技術(shù)特征：

1.一種量測結(jié)果的圖形化輸出方法，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種量測結(jié)果的圖形化輸出方法，其特征在于，所述采集顯微鏡下待測樣品對應(yīng)的掃描圖像，并基于預(yù)設(shè)的第一量測參數(shù)獲取所述掃描圖像的第一尺寸，包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種量測結(jié)果的圖形化輸出方法，其特征在于，所述根據(jù)所述灰度值分布截面圖及所述第一量測參數(shù)提取所述掃描圖像對應(yīng)的第一灰度極值點和第二灰度極值點，包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種量測結(jié)果的圖形化輸出方法，其特征在于，所述牛頓算法的計算表達(dá)式為：

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種量測結(jié)果的圖形化輸出方法，其特征在于，所述根據(jù)所述第一灰度極值點和所述第二灰度極值點計算所述掃描圖像對應(yīng)的第二量測結(jié)果，包括：

6.根據(jù)權(quán)利要求2-5任一項所述的一種量測結(jié)果的圖形化輸出方法，其特征在于，所述獲取所述第一量測結(jié)果與所述第二量測結(jié)果的差值，以根據(jù)所述差值更新所述第一灰度極值點和第二灰度極值點，獲得第三灰度極值點和第四灰度極值點，包括：

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種量測結(jié)果的圖形化輸出方法，其特征在于，所述根據(jù)所述第三灰度極值點和所述第四灰度極值點更新所述第一量測參數(shù)，包括：

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種量測結(jié)果的圖形化輸出方法，其特征在于，所述根據(jù)更新后的第一量測參數(shù)提取所述掃描圖像的第三量測結(jié)果，并生成所述第三量測結(jié)果對應(yīng)的數(shù)字化圖像，包括：

9.一種量測結(jié)果的圖形化輸出系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)包括第一量測模塊、極值點提取模塊、第二量測模塊、極值點更新模塊及量測圖形化模塊；

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種量測結(jié)果的圖形化輸出系統(tǒng)，其特征在于，所述第一量測模塊包括掃描單元及量測單元；

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種量測結(jié)果的圖形化輸出方法及系統(tǒng)，包括：基于預(yù)設(shè)的第一量測參數(shù)獲取所述掃描圖像的第一量測結(jié)果；根據(jù)所述掃描圖像的灰度值分布截面圖及所述第一量測參數(shù)提取所述掃描圖像對應(yīng)的第一灰度極值點和第二灰度極值點，以計算所述掃描圖像對應(yīng)的第二量測結(jié)果；獲取所述第一量測結(jié)果與所述第二量測結(jié)果的差值，以根據(jù)所述差值更新所述第一灰度極值點和第二灰度極值點，獲得第三灰度極值點和第四灰度極值點；根據(jù)所述第三灰度極值點和所述第四灰度極值點更新所述第一量測參數(shù)，以根據(jù)更新后的第一量測參數(shù)提取所述掃描圖像的第三量測結(jié)果，并生成所述第三量測結(jié)果對應(yīng)的數(shù)字化圖像，以提高所述數(shù)字化圖形的精準(zhǔn)度。

技術(shù)研發(fā)人員：周卓弘,曾輝,李月,姜曉晴,張淼華,李貴琦,石方毅
受保護(hù)的技術(shù)使用者：粵芯半導(dǎo)體技術(shù)股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/6