1.一種基于故障特征優(yōu)化的度量網(wǎng)絡少樣本故障診斷方法，其特征在于，其用于半導體鋁堆疊刻蝕過程故障診斷；包括以下步驟：
2.根據(jù)權利要求1所述的度量網(wǎng)絡少樣本故障診斷方法，其特征在于，步驟1)中，標準化預處理后的各維數(shù)據(jù)具有均值為0，方差為1的特性，對于一個經(jīng)過處理后的數(shù)據(jù)x∈rn×m，其中n為樣本數(shù)量，m為一個樣本中的變量數(shù)量，標準化預處理表示為：
3.根據(jù)權利要求1所述的度量網(wǎng)絡少樣本故障診斷方法，其特征在于，步驟1)中，不同故障類型的機器狀態(tài)傳感器數(shù)據(jù)包括18個全局變量：bcl3流量、cl2流量、氦氣壓力、腔室壓力、閥門、rf底部功率、rfb反射功率、rf調諧器、rf負載、相位誤差、rf功率、rf阻抗、tcp調諧器、tcp相位誤差、tcp阻抗、tcp頂部功率、tcp反射功率、tcp負載；故障類型種類為21種。
4.根據(jù)權利要求1所述的度量網(wǎng)絡少樣本故障診斷方法，其特征在于，步驟2)中，嵌入模塊由三層全連接層和兩層relu激活函數(shù)組成，關系模塊由兩層全連接層、一層relu激活層與一層sigmoid激活層組成；統(tǒng)一模塊由一層全連接層和一層relu激活層組成。
5.根據(jù)權利要求1所述的度量網(wǎng)絡少樣本故障診斷方法，其特征在于，步驟2)中，統(tǒng)一模塊將全局分支中的查詢集樣本在變量維度以氣體流量和壓力、射頻頻率與變壓器耦合等離子體三個部分的機理知識劃分全局變量為3組局部變量。
6.根據(jù)權利要求1所述的度量網(wǎng)絡少樣本故障診斷方法，其特征在于，步驟2)中，雙分支度量網(wǎng)絡采用對比損失函數(shù)進行訓練，公式如下：