缺陷圖像被生產(chǎn)成例如″KLA文件″或KLA資源文件(KLARF)形式的缺陷信息。KLA文件是計算機設(shè)備生產(chǎn)的單純ASCII碼文件。相同的KLA或KLARF文件格式可用于保存來自晶片缺陷檢查裝置204和/或掃描電子顯微鏡裝置206的缺陷信息。
缺陷來源識別器100支持晶片缺陷檢查裝置204生產(chǎn)的KLA或KLARF文件。來自計量工具180的KLA，KLARF或圖像文件被從計量工具輸出到計量工具本地的一個目錄中。各個計量工具180被連接到缺陷來源識別器裝置200以便計量工具輸出目錄被實現(xiàn)成一個網(wǎng)絡(luò)文件系統(tǒng)(NFS)可安裝文件系統(tǒng)，使得可以如下所述遠(yuǎn)程訪問文件。
掃描電子顯微鏡裝置206被用來檢查晶片的表面或表面下的部分。當(dāng)顯微鏡識別出缺陷時，掃描電子顯微鏡處理的一個實施例自動劃分一般缺陷類型。掃描電子顯微鏡裝置206的一個實施例將缺陷檢查信息產(chǎn)生成可以在缺陷來源識別器服務(wù)器106或缺陷來源識別器客戶端104內(nèi)部使用，存儲或顯示的KLA文件或其它類似的圖像存儲文件。掃描電子顯微鏡裝置生產(chǎn)一個可以被存儲和/或分析的圖像。
缺陷來源識別器客戶端104的一個實施例包含一個顯示器，該顯示器顯示這種計量工具180，即晶片缺陷檢查裝置204或掃描電子裝置206針對計量單元124中的晶片產(chǎn)生的KLA文件所涉及的缺陷圖像。缺陷來源識別器100的一個實施例允許顯示晶片缺陷案例歷史記錄。為了進(jìn)行比較，除一個研究案例缺陷的圖像(參考圖像)之外還可以顯示一個當(dāng)前缺陷的圖像。缺陷來源識別器系統(tǒng)100產(chǎn)生和顯示各個晶片的晶片映射圖像，其中晶片映射圖像會以可視方式指出晶片上缺陷的位置，并且也支持缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186。
缺陷管理數(shù)據(jù)庫208包含有關(guān)當(dāng)前加工的一或多個晶片的缺陷圖像，數(shù)據(jù)和信息。在對一或多個晶片重復(fù)進(jìn)行晶片缺陷分析期間可以使用這種圖像，數(shù)據(jù)和其它最近收集的信息。這種重復(fù)晶片缺陷分析可以被用來提供缺陷重復(fù)出現(xiàn)信息(例如在后續(xù)加工的晶片的相同位置上出現(xiàn)一個類似缺陷)和增加信息(其中一個類似缺陷出現(xiàn)在另一個晶片中的不同位置上)。數(shù)據(jù)，圖像或其它信息也可以提供集簇信息，其中多個缺陷出現(xiàn)在一個指定區(qū)域內(nèi)。
缺陷來源識別器裝置200被連接到制造執(zhí)行數(shù)據(jù)庫210。制造執(zhí)行數(shù)據(jù)庫210的一個實施例包含Mountain View，Calif的CONSILIUM制造的一個WORKSTREAM制造執(zhí)行系統(tǒng)。制造執(zhí)行數(shù)據(jù)庫210在操作上或結(jié)構(gòu)上可以被分成一個不同的FAB制造執(zhí)行數(shù)據(jù)庫部分和一個傳送制造執(zhí)行數(shù)據(jù)庫部分。傳送制造執(zhí)行數(shù)據(jù)庫部分控制制造過程中晶片組通過晶片加工系統(tǒng)102的傳送路徑。同樣地，制造執(zhí)行數(shù)據(jù)庫包含傳送信息，其中涉及傳送信息的處理已經(jīng)被應(yīng)用于各個晶片或晶片組。這種組傳送信息可用于確定具有缺陷的晶片已經(jīng)經(jīng)過的處理(或處理系列)。
制造執(zhí)行數(shù)據(jù)庫210也可以包含一個設(shè)備接口和一個加工方法管理系統(tǒng)。因此制造執(zhí)行數(shù)據(jù)庫210包含大量被各個加工單元103用于處理各個晶片的狀態(tài)信息。制造執(zhí)行數(shù)據(jù)庫210因而構(gòu)成″環(huán)境信息″并且構(gòu)成一個被發(fā)送到加工方法管理系統(tǒng)的消息，其中該消息被用來設(shè)置處理各個晶片的加工方法。環(huán)境信息可用于唯一識別將出現(xiàn)在一個具體加工單元內(nèi)一個加工方法中的處理，并且包含諸如組號，實體，產(chǎn)品，路徑等等的信息。
加工方法管理系統(tǒng)根據(jù)制造執(zhí)行數(shù)據(jù)庫提供的消息產(chǎn)生一個″加工方法″。加工方法實質(zhì)上是處理指令，例如該產(chǎn)品在階段的壓力，溫度氣流等等。接著，相應(yīng)的加工工具根據(jù)設(shè)置和加工方法執(zhí)行制造加工步驟。晶片加工系統(tǒng)102進(jìn)行某些數(shù)據(jù)集合處理，例如產(chǎn)生關(guān)于處理開始時間，結(jié)束時間等等的報告。這種信息被發(fā)送到制造執(zhí)行數(shù)據(jù)庫210并且被存儲在比如存儲器中的記錄的一個區(qū)域或?qū)嶓w中。
工具索引數(shù)據(jù)庫220為缺陷來源識別器100中使用的各個加工工具提供工藝參數(shù)描述。工具索引數(shù)據(jù)庫220包含諸如哪些晶片已經(jīng)在哪些加工單元中被加工，對各個晶片完成的加工的類型，根據(jù)哪些操作參數(shù)對各個晶片進(jìn)行加工等等的信息。工具索引數(shù)據(jù)庫220可以被缺陷來源識別器100用于指示加工單元中導(dǎo)致某些缺陷的條件。
缺陷來源識別器過程200的某些實施例提供了允許用戶選擇各個缺陷來源識別器客戶端104的顯示數(shù)據(jù)的配置能力。缺陷來源識別器100的一個實施例更新由諸如晶片缺陷檢查裝置204和掃描電子顯微鏡裝置206的各個計量工具180提供的缺陷數(shù)據(jù)。
缺陷來源識別器數(shù)據(jù)庫214臨時存儲涉及一個缺陷的信息。缺陷來源識別器數(shù)據(jù)庫214包含晶片缺陷檢查裝置204和掃描電子顯微鏡裝置206產(chǎn)生的KLA文件中的具體數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)庫214通常存儲客戶端104內(nèi)最近收集的數(shù)據(jù)。缺陷來源識別器數(shù)據(jù)庫214還包含涉及檢查圖像文件的文件?？梢栽诳蛻舳?04內(nèi)部對數(shù)據(jù)庫214中的數(shù)據(jù)進(jìn)行本地處理并且接著發(fā)送到服務(wù)器106，也可以將原始數(shù)據(jù)直接發(fā)送到服務(wù)器106以便進(jìn)行處理。
缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186存儲，組織并且允許訪問涉及缺陷來源識別器100收集的歷史缺陷案例的圖像，數(shù)據(jù)，或其它信息。最好通過將來與多個單獨缺陷來源識別器客戶端104的交互對缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫190中的圖像，數(shù)據(jù)，或其它信息進(jìn)行編輯。
在一個實施例中，涉及缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186的圖像，數(shù)據(jù)，和其它信息被存儲在服務(wù)器計算機107的存儲器162b中。然而這種信息可以被分布在各個客戶端104和服務(wù)器106中。同樣地，盡管DKL軟件188和DKL數(shù)據(jù)庫190在圖1中被描述成位于服務(wù)器106上，但DKL系統(tǒng)186的這些部分也可以被分布在客戶端104和服務(wù)器106上。
在一個實施例中，可以由一個不同的公司，一個公司內(nèi)不同的工作組，或一個公司內(nèi)不同的設(shè)施操作各個缺陷來源識別器客戶端104?？蛇x地，可以由相同的公司或工作組操作多個缺陷來源識別器客戶端104。任何具體缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186中包含的晶片案例歷史記錄越多，則能夠適當(dāng)存儲和/或分析的歷史晶片缺陷(及其相應(yīng)的單獨解決方案)的潛在數(shù)量就越大。例如，涉及與缺陷來源識別器服務(wù)器106通信的多個缺陷來源識別器客戶端104的歷史缺陷可以被存儲成缺陷來源識別器服務(wù)器106的存儲器162b中的數(shù)據(jù)。只有某些經(jīng)授權(quán)的缺陷來源識別器客戶端104可以訪問缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186中包含的數(shù)據(jù)，圖像，或其它信息。這種在不同工作組或公司中間共享的知識通過為所有參與方迅速識別缺陷解決方案促進(jìn)了制造率的提高。
涉及最初由一個第一缺陷來源識別器客戶端104(由一個第一公司或工作組操作)檢測到的缺陷的圖像，數(shù)據(jù)，或其它信息以后可以被一個不同公司或工作組操作的第二缺陷來源識別器客戶端104用來進(jìn)行分析。任何其他缺陷來源識別器客戶端的操作員通常不能確定操作任何缺陷來源識別器客戶端104的公司或工作組的身份(除非得到允許)。
某些方面的加工單元狀況，加工方法，工作溫度和/或一或多個缺陷解決方案可以被提供給所有缺陷來源識別器客戶端的操作員。然而可以具有限制訪問某些諸如具體加工方法的敏感信息。但是，通過使用包含來自多個缺陷來源識別器客戶端104的信息的大型缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186可以增加涉及多數(shù)工藝的歷史晶片數(shù)據(jù)，圖像數(shù)量和信息量并且因而使晶片缺陷分析能夠更加可靠。
缺陷來源識別器裝置200的一個實施例從缺陷管理數(shù)據(jù)庫208收集諸如新發(fā)生，重復(fù)發(fā)生，空間特征分析和集簇信息的缺陷屬性。缺陷來源識別器裝置200從制造執(zhí)行數(shù)據(jù)庫210收集組傳送信息。選定系統(tǒng)用戶的缺陷來源識別器裝置200可以訪問缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186?？梢酝ㄟ^諸如ActiveX數(shù)據(jù)對象(ADO)的已知數(shù)據(jù)庫訪問程序和技術(shù)訪問缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186。
晶片缺陷檢查裝置204和掃描電子顯微鏡裝置206產(chǎn)生的圖像通常具有TIFF文件的形式。也可以按照TIFF文件格式存儲數(shù)據(jù)庫裝置208，210，214，186，和220中的圖像，數(shù)據(jù)，和其它信息。在一個實施例中，多個圖像可以被包含在一個單獨的TIFF文件中，其中TIFF文件內(nèi)的圖像文件目錄包含多個條目，一個條目對應(yīng)于一個圖像。為了在相同文件中包含多個圖像，文件不僅包含多個圖像，而且包含指示不同圖像在文件中的定位的定位數(shù)據(jù)。因而定位和缺陷圖像數(shù)據(jù)均被包含在TIFF文件中，其中在KLA文件內(nèi)索引這個TIFF文件。在一個單獨TIFF文件中存儲多個圖像避免出現(xiàn)每個圖像有一個單獨TIFF文件的情況。與一個單獨缺陷相關(guān)的多個圖像可以被包含在一個單獨TIFF文件或多個TIFF文件中。通過各個KLA文件中的多個TiffFileName記錄定義多個TIFF文件。
由于可以容易地在任何客戶端計算機105和服務(wù)器計算機107之間傳送壓縮圖像文件，缺陷來源識別器系統(tǒng)100被用來將TIFF缺陷圖像文件轉(zhuǎn)換成JPEG壓縮或MPEG壓縮圖像文件。缺陷來源識別器過程200連接掃描電子顯微鏡過程206和晶片缺陷檢查過程204。過程204和206之間的這種連接允許用戶訪問過程204，206的歷史KLA文件和/或其它圖像文件。缺陷來源識別器過程200的一個實施例允許從工具索引數(shù)據(jù)庫220內(nèi)部的一個單純文件中檢索出一個加工工具列表。
缺陷來源識別服務(wù)器106運行一個使用CPU 160b訪問存儲器162b的缺陷來源識別器數(shù)據(jù)庫。缺陷來源識別器的一個實施例可以使用一個由缺陷來源識別器訪問的數(shù)據(jù)庫服務(wù)器106，例如一個SQL服務(wù)器數(shù)據(jù)庫。
缺陷來源識別客戶端104可以包含被用來支持與網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器的交互的公知網(wǎng)絡(luò)客戶端軟件。網(wǎng)絡(luò)客戶端軟件包含一個諸如WINDOWSNT(Redwood，WA的微軟公司公司的注冊商標(biāo))，SOLARIS(PaloAlto，CA的Sun Microsystems公司的注冊商標(biāo))，或IRIX(MountainView，CA的SGI的注冊商標(biāo))的操作系統(tǒng)。缺陷來源識別客戶端104運行一個諸如INTERNET EXPLORER(Redmond，WA的微軟公司公司的注冊商標(biāo))或NETSCAPE NAVIGATOR(Mountain View，CA的Netscape通信公司的注冊商標(biāo))的瀏覽器?？梢允褂弥T如BASIC，C，C++，或其它面向?qū)ο蠡騻鹘y(tǒng)計算機編程語言的語言開發(fā)缺陷來源識別器。
在一個實施例中，缺陷來源識別器服務(wù)器106通過缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186的通信端口訪問缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186。缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186與BASIC，C++或C兼容。缺陷來源識別器服務(wù)器106通過與BASIC，C++或C兼容的通信裝置訪問制造執(zhí)行數(shù)據(jù)庫。數(shù)據(jù)庫軟件的某些實施例通過與BASIC，C++或C兼容的COM(譯者注構(gòu)件對象模型Component Object Model)過程支持企業(yè)網(wǎng)絡(luò)(包含Oracle公司的ORACLE8i，Irvine，CA的Quest軟件的QUEST)。
圖3中示出了缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186的一個實施例。
缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186具有一個三層客戶-服務(wù)器體系結(jié)構(gòu)，其中包含一個客戶端層303，一個中間層305，和一個數(shù)據(jù)層307?？蛻舳藢?03為缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186提供用戶接口?？蛻舳藢?03包括一個被用來在客戶端計算機105和服務(wù)器計算機107之間提供網(wǎng)絡(luò)連接的瀏覽器302?？蛻舳藢拥囊粋€實施例中使用的瀏覽器軟件(包含HTML瀏覽器或XML瀏覽器)最好使用諸如INTERNET EXPLORER或NETSCAPE NAVIGATOR的Web瀏覽器。位于任何晶片缺陷檢查過程和掃描電子顯微鏡過程上的客戶端層需要訪問缺陷來源識別器。
中間層305的一個實施例包括諸如MICROSOFT互聯(lián)網(wǎng)信息服務(wù)器304和MICROSOFT事務(wù)處理服務(wù)器306的服務(wù)器軟件和缺陷知識庫部件316。中間層過程位于圖1的缺陷來源識別器服務(wù)器106上。中間層實現(xiàn)客戶端應(yīng)用程序的業(yè)務(wù)規(guī)則，管理與圖2示出的數(shù)據(jù)庫進(jìn)程210，212，214，190，218，和220的實施例之間的事務(wù)處理并且向瀏覽器客戶端傳送Web頁面。
數(shù)據(jù)層的一個實施例包括一個SQL數(shù)據(jù)庫服務(wù)器，其中SQL數(shù)據(jù)庫服務(wù)器包含缺陷來源識別器數(shù)據(jù)庫214和缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫190。需要在缺陷來源識別器數(shù)據(jù)庫214中創(chuàng)建具有安全等級的用戶帳戶。缺陷來源識別器100可以具有一個在缺陷來源識別器服務(wù)器106上創(chuàng)建并且位于其中的用戶交叉索引文件，該文件在晶片缺陷檢查裝置204和掃描電子顯微鏡裝置206之間將用戶類別交叉索引到缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫類別上。
缺陷來源識別器100的授權(quán)用戶可以查看一個屏幕上共同顯示的晶片標(biāo)識數(shù)據(jù)，缺陷數(shù)據(jù)；研究案例和加工工具；查看晶片缺陷檢查裝置204和掃描電子顯微鏡裝置206產(chǎn)生的涉及一個規(guī)定缺陷的圖像；視圖適用于具體一組由一個或多個加工過晶片組的加工工具103(圖1示出)導(dǎo)致的缺陷類別的研究案例；查看案例歷史記錄的圖像；顯示案例歷史記錄的圖像中對應(yīng)于當(dāng)前缺陷的圖像；并且/或者搜尋前面的晶片以查看其缺陷和相關(guān)研究案例。
缺陷來源識別器100可以調(diào)用多個計算機功能，其中包含內(nèi)部初始化；關(guān)機；差錯處理；向缺陷來源識別器數(shù)據(jù)庫214上載已有的KLA結(jié)果文件；和向缺陷來源識別器數(shù)據(jù)庫214上載用戶類別轉(zhuǎn)換文件。轉(zhuǎn)換文件將工具配置的用戶類別映射成缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫類別并且將來自一個或兩個制造執(zhí)行數(shù)據(jù)庫210的傳送文件上載到缺陷來源識別器裝置200以便存儲到缺陷來源識別器數(shù)據(jù)庫214中。缺陷來源識別器數(shù)據(jù)庫214中存儲的傳送文件可以被缺陷來源識別器100的其它裝置訪問以便提供更快速的圖像或信息訪問。
缺陷來源識別器服務(wù)器106上安裝一個允許其連接到晶片缺陷檢查裝置204和掃描電子顯微鏡裝置206上的網(wǎng)絡(luò)文件系統(tǒng)(NFS)可安裝文件系統(tǒng)的產(chǎn)品。一種這樣的產(chǎn)品是Intergraph公司的DISKACCESS。需要訪問缺陷來源識別器100的各個掃描電子顯微鏡裝置206和晶片缺陷檢查裝置204必須具有其可被缺陷來源識別器服務(wù)器106用作NFS可安裝文件系統(tǒng)的KLA和圖像文件輸出目錄。同樣地，被客戶端104或服務(wù)器106用于缺陷分析的文件不必物理駐留在服務(wù)器106內(nèi)。
現(xiàn)在描述針對制造執(zhí)行數(shù)據(jù)庫210，缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186，晶片缺陷檢查裝置204和掃描電子顯微鏡裝置206的接口。
缺陷來源識別器100從制造執(zhí)行數(shù)據(jù)庫210(例如CONSILIUMWORKSTREAM制造執(zhí)行系統(tǒng))收集數(shù)據(jù)以便訪問一組已經(jīng)被用來加工晶片組的加工工具。表格1包含了被用來識別和提取制造執(zhí)行數(shù)據(jù)庫210中的數(shù)據(jù)的信息。表格2顯示出從制造執(zhí)行數(shù)據(jù)庫210輸出的信息。在晶片加工系統(tǒng)102中加工的各個晶片由晶片標(biāo)識，組標(biāo)識和日期唯一標(biāo)識。
表格1制造執(zhí)行數(shù)據(jù)庫過程使用的各個計量工具的標(biāo)識信息
表格2制造執(zhí)行數(shù)據(jù)庫過程的輸出信息
在沒有訪問制造執(zhí)行數(shù)據(jù)庫210的情況下，晶片被傳送通過一個固定路徑。用于所有晶片的傳送路徑被存儲在一個諸如EXCEL或ACCESS文件的電子數(shù)據(jù)表格或數(shù)據(jù)庫文件中。按照缺陷來源識別器內(nèi)部的處理順序排列文件內(nèi)傳送路徑中的加工工具列表。表格3描述了加工工具文件的格式
表格3加工工具文件格式
圖4示出了一個被用來圖解涉及缺陷的數(shù)據(jù)，圖像，和其它信息、具有表狀格式并且被顯示在互聯(lián)網(wǎng)瀏覽器內(nèi)的缺陷摘要屏幕402。缺陷來源識別器100使用缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186確定與缺陷摘要屏幕402的缺陷表格區(qū)段內(nèi)顯示的各個缺陷相關(guān)的原因列表。缺陷來源識別器數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186還被用來確定缺陷表格406中各個類別的缺陷的原因列表。缺陷來源識別器可以顯示缺陷摘要屏幕402的原因表格408中的原因列表。在用戶通過屏幕402發(fā)出請求時，缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186檢索缺陷來源識別器100向用戶顯示的研究案例細(xì)節(jié)。表格4顯示了從缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186檢索出來并且被用來提取該系統(tǒng)的數(shù)據(jù)的信息。
表格4缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)數(shù)據(jù)
表格5的字段中包含的信息描述了可以從缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186檢索出的示例性數(shù)據(jù)類型。
表格5缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)數(shù)據(jù)類型
根據(jù)各個用戶的適當(dāng)輸入可以逐個工具地定制類別(包含掃描電子顯微鏡裝置206和晶片缺陷檢查裝置204產(chǎn)生的KLA文件)。諸如EXCEL或ACCESS(Redmond，WA的微軟公司的注冊商標(biāo))的數(shù)據(jù)庫文件的電子數(shù)據(jù)表格可用于包含在掃描電子顯微鏡裝置206和晶片缺陷檢查裝置204上定義并且與缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186中使用的分類交叉索引的用戶分類。這種交叉索引文件被載入缺陷來源識別器數(shù)據(jù)庫214。表格6描述了交叉索引文件的格式
表格6交叉索引文件的格式
缺陷來源識別器100在缺陷摘要屏幕的缺陷表格406中顯示從晶片缺陷檢查裝置204和掃描電子顯微鏡裝置206收集的數(shù)據(jù)。從晶片缺陷檢查過程為所有缺陷分配一個運行時類別?？梢赃M(jìn)一步使用一個光學(xué)顯微鏡重新訪問類別?？梢赃M(jìn)一步使用掃描電子顯微鏡過程206分析這些缺陷的一個子集并且為其指定一個掃描電子顯微鏡自動缺陷分類類別。因而根據(jù)被用來檢查缺陷的計量工具可以為一個單獨缺陷分配不同的缺陷分類。
在檢查結(jié)束時，每個被用來檢查缺陷的計量工具均產(chǎn)生一個單獨的KLA結(jié)果文件和各個缺陷的圖像文件。對于掃描電子顯微鏡裝置206，為每個晶片產(chǎn)生KLA結(jié)果文件。對于組缺陷檢查裝置204，為每個組產(chǎn)生KLA結(jié)果文件。如果重新訪問一個晶片，則只產(chǎn)生一個示出運行時和重新訪問分類的合并信息的晶片缺陷檢查過程KLA文件。
晶片缺陷檢查過程204和掃描電子顯微鏡過程206將其KLA結(jié)果文件和圖像文件輸出到一個位于裝置204和/或206本地，即位于工具計算機或客戶端計算機內(nèi)的目錄。這些輸出目錄可被缺陷來源識別器100用作上述網(wǎng)絡(luò)文件系統(tǒng)可安裝文件系統(tǒng)。
KLA文件通常包含許多記錄。缺陷來源識別器的KLA文件使用的記錄的一個實施例可以如下所示
檢查工作站ID<工具制造商><工具型號><工具ID>；
結(jié)果時間標(biāo)簽<日期><時間>；
組標(biāo)識<組ID>，(16字符)
晶片標(biāo)識<晶片ID>；(16字符)
樣本測試計劃<測試模片的數(shù)量>(頭記錄)
晶片布局?jǐn)?shù)據(jù)
Tiff文件名<文件名>
晶片來源<x><y>(晶片的左下角坐標(biāo)(0，0)
分類查找<類別分量>
分類列表
缺陷記錄規(guī)格(頭記錄)
缺陷數(shù)據(jù)
文件結(jié)束
現(xiàn)在描述與KLA文件相關(guān)的記錄的不同實施例。樣本測試計劃記錄是一個指示表格7中所示的測試晶片中各個模片的晶片布局坐標(biāo)的起始的頭記錄。
表格7樣本計劃的晶片布局坐標(biāo)
提供一個分類查找頭記錄以指示類別映射數(shù)據(jù)的起始。表格8中示出了分類查找頭記錄后面的記錄，這些記錄包含分類編號和對應(yīng)于數(shù)字的分類名稱。
表格8分類查找頭記錄后面的記錄
缺陷記錄規(guī)格頭記錄指示缺陷數(shù)據(jù)的起始。表格9中指示的缺陷記錄規(guī)格之后的記錄包含所有晶片缺陷數(shù)據(jù)。
表格9缺陷記錄規(guī)格頭記錄中的記錄
用戶可以選擇案例圖像列442以便打開一個新瀏覽器，該瀏覽器顯示對應(yīng)于涉及一個選定研究案例的圖像的案例圖像屏幕500。圖5中示出的案例圖像屏幕500的實施例使得缺陷來源識別器100可以檢索掃描電子顯微鏡裝置206，晶片缺陷檢查裝置204(例如一個光學(xué)成像器)和其它這種計量工具180當(dāng)前產(chǎn)生或以前存儲的圖像。圖像502，504，和506描述了三個不同計量工具對一個具體缺陷的不同觀察。
用戶可以選擇將圖5的案例圖像屏幕500中顯示的圖像502，504或506與從缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫190檢索的一個晶片缺陷案例歷史記錄的圖像相比較。為了利于比較，用戶選擇如圖6所示的圖像比較屏幕600。用戶接著選擇在圖像比較屏幕600中顯示與一個可疑缺陷原因相關(guān)的具體案例歷史記錄圖像604和屏幕500中的選定圖像602。在同時提交的美國專利申請09/905,607號中詳細(xì)描述了DKL系統(tǒng)186在識別缺陷，其原因和解決方案方面的用途。
圖形用戶接口綜述
圖7到14圖解了一組提供與缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186之間的交互的圖形用戶接口(GUI)。圖15是與DKL系統(tǒng)186交互的方法1500的一個實施例的流程圖。與缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186交互的GUI包含一系列接口屏幕，例如一個瀏覽缺陷屏幕700，900(圖7和9中示出的實施例)；一個搜尋屏幕800(圖8中示出的實施例)；一個編輯屏幕1000(圖10中示出的實施例)；一個創(chuàng)建屏幕1100(圖11中示出的實施例)；一個圖像庫屏幕1200(圖12中示出的實施例)；和一個配置屏幕1300(圖13和14中示出的實施例)。圖7到14中示出的GUI屏幕為用戶提供了向缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186輸入涉及晶片缺陷的分析和其它相關(guān)信息并且使信息被存儲在DKL數(shù)據(jù)庫190中的交互方法。
可以認(rèn)為各個GUI屏幕表示不同的″狀態(tài)″以便允許將不同信息和不同顯示信息輸入到DKL數(shù)據(jù)庫190。盡管在這個公開內(nèi)容中術(shù)語″屏幕″在許多情況下被用于描述不同的GUI，但術(shù)語″屏幕″，″GUI″或″顯示″可以互換使用。
可以通過選擇某些文件夾選項卡702，704，706，708，710和712顯示圖7到14中示出的不同GUI屏幕的實施例并且與之交互。文件夾選項卡包含一個瀏覽文件夾選項卡702，一個搜尋文件夾選項卡704，一個編輯文件夾選項卡706，一個創(chuàng)建文件夾選項卡708，一個圖像庫文件夾選項卡710，和一個配置文件夾選項卡712。缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186允許完成通過選擇的不同選項卡或按鈕選定的案例編輯/產(chǎn)生，搜尋，分析，安全，查看圖像，管理，數(shù)據(jù)接口，編輯日志報告，輸入/輸出案例，和其它屏幕功能。
如果用戶在缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186的如圖7到14所示的任何GUI屏幕中選擇瀏覽文件夾選項卡702，則會顯示圖7和9中示出的瀏覽缺陷屏幕700或900。瀏覽缺陷屏幕700和900允許用戶查看現(xiàn)有歷史缺陷案例。在登錄時缺陷來源識別器100的缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186顯示瀏覽缺陷屏幕700。
瀏覽缺陷屏幕700，900具有多個子選項卡。子選項卡的一個實施例包含一個案例列表子選項卡720，一個摘要子選項卡722，一個一般子選項卡724，一個工具子選項卡726，一個晶片子選項卡728，一個缺陷子選項卡730，一個附件子選項卡732，和一個報告子選項卡734。缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)中包含的不同文件夾選項卡和子選項卡列表只是示例性的。選擇案例列表子選項卡720以便提供一組排列在可以通過選擇案例列表子選項卡720來支持的表格729中的案例。一個案例列表表格729上提供的列包含案例ID 740，案例名稱列742，案例問題列744，日期創(chuàng)建列746和作者列748。各個列中包含的信息可以從列標(biāo)題得到解釋。
如果選擇摘要子選項卡722，則顯示圖9中的摘要屏幕900。摘要屏幕900提供關(guān)于歷史記錄中各個晶片的缺陷和共同狀態(tài)的一般綜述。摘要屏幕900被分成多個字段，其中包含一個背景字段940，案例細(xì)節(jié)字段942，和一個缺陷詳細(xì)字段944。背景字段可以包含諸如平臺，容器室，裝置名稱，加工步驟，清潔類型，和容器室內(nèi)氣體的字段。案例細(xì)節(jié)字段942可以包含諸如問題，根本原因，糾正措施，建議，和案例作者的字段。缺陷細(xì)節(jié)字段944可以包含空間特征分析，晶片映射和帕雷圖(pareto)字段。帕雷圖被用來根據(jù)空間特征分析(如果SSA可用)，在KLA結(jié)果文件(KLARF)可用時的運行時類別，或計量工具180分類(例如晶片缺陷檢查裝置204或掃描電子顯微鏡裝置206)打開菜單。缺陷細(xì)節(jié)字段中的其它字段可以包含光學(xué)分類和圖像縮略圖，掃描電子顯微鏡裝置分類和圖像縮略圖，聚集離子束分類和圖像縮略圖，發(fā)送電子顯微鏡分類和圖像縮略圖，等等。
選擇瀏覽缺陷屏幕700中的一般子選項卡724會顯示一個未示出的一般屏幕。一般屏幕包含各種字段，其中包含案例名稱，案例日期，案例安全，問題，根本原因，糾正措施，建議，作者，分析，創(chuàng)建日期，公司，地點，等等。
選擇瀏覽缺陷屏幕700上的工具子選項卡728會顯示未示出的工具屏幕。工具屏幕顯示與容器室和裝置與晶片信息相關(guān)的字段。工具屏幕中的字段包含平臺，主機，工具ID，技術(shù)，容器室類型，裝置類型，裝置描述，加工步驟，氣體，和清潔信息。
選擇瀏覽缺陷屏幕700上的晶片子選項卡726會顯示未示出的晶片屏幕。在晶片屏幕上提供所有與晶片信息相關(guān)的字段。通常在晶片屏幕上提供的字段包含晶片類型，晶片跟蹤編號(晶片ID)，組ID，晶片尺寸，薄膜類型，薄膜厚度，多數(shù)缺陷的位置，加工容器室，和晶片映射。
選擇瀏覽缺陷屏幕700上的缺陷子選項卡730會顯示一個缺陷字段，該缺陷字段包含所有與缺陷分類單元相關(guān)的字段(晶片缺陷檢查過程的分析，掃描電子顯微鏡過程的分析，晶片映射，和能量耗散微量分析系統(tǒng))。瀏覽缺陷屏幕700上的字段包含空間特征分析類別，缺陷位置，運行時分類分布，光學(xué)分類圖像，掃描電子顯微鏡手動分類，聚集離子束，發(fā)送電子顯微鏡，等等。
圖10中示出的編輯屏幕1000顯示了具有可編輯字段中所有參數(shù)的當(dāng)前歷史案例。通過輸入新數(shù)據(jù)或使用針對具有有限數(shù)值的字段的選項按鈕和下拉列表來編輯各個字段。編輯屏幕1000將案例數(shù)據(jù)組織到若干個可以通過子選項卡訪問的子屏幕中。這些子選項卡包含一個案例列表子選項卡1002，一個一般子選項卡1004，一個工具子選項卡1006，一個晶片子選項卡1008，一個缺陷子選項卡1010，和一個附件子選項卡1012。當(dāng)編輯一個案例時，需要用戶在切換選項卡之前保存改變?？梢园凑杖我忭樞蛟L問選項卡。使用針對選定案例設(shè)置的數(shù)值預(yù)先填充編輯屏幕1000以便準(zhǔn)備編輯。因而，瀏覽缺陷屏幕上顯示的案例信息類似于編輯屏幕1000上以可編輯格式顯示的信息。
案例列表子選項卡1002產(chǎn)生一個案例列表子字段，案例列表子字段的一個實施例包含表格10中示出的輸入字段。
表格10案例選項卡上的輸入
工具子選項卡1006產(chǎn)生一個工具子字段，工具子字段的一個實施例包含表格11中示出的輸入字段。
表格11工具選項卡上的輸入
缺陷子選項卡1010產(chǎn)生一個缺陷子字段，缺陷子字段的一個實施例包含表格12中示出的輸入字段。
表格12缺陷選項卡上的輸入
一般子選項卡1004產(chǎn)生一個一般子字段，一般子字段的一個實施例包含表格13中示出的輸入字段。
表格13一般選項卡上的輸入
缺陷子選項卡1008產(chǎn)生一個缺陷子字段，缺陷子字段的一個實施例包含表格14中示出的輸入字段。
表格14晶片選項卡上的輸入
附件子選項卡1012產(chǎn)生一個附件子字段，附件子字段的一個實施例包含表格15中示出的輸入字段。
表格15附件選項卡上的輸入子字段
案例狀態(tài)的有效選項包含一個分析選項，一個已分析選項，一個復(fù)制選項，一個已批準(zhǔn)選項，一個暫停選項，和一個丟棄選項。需要用戶選擇一個加工工具類型和平臺以便向案例加入一個加工工具。接口支持向一個案例加入多個加工工具。下拉式列表可以被用來輪詢案例中所有的加工工具。刪除按鈕1106從案例中清除加工工具。清除一個加工工具還會從案例中清除任何與加工工具相關(guān)的容器室?！浼尤胄马椖俊浒粹o加入加工工具。為加入一個容器室到案例中，用戶必須首先選擇一個加工工具?！浼尤胄马椖俊浒粹o被用來向加工工具加入容器室。
為向加工工具加入一個容器室，用戶必須選擇和提供下列字段容器室位置字段，容器室類型字段，和過程類型字段。對容器室類型的選擇影響過程類型字段中的可用選項。多個容器室可以被加到一個加工工具中，因而可以被加到一個案例。下拉式列表可以被用來輪詢一個加工工具的容器室。用戶可以向一個案例加入多個晶片。下拉式列表可以被用來輪詢一個案例中所有的晶片。為了向一個案例加入晶片，用戶需要輸入晶片類型。
刪除按鈕會從案例中清除當(dāng)前的晶片。當(dāng)選擇刪除晶片按鈕時還會從案例中刪除任何與晶片相關(guān)的晶片映射和部分。刪除一個晶片不會刪除任何可能與該晶片相關(guān)的缺陷。然而缺陷和晶片之間的關(guān)聯(lián)會丟失。用戶可以向一個案例加入多個缺陷。一個下拉式缺陷列表被用來輪詢一個案例中所有的缺陷。當(dāng)選擇刪除缺陷按鈕時，刪除按鈕會從案例中清除選定的缺陷。選擇刪除缺陷按鈕會刪除任何與缺陷相關(guān)的缺陷或名稱。選擇步驟選項會影響可用的分類選項。每個分類類型只可以被指定一個分類。改變?nèi)毕莸牟襟E會清除任何已作出的分類類型選擇。缺陷的分類自身暗示了附加缺陷圖像的分類。如果沒有選擇分類，則假定附加圖像屬于′未知′分類。對于掃描電子顯微鏡過程圖像，分類會使用掃描電子顯微鏡自動缺陷分類和掃描電子顯微鏡手動模式。使用加入按鈕可以針對每個分類類型加入多個圖像。清除按鈕會從缺陷中清除一個圖像。預(yù)覽按鈕可用于查看選定的圖像。
多個計量工具180可以被用于檢查晶片缺陷。需要用戶在加入計量工具之前選定計量工具類型。輸入計量工具標(biāo)識符是可選的操作。附件類型，標(biāo)題和位置字段均需要在加入一個文件附件之前輸入。一個所有當(dāng)前附件的列表被顯示在屏幕上。不能編輯當(dāng)前附件，但可以使用清除按鈕清除它們。在選擇保存按鈕或用戶切換選項卡之前新附件不會被傳送到缺陷來源識別器服務(wù)器106。
某些字段包含一個″加入新項目″選項以作為下拉式菜單中的第一個項目。這些字段是平臺，加工工具類型，容器室類型，過程類型，過程技術(shù)，關(guān)鍵字，晶片類型，氣體。
選擇″加入新項目″選項會打開彈出式窗口。用戶使用彈出式窗口可以向列表加入一個新選項。新選項會出現(xiàn)在所有后續(xù)案例編輯和搜尋屏幕800選項中。
下列按鈕出現(xiàn)在圖10所示的一個實施例，編輯屏幕1000的底部上。一個保存按鈕1030，一個另存按鈕1032，和一個復(fù)位選項卡按鈕1034。另存按鈕1032打開一個提示用戶輸入新案例名稱的彈出式對話框。案例標(biāo)識，用戶名稱和日期數(shù)值會被自動輸入。保存按鈕1030保存任何對當(dāng)前案例進(jìn)行的修改，但是用戶保持在編輯模式并且所編輯的案例與當(dāng)前案例相同。復(fù)位選項卡按鈕1034將選項卡恢復(fù)到進(jìn)行任何編輯之前的狀態(tài)。
選擇創(chuàng)建選項卡708打開一個創(chuàng)建屏幕1100，即圖11中示出的一個允許用戶根據(jù)劃痕創(chuàng)建一個新案例，根據(jù)一個案例模板創(chuàng)建一個新案例，根據(jù)劃痕創(chuàng)建一個新模板，或根據(jù)一個現(xiàn)有案例模板創(chuàng)建一個新模板的一個實施例。除了與模板子選項卡關(guān)聯(lián)的子選項卡之外，創(chuàng)建屏幕1100在操作方面與編輯屏幕1000類似。在模板子選項卡中，在用戶希望根據(jù)劃痕創(chuàng)建一個案例的情況下為用戶提供一個關(guān)于所有現(xiàn)有模板或″沒有任何模板″(缺省)的列表。創(chuàng)建選項卡還顯示出所有案例模板的特征。
通過使用案例模板開始操作或根據(jù)劃痕開始操作，用戶可以創(chuàng)建一個新案例。為了根據(jù)一個現(xiàn)有模板創(chuàng)建案例，用戶從模板選項卡1102中出現(xiàn)的一個模板列表1106中選擇模板名稱1104，從而將所有字段設(shè)置成該模板中存儲的數(shù)值。模板中設(shè)置的數(shù)據(jù)的范圍可以從一個完全空白的案例到一個完全填滿數(shù)據(jù)的案例。用戶接著可以改變?nèi)魏晤A(yù)先填充的字段以滿足其需要，并且接著選擇一個保存案例按鈕以便把數(shù)據(jù)保存到缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫190。
為了根據(jù)劃痕創(chuàng)建案例，用戶可以從模板選項卡中選擇一個空白模板。當(dāng)選擇創(chuàng)建選項卡708時缺省加載空白模板。用戶可以改變?nèi)魏巫侄我詽M足其需要。當(dāng)輸入期望的輸入數(shù)據(jù)時，以類似于編輯屏幕1000的格式顯示創(chuàng)建屏幕1100。用戶可以選擇另存按鈕1032以便向數(shù)據(jù)庫保存新數(shù)據(jù)。案例作者可以向缺陷知識庫案例附加現(xiàn)有文件以作為案例的一部分。文件總是來源于本地系統(tǒng)目錄，并且可以是KLARF的數(shù)據(jù)，其它缺陷映射數(shù)據(jù)，文本文件或任何其他格式的數(shù)據(jù)。缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)處理KLARF和TIFF格式文件，并且支持對JPEG格式圖像的查看。查看文件適用于所有其它的文件格式。如果一個案例只有圖像的硬拷貝，則用戶掃描圖像以創(chuàng)建一個電子版本?？梢岳玫谌较到y(tǒng)實現(xiàn)掃描，并且可以在缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)外部進(jìn)行掃描。所得到的圖像文件可以被附加到案例上，然后被查看(按照所支持的格式)。缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186的一個實施例支持表格16所示的附加文件類型和處理。
表格16DKL支持的文件類型和處理
案例模板減少了關(guān)于工具配置，參數(shù)等等的已知數(shù)據(jù)條目的重復(fù)。授權(quán)用戶可以在任何時候創(chuàng)建案例模板。保存的模板具有與案例相同的特權(quán)/安全性(讀/寫/拷貝安全性)。可以從兩個不同的屏幕訪問創(chuàng)建模板功能。為了根據(jù)劃痕創(chuàng)建模板，用戶從模板列表1106中選擇″沒有模板″選項。為了根據(jù)一個現(xiàn)有模板創(chuàng)建模板，用戶從模板列表1106中選擇模板名稱，從而將所有字段設(shè)置成該模板中存儲的數(shù)值。模板中設(shè)置的數(shù)據(jù)的范圍可以從一個完全空白的案例到一個完全填滿數(shù)據(jù)的案例。一旦用戶根據(jù)需要改變字段，用戶可以選擇另存模板按鈕。用戶接著輸入模板名稱，選擇OK按鈕，并且模板被加到案例模板列表中。
在應(yīng)用程序中可以從任何地方訪問模板部分。除了要求具有適當(dāng)安全特權(quán)之外，創(chuàng)建新案例不需要任何先決條件。缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186不包含任何預(yù)先加載的案例模板，除了缺省空白模板之外。一旦用戶嘗試保存一個關(guān)于新案例的新模板，則以不需要輸入每個字段的方式驗證所有字段。應(yīng)當(dāng)注意，當(dāng)創(chuàng)建一個新案例時，需要某些字段并且在所有所需數(shù)據(jù)未被完全填充時不能保存案例。如果用戶沒有填寫所有需要的字段，則會顯示一個消息通知用戶提供所需字段的數(shù)值。模板列表屏幕的底部有一個刪除按鈕1106。用戶必須首先選擇一個模板，然后選擇刪除按鈕清除模板。
創(chuàng)建屏幕1100中的子選項卡包含保存，另存，復(fù)位，選項卡和另存成模板(這些子選項卡未在圖11中示出，但可以在文件菜單1108中訪問)?！淞泶妗浒粹o會打開一個提示用戶輸入新案例名稱，案例標(biāo)識，用戶名稱的彈出式對話框，并且會自動輸入日期。保存子選項卡會保存任何對當(dāng)前案例進(jìn)行的修改，但是用戶保持在編輯模式并且所編輯的案例與當(dāng)前案例相同。復(fù)位子選項卡會將案例恢復(fù)到在進(jìn)行任何編輯之前的狀態(tài)。另存模板按鈕會將當(dāng)前案例保存成一個模板以備將來之用。另存模板將用戶帶到模板列表屏幕。用戶接著在一個彈出式窗口中輸入模板名稱。
在圖7到14中示出的任何屏幕上選擇圖像庫按鈕710會導(dǎo)致顯示一個圖像庫屏幕1200，即圖12中示出的一個圖解實施例。圖像庫屏幕1200允許用戶通過各種例如掃描電子顯微鏡過程206，晶片缺陷檢查過程204，能量耗散X射線微量分析(EDX)系統(tǒng)等等的計量工具180查看圖像。圖像庫屏幕1200中顯示的示例性信息列包含一個案例ID列1204，一個案例名稱列1206，一個掃描電子顯微鏡裝置圖像列1208，一個光學(xué)圖像列1210，和一個EDX圖像列1212。對于各個列1208，1210和1212通常每個案例提供一個圖像(如果針對每個圖像類型提供一個圖像)。
缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186包含支持兩個不同缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)之間的案例傳送。為了傳送案例，用戶必須向磁盤(或其它存儲器設(shè)備)輸出案例以便把案例輸入到任何其它缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)。案例傳送功能可用于向不同客戶端傳送案例信息以便在本地使用。傳送功能操作使用相同數(shù)據(jù)模型的數(shù)據(jù)庫。輸出功能提供案例的單向，半自動傳送。以在文本編輯器中不可讀的格式輸出案例并且完全為缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)之間的案例傳送而輸出。在一個最優(yōu)實施例中，與案例相關(guān)的關(guān)鍵字和案例一起被輸出。表格17中示出了與輸出案例相關(guān)的字段的一個實施例。
表格17與案例輸出相關(guān)的字段
在一個實施例中，只可以輸出具有全局允許等級的案例。如果案例不具有適當(dāng)?shù)脑试S等級，則不會進(jìn)行輸出。在一個實施例中，組ID，晶片ID和工具序列號不與案例一起輸出。如果選擇了隱藏來源選項，則案例的身份不會與案例信息一起輸出。這包含創(chuàng)建案例的作者，工作組，地點和公司。這個選項決定在用戶輸入案例時是否會預(yù)先填充案例來源字段。
類別映射選項決定是否和案例一起輸出分類圖像。輸入系統(tǒng)借助分類圖像在分類格式之間進(jìn)行映射。輸出功能在指定目錄中創(chuàng)建一個包含案例信息的文件。具有適當(dāng)權(quán)限的用戶可以輸入其它缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)中的案例。輸入功能處理案例輸出產(chǎn)生的文件。為輸入案例用戶必須指定案例文件的位置。選擇一個有效案例文件會導(dǎo)致顯示某些關(guān)于案例的關(guān)鍵信息，例如案例名稱。在輸出操作人不選擇隱藏的情況下還顯示案例來源(即作者，公司等等)。如果沒有案例來源，則用戶會能夠指定這個信息。表格18中示出了與輸入案例相關(guān)的字段的一個實施例。
表格18與案例輸入相關(guān)的字段
為了進(jìn)行輸入，會需要用戶指出案例文件中使用的分類和本地缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)的分類之間的映射。如果輸出操作人選擇輸出則會顯示案例文件中的類別的分類圖像。當(dāng)目標(biāo)缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)輸入一個案例時，會產(chǎn)生一個新案例標(biāo)識。目標(biāo)缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)通過其數(shù)據(jù)輸入裝置處理傳送的案例。數(shù)據(jù)輸入接口為用戶提供足夠的功能以檢查安全性，檢查案例的語法以確定其是否匹配目標(biāo)數(shù)據(jù)庫結(jié)構(gòu)并且用新案例更新目標(biāo)數(shù)據(jù)庫。在數(shù)據(jù)輸入部分中可以找到數(shù)據(jù)輸入規(guī)格。
選擇圖7到14示出的缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186的任何屏幕中的配置選項卡712導(dǎo)致顯示用戶配置屏幕1300，即圖13和14中示出的一個實施例的不同部分。用戶配置屏幕1300被用來允許創(chuàng)建能夠使用缺陷來源識別器100的新公司，地點，工作組和用戶。如圖13中實施例所示，配置屏幕1300中的字段包含一個公司字段1302，一個地點字段1304，一個工作組字段1306，和一個用戶字段1308。
在一個實施例中，各個公司包括一或多個地點。一個地點可以具有一或多個用戶組。最終，一個用戶組包括一或多個用戶。各個用戶必須是一個用戶組或安全組的成員。安全組確定用戶的訪問權(quán)限。用戶可以屬于到多個用戶組。各個用戶會具有一個確切的主要用戶組和任意數(shù)量的次要用戶組。安全組沒有配置。安全組是預(yù)先配置的。
如果一個具有適當(dāng)授權(quán)的用戶希望加入一個新公司，該用戶在公司部分內(nèi)選擇一個加入新項目子按鈕1310。表格19中示出了與加入公司屏幕相關(guān)的字段的一個實施例。加入新項目子按鈕清除用戶配置屏幕1300中的所有字段。接著用戶可以向各個字段加入新信息。一旦填寫完新信息，用戶選擇保存按鈕并且系統(tǒng)向數(shù)據(jù)庫加入新公司。類似地，可以創(chuàng)建新公司地點。然而用戶必須首先從下拉式列表中選擇一個公司。
表格19加入公司的示例性輸入
為了在工作組字段1306加入一個新分組，用戶必須首先選擇公司和地點字段1304并且向其提供輸入。表格20中示出了與加入工作組屏幕相關(guān)的字段的一個實施例。選擇公司地點導(dǎo)致公司列表被取代為工作組列表框。接著用戶在工作組部分中選擇一個加入新項目按鈕1310以便加入一個新工作組1306。加入新項目按鈕清除所有字段。接著用戶可以向各個字段加入新信息。一旦填寫完新信息，用戶選擇保存按鈕并且系統(tǒng)向數(shù)據(jù)庫加入新工作組。
表格20加入工作組的示例性輸入
為加入一個新用戶，必須選擇公司，地點和工作組。接著用戶選擇用戶部分中的加入新項目按鈕加入一個新用戶。表格21中示出了與加入用戶屏幕相關(guān)的字段的一個實施例。
加入新項目按鈕清除所有字段。接著用戶可以根據(jù)需要向各個字段加入新信息。一旦填寫完新信息，用戶選擇保存按鈕并且系統(tǒng)向數(shù)據(jù)庫加入新用戶。
表格21加入用戶的示例性輸入
為了編輯相應(yīng)字段中的用戶，工作組，地點或公司數(shù)據(jù)，用戶選擇要編輯的項目并且在列表框右邊的表格中顯示信息。用戶接著編輯信息并且選擇保存按鈕保存對缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186的修改。為了刪除用戶，工作組，地點或公司，用戶可以選擇要刪除的項目并且選擇清除按鈕。彈出一個刪除確認(rèn)窗口，如果用戶選擇OK，則從缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186中刪除項目。只有那些具有編輯配置信息的授權(quán)(例如根據(jù)口令，用戶位置，等等得到的機構(gòu))的用戶可以執(zhí)行這些功能。
對于某些字段，缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186的各個實例具有一個預(yù)定的層次分類設(shè)置。缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186內(nèi)部的表格擁有有效類別的列表。用戶只能從一個有效選項列表中選擇類別。缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)被用來為所有分類提供一個″未知″選項。授權(quán)用戶(具有類別編輯特權(quán))使用一個類別表格創(chuàng)建和修改缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)中的有效類別選項。作者身份和創(chuàng)建日期作為分類定義的一部分被包含其中。系統(tǒng)允許只針對下列分類創(chuàng)建新類別。所有其它分類包含固定類別。系統(tǒng)管理人員在系統(tǒng)設(shè)置和維護(hù)期間確定固定類別列表。
為了編輯一個類別，用戶必須首先從列表中選擇分類類型。用戶接著選擇希望編輯的類別并且選擇編輯類別按鈕。系統(tǒng)允許授權(quán)用戶針對不具有固定類別的分類創(chuàng)建新類別。在可編輯表格中出現(xiàn)一個含有該類別所需的字段的表格。授權(quán)用戶編輯表格中的所需字段，并且隨機記著系統(tǒng)還需要附加一或多個相關(guān)缺陷圖像。缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)允許從編輯類別表格查看圖像。在表格填寫完畢之后，用戶選擇OK按鈕完成修改并且系統(tǒng)更新該分類的有效類別選項。
如果一個授權(quán)用戶希望創(chuàng)建一個新類別，該授權(quán)用戶必須通過在主分類屏幕上選擇加入新類別按鈕來啟動創(chuàng)建類別表格。這個表格含有在用戶可以加入新類別之前必須輸入的字段。授權(quán)用戶輸入表格中的所需字段，并且隨機記著系統(tǒng)還需要附加一或多個相關(guān)缺陷圖像。一旦表格填寫完畢，用戶選擇OK按鈕執(zhí)行加入并且系統(tǒng)向適當(dāng)分類類別列表加入有效類別。
為了刪除一個類別，用戶必須首先從包括三個分類的列表中選擇分類類型。用戶接著選擇希望刪除的類別并且選擇刪除類別按鈕。出現(xiàn)一個請求用戶確認(rèn)其希望刪除這個類別的對話框。如果用戶從對話框中選擇OK按鈕，則系統(tǒng)從該分類的有效類別列表中清除該類別。
如果用戶刪除一個類別，則缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)中的現(xiàn)有案例不受影響。當(dāng)編輯案例時刪除操作更新有效選項列表。為了在刪除一個類別之后更新缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)中的現(xiàn)有案例，用戶首先在缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)中搜尋使用刪除的類別的案例。接著用戶使用選擇類別的標(biāo)準(zhǔn)過程編輯這些案例。
某些分類(如上所示)可以包含新有效類別選項。這些分類具有一個類別選項″請求新類別″。未被授權(quán)直接創(chuàng)建類別的用戶在希望創(chuàng)建一個類別選項的情況下可以選擇請求新類別。系統(tǒng)向這些用戶顯示一個請求新類別表格。在用戶填寫完畢表格中的所需字段之后，系統(tǒng)自動向用戶的管理人員發(fā)送一個電子郵件消息。
電子郵件消息是一個具有預(yù)定格式、請求管理人員創(chuàng)建一個新類別的消息。系統(tǒng)向缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)中用戶簡表內(nèi)配置的一個地址發(fā)送電子郵件消息。消息含有來自請求新類別表格的所有信息。在用戶填寫完畢請求新類別表格之后，系統(tǒng)將類別類型缺省設(shè)置成″未知″。用戶可以通過普通編輯過程人工替換這個選項。
電子郵件系統(tǒng)向用戶顯示所有涉及電子郵件發(fā)送問題的差錯消息。通過登錄缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)，打開案例并且使用前面針對有類別創(chuàng)建授權(quán)的用戶概述的過程直接創(chuàng)建新類別，管理人員對請求作出響應(yīng)。管理人員也可以決定使用普通編輯過程分配一個現(xiàn)有類別。缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)可以使用一個例如微軟公司EXCHANGE的電子郵件消息系統(tǒng)。
各個現(xiàn)有有效類別與一或多個圖像相關(guān)。在為一個缺陷分配類別的同時，用戶可以查看與有效類別選項相關(guān)的樣本圖像。系統(tǒng)顯示前面的相關(guān)圖像并且還有其它圖像的情況下允許查看這些圖像。用戶查看這些圖像以評估是否與其案例的缺陷匹配。用戶接著從有效列表中選擇一個類別選項。具有類別創(chuàng)建特權(quán)的用戶可以使用具有表格22中示出的輸入字段的編輯類別表格為指定類別分配類別相關(guān)圖像。缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186在數(shù)據(jù)庫中提供一個關(guān)于編輯會話日志的視圖。日志記錄被變更的各個案例的案例標(biāo)識，字段名稱，操作，用戶標(biāo)識，日期與時間。用戶輸入一個案例標(biāo)識以產(chǎn)生報告。報告被顯示在一個新窗口中。
表格22編輯類別表格的輸入
一個缺陷知識庫數(shù)據(jù)輸入設(shè)備被用來從任意來源向任意缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)傳送案例。缺陷知識庫數(shù)據(jù)輸入設(shè)備充當(dāng)通信過程，因而為過程的用戶提供一個使用過程的應(yīng)用程序。通過使用與已發(fā)布的COM應(yīng)用程序兼容的COM方法將數(shù)據(jù)傳遞到缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186，外部應(yīng)用程序完成數(shù)據(jù)輸入。外部應(yīng)用程序包含某些諸如案例名稱的信息，或者在有新案例的情況下提供一個新案例名稱。如果外部應(yīng)用程序不指定案例信息參數(shù)，則缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)自動產(chǎn)生上述參數(shù)。
數(shù)據(jù)輸入裝置具有一個被用來匹配輸入數(shù)據(jù)中的分類與目標(biāo)缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186中的分類的類別映射函數(shù)。每當(dāng)數(shù)據(jù)輸入裝置接收分類數(shù)據(jù)時，該裝置便調(diào)用一個類別映射函數(shù)。這個函數(shù)將輸入分類數(shù)據(jù)與本地系統(tǒng)中類別字段的有效選項進(jìn)行匹配。不匹配的分類會要求用戶在本地系統(tǒng)上分配或創(chuàng)建一個新分類。
圖15，包括圖15A和15B，描述了關(guān)于缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186的操作方法1500的一個實施例的流程圖。方法1500在步驟1501開始并且前進(jìn)到步驟1502，其中顯示來自缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186的圖像，數(shù)據(jù)，和/或其它信息的GUI最初進(jìn)入瀏覽缺陷屏幕700，900，即圖7和9中示出的實施例。方法1500繼續(xù)執(zhí)行到步驟1504，其中用戶使用瀏覽缺陷屏幕700，900瀏覽缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)。
允許用戶訪問其得到授權(quán)的缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)站點。方法1500繼續(xù)執(zhí)行到判決步驟1506，其中用戶選擇圖7-14中示出的任意屏幕中的搜尋選項卡704。如果判決步驟1506的結(jié)果為否，則方法1500繼續(xù)執(zhí)行到判決步驟1508。如果判決步驟1506的結(jié)果為是，則方法1500繼續(xù)執(zhí)行到步驟1510，其中用戶在顯示的搜尋屏幕800上輸入搜尋參數(shù)。在步驟1512中，缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186返回所有滿足步驟1510中提供的搜尋參數(shù)的匹配案例。方法繼續(xù)執(zhí)行到步驟1514，其中用戶選擇期望的匹配案例。在用戶選擇期望的匹配案例之后，在GUI上顯示關(guān)于匹配案例的詳細(xì)內(nèi)容，其中GUI重新進(jìn)入步驟1502中的瀏覽缺陷屏幕。
判決步驟1508對用戶選擇在圖7到14中任意一個示出的編輯選項卡按鈕1506的操作作出響應(yīng)。如果判決步驟1508的結(jié)果為否，則方法1500繼續(xù)執(zhí)行到判決步驟1516。如果判決步驟1508的結(jié)果為是，則缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)在步驟1518以GUI的形式向用戶顯示編輯屏幕1000。方法接著繼續(xù)執(zhí)行到步驟1520，其中用戶編輯所顯示的缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)編輯屏幕1000。在步驟1520之后，方法繼續(xù)執(zhí)行到步驟1522，其中保存或不保存對編輯屏幕1000的編輯。用戶通過選擇保存按鈕或另存按鈕可以選擇保存編輯。可選地，用戶可以選擇不保存編輯并且返回到瀏覽缺陷屏幕700，900，此時案例仍然保持用戶進(jìn)入編輯屏幕之前的狀態(tài)。方法1500繼續(xù)執(zhí)行到步驟1524，其中缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186保存用戶在步驟1522選擇保存的編輯。在步驟1524之后，方法繼續(xù)執(zhí)行到步驟1502中的瀏覽缺陷屏幕700，900。
如果步驟1508的結(jié)果為否，則步驟1516接著指出用戶是否希望選擇圖7到14中示出的任意屏幕中的創(chuàng)建選項卡708。如果判決步驟1516的結(jié)果為否，則方法1500繼續(xù)執(zhí)行到判決步驟1526。通過確定判決步驟1516的結(jié)果是否為是，方法1500繼續(xù)執(zhí)行到步驟1528，其中為缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186顯示選定的創(chuàng)建屏幕1100?？梢詾橛脩籼峁└鞣N創(chuàng)建屏幕1100，這些創(chuàng)建屏幕含有一定數(shù)量的已填寫字段，或者根據(jù)需要所有適當(dāng)字段均保持空白并且由用戶提供輸入。在步驟1528之后，方法1500繼續(xù)執(zhí)行到步驟1530，其中用戶編輯缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)創(chuàng)建屏幕1100。
在步驟1530，用戶為創(chuàng)建屏幕1100內(nèi)任何期望的字段提供輸入，并且以類似于前面用戶與步驟1520中編輯屏幕1000的交互的方式與創(chuàng)建屏幕1100交互。
在步驟1530之后，方法繼續(xù)執(zhí)行到步驟1532，其中保存或不保存對編輯屏幕1100的編輯。用戶通過使用圖10中示出的保存按鈕1030或另存按鈕1032可以根據(jù)需要保存編輯結(jié)果。如果用戶希望刪除一個屏幕，該用戶可以選擇圖11中創(chuàng)建屏幕1100內(nèi)示出的刪除按鈕1106。方法1500繼續(xù)執(zhí)行到步驟1534，其中缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)保存步驟1532指定的編輯結(jié)果。方法1500在步驟1534之后繼續(xù)執(zhí)行到步驟1502中示出的瀏覽缺陷屏幕。
假定判決步驟1516的結(jié)果為否，則方法1500繼續(xù)執(zhí)行到判決步驟1526，該步驟確定用戶是否選擇圖7到14中的實施例所示的圖像庫選項卡1610。如果判決步驟1526的結(jié)果為否，則方法1500繼續(xù)執(zhí)行到判決步驟1536。如果判決步驟1526的結(jié)果為是，方法1500繼續(xù)執(zhí)行到步驟1538，其中顯示圖12的實施例中示出的圖像庫屏幕1200。圖像庫屏幕1200顯示一個案例名稱以及通過掃描電子顯微鏡裝置204，晶片缺陷檢查裝置206，能量耗散X射線微量分析系統(tǒng)和/或其它計量工具180生產(chǎn)的各種圖像。方法1500繼續(xù)執(zhí)行到步驟1540，其中用戶根據(jù)需要在圖像庫屏幕1200中上下移動以選擇期望的案例，直到在圖像庫屏幕1200中看到期望的案例。方法1500接著繼續(xù)執(zhí)行到步驟1542，其中顯示來自計量工具180的圖像。在步驟1542之后，方法1500繼續(xù)執(zhí)行到步驟1502，其中缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186向用戶顯示瀏覽缺陷屏幕。
假定判決步驟1526的結(jié)果為否，則方法1500繼續(xù)執(zhí)行到步驟1536，其中確定用戶是否選擇圖7到14中示出的配置選項卡712。如果判決步驟1536的結(jié)果為否，則方法1500繼續(xù)執(zhí)行到判決步驟1502。如果步驟1536中的結(jié)果為是，則通過步驟1544顯示缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)配置屏幕1300，其中在圖13和14示出該配置屏幕的某些部分。
在步驟1544之后，方法繼續(xù)執(zhí)行到判決步驟1546，其中缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186確定用戶是否具有在任何期望的配置屏幕1300中進(jìn)行編輯或輸入的適當(dāng)授權(quán)。如果判決步驟1546的結(jié)果為否，則用戶GUI返回到步驟1502中的瀏覽缺陷屏幕。如果判決步驟1546的結(jié)果為是，則方法1500繼續(xù)執(zhí)行到判決步驟1548，其中允許用戶配置任何新公司，新工作組或其它信息，其中還允許用戶配置新計量工具，新加工工具，新晶片，或類似配置信息。在步驟1548之后，方法繼續(xù)執(zhí)行到步驟1550，其中步驟1548內(nèi)的用戶配置輸入被保存在存儲器，例如缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186中。在步驟1550之后，方法1500繼續(xù)執(zhí)行到判決步驟1502。
還應(yīng)當(dāng)注意，在方法1500中，用戶可以在任何時候通過選擇圖7到14的任何屏幕中的瀏覽選項卡702進(jìn)入步驟1502。可以想見，根據(jù)用戶選擇的選項卡702，704，706，708，710或712，缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)186會經(jīng)常循環(huán)通過一個判決步驟和方法1600之后的步驟。
雖然前面的描述涉及本發(fā)明的優(yōu)選實施例，但在不偏離本發(fā)明的基本范圍和隨后的權(quán)利要求書所限定的本發(fā)明范圍的前提下可以設(shè)計本發(fā)明的其它和進(jìn)一步的實施例。
權(quán)利要求
1.創(chuàng)建缺陷知識庫的方法，包括
創(chuàng)建一個數(shù)據(jù)庫條目，該數(shù)據(jù)庫條目包括一個指定缺陷的一個研究案例，該研究案例包含含有一或多個缺陷圖像的缺陷信息；和
存儲數(shù)據(jù)庫條目以備以后訪問。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其中上述數(shù)據(jù)庫條目被存儲在一個服務(wù)器中。
3.如權(quán)利要求2所述的方法，其中還包括
從至少一個客戶端向上述服務(wù)器提供上述研究案例的信息。
4.如權(quán)利要求1所述的方法，其中創(chuàng)建案例歷史記錄的步驟包括
從至少一個計量工具中選擇缺陷信息。
5.如權(quán)利要求4所述的方法，其中計量工具包括一個掃描電子顯微鏡。
6.如權(quán)利要求1所述的方法，其中創(chuàng)建研究案例的步驟包括
提供指定缺陷的原因；和
在上述數(shù)據(jù)庫條目內(nèi)存儲原因。
7.如權(quán)利要求6所述的方法，其中上述數(shù)據(jù)庫條目被存儲在一個服務(wù)器內(nèi)，上述服務(wù)器被連接到至少一個客戶端并且由至少一個客戶端提供原因。
8.如權(quán)利要求6所述的方法，其中創(chuàng)建研究案例的步驟還包括
針對指定缺陷的原因提供一個解決方案；和
在上述數(shù)據(jù)庫條目內(nèi)存儲解決方案。
9.如權(quán)利要求8所述的方法，其中上述數(shù)據(jù)庫條目被存儲在一個服務(wù)器內(nèi)，上述服務(wù)器被連接到至少一個客戶端并且由至少一個客戶端提供解決方案。
10.如權(quán)利要求1所述的方法，其中上述數(shù)據(jù)庫條目包括上述指定缺陷的分類代碼。
11.如權(quán)利要求1所述的方法，其中上述創(chuàng)建研究案例的步驟包括
使用一個數(shù)據(jù)組織模板輸入缺陷信息。
12.如權(quán)利要求1所述的方法，其中上述創(chuàng)建研究案例的步驟包括
從一個圖像庫中選擇上述一或多個缺陷圖像。
13.創(chuàng)建被存儲在一個服務(wù)器中并且可以從多個客戶端訪問的缺陷知識庫的方法，包括
在一個或多個上述客戶端收集缺陷信息，上述缺陷信息中一或多個缺陷的原因和排除一或多個缺陷的解決方案；
將缺陷信息，原因和解決方案傳送到服務(wù)器；
將缺陷信息，原因和解決方案組織到多個數(shù)據(jù)庫條目中；和
允許一個第二客戶端訪問一個第一客戶端創(chuàng)建的數(shù)據(jù)庫條目。
14.如權(quán)利要求13所述的方法，其中上述允許步驟包括
限制上述第二客戶端對上述第一客戶端的上述數(shù)據(jù)庫條目內(nèi)部的敏感信息的訪問。
15.如權(quán)利要求13所述的方法，其中還包括
使用一個客戶端遠(yuǎn)程編輯服務(wù)器上存儲的缺陷信息，原因和解決方案。
16.如權(quán)利要求15所述的方法，其中編輯步驟還包括
建立安全授權(quán)等級以限制多個客戶端的編輯特權(quán)。
17.如權(quán)利要求13所述的方法，其中缺陷信息包括至少一個缺陷圖像。
18.如權(quán)利要求13所述的方法，其中還包括通過一個瀏覽器接口從多個客戶端訪問服務(wù)器。
19.如權(quán)利要求13所述的方法，其中多個客戶端通過互聯(lián)網(wǎng)，局域網(wǎng)或廣域網(wǎng)被連接到服務(wù)器。
20.如權(quán)利要求13所述的方法，其中缺陷信息，原因和解決方案構(gòu)成指定缺陷的多個研究案例。
21.如權(quán)利要求20所述的方法，其中客戶端可以搜尋上述多個研究案例。
22.一個缺陷知識庫，包括
一個客戶端層，上述客戶端層被多個客戶端支持并且提供對一個缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫的遠(yuǎn)程訪問；
一個中間層，上述中間層被一個服務(wù)器支持并且為被連接到客戶端層的各個客戶端提供數(shù)據(jù)庫訪問控制；和
一個數(shù)據(jù)層，上述數(shù)據(jù)層包括缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫，并且多個客戶端中的各個客戶端可以通過中間層訪問缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫。
23.如權(quán)利要求22所述的缺陷知識庫，其中上述缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫包括數(shù)據(jù)記錄并且數(shù)據(jù)記錄含有缺陷信息，缺陷原因和缺陷解決方案。
24.如權(quán)利要求23所述的缺陷知識庫，其中缺陷信息，原因和解決方案被組織成多個研究案例。
25.如權(quán)利要求22所述的缺陷知識庫，其中缺陷知識庫數(shù)據(jù)庫被部分分布和存儲在多個客戶端中的各個客戶端內(nèi)，并且還被部分分布和存儲在服務(wù)器內(nèi)。
26.如權(quán)利要求23所述的缺陷知識庫，其中上述數(shù)據(jù)記錄包括缺陷的圖像。
全文摘要
創(chuàng)建含有半導(dǎo)體晶片上晶片缺陷的研究案例信息的缺陷知識庫的方法和相關(guān)裝置。該方法包括創(chuàng)建一個數(shù)據(jù)庫條目并且存儲數(shù)據(jù)庫條目以備以后訪問，其中上述數(shù)據(jù)庫條目含有一個指定缺陷的一個研究案例，上述研究案例包含缺陷信息而上述缺陷信息包括一或多個缺陷圖像。數(shù)據(jù)庫條目被存儲在一個服務(wù)器上并且可以被多個客戶端訪問。
文檔編號H01L21/66GK1392954SQ0180298
公開日2003年1月22日 申請日期2001年10月2日 優(yōu)先權(quán)日2000年10月2日
發(fā)明者阿莫斯·多爾, 馬亞·拉德辛斯基 申請人:應(yīng)用材料有限公司