專利名稱：：晶片測試器的屏幕使用界面及前置處理方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種晶片測試器的屏幕使用界面及前置處理方法。當集成工程師完成某一產(chǎn)品的制程后，都會急于想了解他們自己設(shè)計的測試鍵(testkey)的相關(guān)參數(shù)，以了解制程是否有問題。早期他們常苦于須建立一個以程序語言(HPBasicorC語言)寫成的晶片測試程序(WATprogram)，當程序出錯需要除錯(debug)時，可能會花很大的心力，人力與時間去進行除錯，因為通常一個程序都是很長的。近來，晶片測試器的功能已大幅度提升，有的晶片測試器已不需使用者去寫那些繁又不易除錯的測試程序，改成以屏幕使用界面(GUI，GraphicUserInterface)的方式，只需在操作的面板(一般指屏幕)上，鍵入相關(guān)的參數(shù)、測試的項目(法則)、欲測試的組件、腳位(Pad)等數(shù)據(jù)，即可進行測試，但這樣的作法，卻仍有不盡完善之處。茲舉HP4071WATSystem為例，請參見圖1。為了使操作者可容易地發(fā)展和執(zhí)行WAT(WaferAccessTest)測試，在HP4071晶片測試系統(tǒng)里提供一套惠普公司(HP)半導(dǎo)體處理評價磁芯軟件(SPECS)(SemiconductorProcessEvaluationCoreSoftware)的屏幕使用界面(GUI)測試環(huán)境，其包含三大部份SPECS框架11(Framework)、測試計劃導(dǎo)引器12(TestPlanNavigator)與測試法則程序庫13(AlgorithmLibrary)，通過GUI核心1的運作，可從事接受主機電腦14(Hostcomputer)的控制，輸出結(jié)果報告書15(report)、儲存數(shù)據(jù)16(datastorage)及控制探測器17(prober)等功能，進而達到控制HP4071測試器的目的。請參見圖2。上述TestPlan敘述測試的內(nèi)容，包含晶片(Wafer)上欲測試組件(Device)的信息(Information)，每欄信息稱為規(guī)格(Specification)。規(guī)格有四種晶片規(guī)格21(Waferspec)、芯片規(guī)格22(Diespec)、測試規(guī)格23(Testspec)及探測器規(guī)格24(Probespec)。使用者只要在各規(guī)格的字段上，填入相關(guān)的數(shù)據(jù)，即可測量出組件的參數(shù)(parameters)，而不需寫繁雜又不易除錯的測試程序。請參見圖3。在SPECS里，晶片的框架由晶片規(guī)格，芯片規(guī)格與測試規(guī)格所組成。晶片31(wafer)包含許多芯片32(die)，每一芯片32有許多模塊33(module)，每一模塊又由許多組件35(device)所組成，各組件可能接在不同的腳位34(pad)上。請參見圖4。若欲測試一組件的特性，則需定義出所述元件所屬的晶片，芯片、模塊及所述組件所占用的腳位(pad)，才能正確地對所述組件進行測試。亦即定義出晶片及芯片后仍需對模塊41、組件42、組件腳位45加以定義清楚，再配合輸入的參數(shù)43及測試算法44(Algorithm)，進行測試以輸出其參數(shù)46(outparameters)。茲舉測量崩潰電壓(VBD，brokendownvoltage)為例，請參見表一。表一所示為SPECGUI上在進行測試前必需建立的表格。第一行輸入模塊的名稱(如E01，E02)，第二行輸入組件的名稱(如NwGox_area、NwGox_edge等)，第三行輸入所欲使用的測試算法(在此即為VBD)，接著輸入相關(guān)參數(shù)(如Ar、S等)，輸入腳位(如p1、p2等)，接著定義輸出的名稱(如Vbd_E01_NwGox_area等)，一一輸入及定義后，即可進行測試的動作。表一上述欲測試的組件，組件的腳位等必須根據(jù)使用手冊文件(usermenualfile)來操作。每一產(chǎn)品都會有一個使用手冊文件，使用手冊文件是事先由設(shè)計者建立好的，其內(nèi)記載著晶片上的測試鍵(testkey)，以供測試用。測試鍵由某些腳位(pad)組成，是設(shè)計者在設(shè)計時根據(jù)電路的特性，分析出最影響電路功能的關(guān)鍵組件，將此關(guān)鍵組件的腳位(pad)列為測試重點所在，即所謂測試鍵(testkey)。換言之，位于測試鍵上的組件可能是制程上最難實現(xiàn)的，或電路最易出錯之處，若測試鍵上的組件測試無誤，則可保證整個電路已具有相當?shù)暮细衤?。在SPEC的GUI里，誠然可省去許多編程序(programming)及程序除錯的時間，但是對于建立測試表格這類繁雜的工作卻非一般人所樂意從事的，且一個晶片上有上萬億個組件，雖然不可能每個組件都加以測試，但是仍然必需抽樣足以保證測試準確率的組件(依使用手冊文件)，這樣，每一次測試所建立的測試表格，將是工程浩大，還且這樣一個龐大的表格必需百密而無一疏，測試器才會接受，若有一數(shù)據(jù)錯誤，就必需在為數(shù)龐大的數(shù)據(jù)堆里加以更正，這使得除錯的工作倍加辛苦。本發(fā)明的目的是提供一種晶片測試器的屏幕使用界面及其前置處理方法，可實現(xiàn)(1)快速取得晶片測試數(shù)據(jù)(WATdata)；(2)節(jié)省除錯晶片測試程序所花費的時間；(3)不需寫程序就可以進行測試；以及(4)測試自動化。為實現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明一方面提供一種晶片測試器的屏幕使用界面，用以將一第一文件轉(zhuǎn)換為一所述晶片測試器可使用的第二文件，它包含一第一窗口，用以搜尋所述第一文件；一第一按鈕，電連接至所述第一窗口，于觸動時，根據(jù)所述第一文件的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為所述第二文件，所述第二文件的語法符合所述晶片自動測試器。所述晶片測試器為HP4071晶片測試系統(tǒng)(WATSystem)；第一文件是截自一所述晶片測試器欲測試的晶片的使用手冊文件(usermanualfile)。所述的晶片測試器的屏幕使用界面上的第二窗口及一第二按鈕，電連接至所述第一按鈕及所述第一窗口，用以檢視所述第二文件；其第三按鈕，電連接至所述第二窗口及所述晶片測試器，用以將所述第二文件傳送至所述晶片測試器；第三輸入欄，電連接至所述第一按鈕，用以決定所述晶片測試器的測試方式；第四輸入欄，電連接至所述第一按鈕，用以決定所述晶片測試器的測試電壓。當然，所述第一窗口及所述第二窗口分別包含一第一輸入欄及一第二輸入欄，用以輸入文件名稱。為實現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明另一方面提供一種晶片測試器的前置處理方法，包含下列步驟提供一使用手冊文件；自所述使用手冊文件截取其中欲測試部份的數(shù)據(jù)以得一第一文件；轉(zhuǎn)換所述第一文件成為一第二文件，以符合所述晶片測試器的語法；以及傳送所述第二文件至所述晶片測試器，以完成所述晶片測試器的前置處理。方法中所述使用手冊文件定義一芯片(die)欲測試組件的腳位(pad)，傳送所述第二文件的方法為文件傳輸協(xié)議(FTP)，截取其中欲測試部份的數(shù)據(jù)是通過一文字編輯器來完成。采用本發(fā)明的上述方案，由于利用文件轉(zhuǎn)換的技巧，就不需重復(fù)輸入一些現(xiàn)存的數(shù)據(jù)，因此可避免不必要的除錯，省去編程序的時間，可達到快速取得晶片測試數(shù)據(jù)的目的而且可實現(xiàn)測試自動化。為更清楚理解本發(fā)明的目的、特點和優(yōu)點，下面將結(jié)合附圖具體說明本發(fā)明。圖1是現(xiàn)有的HP4071半導(dǎo)體處理評價磁芯軟件(SPECS)的屏幕使用界面(GUI)；圖2是現(xiàn)有的測試計劃(testplan)；圖3是現(xiàn)有的測試規(guī)格的分類；圖4是現(xiàn)有的測試規(guī)格的流程；圖5是本發(fā)明的屏幕使用界面(GUI)；圖6是本發(fā)明的前置處理流程。附圖中的主要圖號如下51第一窗口61預(yù)先存盤52第二窗口62使用手冊文件54第一按鈕63第一文件55第三按鈕64搜尋56第二按鈕65轉(zhuǎn)換格式591第四輸入欄67第二文件601第三輸入欄68傳送文件如上所述，使用手冊文件上事實上已定義出各組件的腳位，參數(shù)等測試必備的數(shù)據(jù)，這類數(shù)據(jù)實在可以不必在晶片測試器上再重復(fù)輸入一次。當然，使用手冊文件的格式與晶片測試器的程序的語法是不相同的，但是每一產(chǎn)品在測試時也只是在晶片測試器上重新輸入使用手冊文件上相關(guān)的數(shù)據(jù)而已。一般在晶片測試器上輸入測試表格后，在儲存時會儲存成一定的格式，所述格式有其固定的語法，對不同的產(chǎn)品而言，其中改變的只是使用手冊文件上的改變而已。因此，即可利用程序轉(zhuǎn)換的技巧，將每一待測產(chǎn)品的使用手冊文件加以轉(zhuǎn)換成符合晶片測試器的格式，再將之傳送到晶片測試器上，即可達簡化測試流程的目的，以省去不必要的數(shù)據(jù)鍵入。在此，是將轉(zhuǎn)換格式的技巧通過屏幕使用界面(GUI)的方法加以實現(xiàn)。請參見圖5。本發(fā)明晶片測試器的屏幕使用界面(GUI)最主要為第一窗口51及第一按鈕54。在第一窗口上可搜尋到各產(chǎn)品的使用手冊文件(usermanualfile)，當然也可利用第一輸入欄511直接輸入文件名。第一按鈕則可以將第一文件轉(zhuǎn)換為第二文件。第一文件是由使用手冊文件稍微改編而來。所有欲測試的組件規(guī)定在使用手冊文件中，而測試時，可能取其中的全部或部份。因此，可以在使用手冊文件中，在所欲測試的組件前加上標注。當?shù)谝话粹o54被按下時，程序會根據(jù)使用手冊文件中被標注的組件，將各被標注的組件轉(zhuǎn)換成晶片測試器的格式。其中，將一種格式的文件轉(zhuǎn)換為另一種格式可由程序設(shè)計加以實現(xiàn)，這是現(xiàn)有技術(shù)而為本
技術(shù)領(lǐng)域：
的人員熟悉，在此當不贅述。在轉(zhuǎn)換為晶片測試格式后，可在第二窗口52用鼠標選出相對的文件名稱，再按第二按鈕加以檢視。第二窗口中有第二輸入欄可以直接輸入文件名。檢視無誤后，即可將之傳送到晶片測試器上，進行測試。傳送的方法，一般都用文件傳輸協(xié)議(FTP)。關(guān)于欲測試的型式，可以在第三輸入欄601輸入或直接圈選，一般對技術(shù)定義(TD)而言會有一些較特別的項目。而測試的電壓Vdd則可在第四字段591上輸入或圈選，預(yù)設(shè)為5V。其次，按鈕幫助(HELP)可尋求線上協(xié)助，退出(EXIT)則可結(jié)束作業(yè)。請參見圖6。本發(fā)明前置處理的流程是首先在上述第一輸入欄上選擇一個工程師已建立好的使用手冊文件(usermanualfile)，例如tk5176.rtf。由于大部份的使用手冊文件62是用microsoftword建立的，必須先將轉(zhuǎn)成純文字文件(*.rtf或*.doc轉(zhuǎn)成*.txt)，再稍微改編為第一文件63。在操作上，會先只讓第一按鈕54第四按鈕53亮起，以預(yù)防按錯按鈕，這樣可加速作業(yè)員學(xué)習(xí)的速度，當然執(zhí)行轉(zhuǎn)換的正確率也會因此而提高。當作業(yè)員操作不對時，可適時顯示出相關(guān)的信息，告訴其正確的使用方法。接著，按下第一按鈕會先搜尋64是否有一文件名為tk5176.txt的第一文件63。無則顯示操作錯誤的信息，有則由轉(zhuǎn)換程序(由perl寫成，因為其可用較短的內(nèi)容得之，亦可用VB，VC等為之，但其較繁雜)對照變換表(mappingtable)轉(zhuǎn)換格式65成符合晶片測試器格式(在此指HPSPECS的格式)的第二文件67(tk5176.tst，文件名同前)。若轉(zhuǎn)換成功，則顯示出相關(guān)信息(如theoutputresultfileistk5176.tst)。當然，可在第二窗口檢視轉(zhuǎn)換的結(jié)果，結(jié)果無誤則可通過文件傳輸協(xié)議(ftp)將文件傳輸?shù)骄瑴y試器上。以HPSPECS而言，其測試計劃中還有晶片、芯片及探測器等規(guī)格。這三者分別敘述芯片、模塊(module)相關(guān)位置的信息及其腳位配置。至此即完成一個測試計劃，若探測器的圖像程序亦完成，則可進行晶片(WAT)測量了。當然，本發(fā)明所述的晶片測試器是指HP4071而言，在HP4071提供一套SPECS的GUI，對于其它類似的晶片測試器而言亦可適用。由上述的圖解及說明可知，從使用手冊文件轉(zhuǎn)換后至完成一測試計劃只需很短的時間，如此即可節(jié)省時間，且提高效率，并進一步實現(xiàn)晶片測試自動化。權(quán)利要求1.一種晶片測試器的屏幕使用界面，用以將一第一文件轉(zhuǎn)換為一所述晶片測試器可使用的第二文件，其特征在于，它包含一第一窗口，用以搜尋所述第一文件；一第一按鈕，電連接至所述第一窗口，于觸動時，根據(jù)所述第一文件的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為所述第二文件，所述第二文件的語法符合所述晶片自動測試器。2.如權(quán)利要求1所述的晶片測試器的屏幕使用界面，其特征在于，所述晶片測試器為HP4071晶片測試系統(tǒng)(WATSystem)。3.如權(quán)利要求1所述的晶片測試器的屏幕使用界面，其特征在于，所述第一文件截自一所述晶片測試器欲測試的晶片的使用手冊文件。4.如權(quán)利要求1所述的晶片測試器的屏幕使用界面，其特征在于，還包含一第二窗口及一第二按鈕，電連接至所述第一按鈕及所述第一窗口，用以檢視所述第二文件。5.如權(quán)利要求4所述的晶片測試器的屏幕使用界面，其特征在于，所述第一窗口及所述第二窗口分別包含一第一輸入欄及一第二輸入欄，用以輸入文件名稱。6.如權(quán)利要求4所述的晶片測試器的屏幕使用界面，其特征在于，還包含一第三按鈕，電連接至所述第二窗口及所述晶片測試器，用以將所述第二文件傳送至所述晶片測試器。7.如權(quán)利要求1所述的晶片測試器的屏幕使用界面，其特征在于，還包含一第三輸入欄，電連接至所述第一按鈕，用以決定所述晶片測試器的測試方式。8.如權(quán)利要求1所述的晶片測試器的屏幕使用界面，其特征在于，還包含一第四輸入欄，電連接至所述第一按鈕，用以決定所述晶片測試器的測試電壓。9.一種晶片測試器的前置處理方法，其特征在于，包含下列步驟提供一使用手冊文件；自所述使用手冊文件截取其中欲測試部份的數(shù)據(jù)以得一第一文件；轉(zhuǎn)換所述第一文件成為一第二文件，以符合所述晶片測試器的語法；以及傳送所述第二文件至所述晶片測試器，以完成所述晶片測試器的前置處理。10.如權(quán)利要求9所述的晶片測試器的前置處理方法，其特征在于，所述使用手冊文件定義一芯片欲測試組件的腳位。11.如權(quán)利要求9所述的晶片測試器的前置處理方法，其特征在于，傳送所述第二文件的方法為文件傳輸協(xié)議。12.如權(quán)利要求9所述的晶片測試器的前置處理方法，其特征在于，截取其中欲測試部份的數(shù)據(jù)是通過一文字編輯器來完成。13.一種晶片測試器屏幕使用界面的操作方法，包括設(shè)一可搜尋第一文件的第一窗口；設(shè)一第一按鈕，電性連接至所述第一窗口；當觸動所述第一按鈕后，所述第一文件的數(shù)據(jù)會轉(zhuǎn)換為所述晶片測試器可使用的第二文件。14.如權(quán)利要求13所述的晶片測試器的屏幕使用界面的操作方法，其特征在于，所述晶片測試器為HP4071晶片測試系統(tǒng)。15.如權(quán)利要求13所述的晶片測試器的屏幕使用界面的操作方法，其特征在于，所述第一文件截自一所述晶片測試器欲測試的晶片的使用手冊文件。16.如權(quán)利要求13所述的晶片測試器的屏幕使用界面的操作方法，其特征在于，還包含一第二窗口及一第二按鈕，電連接至所述第一按鈕及所述第一窗口，用以檢視所述第二文件。17.如權(quán)利要求16所述的晶片測試器的屏幕使用界面的操作方法，其特征在于，所述第一窗口及所述第二窗口分別包含一第一輸入欄及一第二輸入欄，用以輸入文件名稱。18.如權(quán)利要求16所述的晶片測試器的屏幕使用界面的操作方法，其特征在于，還包含一第三按鈕，電連接至所述第二窗口及所述晶片測試器，用以將所述第二文件傳送至所述晶片測試器。19.如權(quán)利要求13所述的晶片測試器的屏幕使用界面的操作方法，其特征在于，還包含一第三輸入欄，電連接至所述第一按鈕，用以決定所述晶片測試器的測試方式。20.如權(quán)利要求13所述的晶片測試器的屏幕使用界面的操作方法，其特征在于，還包含一第四輸入欄，電連接至所述第一按鈕，用以決定所述晶片測試器的測試電壓。全文摘要一種晶片測試器的屏幕使用界面包含:搜尋第一文件的第一窗口;第一按鈕,電連接至第一窗口,于觸動時根據(jù)第一文件的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為第二文件,第二文件語法符合晶片自動測試器;晶片測試器的前置處理方法包含:提供使用手冊文件;自使用手冊文件截取欲測試部份的數(shù)據(jù)以得第一文件;轉(zhuǎn)換第一文件為一第二文件,以符合晶片測試器的語法;以及傳送第二文件至晶片測試器。這樣可簡化操作程序、節(jié)省測試時間、實現(xiàn)友善使用和提升測試自動化。文檔編號H01L21/66GK1385887SQ0111696公開日2002年12月18日申請日期2001年5月10日優(yōu)先權(quán)日2001年5月10日發(fā)明者邱福千,陳偉梵,俞大立,游本輝申請人:華邦電子股份有限公司