專利名稱：產(chǎn)品驗證系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明有關(guān)于一種測試系統(tǒng)，特別關(guān)于一種產(chǎn)品驗證系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體晶圓在分割為晶粒前通常需要一驗證作業(yè)，以篩除壞掉的晶粒，減少無謂 的封裝成本。此驗證作業(yè)一般包括晶圓測試(wafer probe)，對晶片上的每個晶粒進行針測，在 檢測頭裝上以金線制成的細如毛發(fā)的探針(probe)，與晶粒上的接點(pad)接觸，測試其電 氣特性，不合格的晶粒會被標上記號，而后當(dāng)晶片依晶粒為單位切割成獨立的晶粒時，標有 記號的不合格晶粒會被淘汰，不再進行下一個制程，以免徒增制造成本。本發(fā)明提供實現(xiàn)上述晶圓驗證作業(yè)的測試系統(tǒng)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明揭露的產(chǎn)品驗證系統(tǒng)包括一第一機臺以及一第二機臺。第一機臺為操作 端，其中包括一第一紅外線收發(fā)模塊、一第一控制單元以及一儲存單元。第二機臺為測試 端，耦接一待測產(chǎn)品。第二機臺包括一第二紅外線收發(fā)模塊以及一第二控制單元。第一紅外線收發(fā)模塊與第二紅外線收發(fā)模塊負責(zé)第一機臺與第二機臺之間的通 訊。第一控制單元提供的一測試命令將由第一紅外線收發(fā)模塊發(fā)送至第二紅外線收發(fā)模 塊，再由第二紅外線收發(fā)模塊傳送至第二控制單元。根據(jù)測試命令，第二控制單元測試該待 測產(chǎn)品，以獲得測試數(shù)據(jù)。測試數(shù)據(jù)將由第二紅外線收發(fā)模塊發(fā)送至第一紅外線收發(fā)模塊， 再傳送至第一控制單元，由第一控制單元儲存于儲存單元。儲存單元內(nèi)的測試數(shù)據(jù)可供后 續(xù)分析使用。本發(fā)明提供一種產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，包括一第一機臺，用以控制該產(chǎn)品驗證系統(tǒng)的操 作；一第二機臺，耦合至該第一機臺，根據(jù)該第一機臺所傳送的一測試命令對一待測產(chǎn)品進 行一測試程序，并產(chǎn)生一測試數(shù)據(jù)，傳送至該第一機臺；以及其中該第一機臺與該第二機臺 的傳輸是利用紅外線方式。本發(fā)明所述的產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，該第一機臺包括一第一紅外線收發(fā)模塊，用以傳送 該測試命令或接收該測試數(shù)據(jù)；一第一控制單元，通過該第一紅外線收發(fā)模塊，提供該測試 命令至該第二機臺；以及一儲存單元，儲存自該第二機臺所傳送的該測試數(shù)據(jù)。本發(fā)明所述的產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，該第二機臺包括一第二紅外線收發(fā)模塊，用以傳送 該測試數(shù)據(jù)或接收該測試命令；一第二控制單元，耦合于該第二紅外線收發(fā)模塊，根據(jù)所接 收的該測試命令，測試該待測產(chǎn)品，并產(chǎn)生該測試數(shù)據(jù)。本發(fā)明所述的產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，該第一控制單元的數(shù)據(jù)傳輸形式為并行傳輸 (parallel communication)0本發(fā)明所述的產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，該第一紅外線收發(fā)模塊包括一第一并行-串行轉(zhuǎn) 換模塊，耦合該第一控制單元，將該測試命令由并行傳輸形式轉(zhuǎn)換為一串行傳輸形式；一第一發(fā)送端運算單元，接收串行傳輸形式的該測試命令，將串行傳輸形式的該測試命令載入 識別碼并進行一紅外線調(diào)變；以及一第一紅外線發(fā)送器，耦合該第一發(fā)送端運算單元，以發(fā) 送上述紅外線調(diào)變后的該測試命令。本發(fā)明所述的產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，該第一紅外線收發(fā)模塊還包括一第一紅外線接收 器，接收該測試數(shù)據(jù)；一第一接收端運算單元，耦合于該第一紅外線接收器，以解調(diào)并判斷 該測試數(shù)據(jù)；以及一第一串行_并行轉(zhuǎn)換模塊，耦合該第一接收端運算單元，將該測試數(shù)據(jù) 由串行傳輸形式轉(zhuǎn)換為并行傳輸形式。本發(fā)明所述的產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，該第二控制單元的數(shù)據(jù)傳輸形式為并行傳輸。本發(fā)明所述的產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，該第二紅外線收發(fā)模塊包括一第二紅外線接收器， 用以接收該測試命令；一第二接收端運算單元，解調(diào)并判斷該測試命令，以取得串行傳輸形 式的該測試命令；以及一第二串行_并行轉(zhuǎn)換模塊，將串行傳輸形式的該測試命令轉(zhuǎn)換為 并行傳輸形式。本發(fā)明所述的產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，該第二紅外線收發(fā)模塊包括一第二并行_串行轉(zhuǎn) 換模塊，耦合該第二控制單元，將并行傳輸形式的該測試數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為串行傳輸形式；一第二 發(fā)送端運算單元，對上述串行傳輸形式的該測試數(shù)據(jù)載入識別碼且進行一紅外線調(diào)變；以 及一第二紅外線發(fā)送器，耦接該第二發(fā)送端運算單元，以發(fā)送上述經(jīng)紅外線調(diào)變后的該測 試數(shù)據(jù)。本發(fā)明所述的產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，該待測產(chǎn)品包括半導(dǎo)體晶圓的晶?；蛞亚懈畹木?粒。本發(fā)明所述的產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，該測試程序包括電氣特性測試或晶圓測試(wafer probe)0本發(fā)明還提供一種產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，包括一第一機臺，用以控制該產(chǎn)品驗證系統(tǒng)的 操作，該第一機臺包括一第一紅外線收發(fā)模塊，用以傳送或接收信號；一第一控制單元， 提供一測試命令，通過該第一紅外線收發(fā)模塊，發(fā)送該測試命令至外部；以及一儲存單元， 用以儲存該第一紅外線收發(fā)模塊所接收的數(shù)據(jù)；一第二機臺，包括一第二控制單元，根據(jù) 該測試命令測試一待測產(chǎn)品，以產(chǎn)生一測試數(shù)據(jù)；以及一第二紅外線收發(fā)模塊，用以接收該 測試命令或發(fā)送該測試數(shù)據(jù)。本發(fā)明所述的產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，該第一控制單元或第二控制單元的數(shù)據(jù)傳輸形式為 并行傳輸(parallel communication)。本發(fā)明所述的產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，上述第一紅外線收發(fā)模塊包括一第一并行_串行 轉(zhuǎn)換模塊，耦接該第一控制單元，將該測試命令由并行傳輸形式轉(zhuǎn)換為一串行傳輸形式；一 第一發(fā)送端運算單元，對上述串行傳輸形式的該測試命令載入識別碼并進行一紅外線調(diào) 變；以及一第一紅外線發(fā)送器，耦合該第一發(fā)送端運算單元，以發(fā)送上述紅外線調(diào)變后的該 測試命令。本發(fā)明所述的產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，該第一紅外線收發(fā)模塊包括一第一紅外線接收器， 接收一傳輸數(shù)據(jù)；一第一接收端運算單元，解調(diào)并判斷該傳輸數(shù)據(jù)以取得該測試數(shù)據(jù)；以 及一第一串行-并行轉(zhuǎn)換模塊，耦合該第一接收端運算單元，將該測試數(shù)據(jù)由串行傳輸形 式轉(zhuǎn)換為并行傳輸形式。本發(fā)明所述的產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，該第二紅外線收發(fā)模塊包括一第二紅外線接收器，接收一傳輸數(shù)據(jù)；一第二接收端運算單元，解調(diào)并判斷自該第二紅外線接收器所傳送的該傳輸數(shù)據(jù)，以取得串行傳輸形式的該測試命令；以及一第二串行-并行轉(zhuǎn)換模塊，將該測試 命令由串行傳輸形式轉(zhuǎn)換為并行傳輸形式。本發(fā)明所述的產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，該第二紅外線收發(fā)模塊包括一第二并行_串行轉(zhuǎn) 換模塊，耦合該第二控制單元，將該測試數(shù)據(jù)由并行傳輸形式轉(zhuǎn)換為串行傳輸形式；一第二 發(fā)送端運算單元，將上述串行傳輸形式的該測試數(shù)據(jù)載入識別碼且進行一紅外線調(diào)變；以 及一第二紅外線發(fā)送器，耦接該第二發(fā)送端運算單元，以發(fā)送上述紅外線調(diào)變后的該測試 數(shù)據(jù)。本發(fā)明所述的產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，該待測產(chǎn)品包括半導(dǎo)體晶圓的晶粒或已切割的晶 粒。本發(fā)明所述的產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，該測試程序包括電氣特性測試或晶圓測試(wafer probe)0上述第一機臺與第二機臺之間利用紅外線無線傳輸，無需使用實體線路連接即可 進行通訊，大幅降低系統(tǒng)復(fù)雜度，并解決實體傳輸線路維修不易的問題。本發(fā)明利用紅外線 無線通訊亦可在測試過程，對射頻(RF)晶片的待測產(chǎn)品，減少射頻噪聲干擾或天線效應(yīng)的 產(chǎn)生，有效提高測試品品質(zhì)，可廣泛應(yīng)用于電子晶片測試上。


圖1根據(jù)本發(fā)明的較佳實施例，為本發(fā)明的產(chǎn)品驗證系統(tǒng)方塊圖。圖2根據(jù)本發(fā)明的較佳實施例，為圖1的第一機臺102的方塊圖。圖3根據(jù)本發(fā)明的較佳實施例，為圖1的第二機臺104的方塊圖。圖4根據(jù)本發(fā)明的較佳實施例，為產(chǎn)品驗證系統(tǒng)的傳輸編碼格式。
具體實施例方式圖1為本發(fā)明產(chǎn)品驗證系統(tǒng)的一種實施方式，其中包括一第一機臺102以及一第 二機臺104，彼此以紅外線通訊。第一機臺102為操作端，其中包括一第一紅外線收發(fā)模塊106、一第一控制單元 108以及一儲存單元110。第二機臺104為測試端，耦接一待測產(chǎn)品112。第二機臺104包 括一第二紅外線收發(fā)模塊114以及一第二控制單元116。第一紅外線收發(fā)模塊106與第二紅外線收發(fā)模塊114以紅外線(Infrared)實現(xiàn) 第一機臺102與第二機臺104之間的通訊。第一控制單元108負責(zé)提供一測試命令，并通過第一紅外線收發(fā)模塊106，將上述 測試命令發(fā)送至第二紅外線收發(fā)模塊114，再由第二紅外線收發(fā)模塊114傳送至第二控制 單元116。第二控制單元116根據(jù)第二紅外線收發(fā)模塊114所接收的測試命令，測試待測產(chǎn) 品112，以獲得測試數(shù)據(jù)。于較佳實施例，上述待測產(chǎn)品112包括半導(dǎo)體晶圓的晶?；蛞亚?割的晶粒；而上述的測試程序包括電氣特性測試或晶圓測試(wafer probe) 0第二機臺104將測試數(shù)據(jù)通過第二紅外線收發(fā)模塊114發(fā)送至第一機臺102的第 一紅外線收發(fā)模塊106。第一紅外線收發(fā)模塊106接收上述測試數(shù)據(jù)后，將其傳遞至第一控 制單元108，通過第一控制單元108將上述測試數(shù)據(jù)儲存于儲存單元110。儲存單元110內(nèi)的測試數(shù)據(jù)可供后續(xù)分析使用。根據(jù)一較佳實施例，圖2圖解第一機臺102的構(gòu)成。其中，第一控制單元108采用 一并行形式(parallel)收發(fā)數(shù)據(jù)，而第一紅外線收發(fā)模塊106包括一并行-串行轉(zhuǎn)換模 塊202、一發(fā)送端運算單元204、一紅外線發(fā)送器206、一紅外線接收器208、一接收端運算單 元210以及一串行-并行轉(zhuǎn)換模塊212。此段描述第一機臺102發(fā)送測試命令的流程。如圖2所示，第一控制單元108所 提供的并行形式測試命令214經(jīng)并行-串行轉(zhuǎn)換模塊202轉(zhuǎn)換為一串行(serial)形式測 試命令216。發(fā)送端運算單元204包括識別碼載入模塊218以及紅外線調(diào)變模塊220，用以 對上述串行形式測試命令216進行識別碼載入以及紅外線調(diào)變。載入識別碼的作用是在于檢查紅外線接收器所接收到的數(shù)據(jù)是否正確或損毀，因 為在使用紅外線發(fā)送及接收數(shù)據(jù)過程中，為避免外在因素影響傳送數(shù)據(jù)內(nèi)容，所以加入一 識別碼(B0 B7)來判斷數(shù)據(jù)的正確性。載入識別碼且經(jīng)紅外線調(diào)變后的串行形式測試命令216將傳送至紅外線發(fā)送器 206以紅外線發(fā)送至第二機臺104的第二紅外線收發(fā)模塊114。此段描述第一機臺102接收測試數(shù)據(jù)的流程。如圖2所示，紅外線傳輸(串行形 式)的一傳輸數(shù)據(jù)由紅外線接收器208接收后，傳遞至接收端運算單元210 (包括一紅外線 解調(diào)模塊222以及識別碼判斷模塊224)解調(diào)，并判斷其識別碼。識別碼符合的傳輸數(shù)據(jù)即 為第二機臺104所發(fā)送的測試數(shù)據(jù)。串行-并行轉(zhuǎn)換模塊212轉(zhuǎn)換串行形式測試數(shù)據(jù)226 為并行形式測試數(shù)據(jù)228。并行形式測試數(shù)據(jù)228被傳遞至第一控制單元108，通過第一控 制單元108將并行形式測試數(shù)據(jù)228儲存于儲存單元110。根據(jù)一較佳實施例，圖3圖解第二機臺104的構(gòu)成。其中，第二控制單元116采用 一并行形式收發(fā)數(shù)據(jù)，且第二紅外線收發(fā)模塊114包括一紅外線接收器302、一接收端運 算單元304、一串行-并行轉(zhuǎn)換模塊306、一并行-串行轉(zhuǎn)換模塊308、一發(fā)送端運算單元310 以及一紅外線發(fā)送器312。此段敘述第二機臺104接收測試命令的流程。如圖3所示，紅外線傳輸(串行形 式)的一傳輸數(shù)據(jù)由紅外線接收器302接收后，輸入至接收端運算單元304 (包括紅外線解 調(diào)模塊314以及識別碼判斷模塊316)解調(diào)并判斷上述傳輸數(shù)據(jù)的識別碼。識別碼符合者即 為第一機臺102所發(fā)送的測試命令。串行形式測試命令318將由串行-并行轉(zhuǎn)換模塊306 轉(zhuǎn)換為并行形式測試命令320，并傳遞至第二控制單元116。第二控制單元116根據(jù)上述并 行形式測試命令320，測試待測產(chǎn)品112，并產(chǎn)生待測產(chǎn)品112的測試數(shù)據(jù)。此段敘述第二機臺104發(fā)送待測產(chǎn)品112的測試數(shù)據(jù)的流程。參閱圖3，第二控制 單元116將并行形式測試數(shù)據(jù)322傳送至并行_串行轉(zhuǎn)換模塊308，以轉(zhuǎn)換為串行形式測試 數(shù)據(jù)324。發(fā)送端運算單元310包括一識別碼載入模塊326以及一紅外線調(diào)變模塊328，借 以對上述串行形式測試數(shù)據(jù)324執(zhí)行識別碼載入與紅外線調(diào)變程序。紅外線調(diào)變后的測試 數(shù)據(jù)將由紅外線發(fā)送器312以紅外線發(fā)送至第一機臺102。根據(jù)較佳實施例，圖4為第一機臺102與第二機臺104間的一種傳輸編碼格式，其 中采用20個位。位BO B7為識別碼。位B8 B19包括測試命令或測試數(shù)據(jù)的信息。 識別碼載入的過程是在傳送每一個位數(shù)據(jù)(B8 B19)前，加入識別碼(B0 B7)， 于較佳實施例，可加入同位識別碼。載入識別碼可用來檢查測試命令或測試數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)在傳送的過程中是否發(fā)生錯誤，同位識別碼檢查可以是奇同位或偶同位。采用奇同位做同位位檢查，表示所有數(shù)據(jù)位加上同位位后，“1”的總數(shù)要為奇數(shù)；反之偶同位則所有數(shù)據(jù)位加 上同位位，“1”的總個數(shù)為偶數(shù)個。紅外線接收端運算單元的識別碼判斷模塊也是以相同 的方式判斷識別碼。測試命令可為一測試啟動指標，用以啟動第二機臺104對待測產(chǎn)品112進行特定 測試。測試數(shù)據(jù)可包括測試通過指標、測試不通過指標與多個錯誤狀態(tài)指標。圖4所示的傳輸編碼格式僅為一種實施方式，并非用來限定本發(fā)明第一機臺102 與第二機臺104之間的傳輸編碼格式。第一機臺102與第二機臺104之間亦可采用其他種 類傳輸編碼格式。本發(fā)明的產(chǎn)品驗證系統(tǒng)利用紅外線方式，無線地傳輸?shù)谝慌c第二機臺之間的信 號，無需使用實體線路通訊，大幅降低系統(tǒng)復(fù)雜度，并解決一般實體線路維修不易的問題。 再者，本發(fā)明利用紅外線傳輸在無線信號傳輸時，對待測產(chǎn)品，例如射頻(RF)晶片，可有效 減少射頻噪聲干擾或天線效應(yīng)(antenna effect)的產(chǎn)生，有效提高測試品質(zhì)。以上所述僅為本發(fā)明較佳實施例，然其并非用以限定本發(fā)明的范圍，任何熟悉本 項技術(shù)的人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，可在此基礎(chǔ)上做進一步的改進和變化，因 此本發(fā)明的保護范圍當(dāng)以本申請的權(quán)利要求書所界定的范圍為準。附圖中的符號簡單說明如下102:第一機臺104:第二機臺106 第一紅外線收發(fā)模塊108:第一控制單元110:儲存單元112 待測產(chǎn)品114 第二紅外線收發(fā)模塊116 第二控制單元202 并行-串行轉(zhuǎn)換模塊204 發(fā)送端運算單元 206 紅外線發(fā)送器208 紅外線接收器210 接收端運算單元212 串行-并行轉(zhuǎn)換模塊 214 并行形式測試命令216:串行形式測試命令 218 識別碼載入模塊220 紅外線調(diào)變模塊 222 紅外線解調(diào)模塊224 識別碼判斷模塊 226 串行形式測試數(shù)據(jù)228 并行形式測試數(shù)據(jù) 302 紅外線接收器304 接收端運算單元 306 串行-并行轉(zhuǎn)換模塊308 并行-串行轉(zhuǎn)換模塊 310 發(fā)送端運算單元312 紅外線發(fā)送器314 紅外線解調(diào)模塊316 識別碼判斷模塊 318:串行形式測試命令320 并行形式測試命令 322 并行形式測試數(shù)據(jù)324 串行形式測試數(shù)據(jù) 326 識別碼載入模塊328 紅外線調(diào)變模塊。
權(quán)利要求
一種產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，其特征在于，包括一第一機臺，用以控制該產(chǎn)品驗證系統(tǒng)的操作；一第二機臺，耦合至該第一機臺，根據(jù)該第一機臺所傳送的一測試命令對一待測產(chǎn)品進行一測試程序，并產(chǎn)生一測試數(shù)據(jù)，傳送至該第一機臺；以及其中該第一機臺與該第二機臺的傳輸是利用紅外線方式。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，其特征在于，該第一機臺包括 一第一紅外線收發(fā)模塊，用以傳送該測試命令或接收該測試數(shù)據(jù)；一第一控制單元，通過該第一紅外線收發(fā)模塊，提供該測試命令至該第二機臺；以及 一儲存單元，儲存自該第二機臺所傳送的該測試數(shù)據(jù)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，其特征在于，該第二機臺包括 一第二紅外線收發(fā)模塊，用以傳送該測試數(shù)據(jù)或接收該測試命令；一第二控制單元，耦合于該第二紅外線收發(fā)模塊，根據(jù)所接收的該測試命令，測試該待 測產(chǎn)品，并產(chǎn)生該測試數(shù)據(jù)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，其特征在于，該第一控制單元的數(shù)據(jù)傳輸形 式為并行傳輸。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，其特征在于，該第一紅外線收發(fā)模塊包括 一第一并行-串行轉(zhuǎn)換模塊，耦合該第一控制單元，將該測試命令由并行傳輸形式轉(zhuǎn)換為一串行傳輸形式；一第一發(fā)送端運算單元，接收串行傳輸形式的該測試命令，將串行傳輸形式的該測試 命令載入識別碼并進行一紅外線調(diào)變；以及一第一紅外線發(fā)送器，耦合該第一發(fā)送端運算單元，以發(fā)送上述紅外線調(diào)變后的該測 試命令。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，其特征在于，該第一紅外線收發(fā)模塊還包括 一第一紅外線接收器，接收該測試數(shù)據(jù)；一第一接收端運算單元，耦合于該第一紅外線接收器，以解調(diào)并判斷該測試數(shù)據(jù)；以及 一第一串行_并行轉(zhuǎn)換模塊，耦合該第一接收端運算單元，將該測試數(shù)據(jù)由串行傳輸 形式轉(zhuǎn)換為并行傳輸形式。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，其特征在于，該第二控制單元的數(shù)據(jù)傳輸形 式為并行傳輸。
8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，其特征在于，該第二紅外線收發(fā)模塊包括 一第二紅外線接收器，用以接收該測試命令；一第二接收端運算單元，解調(diào)并判斷該測試命令，以取得串行傳輸形式的該測試命令；以及一第二串行_并行轉(zhuǎn)換模塊，將串行傳輸形式的該測試命令轉(zhuǎn)換為并行傳輸形式。
9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，其特征在于，該第二紅外線收發(fā)模塊包括 一第二并行_串行轉(zhuǎn)換模塊，耦合該第二控制單元，將并行傳輸形式的該測試數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為串行傳輸形式；一第二發(fā)送端運算單元，對上述串行傳輸形式的該測試數(shù)據(jù)載入識別碼且進行一紅外 線調(diào)變；以及一第二紅外線發(fā)送器，耦接該第二發(fā)送端運算單元，以發(fā)送上述經(jīng)紅外線調(diào)變后的該 測試數(shù)據(jù)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，其特征在于，該待測產(chǎn)品包括半導(dǎo)體晶圓的 晶?；蛞亚懈畹木Я！?br> 11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，其特征在于，該測試程序包括電氣特性測試 或晶圓測試。
12.—種產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，其特征在于，包括一第一機臺，用以控制該產(chǎn)品驗證系統(tǒng)的操作，該第一機臺包括 一第一紅外線收發(fā)模塊，用以傳送或接收信號；一第一控制單元，提供一測試命令，通過該第一紅外線收發(fā)模塊，發(fā)送該測試命令至外 部；以及一儲存單元，用以儲存該第一紅外線收發(fā)模塊所接收的數(shù)據(jù)； 一第二機臺，包括一第二控制單元，根據(jù)該測試命令測試一待測產(chǎn)品，以產(chǎn)生一測試數(shù)據(jù)；以及 一第二紅外線收發(fā)模塊，用以接收該測試命令或發(fā)送該測試數(shù)據(jù)。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，其特征在于，該第一控制單元或第二控制 單元的數(shù)據(jù)傳輸形式為并行傳輸。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，其特征在于，上述第一紅外線收發(fā)模塊包括一第一并行_串行轉(zhuǎn)換模塊，耦接該第一控制單元，將該測試命令由并行傳輸形式轉(zhuǎn) 換為一串行傳輸形式；一第一發(fā)送端運算單元，對上述串行傳輸形式的該測試命令載入識別碼并進行一紅外 線調(diào)變；以及一第一紅外線發(fā)送器，耦合該第一發(fā)送端運算單元，以發(fā)送上述紅外線調(diào)變后的該測 試命令。
15.根據(jù)權(quán)利要求12所述的產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，其特征在于，該第一紅外線收發(fā)模塊包括 一第一紅外線接收器，接收一傳輸數(shù)據(jù)；一第一接收端運算單元，解調(diào)并判斷該傳輸數(shù)據(jù)以取得該測試數(shù)據(jù)；以及 一第一串行-并行轉(zhuǎn)換模塊，耦合該第一接收端運算單元，將該測試數(shù)據(jù)由串行傳輸 形式轉(zhuǎn)換為并行傳輸形式。
16.根據(jù)權(quán)利要求12所述的產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，其特征在于，該第二紅外線收發(fā)模塊包括 一第二紅外線接收器，接收一傳輸數(shù)據(jù)；一第二接收端運算單元，解調(diào)并判斷自該第二紅外線接收器所傳送的該傳輸數(shù)據(jù)，以 取得串行傳輸形式的該測試命令；以及一第二串行_并行轉(zhuǎn)換模塊，將該測試命令由串行傳輸形式轉(zhuǎn)換為并行傳輸形式。
17.根據(jù)權(quán)利要求12所述的產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，其特征在于，該第二紅外線收發(fā)模塊包括 一第二并行_串行轉(zhuǎn)換模塊，耦合該第二控制單元，將該測試數(shù)據(jù)由并行傳輸形式轉(zhuǎn)換為串行傳輸形式；一第二發(fā)送端運算單元，將上述串行傳輸形式的該測試數(shù)據(jù)載入識別碼且進行一紅外線調(diào)變；以及一第二紅外線發(fā)送器，耦接該第二發(fā)送端運算單元，以發(fā)送上述紅外線調(diào)變后的該測 試數(shù)據(jù)。
18.根據(jù)權(quán)利要求12所述的產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，其特征在于，該待測產(chǎn)品包括半導(dǎo)體晶圓 的晶粒或已切割的晶粒。
19.根據(jù)權(quán)利要求12所述的產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，其特征在于，該測試程序包括電氣特性測 試或晶圓測試。
全文摘要
本發(fā)明揭露一種產(chǎn)品驗證系統(tǒng)，包括一第一機臺以及一第二機臺。第一機臺為操作端，具有一第一紅外線收發(fā)模塊。第二機臺為測試端，具有一第二紅外線收發(fā)模塊。第一紅外線收發(fā)模塊與第二紅外線收發(fā)模塊實現(xiàn)紅外線傳輸，負責(zé)第一機臺與第二機臺之間的通訊。本發(fā)明可大幅降低系統(tǒng)復(fù)雜度，并解決實體傳輸線路維修不易的問題，以及減少射頻噪聲干擾或天線效應(yīng)的產(chǎn)生，有效提高測試品品質(zhì)。
文檔編號G08C23/04GK101840876SQ200910127298
公開日2010年9月22日 申請日期2009年3月20日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月20日
發(fā)明者張智凱, 滕貞勇 申請人:普誠科技股份有限公司