30-60min。
[0028] 實施例二、 本實施例石墨烯觸摸屏傳感器具體制備步驟如下： (1)以轉(zhuǎn)移好2層石墨烯薄膜的PET基材為對象，以周圍四個靶標為基準，采用激光直 寫工藝，將電極印刷區(qū)的石墨烯去除，顯露出基底材料，保留石墨烯搭接區(qū)。
[0029] (2)利用壓縮氣體吹塵的方式清潔石墨烯薄膜的表面； (3) 利用絲網(wǎng)印刷機將銀漿套印至已被去除石墨烯的基底表面區(qū)域，并確保該金屬電 極楽?料能夠搭接到石墨稀的邊緣，搭接寬度為〇. 5_，從而形成良好的電性連接； (4) 采用無塵烘箱對銀漿進行烘烤，烘烤溫度為135度，烘烤時間為60分鐘，使其在電 性和附著力上滿足傳感器后段加工需求； (5) 以靶標為基準對銀電極區(qū)進行激光刻蝕圖案化，先將CAD電極圖形導入激光蝕刻 機系統(tǒng)中，然后設定好激光掃射的參數(shù)，包括功率、速度等即可進行刻蝕圖案化，再經(jīng)后續(xù) 加工形成觸摸屏傳感器。
[0030] 實施例三 本實施例石墨烯觸摸屏傳感器具體制備步驟如下： (1)以轉(zhuǎn)移好1層石墨烯薄膜的玻璃基材為對象，以周圍四個靶標為基準，采用掩膜板 結(jié)合等離子刻蝕工藝，將電極印刷區(qū)的石墨烯去除，顯露出基底材料，保留石墨烯搭接區(qū)。
[0031] (2)利用壓縮氣體吹塵的方式清潔石墨烯薄膜的表面； (3) 利用絲網(wǎng)印刷機將金漿套印至已被去除石墨烯的基底表面區(qū)域，并確保該金屬電 極楽?料能夠搭接到石墨稀的邊緣，搭接寬度為〇. 4_，從而形成良好的電性連接； (4) 采用無塵烘箱對金漿進行烘烤，烘烤溫度為140度，烘烤時間為80分鐘，使其在電 性和附著力上滿足傳感器后段加工需求； (5) 以靶標為基準對金電極區(qū)進行激光刻蝕圖案化，先將CAD電極圖形導入激光蝕刻 機系統(tǒng)中，然后設定好激光掃射的參數(shù)，包括功率、速度等即可進行刻蝕圖案化，再經(jīng)后續(xù) 加工形成觸摸屏傳感器。
[0032] 實施例四 本實施例石墨烯觸摸屏傳感器具體制備步驟如下： (1)以轉(zhuǎn)移好2層石墨烯薄膜的PET基材為對象，以周圍四個靶標為基準，采用可剝膠 預涂工藝，將電極印刷區(qū)的石墨烯去除，顯露出基底材料，保留石墨烯搭接區(qū)。
[0033] (2)利用壓縮氣體吹塵的方式清潔石墨烯薄膜的表面； (3) 利用絲網(wǎng)印刷機將銀漿套印至已被去除石墨烯的基底表面區(qū)域，并確保該金屬電 極楽?料能夠搭接到石墨稀的邊緣，搭接寬度為〇. 3_，從而形成良好的電性連接； (4) 采用無塵烘箱對銀漿進行烘烤，烘烤溫度為110度，烘烤時間為60分鐘，使其在電 性和附著力上滿足傳感器后段加工需求； (5) 以靶標為基準對銀電極區(qū)進行激光刻蝕圖案化，先將CAD電極圖形導入激光蝕刻 機系統(tǒng)中，然后設定好激光掃射的參數(shù)，包括功率、速度等即可進行刻蝕圖案化，再經(jīng)后續(xù) 加工形成觸摸屏傳感器。
[0034] 實施例五 本實施例石墨烯觸摸屏傳感器具體制備步驟如下： (1)以轉(zhuǎn)移好3層石墨烯薄膜的PET基材為對象，以周圍四個靶標為基準，采用可剝膠 預涂工藝，將電極印刷區(qū)的石墨烯去除，顯露出基底材料，保留石墨烯搭接區(qū)。
[0035] (2)利用粘塵機粘塵的方式清潔石墨烯薄膜的表面； (3) 利用絲網(wǎng)印刷機將鋁銀漿套印至已被去除石墨烯的基底表面區(qū)域，并確保該金屬 電極楽?料能夠搭接到石墨稀的邊緣，搭接寬度為〇. 3_，從而形成良好的電性連接； (4) 采用無塵烘箱對鋁銀漿進行烘烤，烘烤溫度為120度，烘烤時間為60分鐘，使其在 電性和附著力上滿足傳感器后段加工需求； (5) 以靶標為基準對鋁銀電極區(qū)進行激光刻蝕圖案化，先將CAD電極圖形導入激光蝕 刻機系統(tǒng)中，然后設定好激光掃射的參數(shù)，包括功率、速度等即可進行刻蝕圖案化，再經(jīng)后 續(xù)加工形成觸摸屏傳感器。
[0036]
【主權(quán)項】
1. 一種石墨烯觸摸屏傳感器的制造方法，其特征在于，以轉(zhuǎn)移有石墨烯薄膜的基底為 對象，預先將電極印刷區(qū)的石墨烯薄膜去除，只保留石墨烯搭接區(qū)，所述搭接區(qū)為電極印刷 區(qū)與石墨烯薄膜重合的區(qū)域，在去除了石墨烯薄膜的電極印刷區(qū)印刷上金屬電極漿料，圖 案化后形成傳感器。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨烯觸摸屏傳感器的制造方法，其特征在于，所述轉(zhuǎn)移有 石墨烯薄膜的基底中的基底為塑料或玻璃基底。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的石墨烯觸摸屏傳感器的制造方法，其特征在于，所述制造方 法具體包括以下步驟： 步驟一、以轉(zhuǎn)移好石墨烯薄膜的基底為對象，以周圍靶標為基準，采用圖形剝離工藝將 電極印刷區(qū)的石墨烯去除，顯露出基底材料，僅保留石墨烯搭接區(qū)； 步驟二、對石墨稀薄膜和基底材料的表面進行清潔； 步驟三、利用絲網(wǎng)印刷機將金屬電極漿料印刷至已被去除石墨烯的基底表面區(qū)域，并 確保該金屬電極漿料能夠搭接到石墨烯邊緣； 步驟四、對金屬電極漿料進行烘烤形成金屬電極區(qū)； 步驟五、以靶標為基準對金屬電極區(qū)進行激光刻蝕圖案化，即用激光掃線的方式得到 線條型金屬電極。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的石墨烯觸摸屏傳感器的制造方法，其特征在于，所述石墨烯 搭接區(qū)的寬度為〇?Imm-Imm0
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的石墨烯觸摸屏傳感器的制造方法，其特征在于，所述石墨烯 搭接區(qū)的寬度為〇. 3mm-〇. 5mm。
6. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的石墨烯觸摸屏傳感器的制造方法，其特征在于，所述步驟一 中以轉(zhuǎn)移好石墨烯薄膜的基底為對象，所述基底上轉(zhuǎn)移的石墨烯薄膜層數(shù)為1-10層。
7. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的石墨烯觸摸屏傳感器的制造方法，其特征在于，所述步驟一 中圖形剝離工藝包括，激光直寫、掩膜板結(jié)合等離子刻蝕和可剝膠預涂；所述激光直寫即用 激光直接將電極印刷區(qū)的石墨烯去除；所述掩膜板結(jié)合等離子刻蝕即在材料表面遮蓋一塊 掩膜板，然后用等離子刻蝕掉沒有掩膜板遮蓋的區(qū)域的石墨烯；所述可剝膠預涂即預先在 電極印刷區(qū)印刷可剝膠，烘干后轉(zhuǎn)移石墨烯薄膜，然后將可剝膠揭掉就留下了沒有石墨烯 的電極印刷區(qū)。
8. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的石墨烯觸摸屏傳感器的制造方法，其特征在于，所述步驟三 中的金屬電極漿料包括金漿、銀漿、鋁銀漿、銀銅漿或銅漿。
9. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的石墨烯觸摸屏傳感器的制造方法，其特征在于，所述步驟四 中烘烤的溫度區(qū)間為80-230度，烘烤的時間區(qū)間為10-120min。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的石墨烯觸摸屏傳感器的制造方法，其特征在于，所述步驟四 中烘烤的溫度區(qū)間為110-140度，烘烤的時間區(qū)間為30-60min。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種石墨烯觸摸屏傳感器的制造方法，以轉(zhuǎn)移有石墨烯薄膜的基底為對象，預先將電極印刷區(qū)的石墨烯薄膜去除，只保留石墨烯搭接區(qū)，所述搭接區(qū)為電極印刷區(qū)與石墨烯薄膜重合的區(qū)域，在去除了石墨烯薄膜的電極印刷區(qū)印刷上金屬電極漿料，圖案化后形成傳感器。先將電極印刷區(qū)石墨烯薄膜去除，只保留石墨烯搭接區(qū)，隨后采用引線金屬電極印刷的方法，使得印刷電極只在極小的搭接面積上搭接到石墨烯，實現(xiàn)良好的電性連接（歐姆接觸）。使得金屬電極大部分與基底接觸，解決了金屬漿料在石墨烯薄膜上的印刷附著力差的問題。
【IPC分類】G06F3-041
【公開號】CN104793786
【申請?zhí)枴緾N201510136075
【發(fā)明人】楊軍, 譚化兵
【申請人】無錫格菲電子薄膜科技有限公司
【公開日】2015年7月22日
【申請日】2015年3月26日