本申請涉及半導(dǎo)體檢測，尤其涉及一種用于驗證電子束掃描準(zhǔn)確性的方法、裝置、設(shè)備及介質(zhì)。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中，可以通過對產(chǎn)品進(jìn)行缺陷檢測以發(fā)現(xiàn)存在的問題。對半導(dǎo)體進(jìn)行缺陷檢測時，可以通過電子束掃描設(shè)備按照設(shè)計的電子束掃描方案產(chǎn)生電子束，利用所述電子束掃描待檢測的目標(biāo)，獲取目標(biāo)的掃描圖像，利用掃描圖像進(jìn)行缺陷檢測。因此，驗證電子束的掃描方案設(shè)計的準(zhǔn)確性，對缺陷檢測有著重要作用。

2、目前通常是通過上板編譯并且在線debug的方式來驗證電子束掃描設(shè)計的準(zhǔn)確性，當(dāng)發(fā)現(xiàn)問題后，更改邏輯代碼、再次上板編譯并繼續(xù)在線debug，以此反復(fù)直到設(shè)計方案滿足設(shè)計需求，該方案至少存在如下缺陷：

3、在線debug需要人工調(diào)試測試，耗費(fèi)時間長，導(dǎo)致設(shè)計效率較低。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本申請?zhí)峁┮环N用于驗證電子束掃描準(zhǔn)確性的方法、裝置、設(shè)備及介質(zhì)，用以至少解決現(xiàn)有技術(shù)中電子束掃描設(shè)計效率低的技術(shù)問題。

2、根據(jù)本申請的第一方面，提供一種用于驗證電子束掃描準(zhǔn)確性的方法，該方法包括：

3、獲取使電子束掃描設(shè)備產(chǎn)生電子束的電子束掃描算法；

4、利用第一仿真軟件對所述電子束掃描算法進(jìn)行仿真，輸出第一仿真結(jié)果；

5、利用第二仿真軟件和所述第一仿真軟件對所述電子束掃描算法進(jìn)行聯(lián)合仿真，輸出第二仿真結(jié)果；

6、對比所述第一仿真結(jié)果和所述第二仿真結(jié)果，得到對比結(jié)果；

7、基于對比結(jié)果驗證電子束掃描算法的參數(shù)設(shè)計準(zhǔn)確性。

8、在一些實施方式中，所述第一仿真軟件為matlab仿真軟件，所述第二仿真軟件為modelsim仿真軟件。

9、在一些實施方式中，所述對比所述第一仿真結(jié)果和所述第二仿真結(jié)果，得到對比結(jié)果，包括：

10、利用所述第一仿真結(jié)果模擬出第一掃描電壓波形；

11、利用所述第二仿真結(jié)果模擬出第二掃描電壓波形；

12、對比所述第一掃描電壓波形和第二掃描電壓波形，得到對比結(jié)果。

13、在一些實施方式中，所述第一掃描電壓波形包括：第一x電極電壓波形和第一y電極電壓波形，所述第二掃描電壓波形包括：第二x電極電壓波形和第二y電極電壓波形；

14、所述對比所述第一掃描電壓波形和所述第二掃描電壓波形，包括：

15、對比所述第一x電極電壓波形和所述第二x電極電壓波形的一致性；

16、對比所述第一y電極電壓波形和所述第二y電極電壓波形的一致性。

17、在一些實施方式中，所述方法還包括：

18、根據(jù)所述第一仿真結(jié)果或所述第二仿真結(jié)果生成電子束掃描軌跡圖像；

19、基于所述電子束掃描軌跡圖像校驗利用所述電子束掃描算法掃描獲得的掃描圖形的準(zhǔn)確性。

20、根據(jù)本申請的第二方面，提供一種用于驗證電子束掃描準(zhǔn)確性的裝置，所述裝置包括：

21、算法獲取模塊，用于獲取使電子束掃描設(shè)備產(chǎn)生電子束的電子束掃描算法；

22、第一仿真模塊，用于利用第一仿真軟件對所述電子束掃描算法進(jìn)行仿真，輸出第一仿真結(jié)果；

23、第二仿真模塊，用于利用第二仿真軟件和所述第一仿真軟件對所述電子束掃描算法進(jìn)行聯(lián)合仿真，輸出第二仿真結(jié)果；

24、波形對比模塊，用于對比所述第一仿真結(jié)果和所述第二仿真結(jié)果，得到對比結(jié)果；

25、參數(shù)驗證模塊，用于基于對比結(jié)果驗證電子束掃描算法的參數(shù)設(shè)計準(zhǔn)確性。

26、在一些實施方式中，所述裝置還包括軌跡驗證模塊，用于根據(jù)所述第一仿真結(jié)果或所述第二仿真結(jié)果生成電子束掃描軌跡圖像，基于所述電子束掃描軌跡圖像校驗利用所述電子束掃描算法掃描獲得的掃描圖形的準(zhǔn)確性。

27、根據(jù)本申請的第三方面，提供一種計算機(jī)程序產(chǎn)品，所述計算機(jī)程序產(chǎn)品包含計算機(jī)程序，其中所述計算機(jī)程序被處理器執(zhí)行時，實現(xiàn)上述用于驗證電子束掃描準(zhǔn)確性的方法的步驟。

28、根據(jù)本申請的第四方面，提供一種計算機(jī)設(shè)備，包括：處理器以及存儲有計算機(jī)程序的存儲器；所述處理器執(zhí)行所述計算機(jī)程序時實現(xiàn)上述用于驗證電子束掃描準(zhǔn)確性的方法的步驟。

29、根據(jù)本申請的第五方面，提供一種計算機(jī)可讀存儲介質(zhì)，所述計算機(jī)可讀存儲介質(zhì)上存儲有計算機(jī)程序，所述計算機(jī)程序在被處理器執(zhí)行時實現(xiàn)上述用于驗證電子束掃描準(zhǔn)確性的方法的步驟。

30、綜上所述，本申請?zhí)峁┑挠糜隍炞C電子束掃描準(zhǔn)確性的方法、裝置、計算機(jī)程序產(chǎn)品、計算機(jī)設(shè)備及介質(zhì)至少具有以下有益效果：

31、采用兩個仿真軟件基于電子束掃描算法進(jìn)行仿真，第一仿真軟件仿真產(chǎn)生第一仿真結(jié)果，第二仿真軟件與第一仿真軟件對電子束掃描算法進(jìn)行聯(lián)合仿真產(chǎn)生第二仿真結(jié)果，通過對比兩個仿真結(jié)果以驗證電子束掃描算法的參數(shù)設(shè)計準(zhǔn)確性；如此，在設(shè)計電子束掃描方案編譯電子束掃描算法時，可以通過仿真對比驗證電子束掃描算法中參數(shù)設(shè)計的準(zhǔn)確性，保證設(shè)計方案的準(zhǔn)確性，而且，相比于傳統(tǒng)需要人工在線debug的方式，可以縮短測試耗時，減少完成設(shè)計所需要的時間，從而提高設(shè)計效率。

技術(shù)特征：

1.一種用于驗證電子束掃描準(zhǔn)確性的方法，其特征在于，所述方法包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一仿真軟件為matlab仿真軟件，所述第二仿真軟件為modelsim仿真軟件。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述對比所述第一仿真結(jié)果和所述第二仿真結(jié)果，得到對比結(jié)果，包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述第一掃描電壓波形包括：第一x電極電壓波形和第一y電極電壓波形，所述第二掃描電壓波形包括：第二x電極電壓波形和第二y電極電壓波形；

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：

6.一種用于驗證電子束掃描準(zhǔn)確性的裝置，其特征在于，所述裝置包括：

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括軌跡驗證模塊，用于根據(jù)所述第一仿真結(jié)果或所述第二仿真結(jié)果生成電子束掃描軌跡圖像，基于所述電子束掃描軌跡圖像校驗利用所述電子束掃描算法掃描獲得的掃描圖形的準(zhǔn)確性。

8.一種計算機(jī)程序產(chǎn)品，其特征在于，所述計算機(jī)程序產(chǎn)品包含計算機(jī)程序，其中所述計算機(jī)程序被處理器執(zhí)行時，實現(xiàn)如權(quán)利要求1至5中任一項所述的方法的步驟。

9.一種計算機(jī)設(shè)備，其特征在于，包括：處理器以及存儲有計算機(jī)程序的存儲器；所述處理器執(zhí)行所述計算機(jī)程序時實現(xiàn)根據(jù)權(quán)利要求1-5中任意一項所述的方法的步驟。

10.一種計算機(jī)可讀存儲介質(zhì)，其特征在于，所述計算機(jī)可讀存儲介質(zhì)上存儲有計算機(jī)程序，所述計算機(jī)程序在被處理器執(zhí)行時實現(xiàn)根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項所述的方法的步驟。

技術(shù)總結(jié)
本申請?zhí)峁┮环N用于驗證電子束掃描準(zhǔn)確性的方法、裝置、設(shè)備及介質(zhì)，該方法包括：獲取使電子束掃描設(shè)備產(chǎn)生電子束的電子束掃描算法；利用第一仿真軟件對電子束掃描算法進(jìn)行仿真，輸出第一仿真結(jié)果；利用第二仿真軟件和第一仿真軟件對電子束掃描算法進(jìn)行聯(lián)合仿真，輸出第二仿真結(jié)果；對比第一仿真結(jié)果和第二仿真結(jié)果，得到對比結(jié)果；基于對比結(jié)果驗證電子束掃描算法的參數(shù)設(shè)計準(zhǔn)確性。采用上述方案，可以提高電子束掃描設(shè)計的效率以及確保設(shè)計方案的準(zhǔn)確性。

技術(shù)研發(fā)人員：高爽
受保護(hù)的技術(shù)使用者：東方晶源微電子科技（北京）股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/30