本發(fā)明涉及半導(dǎo)體，特別涉及一種晶圓mark區(qū)域的檢測(cè)方法及系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、制造光罩時(shí)，各個(gè)模塊會(huì)作為gds形式文件的一部分，放置在切割道上，用以監(jiān)控制程的測(cè)試鍵(test?key,tsk)，用于監(jiān)控和量測(cè)制造過(guò)程中各種參數(shù)。光罩公司在制造光罩之前，會(huì)提供數(shù)據(jù)文件進(jìn)行檢查。以光刻光罩jdv檢查為例，目前采用全人工的方式進(jìn)行檢查mark區(qū)域是否存在，并且檢查mark區(qū)域的位置是否準(zhǔn)確。在實(shí)際操作中，首先，打開step?form文件，找到mark區(qū)域?qū)?yīng)的坐標(biāo)。接著，登錄job?deck?view(jdv)軟件，并通過(guò)jdv軟件，找到相應(yīng)的mark區(qū)域。最后，完成mark區(qū)域相關(guān)量測(cè)，并截圖保存。如果檢查的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)層中有掩膜版的關(guān)鍵尺寸(比如：線寬)檢查，則需要一位工程花費(fèi)2小時(shí)左右才能完成。因此，需要消耗大量的人力和時(shí)間，檢查效率低。

2、為提高檢查效率，參圖2所示，目前已有的技術(shù)，首先通過(guò)登錄jdv軟件系統(tǒng)。接著，通過(guò)已有python小程序轉(zhuǎn)化坐標(biāo)。然后，再通過(guò)已有python小程序會(huì)自動(dòng)依序輸入坐標(biāo)截圖。最后，生成截圖文件，并由工程師做二次判斷每次jdv檢查結(jié)果是否正確。雖然，該種jdv檢查方式能夠?qū)崿F(xiàn)坐標(biāo)自動(dòng)轉(zhuǎn)化和jdv自動(dòng)截圖。但是，生成的截圖文件如圖3所示為圖像格式，仍然不能與如圖2所示的gds形式文件中圖像直接進(jìn)行比對(duì)，仍需工程再重新檢查下圖像是否是所需的mark區(qū)域。因此，同樣存在檢查時(shí)間長(zhǎng)，效率低的問(wèn)題。

3、需要說(shuō)明的是，公開于該發(fā)明背景技術(shù)部分的信息僅僅旨在加深對(duì)本發(fā)明一般背景技術(shù)的理解，而不應(yīng)當(dāng)被視為承認(rèn)或以任何形式暗示該信息構(gòu)成已為本領(lǐng)域技術(shù)人員所公知的現(xiàn)有技術(shù)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種晶圓mark區(qū)域的檢測(cè)方法及系統(tǒng)，以解決檢查mark區(qū)域存在檢查時(shí)間長(zhǎng)，效率低的問(wèn)題。

2、為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供一種晶圓mark區(qū)域的檢測(cè)方法，包括：

3、提供一晶圓gds形式文件，以確認(rèn)被檢測(cè)的mark區(qū)域，所述mark區(qū)域具有待檢測(cè)的圖案；

4、將mark區(qū)域截圖，并抽取圖案的輪廓線；

5、獲取輪廓線與gds形式文件中圖案的相似度，并輸出對(duì)比結(jié)果；

6、設(shè)定相似度的對(duì)比的閾值，若輸出的對(duì)比結(jié)果在閾值范圍內(nèi)，則該mark區(qū)域檢測(cè)結(jié)果輸出為ok，若輸出的對(duì)比結(jié)果未在閾值范圍內(nèi)，則該mark區(qū)域檢測(cè)結(jié)果輸出為ng。

7、優(yōu)選地，所述提供一晶圓gds形式文件，以確認(rèn)被檢測(cè)的mark區(qū)域包括：

8、提供一晶圓gds形式文件，所述gds形式文件具有被檢測(cè)的mark區(qū)域的坐標(biāo)；

9、基于所述mark區(qū)域的坐標(biāo)，以確認(rèn)被檢測(cè)的mark區(qū)域。

10、優(yōu)選地，所述晶圓包括多個(gè)被檢測(cè)的mark區(qū)域。

11、優(yōu)選地，所述待檢測(cè)的圖案包括對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記、測(cè)試鍵、工藝控制標(biāo)記、缺陷標(biāo)記、關(guān)鍵尺寸標(biāo)記。

12、優(yōu)選地，所述將mark區(qū)域截圖，并抽取圖案的輪廓線包括：

13、登錄jdv軟件，依據(jù)gds形式文件中mark區(qū)域的坐標(biāo)，找到mark區(qū)域；

14、將mark區(qū)域坐標(biāo)轉(zhuǎn)換，并將坐標(biāo)轉(zhuǎn)換之后的mark區(qū)域區(qū)域進(jìn)行自動(dòng)截圖。

15、優(yōu)選地，所述mark區(qū)域區(qū)域通過(guò)python程序中自動(dòng)截圖模塊進(jìn)行自動(dòng)截圖。

16、優(yōu)選地，所述將mark區(qū)域截圖，并抽取圖案的輪廓線后，其中的輪廓線為gds形式文件。

17、優(yōu)選地，所述設(shè)定相似度的對(duì)比的閾值包括：

18、設(shè)定抽取的輪廓線與gds形式文件中mark區(qū)域中圖案的相似度的閾值，所述閾值為0.8～0.9。

19、優(yōu)選地，通過(guò)jdv軟件系統(tǒng)獲取輪廓線與gds形式文件中圖案的相似度，并輸出對(duì)比結(jié)果，并設(shè)定相似度的對(duì)比的閾值，若輸出的對(duì)比結(jié)果在閾值范圍內(nèi)，則該mark區(qū)域檢測(cè)結(jié)果輸出為ok，若輸出的對(duì)比結(jié)果未在閾值范圍內(nèi)，則該mark區(qū)域檢測(cè)結(jié)果輸出為ng。

20、基于相同的發(fā)明思想，本發(fā)明還提供了一種晶圓mark區(qū)域的檢測(cè)系統(tǒng)，包括：

21、獲取模塊，用于提供一晶圓gds形式文件，以確認(rèn)被檢測(cè)的mark區(qū)域，所述mark區(qū)域具有待檢測(cè)的圖案；

22、截圖模塊，用于將mark區(qū)域截圖，并抽取圖案的輪廓線；

23、對(duì)比模塊，用于獲取輪廓線與gds形式文件中圖案的相似度，并輸出對(duì)比結(jié)果；設(shè)定相似度的對(duì)比的閾值，若輸出的對(duì)比結(jié)果在閾值范圍內(nèi)，則該mark區(qū)域檢測(cè)結(jié)果輸出為ok，若輸出的對(duì)比結(jié)果未在閾值范圍內(nèi)，則該mark區(qū)域檢測(cè)結(jié)果輸出為ng。

24、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的晶圓mark區(qū)域的檢測(cè)方法具有如下優(yōu)點(diǎn)：

25、本發(fā)明通過(guò)抽取mark區(qū)域截圖的輪廓線，從而能夠?qū)ark區(qū)域截圖轉(zhuǎn)化成gds形式文件，進(jìn)而能夠?qū)⒊槿ark區(qū)域截圖的輪廓線圖案進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)和縮放，使得mark區(qū)域截圖文件與gds形式的圖案直接進(jìn)行比對(duì)，起到減少檢查時(shí)間，提高檢查效率的效果。

26、本發(fā)明提供的晶圓mark區(qū)域的檢測(cè)系統(tǒng)與本發(fā)明提供的晶圓mark區(qū)域的檢測(cè)方法屬于同一發(fā)明構(gòu)思，因此，本發(fā)明提供的晶圓mark區(qū)域的檢測(cè)系統(tǒng)至少具有本發(fā)明提供的晶圓mark區(qū)域的檢測(cè)方法的所有優(yōu)點(diǎn)，在晶圓檢測(cè)mark區(qū)域是否存在，以及存在的位置是否正確時(shí)，能夠起到減少檢查時(shí)間，提高檢查效率的效果。

技術(shù)特征：

1.一種晶圓mark區(qū)域的檢測(cè)方法，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓mark區(qū)域的檢測(cè)方法，其特征在于，所述提供一晶圓gds形式文件，以確認(rèn)被檢測(cè)的mark區(qū)域包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓mark區(qū)域的檢測(cè)方法，其特征在于，所述晶圓包括多個(gè)被檢測(cè)的mark區(qū)域。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓mark區(qū)域的檢測(cè)方法，其特征在于，所述待檢測(cè)的圖案包括對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記、測(cè)試鍵、工藝控制標(biāo)記、缺陷標(biāo)記、關(guān)鍵尺寸標(biāo)記。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓mark區(qū)域的檢測(cè)方法，其特征在于，所述將mark區(qū)域截圖，并抽取圖案的輪廓線包括：

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶圓mark區(qū)域的檢測(cè)方法，其特征在于，所述mark區(qū)域區(qū)域通過(guò)python程序中自動(dòng)截圖模塊進(jìn)行自動(dòng)截圖。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓mark區(qū)域的檢測(cè)方法，其特征在于，所述將mark區(qū)域截圖，并抽取圖案的輪廓線后，其中的輪廓線為gds形式文件。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓mark區(qū)域的檢測(cè)方法，其特征在于，所述設(shè)定相似度的對(duì)比的閾值包括：

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓mark區(qū)域的檢測(cè)方法，其特征在于，通過(guò)jdv軟件系統(tǒng)獲取輪廓線與gds形式文件中圖案的相似度，并輸出對(duì)比結(jié)果，并設(shè)定相似度的對(duì)比的閾值，若輸出的對(duì)比結(jié)果在閾值范圍內(nèi)，則該mark區(qū)域檢測(cè)結(jié)果輸出為ok，若輸出的對(duì)比結(jié)果未在閾值范圍內(nèi)，則該mark區(qū)域檢測(cè)結(jié)果輸出為ng。

10.一種晶圓mark區(qū)域的檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，包括：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種晶圓Mark區(qū)域的檢測(cè)方法及系統(tǒng)，屬于半導(dǎo)體領(lǐng)域。該晶圓Mark區(qū)域的檢測(cè)方法包括提供一晶圓GDS形式文件，以確認(rèn)被檢測(cè)的Mark區(qū)域，Mark區(qū)域具有待檢測(cè)的圖案。將Mark區(qū)域截圖，并抽取圖案的輪廓線。獲取輪廓線與GDS形式文件中圖案的相似度，并輸出對(duì)比結(jié)果。設(shè)定相似度的對(duì)比的閾值，若輸出的對(duì)比結(jié)果在閾值范圍內(nèi)，則該Mark區(qū)域檢測(cè)結(jié)果輸出為OK，若輸出的對(duì)比結(jié)果未在閾值范圍內(nèi)，則該Mark區(qū)域檢測(cè)結(jié)果輸出為NG。本發(fā)明通過(guò)抽取Mark區(qū)域截圖的輪廓線，從而能夠?qū)ark區(qū)域截圖轉(zhuǎn)化成GDS形式文件，進(jìn)而能夠?qū)⒊槿ark區(qū)域截圖的輪廓線圖案進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)和縮放，使得Mark區(qū)域截圖文件與GDS形式的圖案直接進(jìn)行比對(duì)，起到減少檢查時(shí)間，提高檢查效率的效果。

技術(shù)研發(fā)人員：周侃,周文湛
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海華力集成電路制造有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/9