本發(fā)明涉及半導(dǎo)體,具體涉及一種產(chǎn)能預(yù)測(cè)方法及裝置、存儲(chǔ)介質(zhì)、電子設(shè)備。
背景技術(shù):
1、隨著芯片技術(shù)的不斷發(fā)展,對(duì)晶圓制造的產(chǎn)能需求逐漸增加。晶圓產(chǎn)品的分類愈發(fā)復(fù)雜。對(duì)于大規(guī)模生產(chǎn)晶圓的半導(dǎo)體晶圓代工廠而言,工廠產(chǎn)能預(yù)測(cè)會(huì)隨著產(chǎn)品的組合復(fù)雜程度而變得困難。
2、因此,如何合理地對(duì)晶圓產(chǎn)品分類分組,以將復(fù)雜的產(chǎn)品需求簡(jiǎn)化,從而可以準(zhǔn)確預(yù)測(cè)工廠未來的產(chǎn)能瓶頸,成為亟待解決的問題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本發(fā)明要解決的問題是:如何準(zhǔn)確預(yù)測(cè)工廠未來的產(chǎn)能瓶頸。
2、為解決上述問題,本發(fā)明實(shí)施例提供了一種產(chǎn)能預(yù)測(cè)方法,所述方法包括:
3、對(duì)待分類的晶圓產(chǎn)品進(jìn)行初步分類;
4、基于產(chǎn)品特性,分別對(duì)每個(gè)初步分類中晶圓產(chǎn)品進(jìn)行模糊聚類,得到各初步分類中晶圓產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的動(dòng)態(tài)分類圖;
5、基于所述動(dòng)態(tài)分類圖,得到所述待分類的晶圓產(chǎn)品的最終分類結(jié)果;
6、基于最終分類結(jié)果預(yù)測(cè)產(chǎn)能。
7、可選地,所述產(chǎn)品特性包括以下至少兩種:
8、光罩層數(shù);
9、金屬層數(shù);
10、離子注入層數(shù);
11、化學(xué)機(jī)械研磨次數(shù)。
12、可選地,所述基于產(chǎn)品特性,分別對(duì)每個(gè)初步分類中晶圓產(chǎn)品進(jìn)行模糊聚類,得到各初步分類中晶圓產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的動(dòng)態(tài)分類圖,包括:
13、根據(jù)產(chǎn)品特性,構(gòu)造每個(gè)初步分類中晶圓產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的特性指標(biāo)矩陣;
14、對(duì)各特性指標(biāo)矩陣進(jìn)行數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)化處理,得到標(biāo)準(zhǔn)化后的特性矩陣;
15、基于各所述標(biāo)準(zhǔn)化后的特性矩陣,分別構(gòu)造對(duì)應(yīng)的模糊相似矩陣;
16、利用模糊傳遞包法,得到各所述模糊相似矩陣對(duì)應(yīng)的模糊等價(jià)矩陣;
17、基于所述模糊等價(jià)矩陣,得到各初步分類中晶圓產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的動(dòng)態(tài)分類圖。
18、可選地,所述對(duì)各特性指標(biāo)矩陣進(jìn)行數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)化處理,得到標(biāo)準(zhǔn)化后的特性矩陣,包括:
19、使用最大值法,對(duì)各特性指標(biāo)矩陣進(jìn)行數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)化處理,得到標(biāo)準(zhǔn)化后的特性矩陣。
20、可選地,所述基于各所述標(biāo)準(zhǔn)化后的特性矩陣,分別構(gòu)造對(duì)應(yīng)的模糊相似矩陣,包括:
21、基于各所述標(biāo)準(zhǔn)化后的特性矩陣,使用最大最小法,構(gòu)造對(duì)應(yīng)的模糊相似矩陣。
22、可選地,所述基于所述模糊等價(jià)矩陣,得到各初步分類中晶圓產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的動(dòng)態(tài)分類圖,包括:
23、將所述模糊等價(jià)矩陣中各元素從大到小排序,依次作為分類閾值的取值點(diǎn);
24、利用各取值點(diǎn)下的分類閾值,分別對(duì)所述模糊等價(jià)矩陣進(jìn)行截取,得到各初步分類中晶圓產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的動(dòng)態(tài)分類圖。
25、可選地,所述對(duì)待分類的晶圓產(chǎn)品進(jìn)行初步分類,包括:
26、按照技術(shù)節(jié)點(diǎn)、尺寸、應(yīng)用平臺(tái)中的一項(xiàng)或者多項(xiàng),對(duì)待分類的晶圓產(chǎn)品進(jìn)行初步分類。
27、可選地,所述基于所述動(dòng)態(tài)分類圖,得到所述待分類的晶圓產(chǎn)品的最終分類結(jié)果,包括:
28、結(jié)合實(shí)際產(chǎn)能瓶頸及需求,對(duì)所述動(dòng)態(tài)分類圖中的分類結(jié)果進(jìn)行動(dòng)態(tài)調(diào)整。
29、本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種產(chǎn)能預(yù)測(cè)裝置,所述裝置包括:
30、初步分類單元,適于對(duì)待分類的晶圓產(chǎn)品進(jìn)行初步分類;
31、模糊聚類單元,適于基于產(chǎn)品特性,分別對(duì)每個(gè)初步分類中晶圓產(chǎn)品進(jìn)行模糊聚類,得到各初步分類中晶圓產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的動(dòng)態(tài)分類圖;
32、分類調(diào)整單元,適于基于所述動(dòng)態(tài)分類圖,得到所述待分類的晶圓產(chǎn)品的最終分類結(jié)果;
33、產(chǎn)能預(yù)測(cè)單元,適于基于最終分類結(jié)果預(yù)測(cè)產(chǎn)能。
34、可選地,所述模糊聚類單元適于基于以下至少兩種產(chǎn)品特性對(duì)每個(gè)初步分類中晶圓產(chǎn)品進(jìn)行模糊聚類:
35、光罩層數(shù);
36、金屬層數(shù);
37、離子注入層數(shù);
38、化學(xué)機(jī)械研磨次數(shù)。
39、可選地,所述模糊聚類單元,包括:
40、特性指標(biāo)矩陣構(gòu)造子單元,適于根據(jù)產(chǎn)品特性,構(gòu)造每個(gè)初步分類中晶圓產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的特性指標(biāo)矩陣;
41、標(biāo)準(zhǔn)化子單元,適于對(duì)各特性指標(biāo)矩陣進(jìn)行數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)化處理,得到標(biāo)準(zhǔn)化后的特性矩陣;
42、模糊相似矩陣構(gòu)造子單元,適于基于各所述標(biāo)準(zhǔn)化后的特性矩陣,分別構(gòu)造對(duì)應(yīng)的模糊相似矩陣;
43、模糊等價(jià)矩陣構(gòu)造子單元,適于利用模糊傳遞包法,得到各所述模糊相似矩陣對(duì)應(yīng)的模糊等價(jià)矩陣;
44、動(dòng)態(tài)聚類子單元,適于基于所述模糊等價(jià)矩陣,得到各初步分類中晶圓產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的動(dòng)態(tài)分類圖。
45、可選地,所述標(biāo)準(zhǔn)化子單元,適于使用最大值法,對(duì)各特性指標(biāo)矩陣進(jìn)行數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)化處理,得到標(biāo)準(zhǔn)化后的特性矩陣。
46、可選地,所述模糊相似矩陣構(gòu)造子單元,適于基于各所述標(biāo)準(zhǔn)化后的特性矩陣,使用最大最小法,構(gòu)造對(duì)應(yīng)的模糊相似矩陣。
47、可選地,所述動(dòng)態(tài)聚類子單元,適于將所述模糊等價(jià)矩陣中各元素從大到小排序,依次作為分類閾值的取值點(diǎn),利用各取值點(diǎn)下的分類閾值,分別對(duì)所述模糊等價(jià)矩陣進(jìn)行截取,得到各初步分類中晶圓產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的動(dòng)態(tài)分類圖。
48、可選地,所述初步分類單元,適于按照技術(shù)節(jié)點(diǎn)、尺寸、應(yīng)用平臺(tái)中的一項(xiàng)或者多項(xiàng),對(duì)待分類的晶圓產(chǎn)品進(jìn)行初步分類。
49、可選地,所述分類調(diào)整單元,適于結(jié)合生產(chǎn)設(shè)備的實(shí)際產(chǎn)能瓶頸及生產(chǎn)設(shè)備的需求,對(duì)所述動(dòng)態(tài)分類圖中的分類結(jié)果進(jìn)行動(dòng)態(tài)調(diào)整。
50、本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì),其上存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序,所述計(jì)算機(jī)程序被處理器執(zhí)行,以實(shí)現(xiàn)上述任一種所述方法的步驟。
51、本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種電子設(shè)備,包括存儲(chǔ)器和處理器,所述存儲(chǔ)器上存儲(chǔ)有能夠在所述處理器上運(yùn)行的計(jì)算機(jī)程序,所述處理器運(yùn)行所述計(jì)算機(jī)程序時(shí)執(zhí)行上述任一種所述方法的步驟。
52、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明實(shí)施例的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn):
53、應(yīng)用本發(fā)明的方案,在對(duì)晶圓產(chǎn)品進(jìn)行初步分類后,再對(duì)每個(gè)初步分類中晶圓產(chǎn)品進(jìn)行模糊聚類,得到各初步分類中晶圓產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的動(dòng)態(tài)分類圖,后續(xù)可以基于動(dòng)態(tài)分類圖,得到待分類的晶圓產(chǎn)品的最終分類結(jié)果,最終可以基于最終分類結(jié)果預(yù)測(cè)產(chǎn)能。相對(duì)于僅基于初步分類結(jié)構(gòu)預(yù)測(cè)產(chǎn)能,可以進(jìn)一步基于產(chǎn)品特性對(duì)晶圓產(chǎn)品進(jìn)行組合,使得最終分類結(jié)果更加符合產(chǎn)品特性,從而可以簡(jiǎn)化晶圓產(chǎn)品組合,產(chǎn)能瓶頸的預(yù)測(cè)也就更準(zhǔn)確,保證工廠產(chǎn)能的最大輸出。
1.一種產(chǎn)能預(yù)測(cè)方法,其特征在于,包括:
2.如權(quán)利要求1所述的產(chǎn)能預(yù)測(cè)方法,其特征在于,所述產(chǎn)品特性包括以下至少兩種:
3.如權(quán)利要求1所述的產(chǎn)能預(yù)測(cè)方法,其特征在于,所述基于產(chǎn)品特性,分別對(duì)每個(gè)初步分類中晶圓產(chǎn)品進(jìn)行模糊聚類,得到各初步分類中晶圓產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的動(dòng)態(tài)分類圖,包括:
4.如權(quán)利要求3所述的產(chǎn)能預(yù)測(cè)方法,其特征在于,所述對(duì)各特性指標(biāo)矩陣進(jìn)行數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)化處理,得到標(biāo)準(zhǔn)化后的特性矩陣,包括:
5.如權(quán)利要求3所述的產(chǎn)能預(yù)測(cè)方法,其特征在于,所述基于各所述標(biāo)準(zhǔn)化后的特性矩陣,分別構(gòu)造對(duì)應(yīng)的模糊相似矩陣,包括:
6.如權(quán)利要求3所述的產(chǎn)能預(yù)測(cè)方法,其特征在于,所述基于所述模糊等價(jià)矩陣,得到各初步分類中晶圓產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的動(dòng)態(tài)分類圖,包括:
7.如權(quán)利要求1至6任一項(xiàng)所述的產(chǎn)能預(yù)測(cè)方法,其特征在于,所述對(duì)待分類的晶圓產(chǎn)品進(jìn)行初步分類,包括:
8.如權(quán)利要求1至6任一項(xiàng)所述的產(chǎn)能預(yù)測(cè)方法,其特征在于,所述基于所述動(dòng)態(tài)分類圖,得到所述待分類的晶圓產(chǎn)品的最終分類結(jié)果,包括:
9.一種產(chǎn)能預(yù)測(cè)裝置,其特征在于,包括:
10.如權(quán)利要求9所述的產(chǎn)能預(yù)測(cè)裝置,其特征在于,所述模糊聚類單元適于基于以下至少兩種產(chǎn)品特性對(duì)每個(gè)初步分類中晶圓產(chǎn)品進(jìn)行模糊聚類:
11.如權(quán)利要求9所述的產(chǎn)能預(yù)測(cè)裝置,其特征在于,所述模糊聚類單元,包括:
12.如權(quán)利要求11所述的產(chǎn)能預(yù)測(cè)裝置,其特征在于,所述標(biāo)準(zhǔn)化子單元,適于使用最大值法,對(duì)各特性指標(biāo)矩陣進(jìn)行數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)化處理,得到標(biāo)準(zhǔn)化后的特性矩陣。
13.如權(quán)利要求11所述的產(chǎn)能預(yù)測(cè)裝置,其特征在于,所述模糊相似矩陣構(gòu)造子單元,適于基于各所述標(biāo)準(zhǔn)化后的特性矩陣,使用最大最小法,構(gòu)造對(duì)應(yīng)的模糊相似矩陣。
14.如權(quán)利要求11所述的產(chǎn)能預(yù)測(cè)裝置,其特征在于,所述動(dòng)態(tài)聚類子單元,適于將所述模糊等價(jià)矩陣中各元素從大到小排序,依次作為分類閾值的取值點(diǎn),利用各取值點(diǎn)下的分類閾值,分別對(duì)所述模糊等價(jià)矩陣進(jìn)行截取,得到各初步分類中晶圓產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的動(dòng)態(tài)分類圖。
15.如權(quán)利要求9至14任一項(xiàng)所述的產(chǎn)能預(yù)測(cè)裝置,其特征在于,所述初步分類單元,適于按照技術(shù)節(jié)點(diǎn)、尺寸、應(yīng)用平臺(tái)中的一項(xiàng)或者多項(xiàng),對(duì)待分類的晶圓產(chǎn)品進(jìn)行初步分類。
16.如權(quán)利要求9至14任一項(xiàng)所述的產(chǎn)能預(yù)測(cè)裝置,其特征在于,所述分類調(diào)整單元,適于結(jié)合生產(chǎn)設(shè)備的實(shí)際產(chǎn)能瓶頸及生產(chǎn)需求,對(duì)所述動(dòng)態(tài)分類圖中的分類結(jié)果進(jìn)行動(dòng)態(tài)調(diào)整。
17.一種計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì),其上存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序,其特征在于,所述計(jì)算機(jī)程序被處理器執(zhí)行,以實(shí)現(xiàn)權(quán)利要求1至8任一項(xiàng)所述方法的步驟。
18.一種電子設(shè)備,包括存儲(chǔ)器和處理器,所述存儲(chǔ)器上存儲(chǔ)有能夠在所述處理器上運(yùn)行的計(jì)算機(jī)程序,其特征在于,所述處理器運(yùn)行所述計(jì)算機(jī)程序時(shí)執(zhí)行權(quán)利要求1至8任一項(xiàng)所述方法的步驟。