專(zhuān)利名稱(chēng)：半導(dǎo)體存儲(chǔ)器陣列的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體存儲(chǔ)器陣列，并具體涉及其字線器件。
因?yàn)橐寻演^高組裝密度的存儲(chǔ)器單元引進(jìn)半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件，存儲(chǔ)器件電路的設(shè)計(jì)布局也隨之而采用越來(lái)越小的尺寸。
為解決由存儲(chǔ)器單元的高密度組裝所引起的各種問(wèn)題，必須改進(jìn)半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件及其操作以降低總功耗。
為了在有限的面積內(nèi)達(dá)到存儲(chǔ)器件的更有效布局，必須重視在存儲(chǔ)器件中元件的完備陣列。具體地說(shuō)，因?yàn)榫哂休^多存儲(chǔ)器單元和較高組裝密度的集成電路存儲(chǔ)器件比存儲(chǔ)器單元較少的集成電路存儲(chǔ)器件含有更多的譯碼器，所以使在高組裝密度存儲(chǔ)器件中分立元件的布局變得困難。
通常，在已知的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件中，字線驅(qū)動(dòng)器用來(lái)驅(qū)動(dòng)由行地址譯碼器所選定的字線。在附圖的

圖1中，示意性地示出在一種普通半導(dǎo)體存儲(chǔ)器陣列中的字線驅(qū)動(dòng)器。圖1中所示出的存儲(chǔ)器陣列包括多條位線BL0至BLk(每對(duì)位線連接到各自的讀出放大器SA)，多條橫過(guò)所述位線排列的字線WL1至WLn，多個(gè)排成行和列的存儲(chǔ)器單元，以及多個(gè)字線驅(qū)動(dòng)器1。每個(gè)字線驅(qū)動(dòng)器和若干條字線相聯(lián)。耦合到行地址譯碼器2的字線驅(qū)動(dòng)器全部排列在存儲(chǔ)器陣列的一側(cè)。在下文稱(chēng)之為字線驅(qū)動(dòng)器節(jié)距的、在平行于位線方向上每單位距離字線驅(qū)動(dòng)器最多個(gè)數(shù)取決于每個(gè)字線驅(qū)動(dòng)器所占的面積。由于每個(gè)字線驅(qū)動(dòng)器是接到固定條數(shù)的位線上，因此，要增大存儲(chǔ)器單元的組裝密度就需要減小每對(duì)位線之間的間隔，以及增大字線驅(qū)動(dòng)器的節(jié)距。每個(gè)字線驅(qū)動(dòng)器所占面積也需要相應(yīng)的減小，這使帶來(lái)存儲(chǔ)器陣列布線圖案方面的復(fù)雜性的困難。
本發(fā)明的最佳實(shí)施例目的在于提供一種半導(dǎo)體存儲(chǔ)器陣列布局方面改進(jìn)的設(shè)計(jì)裕度。
按照本發(fā)明的第一方面，所提供的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器陣列包含多個(gè)存儲(chǔ)器單元，多條字線和多個(gè)字線驅(qū)動(dòng)器，所述字線驅(qū)動(dòng)器被分成第一和第二套，其中，把所述第一套安排在所述存儲(chǔ)器陣列的一側(cè)，而把所述第二套安排在所述存儲(chǔ)器陣列的另一側(cè)上。
最好把每個(gè)字線驅(qū)動(dòng)器連接到所述多條字線上。
所述字線驅(qū)動(dòng)器數(shù)最好為2n，而與每個(gè)所述字線驅(qū)動(dòng)器對(duì)應(yīng)的所述字線數(shù)最好為2k，此處，n和k各為整數(shù)，n大于零且大于k。
所述第一套所含字線驅(qū)動(dòng)器，數(shù)量最好等于所述第二套中的字線驅(qū)動(dòng)器數(shù)。
所述半導(dǎo)體存儲(chǔ)器陣列最好還包含一個(gè)為激勵(lì)所述字線驅(qū)動(dòng)器而配置的行譯碼器。
所述行譯碼器數(shù)最好等于所述字線驅(qū)動(dòng)器數(shù)，并把每個(gè)所述字線驅(qū)動(dòng)器指定給各自的所述行譯碼器。
最好把行譯碼器安排在存儲(chǔ)器陣列的一側(cè)或多側(cè)。
該半導(dǎo)體存儲(chǔ)器陣列可含有多個(gè)所述行譯碼器，這些譯碼器被分成安排在所述存儲(chǔ)器陣列一側(cè)的第一組和安排在所述存儲(chǔ)器陣列另一側(cè)上的第二組。
按照本發(fā)明的另一種方面，所提供的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器陣列包含多個(gè)僅安排在所述存儲(chǔ)器陣列所述一側(cè)的所述行譯碼器，在該存儲(chǔ)器陣列的所述另一側(cè)上的所述字線驅(qū)動(dòng)器借助始自行譯碼器輸出側(cè)的平行于所述字線方向排列的線路進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。
本發(fā)明包括裝在如上所述半導(dǎo)體存儲(chǔ)器陣列的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件。
為了對(duì)本發(fā)明更好的理解并說(shuō)明如何實(shí)現(xiàn)本發(fā)明，下面通過(guò)實(shí)例參照附圖2加以說(shuō)明，圖2示出按照本發(fā)明的最佳實(shí)施例具有交指型字線結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器陣列。
參照?qǐng)D2，存儲(chǔ)器陣列的一個(gè)區(qū)域包括多條位線BL0至BLk、每對(duì)位線連接到各自的讀出放大器SA，多條橫過(guò)所述位線排列的字線WL、多個(gè)排成行和列的存儲(chǔ)器單元，以及多個(gè)字線驅(qū)動(dòng)器10。把相應(yīng)的字線驅(qū)動(dòng)器10交替地安排在存儲(chǔ)器陣列的上側(cè)和下側(cè)并連接到各字線。總數(shù)一半的字線驅(qū)動(dòng)器被安排在存儲(chǔ)器陣列的一側(cè)，而另一半則被安排在存儲(chǔ)器陣列相對(duì)的另一側(cè)。如果存儲(chǔ)器陣列中字線數(shù)是2n，則每個(gè)字線驅(qū)動(dòng)器所使用的字線數(shù)是2k(此處n＞k≥0，且n，k均為整數(shù))。安排在存儲(chǔ)器陣列一側(cè)的字線驅(qū)動(dòng)器數(shù)是字線驅(qū)動(dòng)器總數(shù)的一半。
在該最佳實(shí)施例中，已描述了字線驅(qū)動(dòng)器的排列方法。也可將該排列方法應(yīng)用于存儲(chǔ)器的其他元件。例如，可將相應(yīng)的行地址譯碼器20安排在如上排列的相應(yīng)字線驅(qū)動(dòng)器的上方或鄰接處。
在另一實(shí)例中，可將行地址譯碼器以類(lèi)似于普通行地址譯碼器陣列的布局形式僅安排在存儲(chǔ)器陣列的一側(cè)。在這種情況下，可將字線驅(qū)動(dòng)器安排在存儲(chǔ)器陣列上相對(duì)于行地址譯碼器的另一側(cè)，并借助始自行地址譯碼器輸出側(cè)的平行于字線方向的線路進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。
如上所述，本發(fā)明的最佳實(shí)施例可具有如下特征，即通過(guò)有效地增大字線驅(qū)動(dòng)器的節(jié)距，總的來(lái)說(shuō)可在存儲(chǔ)器單元的布局和存儲(chǔ)器陣列或器件的布局方面增大設(shè)計(jì)裕度。
盡管此中已例示并描述了本發(fā)明最佳實(shí)施例的特定結(jié)構(gòu)和過(guò)程，但并不意味著使本發(fā)明局限于所公開(kāi)的元件和結(jié)構(gòu)。對(duì)熟悉本行技術(shù)的人將容易地考慮到在不違背本發(fā)明的范圍和精神的原則下是可以使用特定的元件或子結(jié)構(gòu)的。
讀者應(yīng)注意到與所有論文及與本說(shuō)明書(shū)同時(shí)或在先提交的文件，這些文件對(duì)本申請(qǐng)書(shū)的公眾審查是公開(kāi)的，這些論文和文件的全部?jī)?nèi)容在這里予以結(jié)合作為參考。
在本申請(qǐng)書(shū)中所公開(kāi)的全部特征(包括附錄的權(quán)利要求、摘要和附圖)和/或如此公開(kāi)的任何方法或工藝的全部步驟，除了那些其中至少有某些特征和/或步驟是不相容的組合之外，可以任何方式加以組合。
在本說(shuō)明書(shū)中所公開(kāi)的每個(gè)特征(包括任何所附的權(quán)利要求，摘要和附圖)，除非另有明確規(guī)定，可用另一種起到相同、等效或類(lèi)似作用的特征予以取代。因而，除非另有明確規(guī)定，所公開(kāi)的每個(gè)特征僅是同屬系列等效或類(lèi)似特征的一個(gè)實(shí)例。
本發(fā)明并不局限于前述實(shí)施例的細(xì)節(jié)。本發(fā)明擴(kuò)展到在本申請(qǐng)書(shū)中所公開(kāi)的特征(包括所附權(quán)利要求、摘要和附圖)的任一新的一種特征，或任一新的組合，或擴(kuò)展到如此公開(kāi)的任一方面或工藝步驟的任一新步驟，或任一新的組合。
權(quán)利要求
1.一種包含多個(gè)存儲(chǔ)器單元、多條字線和多個(gè)字線驅(qū)動(dòng)器的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器陣列，所述字線驅(qū)動(dòng)器被分成第一和第二套，其特征在于把所述第一套安排在所述存儲(chǔ)器陣列的一側(cè)，并把所述第二套安排在所述存儲(chǔ)器陣列的另一側(cè)上。
2.按照權(quán)利要求1的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器陣列，其特征在于把每個(gè)字線驅(qū)動(dòng)器連接到多條所述字線上。
3.按照權(quán)利要求1或2的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器陣列，其特征在于所述字線驅(qū)動(dòng)器數(shù)為2n，而與每個(gè)所述字線驅(qū)動(dòng)器器相應(yīng)的所述字線數(shù)為2K，此處n和k各為整數(shù)，n在于零且大于k。
4.按照權(quán)利要求1、2或3的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器陣列，其特征在于所述第一套包含若干字線驅(qū)動(dòng)器，其數(shù)目等于在所述第二套中所包含的字線驅(qū)動(dòng)器數(shù)。
5.按照權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器陣列，其特征在于還含有至少一個(gè)為激勵(lì)所述字線驅(qū)動(dòng)器而配置的行譯碼器。
6.按照權(quán)利要求5的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器陣列，其特征在于所述行譯碼器數(shù)等于所述字線驅(qū)動(dòng)器數(shù)，并把每個(gè)所述字線驅(qū)動(dòng)器指定給各自的所述行譯碼器。
7.按照權(quán)利要求5或6的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器陣列，其特征在于把行譯碼器安排在存儲(chǔ)器陣列的一側(cè)或多側(cè)。
8.按照權(quán)利要求7的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器陣列含有多個(gè)所述行譯碼器，其特征在于這些行譯碼器被分成安排在所述存儲(chǔ)器陣列一側(cè)的第一組和安排在所述存儲(chǔ)器陣列另一側(cè)上的第二組。
9.按照權(quán)利要求7的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器陣列含有多個(gè)僅安排在所述存儲(chǔ)器陣列所述一側(cè)上的所述行譯碼器，在該存儲(chǔ)器陣列的所述另一側(cè)上的所述字線驅(qū)動(dòng)器借助始自行譯碼器輸出側(cè)的平行于所述字線方向的線路進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。
10.參照附圖2基本上如前述的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器陣列。
11.裝有按照在前各權(quán)利要求的任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器陣列的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件。
全文摘要
一種半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件含有陣列的多個(gè)存儲(chǔ)器單元，多條字線WL，多條位線BL，多個(gè)連接到字線上的字線驅(qū)動(dòng)器10，以及多個(gè)用來(lái)激勵(lì)字線驅(qū)動(dòng)器的行地址譯碼器20。字線驅(qū)動(dòng)器被安排在存儲(chǔ)器單元陣列的相對(duì)兩側(cè)。本發(fā)明涉及于半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件中最優(yōu)化布局的問(wèn)題。
文檔編號(hào)G11C8/14GK1052965SQ90106620
公開(kāi)日1991年7月10日 申請(qǐng)日期1990年7月31日 優(yōu)先權(quán)日1989年12月29日
發(fā)明者趙秀仁, 徐東一, 閔東宣, 金暎來(lái) 申請(qǐng)人:三星電子株式會(huì)社