專利名稱：探針測(cè)試卡的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種探針測(cè)試卡，特別是關(guān)于一種電路板上電極構(gòu)造的改良，借助創(chuàng)新的排列，令制作時(shí)可采用復(fù)制方式來(lái)配線，易于規(guī)劃，容易偵錯(cuò)，且可增進(jìn)工作效率的一種探針測(cè)試卡。
公知芯片在測(cè)試時(shí)，是將芯片測(cè)試機(jī)臺(tái)(IC tester)經(jīng)過(guò)特殊的設(shè)計(jì)，在其檢測(cè)頭裝上一探針測(cè)試卡(Probe card)，而該探針測(cè)試卡的構(gòu)造如

圖1及圖2所示，是在一電路板1a上設(shè)有圓形排列的復(fù)數(shù)個(gè)電極2a，而該電極2a則分別連接有以金線制成細(xì)如毛發(fā)的探針3a，使得該探針3a的另一端懸空，能用來(lái)偵測(cè)晶圓4a上芯片5a的接點(diǎn)(pad)6a，以便直接對(duì)該芯片5a輸入信號(hào)或偵讀輸出值，再透過(guò)電子顯微鏡和機(jī)器手臂的控制，使得所有在同一晶圓4a上的芯片5a可以逐一地被測(cè)試。
但是，該探針3a連接時(shí)往往造成下列的問(wèn)題1、常須要割線或跳線，才可制造出順序性的配線來(lái)(如圖3所示)。
2、跳線后制作時(shí)常焊錯(cuò)，以致制造工時(shí)增長(zhǎng)且成本增高。
3、電氣特性無(wú)法確時(shí)掌握，以致復(fù)制時(shí)困難度增加。
4、除錯(cuò)工時(shí)增長(zhǎng)。
5、線上維修保養(yǎng)困難。
于是，由上可知，上述公知的探針測(cè)試卡，在實(shí)際使用上，顯然具有不便與缺點(diǎn)存在，而可待加以改善。
因此，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)人有感上述缺點(diǎn)可改善，乃特潛心研究并配合學(xué)理的運(yùn)用，終于提出一種設(shè)計(jì)合理且有效改善上述缺點(diǎn)的本實(shí)用新型。
本實(shí)用新型的主要目的，在于將圓形排列方式的電極改成采用平行排列方式，來(lái)避免繁雜的聯(lián)機(jī)方式，使得探針連接時(shí)易于處理，并可大大增進(jìn)制作的功效。
為了達(dá)成上述目的，本實(shí)用新型主要是提供一種探針測(cè)試卡，包括一電路板、復(fù)數(shù)個(gè)電極及復(fù)數(shù)條探針，其中，該電極設(shè)于該電路板上，呈平行方向排列，可為縱向平行、橫向平行或斜向平行方向的排列方式，而該探針的一端分別連接該電極，另一端則懸空，可用以偵測(cè)芯片。
為了使貴審查員能更進(jìn)一步了解本實(shí)用新型為達(dá)成預(yù)定目的所采取的技術(shù)、手段及功效，請(qǐng)參閱以下有關(guān)本實(shí)用新型的詳細(xì)說(shuō)明與附圖，相信本實(shí)用新型的目的、特征與特點(diǎn)，當(dāng)可由此得一深入且具體的了解，然而附圖僅提供參考與說(shuō)明用，并非用來(lái)對(duì)本實(shí)用新型的保護(hù)范圍加以限制。
圖面說(shuō)明圖1為公知探針測(cè)試卡實(shí)施形態(tài)的斜視圖。
圖2為公知探針測(cè)試卡的平面圖。
圖3為公知須割線或跳線的探針測(cè)試卡的平面圖。
圖4為本實(shí)用新型規(guī)劃連接芯片C1的平面圖。
圖5為本實(shí)用新型規(guī)劃連接全部芯片的平面圖。
圖6為本實(shí)用新型第二實(shí)施例的平面圖。
圖7為本實(shí)用新型第三實(shí)施例的平面圖。
圖8為本實(shí)用新型第四實(shí)施例的平面圖。
附圖標(biāo)記說(shuō)明公知1a電路板2a電極3a探針 4a晶圓5a芯片 6a接點(diǎn)本實(shí)用新型1電路板 2 電極3探針 4 芯片5接腳請(qǐng)同時(shí)參閱圖4及圖5所示，本實(shí)用新型是一種探針測(cè)試卡，是在一電路板1上設(shè)有縱向水平排列的256個(gè)電極2(分別為電極0～255)，各電極2分別連接探針3的一端，使得該探針3的另一端懸空，且以并行處理的方式來(lái)偵測(cè)晶圓(圖中未示出)上的芯片4(分別為芯片C1～C8)。
據(jù)此，該探針3連接時(shí)，可先選取電極0～17中的14個(gè)電極2，分別連接探針3，使得該探針3的另一端對(duì)應(yīng)至待測(cè)芯片C1的14個(gè)接腳5，然后，重復(fù)上述的連接方式，使電極32～49中所選取的14個(gè)電極2分別連接探針3，使得該探針3的另一端對(duì)應(yīng)至待測(cè)芯片C2的14個(gè)接腳5，依此類推，便可得到良好的配線規(guī)劃，而不會(huì)發(fā)生傳統(tǒng)割線或跳線的困擾，且容易偵錯(cuò)。
此外，如圖6所示，為本實(shí)用新型的第二實(shí)施例，芯片4有32個(gè)接腳5，則同樣的可以選取電極0～49中32個(gè)電極2，分別連接探針3，使得該探針3的另一端對(duì)應(yīng)至待測(cè)芯片C1的32個(gè)接腳5，然后，重復(fù)上述的連接方式，將電極64～144中所選取的32個(gè)電極2分別連接探針3，使得該探針3的另一端對(duì)應(yīng)至待測(cè)芯片C2的32個(gè)接腳，依此類推，便可得到良好的配線規(guī)劃，故，使用者可依據(jù)待測(cè)芯片4的接腳5總數(shù)來(lái)選取適合的電極2數(shù)目的探針測(cè)試卡來(lái)作測(cè)試。
又，如圖7及圖8所示，為本實(shí)用新型的第三實(shí)施例及第四實(shí)施例，該電極2呈縱向平行方式或斜向平行方式排列，其探針3連接方式與上述相同；另一方面，在第四實(shí)施例中，為配合晶圓上芯片4的排列方式，其采用并行處理斜向測(cè)試方式來(lái)測(cè)試該芯片4。
由上可知，本實(shí)用新型探針測(cè)試卡具有如下的特點(diǎn)(1)配線明顯易見。
(2)縮短探針測(cè)試卡的制造時(shí)間。
(3)增加并行處理數(shù)目。
(4)由于電氣特性掌握性好且軟件撰寫容易，大幅降低工時(shí)，故可增加效率及產(chǎn)值。
(5)降低芯片量產(chǎn)測(cè)試成本。
綜上所述，本實(shí)用新型完全符合專利申請(qǐng)的要件，故依法提出申請(qǐng)，敬請(qǐng)?jiān)敳椴⒄?qǐng)?jiān)缛帐谂c專利，以保障本實(shí)用新型設(shè)計(jì)人的權(quán)益。
以上所述，僅為本實(shí)用新型最佳的具體實(shí)施例的詳細(xì)說(shuō)明，但本實(shí)用新型的特征并不局限于此，并非用以限制本實(shí)用新型，本實(shí)用新型的所有保護(hù)范圍應(yīng)以權(quán)利要求書為準(zhǔn)，凡符合本實(shí)用新型權(quán)利要求的精神與其類似變化的實(shí)施例，皆應(yīng)包含于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍中，任何熟悉該項(xiàng)技藝者在本實(shí)用新型的領(lǐng)域內(nèi)，可輕易思及的變化或修飾皆可涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種探針測(cè)試卡，包括一電路板；復(fù)數(shù)個(gè)電極，設(shè)于該電路板上；及復(fù)數(shù)條探針，其一端分別連接該電極，另一端懸空可用以偵測(cè)芯片；其特征在于該電極呈平行方向排列。
2.如權(quán)利要求1所述的探針測(cè)試卡，其特征在于所述電極呈縱向平行方向排列。
3.如權(quán)利要求1所述的探針測(cè)試卡，其特征在于所述電極呈橫向平行方向排列。
4.如權(quán)利要求1所述的探針測(cè)試卡，其特征在于所述電極呈斜向平行方向排列。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種探針測(cè)試卡,包括一電路板、復(fù)數(shù)個(gè)電極及復(fù)數(shù)條探針,其中該復(fù)數(shù)個(gè)電極設(shè)于該電路板上,且該探針的一端分別連接該電極,另一端懸空,可用以偵測(cè)芯片,而本實(shí)用新型的特征是在于該電極可呈縱向、橫向或斜向平行方向排列,使該探針連接時(shí)好規(guī)劃,制造出順序性的配線,不易有跳線及割線的情形發(fā)生,且維修保養(yǎng)容易,進(jìn)而減少除錯(cuò)工時(shí)。
文檔編號(hào)H01L21/66GK2466661SQ01203939
公開日2001年12月19日 申請(qǐng)日期2001年2月5日 優(yōu)先權(quán)日2001年2月5日
發(fā)明者陳文祺 申請(qǐng)人:陳文祺