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產(chǎn)能預(yù)測(cè)方法及裝置、存儲(chǔ)介質(zhì)、電子設(shè)備與流程

文檔序號(hào):40544990發(fā)布日期:2025-01-03 11:04閱讀:12來源:國(guó)知局
產(chǎn)能預(yù)測(cè)方法及裝置、存儲(chǔ)介質(zhì)、電子設(shè)備與流程

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體,具體涉及一種產(chǎn)能預(yù)測(cè)方法及裝置、存儲(chǔ)介質(zhì)、電子設(shè)備。


背景技術(shù):

1、隨著芯片技術(shù)的不斷發(fā)展,對(duì)晶圓制造的產(chǎn)能需求逐漸增加。晶圓產(chǎn)品的分類愈發(fā)復(fù)雜。對(duì)于大規(guī)模生產(chǎn)晶圓的半導(dǎo)體晶圓代工廠而言,工廠產(chǎn)能預(yù)測(cè)會(huì)隨著產(chǎn)品的組合復(fù)雜程度而變得困難。

2、因此,如何合理地對(duì)晶圓產(chǎn)品分類分組,以將復(fù)雜的產(chǎn)品需求簡(jiǎn)化,從而可以準(zhǔn)確預(yù)測(cè)工廠未來的產(chǎn)能瓶頸,成為亟待解決的問題。


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明要解決的問題是:如何準(zhǔn)確預(yù)測(cè)工廠未來的產(chǎn)能瓶頸。

2、為解決上述問題,本發(fā)明實(shí)施例提供了一種產(chǎn)能預(yù)測(cè)方法,所述方法包括:

3、對(duì)待分類的晶圓產(chǎn)品進(jìn)行初步分類;

4、基于產(chǎn)品特性,分別對(duì)每個(gè)初步分類中晶圓產(chǎn)品進(jìn)行模糊聚類,得到各初步分類中晶圓產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的動(dòng)態(tài)分類圖;

5、基于所述動(dòng)態(tài)分類圖,得到所述待分類的晶圓產(chǎn)品的最終分類結(jié)果;

6、基于最終分類結(jié)果預(yù)測(cè)產(chǎn)能。

7、可選地,所述產(chǎn)品特性包括以下至少兩種:

8、光罩層數(shù);

9、金屬層數(shù);

10、離子注入層數(shù);

11、化學(xué)機(jī)械研磨次數(shù)。

12、可選地,所述基于產(chǎn)品特性,分別對(duì)每個(gè)初步分類中晶圓產(chǎn)品進(jìn)行模糊聚類,得到各初步分類中晶圓產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的動(dòng)態(tài)分類圖,包括:

13、根據(jù)產(chǎn)品特性,構(gòu)造每個(gè)初步分類中晶圓產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的特性指標(biāo)矩陣;

14、對(duì)各特性指標(biāo)矩陣進(jìn)行數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)化處理,得到標(biāo)準(zhǔn)化后的特性矩陣;

15、基于各所述標(biāo)準(zhǔn)化后的特性矩陣,分別構(gòu)造對(duì)應(yīng)的模糊相似矩陣;

16、利用模糊傳遞包法,得到各所述模糊相似矩陣對(duì)應(yīng)的模糊等價(jià)矩陣;

17、基于所述模糊等價(jià)矩陣,得到各初步分類中晶圓產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的動(dòng)態(tài)分類圖。

18、可選地,所述對(duì)各特性指標(biāo)矩陣進(jìn)行數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)化處理,得到標(biāo)準(zhǔn)化后的特性矩陣,包括:

19、使用最大值法,對(duì)各特性指標(biāo)矩陣進(jìn)行數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)化處理,得到標(biāo)準(zhǔn)化后的特性矩陣。

20、可選地,所述基于各所述標(biāo)準(zhǔn)化后的特性矩陣,分別構(gòu)造對(duì)應(yīng)的模糊相似矩陣,包括:

21、基于各所述標(biāo)準(zhǔn)化后的特性矩陣,使用最大最小法,構(gòu)造對(duì)應(yīng)的模糊相似矩陣。

22、可選地,所述基于所述模糊等價(jià)矩陣,得到各初步分類中晶圓產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的動(dòng)態(tài)分類圖,包括:

23、將所述模糊等價(jià)矩陣中各元素從大到小排序,依次作為分類閾值的取值點(diǎn);

24、利用各取值點(diǎn)下的分類閾值,分別對(duì)所述模糊等價(jià)矩陣進(jìn)行截取,得到各初步分類中晶圓產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的動(dòng)態(tài)分類圖。

25、可選地,所述對(duì)待分類的晶圓產(chǎn)品進(jìn)行初步分類,包括:

26、按照技術(shù)節(jié)點(diǎn)、尺寸、應(yīng)用平臺(tái)中的一項(xiàng)或者多項(xiàng),對(duì)待分類的晶圓產(chǎn)品進(jìn)行初步分類。

27、可選地,所述基于所述動(dòng)態(tài)分類圖,得到所述待分類的晶圓產(chǎn)品的最終分類結(jié)果,包括:

28、結(jié)合實(shí)際產(chǎn)能瓶頸及需求,對(duì)所述動(dòng)態(tài)分類圖中的分類結(jié)果進(jìn)行動(dòng)態(tài)調(diào)整。

29、本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種產(chǎn)能預(yù)測(cè)裝置,所述裝置包括:

30、初步分類單元,適于對(duì)待分類的晶圓產(chǎn)品進(jìn)行初步分類;

31、模糊聚類單元,適于基于產(chǎn)品特性,分別對(duì)每個(gè)初步分類中晶圓產(chǎn)品進(jìn)行模糊聚類,得到各初步分類中晶圓產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的動(dòng)態(tài)分類圖;

32、分類調(diào)整單元,適于基于所述動(dòng)態(tài)分類圖,得到所述待分類的晶圓產(chǎn)品的最終分類結(jié)果;

33、產(chǎn)能預(yù)測(cè)單元,適于基于最終分類結(jié)果預(yù)測(cè)產(chǎn)能。

34、可選地,所述模糊聚類單元適于基于以下至少兩種產(chǎn)品特性對(duì)每個(gè)初步分類中晶圓產(chǎn)品進(jìn)行模糊聚類:

35、光罩層數(shù);

36、金屬層數(shù);

37、離子注入層數(shù);

38、化學(xué)機(jī)械研磨次數(shù)。

39、可選地,所述模糊聚類單元,包括:

40、特性指標(biāo)矩陣構(gòu)造子單元,適于根據(jù)產(chǎn)品特性,構(gòu)造每個(gè)初步分類中晶圓產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的特性指標(biāo)矩陣;

41、標(biāo)準(zhǔn)化子單元,適于對(duì)各特性指標(biāo)矩陣進(jìn)行數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)化處理,得到標(biāo)準(zhǔn)化后的特性矩陣;

42、模糊相似矩陣構(gòu)造子單元,適于基于各所述標(biāo)準(zhǔn)化后的特性矩陣,分別構(gòu)造對(duì)應(yīng)的模糊相似矩陣;

43、模糊等價(jià)矩陣構(gòu)造子單元,適于利用模糊傳遞包法,得到各所述模糊相似矩陣對(duì)應(yīng)的模糊等價(jià)矩陣;

44、動(dòng)態(tài)聚類子單元,適于基于所述模糊等價(jià)矩陣,得到各初步分類中晶圓產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的動(dòng)態(tài)分類圖。

45、可選地,所述標(biāo)準(zhǔn)化子單元,適于使用最大值法,對(duì)各特性指標(biāo)矩陣進(jìn)行數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)化處理,得到標(biāo)準(zhǔn)化后的特性矩陣。

46、可選地,所述模糊相似矩陣構(gòu)造子單元,適于基于各所述標(biāo)準(zhǔn)化后的特性矩陣,使用最大最小法,構(gòu)造對(duì)應(yīng)的模糊相似矩陣。

47、可選地,所述動(dòng)態(tài)聚類子單元,適于將所述模糊等價(jià)矩陣中各元素從大到小排序,依次作為分類閾值的取值點(diǎn),利用各取值點(diǎn)下的分類閾值,分別對(duì)所述模糊等價(jià)矩陣進(jìn)行截取,得到各初步分類中晶圓產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的動(dòng)態(tài)分類圖。

48、可選地,所述初步分類單元,適于按照技術(shù)節(jié)點(diǎn)、尺寸、應(yīng)用平臺(tái)中的一項(xiàng)或者多項(xiàng),對(duì)待分類的晶圓產(chǎn)品進(jìn)行初步分類。

49、可選地,所述分類調(diào)整單元,適于結(jié)合生產(chǎn)設(shè)備的實(shí)際產(chǎn)能瓶頸及生產(chǎn)設(shè)備的需求,對(duì)所述動(dòng)態(tài)分類圖中的分類結(jié)果進(jìn)行動(dòng)態(tài)調(diào)整。

50、本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì),其上存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序,所述計(jì)算機(jī)程序被處理器執(zhí)行,以實(shí)現(xiàn)上述任一種所述方法的步驟。

51、本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種電子設(shè)備,包括存儲(chǔ)器和處理器,所述存儲(chǔ)器上存儲(chǔ)有能夠在所述處理器上運(yùn)行的計(jì)算機(jī)程序,所述處理器運(yùn)行所述計(jì)算機(jī)程序時(shí)執(zhí)行上述任一種所述方法的步驟。

52、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明實(shí)施例的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn):

53、應(yīng)用本發(fā)明的方案,在對(duì)晶圓產(chǎn)品進(jìn)行初步分類后,再對(duì)每個(gè)初步分類中晶圓產(chǎn)品進(jìn)行模糊聚類,得到各初步分類中晶圓產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的動(dòng)態(tài)分類圖,后續(xù)可以基于動(dòng)態(tài)分類圖,得到待分類的晶圓產(chǎn)品的最終分類結(jié)果,最終可以基于最終分類結(jié)果預(yù)測(cè)產(chǎn)能。相對(duì)于僅基于初步分類結(jié)構(gòu)預(yù)測(cè)產(chǎn)能,可以進(jìn)一步基于產(chǎn)品特性對(duì)晶圓產(chǎn)品進(jìn)行組合,使得最終分類結(jié)果更加符合產(chǎn)品特性,從而可以簡(jiǎn)化晶圓產(chǎn)品組合,產(chǎn)能瓶頸的預(yù)測(cè)也就更準(zhǔn)確,保證工廠產(chǎn)能的最大輸出。



技術(shù)特征:

1.一種產(chǎn)能預(yù)測(cè)方法,其特征在于,包括:

2.如權(quán)利要求1所述的產(chǎn)能預(yù)測(cè)方法,其特征在于,所述產(chǎn)品特性包括以下至少兩種:

3.如權(quán)利要求1所述的產(chǎn)能預(yù)測(cè)方法,其特征在于,所述基于產(chǎn)品特性,分別對(duì)每個(gè)初步分類中晶圓產(chǎn)品進(jìn)行模糊聚類,得到各初步分類中晶圓產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的動(dòng)態(tài)分類圖,包括:

4.如權(quán)利要求3所述的產(chǎn)能預(yù)測(cè)方法,其特征在于,所述對(duì)各特性指標(biāo)矩陣進(jìn)行數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)化處理,得到標(biāo)準(zhǔn)化后的特性矩陣,包括:

5.如權(quán)利要求3所述的產(chǎn)能預(yù)測(cè)方法,其特征在于,所述基于各所述標(biāo)準(zhǔn)化后的特性矩陣,分別構(gòu)造對(duì)應(yīng)的模糊相似矩陣,包括:

6.如權(quán)利要求3所述的產(chǎn)能預(yù)測(cè)方法,其特征在于,所述基于所述模糊等價(jià)矩陣,得到各初步分類中晶圓產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的動(dòng)態(tài)分類圖,包括:

7.如權(quán)利要求1至6任一項(xiàng)所述的產(chǎn)能預(yù)測(cè)方法,其特征在于,所述對(duì)待分類的晶圓產(chǎn)品進(jìn)行初步分類,包括:

8.如權(quán)利要求1至6任一項(xiàng)所述的產(chǎn)能預(yù)測(cè)方法,其特征在于,所述基于所述動(dòng)態(tài)分類圖,得到所述待分類的晶圓產(chǎn)品的最終分類結(jié)果,包括:

9.一種產(chǎn)能預(yù)測(cè)裝置,其特征在于,包括:

10.如權(quán)利要求9所述的產(chǎn)能預(yù)測(cè)裝置,其特征在于,所述模糊聚類單元適于基于以下至少兩種產(chǎn)品特性對(duì)每個(gè)初步分類中晶圓產(chǎn)品進(jìn)行模糊聚類:

11.如權(quán)利要求9所述的產(chǎn)能預(yù)測(cè)裝置,其特征在于,所述模糊聚類單元,包括:

12.如權(quán)利要求11所述的產(chǎn)能預(yù)測(cè)裝置,其特征在于,所述標(biāo)準(zhǔn)化子單元,適于使用最大值法,對(duì)各特性指標(biāo)矩陣進(jìn)行數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)化處理,得到標(biāo)準(zhǔn)化后的特性矩陣。

13.如權(quán)利要求11所述的產(chǎn)能預(yù)測(cè)裝置,其特征在于,所述模糊相似矩陣構(gòu)造子單元,適于基于各所述標(biāo)準(zhǔn)化后的特性矩陣,使用最大最小法,構(gòu)造對(duì)應(yīng)的模糊相似矩陣。

14.如權(quán)利要求11所述的產(chǎn)能預(yù)測(cè)裝置,其特征在于,所述動(dòng)態(tài)聚類子單元,適于將所述模糊等價(jià)矩陣中各元素從大到小排序,依次作為分類閾值的取值點(diǎn),利用各取值點(diǎn)下的分類閾值,分別對(duì)所述模糊等價(jià)矩陣進(jìn)行截取,得到各初步分類中晶圓產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的動(dòng)態(tài)分類圖。

15.如權(quán)利要求9至14任一項(xiàng)所述的產(chǎn)能預(yù)測(cè)裝置,其特征在于,所述初步分類單元,適于按照技術(shù)節(jié)點(diǎn)、尺寸、應(yīng)用平臺(tái)中的一項(xiàng)或者多項(xiàng),對(duì)待分類的晶圓產(chǎn)品進(jìn)行初步分類。

16.如權(quán)利要求9至14任一項(xiàng)所述的產(chǎn)能預(yù)測(cè)裝置,其特征在于,所述分類調(diào)整單元,適于結(jié)合生產(chǎn)設(shè)備的實(shí)際產(chǎn)能瓶頸及生產(chǎn)需求,對(duì)所述動(dòng)態(tài)分類圖中的分類結(jié)果進(jìn)行動(dòng)態(tài)調(diào)整。

17.一種計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì),其上存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序,其特征在于,所述計(jì)算機(jī)程序被處理器執(zhí)行,以實(shí)現(xiàn)權(quán)利要求1至8任一項(xiàng)所述方法的步驟。

18.一種電子設(shè)備,包括存儲(chǔ)器和處理器,所述存儲(chǔ)器上存儲(chǔ)有能夠在所述處理器上運(yùn)行的計(jì)算機(jī)程序,其特征在于,所述處理器運(yùn)行所述計(jì)算機(jī)程序時(shí)執(zhí)行權(quán)利要求1至8任一項(xiàng)所述方法的步驟。


技術(shù)總結(jié)
一種產(chǎn)能預(yù)測(cè)方法及裝置、存儲(chǔ)介質(zhì)、電子設(shè)備。所述方法包括:對(duì)待分類的晶圓產(chǎn)品進(jìn)行初步分類;基于產(chǎn)品特性,分別對(duì)每個(gè)初步分類中晶圓產(chǎn)品進(jìn)行模糊聚類,得到各初步分類中晶圓產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的動(dòng)態(tài)分類圖;基于所述動(dòng)態(tài)分類圖,得到所述待分類的晶圓產(chǎn)品的最終分類結(jié)果;基于最終分類結(jié)果預(yù)測(cè)產(chǎn)能。采用上述方案,可以準(zhǔn)確預(yù)測(cè)工廠未來的產(chǎn)能瓶頸。

技術(shù)研發(fā)人員:孫俊麗,劉國(guó)陽,周毅仲,白雪
受保護(hù)的技術(shù)使用者:中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/1/2
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