專利名稱：：微型光學(xué)反射組件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及用于配合或改變光學(xué)系統(tǒng)中的焦距以及焦點(diǎn)位置的主動(dòng)(active)微型光學(xué)(microoptic)反射組件。
背景技術(shù)：
：在光學(xué)檢測(cè)測(cè)量變量或數(shù)據(jù)時(shí)，多數(shù)情況下必須改變焦點(diǎn)的位置以及改變能力的缺失將限制測(cè)量/檢測(cè)系統(tǒng)的性能。例如在下面所進(jìn)行的共焦測(cè)量原理中，這里利用焦點(diǎn)位置的變化和采用激光掃描器讀取條形碼，此時(shí)焦點(diǎn)變化的缺失將導(dǎo)致性能受限。a)以焦點(diǎn)位置變化為基礎(chǔ)的測(cè)量系統(tǒng)該共焦測(cè)量原理主要用于測(cè)量物體的表面拓?fù)?topology)結(jié)構(gòu)。為此，焦點(diǎn)必須垂直于表面(z-方向)進(jìn)行改變。這一點(diǎn)通常這樣實(shí)現(xiàn)，使點(diǎn)狀光源到物體的光程長(zhǎng)度連續(xù)或者逐步進(jìn)行改變。通過(guò)在光射程上適當(dāng)設(shè)置透鏡可改變焦點(diǎn)的位置。b)焦點(diǎn)改變?nèi)笔?dǎo)致性能受限的光學(xué)系統(tǒng)在讀取條型碼時(shí)，焦點(diǎn)位置確定了可以讀取具有最高密度條型碼的位置。條型碼與焦點(diǎn)之間的距離越大，掃描器的分辨能力將越小。稍高密度的條型碼也只能在一個(gè)非常有限的讀取間距上得到識(shí)別。掃描器的效率因此受到限制。已知技術(shù)方案的特征為了在既不移動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)也不移動(dòng)所要測(cè)量/檢測(cè)物體的邊界條件下改變焦距或焦點(diǎn)的位置，有兩種基本方法。第一種方法以延長(zhǎng)光源與測(cè)量系統(tǒng)的光線出口之間的光程長(zhǎng)度為基礎(chǔ)。為此，最簡(jiǎn)單的情況是垂直于入射光線移動(dòng)平面反射鏡(mirror)。反射鏡的移動(dòng)需要一例如基于電磁原理為基礎(chǔ)的驅(qū)動(dòng)裝置。對(duì)于這種具有驅(qū)動(dòng)裝置的反射鏡精密制造而言需要相對(duì)大的結(jié)構(gòu)體積和高的成本。這種方法不適合如手持掃描器這樣的移動(dòng)式(mobile)應(yīng)用。微型機(jī)械制造的平動(dòng)式(translatory)反射鏡具有相對(duì)小行程的特點(diǎn)，因此可達(dá)到的光程長(zhǎng)度變化也相對(duì)小。為將這種小的光程長(zhǎng)度變化轉(zhuǎn)換成焦點(diǎn)位置的明顯變化，需要復(fù)雜的透鏡系統(tǒng)，它與光學(xué)組件的位置改變相比是很難接受的(裝配、熱感位置改變等方面的公差)。第二種方法以應(yīng)用可變形的反射鏡為基礎(chǔ)。這里該變形將如此選擇，使其產(chǎn)生一種具有可調(diào)節(jié)焦距的凹面反射鏡(hollowmirror)。該反射鏡變形通過(guò)處于反射鏡下面的作用物(actuator)實(shí)現(xiàn)。在如天文學(xué)上用于自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)的精密機(jī)械制造的系統(tǒng)中，通常使用壓電作用物(piezoactuator)。這種系統(tǒng)非常復(fù)雜、昂貴且體積龐大。微型機(jī)械制造的可變形反射鏡小巧且成本低廉。在這里靜態(tài)或準(zhǔn)靜態(tài)的變形大多通過(guò)靜電力產(chǎn)生。在這里要么使用由單個(gè)平動(dòng)和需要時(shí)附加旋轉(zhuǎn)可調(diào)的反射鏡組成的陣列或使用膜片式反射鏡。該陣列的缺點(diǎn)是，由于鏡面分段會(huì)產(chǎn)生明顯降低光束(beam)質(zhì)量的衍射效應(yīng)。膜片反射鏡由連續(xù)的反射鏡膜片組成，其通常通過(guò)設(shè)置在膜片下方的陣列中的作用物來(lái)產(chǎn)生變形。為此幾乎毫無(wú)例外地使用靜電或者壓電作用物。兩種方法的缺點(diǎn)在于，為使膜片變形需要很高的電壓。
發(fā)明內(nèi)容問(wèn)題的解決本發(fā)明的目的是提供一種用于聚焦或散焦入射的電磁輻射的微型化的微型光學(xué)反射組件，通過(guò)其可以簡(jiǎn)單并以較小的費(fèi)用實(shí)現(xiàn)焦距的變化。根據(jù)本發(fā)明，該目的可通過(guò)具有權(quán)利要求1特征的組件得以實(shí)現(xiàn)。具有優(yōu)點(diǎn)的應(yīng)用見(jiàn)權(quán)利要求18所述。本發(fā)明涉及一種利用熱感機(jī)械應(yīng)力的可變形“膜片反射鏡”。在最簡(jiǎn)單的情況下，采用一種由具有不同熱膨脹系數(shù)的至少兩層或一層及襯底(雙層)組成的膜片。下面假設(shè)該層系統(tǒng)在預(yù)先規(guī)定的溫度例如室溫下具有平整的表面。在利用加熱或者調(diào)溫機(jī)構(gòu)可以達(dá)到的溫度變化的條件下，兩層或一層及襯底發(fā)生不同程度的膨脹，從而造成膜片曲率的改變。溫度變化可以通過(guò)集成的或者外部的電加熱機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)。但也可以采用電磁輻射來(lái)實(shí)現(xiàn)。作為加熱功率、環(huán)境溫度和膜片與環(huán)境的熱耦合的函數(shù)(function)，因此可以調(diào)節(jié)膜片的曲率。至少在膜片的限定區(qū)域內(nèi)，出現(xiàn)的變形可以非常近似球面進(jìn)行描述。這部分膜片在光學(xué)上可以起到凹面以及凸面鏡的作用并且在光學(xué)系統(tǒng)中作為主動(dòng)元件用于焦距改變。在本發(fā)明中該膜片如已經(jīng)介紹的那樣，由至少兩層來(lái)自于具有各自不同熱膨脹系數(shù)的不同物質(zhì)或者物質(zhì)混合物的不同構(gòu)成。但也可以使用這些不同物質(zhì)或物質(zhì)混合物構(gòu)成的復(fù)合體(composite)，這里僅單獨(dú)使用一層和其他物質(zhì)或物質(zhì)混合物然后以不同于(deviate)層的形式在一側(cè)與該層連接，優(yōu)選采用一體式連接。對(duì)具有由一種物質(zhì)或物質(zhì)的混合物形成的反射層的膜片進(jìn)行加熱，該膜片的熱膨脹系數(shù)低于第二層或反射層形成于其上的襯底，因此，將產(chǎn)生凹面曲率，以及在相反的情形下，即具有較高熱膨脹時(shí)將產(chǎn)生凸面曲率。依據(jù)本發(fā)明應(yīng)該將所使用的膜片在徑向外側(cè)邊緣上以適當(dāng)?shù)姆绞?，例如利用彈簧件懸掛或者固定夾緊。這里可以是周向(circumferentially)作用的懸掛或者夾緊。但這一點(diǎn)并不是在任何情況下都是必須的。例如懸掛或者夾緊可以作用于兩個(gè)相對(duì)的外側(cè)上和在膜片變形將形成空心圓柱體反射鏡。一個(gè)可彈性變形的膜片在變形時(shí)也可以非連續(xù)地彎曲。這一點(diǎn)可以采用適當(dāng)?shù)哪てY(jié)構(gòu)化實(shí)現(xiàn)。為此，可以在膜片上以局部限定的方式形成例如像凹陷或者凸起的結(jié)構(gòu)件。另外也可以將由一來(lái)自于其他不同物質(zhì)構(gòu)成的結(jié)構(gòu)件加入膜片中或者施加于其上。這樣可以達(dá)到確定的變形外形。有利地，存在至少一個(gè)元件以確定所述膜片的各自變形，優(yōu)選與后者結(jié)合成一體。這可以為壓電阻式傳感器、電容式傳感器、磁致伸縮式傳感器、光學(xué)傳感器、電磁傳感器、電阻式傳感器或者霍耳效應(yīng)傳感器。與后面的實(shí)施方式的描述相反，還存在這樣的可能性，所述表面可以被電磁輻射而反射，該表面已經(jīng)在正常的室溫下彎曲，并且然后可以通過(guò)加熱來(lái)具體地改變曲率的程度和方向。本發(fā)明將通過(guò)以下實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)地解釋和說(shuō)明。圖1是本發(fā)明的組件的第一實(shí)施例，其中所述可變形膜片由反射層和襯底區(qū)域形成。圖2是本發(fā)明的組件的第二實(shí)施例，其中還存在附加的中間絕緣層。圖3是本發(fā)明的組件的第三實(shí)施例，其中還存在附加的導(dǎo)電層。圖4是本發(fā)明的組件的第四實(shí)施例，其中還存在附加的導(dǎo)電層和中間絕緣層。圖5是本發(fā)明的組件的第五實(shí)施例，其中還存在吸收層。圖6是本發(fā)明的組件的第六實(shí)施例，其具有結(jié)構(gòu)元件。圖7是本發(fā)明的組件的第七實(shí)施例，其具有懸掛件和結(jié)構(gòu)元件。圖8是具有彈簧元件的第八實(shí)施例。圖9是具有環(huán)形加熱體的實(shí)施例。圖10是具有曲折(meandering)加熱體的實(shí)施例。圖11是具有螺旋形加熱體的實(shí)施例。圖12是具有在可加熱襯底上的中間絕緣層和結(jié)構(gòu)元件的實(shí)施例。圖13和14是具有在可變形膜片之下的空腔的實(shí)施例。圖15和16是具有附加元件的實(shí)施例，該附加元件具有使膜片變形的積極效果。圖17是具有附加反射層的實(shí)施例，該反射層通過(guò)支柱設(shè)置于所述可變形膜片上。具體實(shí)施例方式圖1給出一采用顯微系統(tǒng)技術(shù)制造的組件的橫截面。將由硅組成的襯底1從背面機(jī)加工(machined)成一個(gè)膜片。雙層(bimorph)特性可通過(guò)反射層2的沉積實(shí)現(xiàn)。接觸點(diǎn)3a、3b設(shè)置在兩側(cè)。當(dāng)向這些接觸點(diǎn)3a、3b之間施加電壓時(shí)，電流通過(guò)接觸點(diǎn)流過(guò)襯底1并加熱膜片。通過(guò)所出現(xiàn)的溫度升高使膜片的曲率(curvatue)發(fā)生改變。圖2給出一類似原理的構(gòu)造，但在這里襯底1通過(guò)電及熱絕緣的中間層4分開(kāi)。該中間層4一方面在組件的制造時(shí)作為腐蝕停止點(diǎn)，另一方面由此減少?gòu)哪て蚋綦x的(separated)襯底區(qū)域的熱傳導(dǎo)。此外，第三層的應(yīng)用-除了襯底1和層2之外-為膜片的熱機(jī)械特性提供一種附加的自由度。圖3依次給出采用顯微系統(tǒng)技術(shù)制造的一個(gè)組件的橫截面，這里在襯底1上施加中間電絕緣層4并在其上施加導(dǎo)電層3。于此，導(dǎo)電層3一方面作為加熱元件使用，并且通過(guò)層2上的開(kāi)口用作接通電輸入(electricalsupplyline)(接觸點(diǎn)3a和3b)。中間電絕緣層4在這里這樣構(gòu)成，它可使導(dǎo)電層3與襯底1之間也出現(xiàn)明顯的絕熱效果。由此減少整個(gè)系統(tǒng)的熱容量(capacity)，從而可以一方面降低加熱功率和另一方面提高動(dòng)力性。圖4給出采用顯微系統(tǒng)技術(shù)制造另一組件實(shí)施例的橫截面，其中為進(jìn)一步降低整個(gè)系統(tǒng)的熱容量，在膜片式反射鏡的主動(dòng)區(qū)(activeregion)內(nèi)完全去除硅襯底1。因此，膜片的可撓曲(deflectable)部分將由電絕緣和絕熱的層4、加熱元件的導(dǎo)電層3和光學(xué)作用反射層2構(gòu)成，這里層2和3可以是相同的，即制備它們的物質(zhì)或物質(zhì)混合物可以是相同的。圖5給出一個(gè)組件的橫截面，該組件由襯底1和反射層2組成的雙層膜片構(gòu)成。該組件施加在載體5上，例如該載體可為其上設(shè)有加熱元件6的印刷電路板。該加熱元件6同樣可以被集成在印刷電路板內(nèi)作為條形導(dǎo)體(stripconductor)系統(tǒng)。為有效導(dǎo)熱，在膜片的背面上施加有吸收層7。圖6給出一個(gè)組件的橫截面，其中在膜片內(nèi)部通過(guò)垂直貫穿膜片的結(jié)構(gòu)8將其與其它襯底1進(jìn)行電絕緣。雙層特性如圖1中所示，可通過(guò)與反射層2的組合產(chǎn)生。加熱電流的輸入通過(guò)接觸點(diǎn)3a和3b進(jìn)行。電流通過(guò)流經(jīng)襯底1的內(nèi)部而在接觸點(diǎn)3a和3b之間流動(dòng)。電絕緣結(jié)構(gòu)8也對(duì)大部分襯底1起到絕熱作用。由此，一方面可減少所需的加熱功率，并且另一方面能降低熱容量。需要時(shí)，可以使用其他額外絕緣層將襯底進(jìn)一步進(jìn)行隔離(與圖6類似)。圖7給出組件的俯視圖。該作為雙層構(gòu)成的圓形膜片被懸掛在四個(gè)臂懸掛件9a-d上。與非結(jié)構(gòu)化的膜片相比，通過(guò)分區(qū)(segmented)懸掛可形成一個(gè)更大區(qū)域的近似球面形式的變形。通過(guò)例如與電源的正極和負(fù)極交替連接的四個(gè)接觸點(diǎn)3a-d可形成電觸點(diǎn)連接。通過(guò)垂直的絕緣結(jié)構(gòu)8(參見(jiàn)圖6)，與其余襯底1電絕緣和絕熱隔離的部分襯底1可由于電流而被加熱。畫(huà)虛線10用于說(shuō)明和對(duì)該區(qū)域作出標(biāo)記，其中通過(guò)從背面對(duì)襯底1進(jìn)行結(jié)構(gòu)化而使其構(gòu)成一個(gè)膜片。如果通過(guò)導(dǎo)線接觸膜片區(qū)內(nèi)部的區(qū)域，那末導(dǎo)電接觸點(diǎn)3a-d也可以在膜片區(qū)的外部設(shè)置(produced)。這種方案具有在結(jié)構(gòu)和連接技術(shù)上的優(yōu)點(diǎn)。通過(guò)懸掛件9a-d產(chǎn)生的熱電阻也可以被短接，需要時(shí)也可以通過(guò)在懸掛件9a-d上的附加的優(yōu)良加熱體(層/多層)短接。由此，使得熱主要在希望溫度升高/改變的地方產(chǎn)生。圖8給出一種用于作為反射鏡的膜片內(nèi)部的特殊懸掛件。彈簧11構(gòu)成使其可以非常有效地吸收機(jī)械應(yīng)力-特別是拉力和壓力。在該實(shí)施例中總計(jì)使用了八個(gè)這樣的彈簧件。圖9-圖12給出電加熱裝置的專用方案。在圖9中，加熱體12(heatconductor)從右側(cè)開(kāi)始經(jīng)過(guò)所述懸掛件延伸并在圓形雙層膜片上的外部邊緣上形成一個(gè)圓，并最后經(jīng)過(guò)左懸掛件延伸。導(dǎo)電體可以施加在反射層2上或者從其下面通過(guò)。也可在層2中進(jìn)行電加熱體12的平面集成。需要時(shí)可以沉積第三高反射層，從而產(chǎn)生一個(gè)光學(xué)用途的均一平整的表面。此外，通過(guò)一附加的絕緣層可將該反射層2與加熱體12電絕緣。圖10和圖11給出電加熱的其他方案，這里通過(guò)加熱體12的適當(dāng)結(jié)構(gòu)化可以實(shí)現(xiàn)溫度分布的均勻化和由此達(dá)到膜片的球面曲率更加一致。例如可以通過(guò)曲折形(參見(jiàn)圖10)或者螺旋形(參見(jiàn)圖11)的結(jié)構(gòu)化在線圈形式的加熱體12中獲得溫度的均勻化。為避免加熱體12的電短路，該加熱體最好通過(guò)附加的絕緣層與反射層2分開(kāi)。圖12給出具有另一種方案的電加熱機(jī)構(gòu)的微型光學(xué)組件的橫截面，這里電加熱元件由特殊結(jié)構(gòu)的硅膜片構(gòu)成。為保證有益的均勻溫度分布，由硅膜片構(gòu)成的加熱元件應(yīng)進(jìn)行相應(yīng)的結(jié)構(gòu)化，這里可將垂直絕緣結(jié)構(gòu)件8用于加熱體12相鄰區(qū)域的側(cè)面(lateral)絕緣。為避免加熱元件的電短路，該元件可通過(guò)中間電絕緣層4與反射層2隔離。此外，通過(guò)膜片的主動(dòng)區(qū)(activeregion)內(nèi)的加熱元件適當(dāng)?shù)男螤詈吞厥獾脑O(shè)置可達(dá)到膜片不同于簡(jiǎn)單球面幾何形狀的確定表面外形，從而產(chǎn)生膜片的確定局部溫度和變形分布。由此，加熱元件也可以由多個(gè)局部隔離并可單獨(dú)調(diào)節(jié)的加熱體例如作為陣列結(jié)構(gòu)構(gòu)成。除了加熱元件12外，可以在膜片上集成一個(gè)或者多個(gè)溫度傳感器，用來(lái)測(cè)量膜片的暫時(shí)(temporal)和局部溫度。借助膜片溫度的測(cè)量和調(diào)節(jié)可以調(diào)節(jié)膜片的撓曲(deflection)。圖13給出采用表面顯微力學(xué)技術(shù)制造的組件的橫截面。襯底1上施加有含有來(lái)自兩個(gè)層13和14組成的雙層膜片，其形式為，在這些層13和14中心部分的下面設(shè)有一個(gè)空腔16。在工藝上，這一點(diǎn)例如可以借助于消耗層來(lái)實(shí)現(xiàn)。起到電加熱作用的導(dǎo)電層14和層13將這樣進(jìn)行結(jié)構(gòu)化，即使其產(chǎn)生接觸點(diǎn)15a和15b。如果實(shí)際應(yīng)用需要大部分區(qū)域彎曲，那么必須確?？涨?6足夠大。作為一種選擇，也可以選擇雙層膜，從而使得溫度升高時(shí)產(chǎn)生一種凸面反射鏡。為提高加熱效率，可以在襯底1上施加一個(gè)反射輻射熱的層。除了采用顯微系統(tǒng)技術(shù)制造的組件的前述實(shí)施方式外，在圖1-圖13中，膜片只是通過(guò)雙層膜片的熱作用實(shí)現(xiàn)撓曲(deflection)，還可以采用另一種附加方案來(lái)實(shí)現(xiàn)，方法是將熱雙層作用物的原理與用于作用物的其他的物理原理相結(jié)合。通過(guò)向預(yù)熱撓曲的雙層膜片施加通過(guò)其他作用原理產(chǎn)生的附加機(jī)械力或力矩，可以實(shí)現(xiàn)膜片的更大撓曲。此外，通過(guò)局部靶向?qū)朐谠摲瓷溏R膜片中附加導(dǎo)入的力或力矩，可以調(diào)節(jié)膜片更高級(jí)別的特定變形外形。作為附加的驅(qū)動(dòng)原理，靜電、電磁以及壓電作用原理是特別適用的。圖14給出采用表面顯微力學(xué)技術(shù)制造的具有膜片附加電容驅(qū)動(dòng)的組件實(shí)施例。襯底1上施加有由兩個(gè)層13和14構(gòu)成的雙層膜片，如此使這些層13和14中心部分下面設(shè)置空腔16。在空腔16內(nèi)，在可熱作用的雙層膜片下面的襯底1上設(shè)置電極結(jié)構(gòu)20，其中，電極結(jié)構(gòu)20與導(dǎo)電層14構(gòu)成電容。如果在電極結(jié)構(gòu)20與層14之間施加電壓，那么靜電力作用于雙層膜片上，它為膜片彎曲起到附加的促進(jìn)作用。如果將電極20額外進(jìn)行結(jié)構(gòu)化(例如作為蜂窩狀或者環(huán)狀電極陣列)，這里每個(gè)單個(gè)電極可單獨(dú)電驅(qū)動(dòng)，那么就可以實(shí)現(xiàn)膜片更高級(jí)別的局部變形外形。圖15給出采用顯微系統(tǒng)技術(shù)制造的具有膜片附加電容驅(qū)動(dòng)的組件的另一實(shí)施例的橫截面。具有襯底1的膜片被設(shè)置在附加載體襯底22上。由此，該載體襯底22與圖14類似具有電極設(shè)置20，通過(guò)其可以達(dá)到熱彎曲雙層膜片的附加作用(actuation)。圖16給出具有膜片附加磁性驅(qū)動(dòng)的熱作用雙層膜片的實(shí)施例。在該實(shí)施例中，膜片反射鏡組件被設(shè)置在磁鐵21(永磁或者電磁鐵)上。膜片的加熱元件12為線圈狀布線(參見(jiàn)圖11)。加熱電流的輸入通過(guò)接觸點(diǎn)3a和3b進(jìn)行。3a和3b之間的通過(guò)電流可使雙層膜片加熱，由于膜片層不同的熱膨脹系數(shù)而變彎曲。除了熱作用之外，可產(chǎn)生一電磁誘導(dǎo)的膜片撓曲，因?yàn)樵诰€圈狀加熱體12上流動(dòng)的電流與由磁鐵21產(chǎn)生的磁場(chǎng)會(huì)相互作用，從而使洛侖茲力作為其他力的分量作用于膜片并使其撓曲。除了上述用于聚焦或散焦的組件外，熱作用雙層膜片的原理也可以用于調(diào)制光程長(zhǎng)度，例如用于校準(zhǔn)光波或者用于共焦系統(tǒng)。圖17示出用于光波調(diào)制的改良部件的實(shí)施例。在熱作用的雙層膜片之上，光學(xué)作用層2′被設(shè)置為組件空間上分隔的部分。該層2’通過(guò)支柱23與熱撓曲的雙層膜片機(jī)械連接。由于該支柱23被設(shè)置在雙層膜片的中心，從而在雙層膜片彎曲時(shí)層2’會(huì)進(jìn)行純粹的平移，使光程長(zhǎng)度發(fā)生變化。用于波前校準(zhǔn)的改良型組件(參見(jiàn)圖17)可與圖14-圖16中類似的其他作用物作用原理相組合。此外，在一個(gè)陣列結(jié)構(gòu)上可以設(shè)置熱作用雙層膜片反射鏡的多個(gè)單個(gè)組件?？梢允菃我坏募醇傻亩鄠€(gè)可彈性變形膜片的陣列構(gòu)成，也可為包括多個(gè)獨(dú)立的組件的混合陣列構(gòu)成。權(quán)利要求1.具有可變焦距的微型光學(xué)反射組件，其中具有可彈性變形的膜片，該膜片至少由反射電磁輻射的一層(2、13)和另一層(3、14)或襯底(1)形成，所述一層(2、13)含第一物質(zhì)或第一物質(zhì)混合物，而所述另一層(3、14)或襯底(1)含有第二物質(zhì)或第二物質(zhì)混合物；這里第一物質(zhì)或第一物質(zhì)混合物和第二物質(zhì)或第二物質(zhì)混合物具有彼此不同的熱膨脹系數(shù)；還存在一種加熱或者調(diào)溫機(jī)構(gòu)(6、12)。2.按照權(quán)利要求1所述的組件，其特征在于，該膜片至少具有三層(2、3、4、7、13、14)或至少兩層(2、3、4、7、13、14)及所述襯底(1)。3.按照權(quán)利要求1或2所述的組件，其特征在于，該膜片在其徑向外側(cè)邊緣借助于懸掛件(9a-d，11)保持或者夾緊。4.按照前述權(quán)利要求之一的組件，其特征在于，加熱機(jī)構(gòu)(12)的結(jié)構(gòu)為電阻式加熱機(jī)構(gòu)。5.按照前述權(quán)利要求之一所述的組件，其特征在于，加熱機(jī)構(gòu)(12)集成在膜片中。6.按照前述權(quán)利要求之一所述的組件，其特征在于，有至少一個(gè)用于溫度調(diào)節(jié)的溫度傳感器。7.按照前述權(quán)利要求之一所述的組件，其特征在于，具有用于確定膜片變形的集成元件。8.按照權(quán)利要求7所述的組件，其特征在于，該集成元件為壓電阻式傳感器、電容式傳感器、磁致伸縮式傳感器、光學(xué)傳感器、電磁傳感器、電阻式傳感器或者霍耳效應(yīng)傳感器。9.按照前述權(quán)利要求之一所述的組件，其特征在于，絕緣層(4)為膜片的組成部分。10.按照前述權(quán)利要求之一所述的組件，其特征在于，在與反射層(2)相對(duì)的膜片的一側(cè)上設(shè)置有加熱元件(6)和/或吸收層(5)。11.按照前述權(quán)利要求之一所述的組件，其特征在于，借助對(duì)膜片的熱輻射能實(shí)現(xiàn)膜片的加熱或者調(diào)溫。12.按照前述權(quán)利要求之一所述的組件，其特征在于，在膜片的一側(cè)上設(shè)置用于膜片彈性變形的其他元件(20、21)。13.按照權(quán)利要求10所述的組件，其特征在于，設(shè)置有觸點(diǎn)(20)、磁體(21)或電磁鐵作為元件。14.按照前述權(quán)利要求之一所述的組件，其特征在于，具有電磁輻射反射表面的元件(2′)通過(guò)支柱(23)與膜片連接。15.按照前述權(quán)利要求之一所述的組件，其特征在于，以局部限定方式在膜片上安裝有結(jié)構(gòu)件(8)和/或在其中/其上連接有結(jié)構(gòu)件(8)。16.按照前述權(quán)利要求之一所述的組件，其特征在于，該膜片被懸掛或者夾緊在兩個(gè)沿直徑相對(duì)存在的外側(cè)上。17.按照前述權(quán)利要求之一所述的組件，其特征在于，具有多個(gè)可變形的膜片，利用其可實(shí)現(xiàn)多電磁輻射束的焦距變化。18.按照權(quán)利要求1-17之一所述的組件在共焦顯微鏡、在檢測(cè)條形碼或者2D碼的系統(tǒng)、在自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)、在CD/DVD讀/寫(xiě)機(jī)中焦點(diǎn)跟蹤方面的應(yīng)用。全文摘要本發(fā)明涉及適用于配合或改變光學(xué)系統(tǒng)的焦距或焦點(diǎn)位置的主動(dòng)微型光學(xué)反射組件。本發(fā)明的目的是提供一種用于聚焦或散焦入射的電磁輻射的微型化的微型光學(xué)反射組件，通過(guò)其可以簡(jiǎn)單并以較小的費(fèi)用實(shí)現(xiàn)焦距的變化。在本發(fā)明的組件上具有一種可彈性變形的膜片。該膜片至少由反射層和另一層形成，所述反射層含第一物質(zhì)或物質(zhì)混合物，和所述另一層含有第二物質(zhì)或物質(zhì)混合物；第一和第二物質(zhì)或物質(zhì)混合物具有彼此不同的熱膨脹系數(shù)。此外還存在一種加熱或者調(diào)溫機(jī)構(gòu)。文檔編號(hào)G11B7/135GK1982201SQ20061016776公開(kāi)日2007年6月20日申請(qǐng)日期2006年12月18日優(yōu)先權(quán)日2005年12月16日發(fā)明者蒂洛·桑德納,沃爾弗拉姆·普夫,哈拉爾德·希恩克申請(qǐng)人:弗勞恩霍弗實(shí)用研究促進(jìn)協(xié)會(huì)