使用多機(jī)器學(xué)習(xí)核的光刻熱點(diǎn)檢測(cè)的制作方法
【專利摘要】熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)根據(jù)熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)的拓?fù)鋵狳c(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)集分類成多個(gè)熱點(diǎn)簇，其中熱點(diǎn)簇與不同的熱點(diǎn)拓?fù)湎嚓P(guān)聯(lián)，并且熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)根據(jù)非熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)的拓?fù)鋵⒎菬狳c(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)集分類成多個(gè)非熱點(diǎn)簇，其中非熱點(diǎn)簇與不同的拓?fù)湎嚓P(guān)聯(lián)。該系統(tǒng)從熱點(diǎn)簇并且從非熱點(diǎn)簇的形心中提取拓?fù)潢P(guān)鍵特征和非拓?fù)潢P(guān)鍵特征。該系統(tǒng)還創(chuàng)建被配置為識(shí)別熱點(diǎn)的多個(gè)核，其中使用所提取的非熱點(diǎn)簇的形心的關(guān)鍵特征以及從熱點(diǎn)簇中的一個(gè)熱點(diǎn)簇所提取的關(guān)鍵特征來(lái)構(gòu)造每個(gè)核，并且每個(gè)核被配置為識(shí)別與其他核被配置用于識(shí)別的熱點(diǎn)拓?fù)洳煌臒狳c(diǎn)拓?fù)洹?br> 【專利說(shuō)明】使用多機(jī)器學(xué)習(xí)核的光刻熱點(diǎn)檢測(cè)
[0001] 相關(guān)申請(qǐng)的奪叉引用
[0002] 本申請(qǐng)要求于2013年5月30日提交的臨時(shí)專利申請(qǐng)No. 61/828,915的優(yōu)先權(quán)， 其通過(guò)引用而結(jié)合于此。

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0003] 本公開(kāi)總體上涉及熱點(diǎn)識(shí)別領(lǐng)域，特別涉及使用機(jī)器學(xué)習(xí)改進(jìn)熱點(diǎn)識(shí)別。

【背景技術(shù)】
[0004] 在先進(jìn)制造技術(shù)中，日益增長(zhǎng)的亞波長(zhǎng)光刻（lithography)間隙導(dǎo)致印刷布局圖 案的不期望的形狀扭曲。盡管設(shè)計(jì)規(guī)則檢查（DRC)和刻線（reticle)/分辨率增強(qiáng)技術(shù) (RET)(諸如光學(xué)鄰近校正（0PC)和次分辨率輔助特征（SRAF))可以緩解可印刷性問(wèn)題，但 是布局上的很多區(qū)域可能仍然易受光刻工藝的影響。這些區(qū)域，所謂的光刻熱點(diǎn)，應(yīng)當(dāng)在掩 膜合成（mask synthesis)之前被檢測(cè)并且校正。因此，熱點(diǎn)檢測(cè)是物理驗(yàn)證中的重要任務(wù)。
[0005] 近年來(lái)熱點(diǎn)檢測(cè)已經(jīng)獲得持續(xù)的關(guān)注，并且可以主要被分類成四個(gè)主要類別：（1) 光刻仿真、（2)圖案匹配、（3)機(jī)器學(xué)習(xí)、以及（4)混合。全光刻仿真提供了最精確的檢測(cè)結(jié) 果。然而，仿真面臨極高的計(jì)算復(fù)雜性和極長(zhǎng)的運(yùn)行時(shí)間。圖案匹配是最快的熱點(diǎn)檢測(cè)方 法并且善于檢測(cè)預(yù)特征化的熱點(diǎn)圖案，但是具有有限的靈活性來(lái)識(shí)別先前未見(jiàn)過(guò)的熱點(diǎn)圖 案。相比較而言，機(jī)器學(xué)習(xí)善于檢測(cè)未知的熱點(diǎn)但是需要特殊處理以抑制誤報(bào)警?；旌戏?法結(jié)合圖案匹配和機(jī)器學(xué)習(xí)引擎（甚至具有光刻仿真器）以增強(qiáng)準(zhǔn)確度且減小誤報(bào)警，但 是可能花費(fèi)較長(zhǎng)的運(yùn)行時(shí)間。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006] 上面和其它的需求可以由一種計(jì)算機(jī)實(shí)施的方法、一種存儲(chǔ)可執(zhí)行代碼的非瞬態(tài) 計(jì)算機(jī)可讀取存儲(chǔ)介質(zhì)以及對(duì)應(yīng)的系統(tǒng)來(lái)滿足。在一種方法中，不同的機(jī)器學(xué)習(xí)核被訓(xùn)練 用于識(shí)別不同類型的熱點(diǎn)拓?fù)??？赡馨瑹狳c(diǎn)的布局片段（layout clip)可以被應(yīng)用至機(jī) 器學(xué)習(xí)核，并且這些核的結(jié)果被組合以識(shí)別布局片段內(nèi)的熱點(diǎn)。
[0007] 用于熱點(diǎn)檢測(cè)的計(jì)算機(jī)實(shí)施的方法的一個(gè)實(shí)施例，包括定義片段以表示集成電路 拓?fù)涞囊徊糠?，以及使用多個(gè)核來(lái)評(píng)估片段，其中該核識(shí)別指示熱點(diǎn)要發(fā)生的可能性的不 同拓?fù)洹?br> [0008] 用于識(shí)別測(cè)試布局上的熱點(diǎn)的計(jì)算機(jī)實(shí)施的方法的一個(gè)實(shí)施例，包括根據(jù)熱點(diǎn)訓(xùn) 練數(shù)據(jù)的拓?fù)鋵狳c(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)集分類成多個(gè)熱點(diǎn)簇，其中熱點(diǎn)簇與不同的熱點(diǎn)拓?fù)湎嚓P(guān) 聯(lián)。根據(jù)非熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)的拓?fù)鋵⒎菬狳c(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)集分類成多個(gè)非熱點(diǎn)簇，其中非熱點(diǎn)簇 與不同的拓?fù)湎嚓P(guān)聯(lián)。從熱點(diǎn)簇并且從非熱點(diǎn)簇的形心中提取拓?fù)潢P(guān)鍵特征和非拓?fù)潢P(guān)鍵 特征，并且拓?fù)潢P(guān)鍵特征是使簇特征化的幾何相關(guān)特征，并且非拓?fù)潢P(guān)鍵特征是使簇特征 化的光刻工藝相關(guān)特征。創(chuàng)建被配置為識(shí)別熱點(diǎn)的多個(gè)核，其中使用所提取的非熱點(diǎn)簇的 形心的關(guān)鍵特征以及從熱點(diǎn)簇中的一個(gè)熱點(diǎn)簇所提取的關(guān)鍵特征來(lái)構(gòu)造每個(gè)核，并且每個(gè) 核被配置為識(shí)別與其他核被配置用于識(shí)別的熱點(diǎn)拓?fù)洳煌臒狳c(diǎn)拓?fù)洹?br> [0009] 存儲(chǔ)用于識(shí)別測(cè)試布局上的熱點(diǎn)的可執(zhí)行的計(jì)算機(jī)程序指令的非瞬態(tài)計(jì)算機(jī)可 讀取存儲(chǔ)介質(zhì)的一個(gè)實(shí)施例，包括根據(jù)熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)的拓?fù)鋵狳c(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)集分類成多個(gè) 熱點(diǎn)簇，其中熱點(diǎn)簇與不同的熱點(diǎn)拓?fù)湎嚓P(guān)聯(lián)。根據(jù)非熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)的拓?fù)鋵⒎菬狳c(diǎn)訓(xùn)練 數(shù)據(jù)集分類成多個(gè)非熱點(diǎn)簇，其中非熱點(diǎn)簇與不同的拓?fù)湎嚓P(guān)聯(lián)。從熱點(diǎn)簇并且從非熱點(diǎn) 簇的形心中提取拓?fù)潢P(guān)鍵特征和非拓?fù)潢P(guān)鍵特征，并且拓?fù)潢P(guān)鍵特征是使簇特征化的幾何 相關(guān)特征，并且非拓?fù)潢P(guān)鍵特征是使簇特征化的光刻工藝相關(guān)特征。創(chuàng)建被配置為識(shí)別熱 點(diǎn)的多個(gè)核，其中使用所提取的非熱點(diǎn)簇的形心的關(guān)鍵特征以及從熱點(diǎn)簇中的一個(gè)熱點(diǎn)簇 所提取的關(guān)鍵特征來(lái)構(gòu)造每個(gè)核，并且每個(gè)核被配置為識(shí)別與其他核被配置用于識(shí)別的熱 點(diǎn)拓?fù)洳煌臒狳c(diǎn)拓?fù)洹?br>
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0010] 圖1是根據(jù)實(shí)施例的可以包含熱點(diǎn)的布局片段。
[0011] 圖2是根據(jù)實(shí)施例的用于確定所報(bào)告的（即所識(shí)別的）熱點(diǎn)是否是實(shí)際熱點(diǎn)的示 例準(zhǔn)則。
[0012] 圖3是圖示根據(jù)實(shí)施例的熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)的訓(xùn)練階段和評(píng)估階段的流程圖。
[0013] 圖4A圖示了根據(jù)實(shí)施例的四個(gè)圖案A、B、C和D。
[0014] 圖4B圖示了根據(jù)實(shí)施例的簇{A、D}、{B}和{C}。
[0015] 圖5A是根據(jù)實(shí)施例的已經(jīng)被分割成不同區(qū)域的多邊形。
[0016] 圖5B是根據(jù)實(shí)施例包括對(duì)于每個(gè)邊的串的圖5A的多邊形。
[0017] 圖5C圖示了根據(jù)實(shí)施例的包括復(fù)合串的圖案。
[0018] 圖圖示了根據(jù)實(shí)施例的像素化的布局片段。
[0019] 圖5E圖示了根據(jù)實(shí)施例的通過(guò)基于密度的分類而生成的兩個(gè)簇{A、B}和{C}。
[0020] 圖6A圖示了根據(jù)實(shí)施例的四個(gè)示例拓?fù)涮卣鳌?br> [0021] 圖6B圖示了根據(jù)實(shí)施例的五個(gè)示例非拓?fù)涮卣鳌?br> [0022] 圖7A圖示了根據(jù)實(shí)施例的在布局片段提取期間發(fā)生的多邊形分割。
[0023] 圖7B圖示了根據(jù)實(shí)施例的包括圖7A中的多邊形的布局片段。
[0024] 圖8是圖示了用于熱點(diǎn)點(diǎn)檢測(cè)的環(huán)境的實(shí)施例的高級(jí)框圖。
[0025] 圖9是根據(jù)實(shí)施例的圖示熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)內(nèi)的部件的細(xì)節(jié)視圖的框圖。 具體實(shí)施例
[0026] 附圖（FIG)和下面的描述僅以解釋說(shuō)明的方式來(lái)描述某些實(shí)施例。根據(jù)下面的描 述，本領(lǐng)域技術(shù)人員將容易認(rèn)識(shí)到，可以采用本文中所解釋說(shuō)明的結(jié)構(gòu)和方法的備選實(shí)施 例而不背離本文中所描述的原理?，F(xiàn)在將具體參照若干實(shí)施例，其示例在附圖中被圖示。應(yīng) 當(dāng)注意，可用的相同或相似的附圖標(biāo)記可以在附圖中使用，并且可以指示相同或相似的功 能。
[0027] 如本文中所用，"熱點(diǎn)"是在制造階段引起可印刷性問(wèn)題的風(fēng)險(xiǎn)的布局圖案。如本 文中所用，"命中（hit)"是已經(jīng)被正確地識(shí)別為熱點(diǎn)的實(shí)際熱點(diǎn)。準(zhǔn)確度是總命中的數(shù)目 與所有實(shí)際熱點(diǎn)的數(shù)目的比率。另外，如本文中所用，"額外（extra)"是被錯(cuò)誤地識(shí)別為熱 點(diǎn)的非熱點(diǎn)。誤報(bào)警是總額外的數(shù)目與全部實(shí)際熱點(diǎn)的數(shù)目的比率。在這個(gè)實(shí)施例中，誤 報(bào)警表示假陽(yáng)性（多少非熱點(diǎn)被報(bào)告為熱點(diǎn)），準(zhǔn)確度反映假陰性（多少熱點(diǎn)被漏掉）。
[0028] 圖1是根據(jù)實(shí)施例的可以包含熱點(diǎn)的布局片段。如圖1所示，訓(xùn)練數(shù)據(jù)集中的熱點(diǎn) 或非熱點(diǎn)圖案是由芯（core)及其外圍所限定的布局片段，其中該芯是這個(gè)片段的提供其 主要特點(diǎn)的中央部分，而外圍是這個(gè)片段的提供補(bǔ)充信息的外界部分。此外，由制造廠（或 光刻仿真）所提供的訓(xùn)練數(shù)據(jù)集可能是高度不平衡的，即非熱點(diǎn)圖案遠(yuǎn)超出熱點(diǎn)圖案。
[0029] 圖2是根據(jù)實(shí)施例的用于確定所報(bào)告的（即所識(shí)別的）熱點(diǎn)是否是實(shí)際熱點(diǎn)的示 例準(zhǔn)則。如圖2所示，如果所報(bào)告的熱點(diǎn)的芯與實(shí)際熱點(diǎn)的芯重疊，則認(rèn)為所報(bào)告的熱點(diǎn)是 命中。在一些實(shí)施例中，如果所報(bào)告的熱點(diǎn)的片段與實(shí)際熱點(diǎn)的片段重疊一定量的面積，則 命中發(fā)生。此外，在一些實(shí)施例中，如果所報(bào)告的熱點(diǎn)的片段與實(shí)際熱點(diǎn)的片段完全重疊， 則命中可以發(fā)生。
[0030] 概沭
[0031] 如本文中所公開(kāi)的熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)采用機(jī)器學(xué)習(xí)的優(yōu)勢(shì)用于針對(duì)給定布局進(jìn)行熱 點(diǎn)識(shí)別。熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)是如下的計(jì)算設(shè)備，其執(zhí)行計(jì)算機(jī)程序模塊，該計(jì)算機(jī)程序模塊訓(xùn)練 熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)以自動(dòng)地識(shí)別布局的一部分是否是熱點(diǎn)。熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)可以例如是個(gè)人計(jì)算 機(jī)、平板電腦、膝上計(jì)算機(jī)等。下面關(guān)于圖8和圖9詳細(xì)討論熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)。
[0032] 如下所討論的，該熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)使用多核以提供模糊性，由此識(shí)別在訓(xùn)練數(shù)據(jù)集 中未定義的潛在熱點(diǎn)，而不增加誤報(bào)警。此外，該熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)平衡熱點(diǎn)與非熱點(diǎn)樣本之間 的群體，以實(shí)現(xiàn)高準(zhǔn)確度和低誤報(bào)警。此外，測(cè)試布局包含需要被評(píng)估以識(shí)別熱點(diǎn)的巨大數(shù) 目的地點(diǎn)。因此，在一些實(shí)施例中，在評(píng)估階段，為了避免耗時(shí)的全布局掃描，熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng) 基于多邊形密度僅提取可能的布局片段。在一些實(shí)施例中，在評(píng)估之后，該熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)可 以過(guò)濾所檢測(cè)的熱點(diǎn)，以減小誤報(bào)警的可能性，而不犧牲準(zhǔn)確度。
[0033] 圖3是圖示根據(jù)實(shí)施例的熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)的訓(xùn)練階段和評(píng)估階段的流程圖。訓(xùn)練階 段構(gòu)造機(jī)器學(xué)習(xí)的多核模型。評(píng)估階段使用所構(gòu)造的多核模型來(lái)驗(yàn)證測(cè)試布局。在其它實(shí) 施例中，其它實(shí)體可以執(zhí)行過(guò)程中的一些或全部步驟。類似地，實(shí)施例可以包括不同的和/ 或附加的步驟，或者可以以不同的順序來(lái)執(zhí)行步驟。
[0034] 熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)被提供有熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)集（也被稱為熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)）和非熱點(diǎn)訓(xùn)練 數(shù)據(jù)集（也被稱為非熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)）。熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)包含已知用于生成熱點(diǎn)的多個(gè)不同圖 案。類似地，非熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)包含已知不用于生成熱點(diǎn)的多個(gè)圖案。
[0035] 在一個(gè)實(shí)施例中，熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)的大小小于非熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)的大?。礋狳c(diǎn)訓(xùn)練 數(shù)據(jù)中的數(shù)據(jù)項(xiàng)的數(shù)目小于非熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)中的數(shù)據(jù)項(xiàng)的數(shù)目）。數(shù)據(jù)項(xiàng)是單個(gè)圖案。熱 點(diǎn)和非熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)之間的不平衡的群體可能降級(jí)準(zhǔn)確度并且增加誤報(bào)警率，因此，熱點(diǎn) 檢測(cè)系統(tǒng)可以通過(guò)上采樣或下采樣熱點(diǎn)和/或非熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)來(lái)平衡該群體。
[0036] 在本實(shí)施例中，該熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)將熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)上采樣為中間大小。中間大小是 上采樣后的數(shù)據(jù)集的大小，使得上采樣后的熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)和非熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)在尺寸上接近 或相等。在一個(gè)實(shí)施例中，中間大小是這樣的數(shù)據(jù)集大小，使得上采樣后的熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)集 和非熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)集的大小的比率可以在1 :1到1 :40的范圍。例如，在一些實(shí)施例中，中 間大小是1 :1的數(shù)據(jù)集大小，即熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)集和非熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)集的大小相等。
[0037] 為了上采樣熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)并且補(bǔ)償布局片段提取誤差（在后面討論），熱點(diǎn)檢測(cè) 系統(tǒng)向上、向下、向左、向右稍微移位每個(gè)熱點(diǎn)訓(xùn)練圖案，旋轉(zhuǎn)該數(shù)據(jù)項(xiàng)（例如，90° )，移動(dòng) 該數(shù)據(jù)項(xiàng)中的某個(gè)邊緣，或前述的某種組合，以在拓?fù)浞诸愔皠?chuàng)建若干派生數(shù)據(jù)項(xiàng)。派生 數(shù)據(jù)項(xiàng)是數(shù)據(jù)移位后的數(shù)據(jù)項(xiàng)。
[0038] 此外，該熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)將非熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)下采樣為中間大小。在一些實(shí)施例中，為 了下采樣非熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)而不損失重要的非熱點(diǎn)信息，該熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)將非熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù) 分類成簇，并且選擇每個(gè)非熱點(diǎn)簇的形心（centroid)。在拓?fù)浞诸愔螅瑹狳c(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)將具 有同樣拓?fù)涞姆菬狳c(diǎn)圖案分類成單個(gè)非熱點(diǎn)簇。因此，對(duì)于每個(gè)拓?fù)?，存在相關(guān)聯(lián)的非熱點(diǎn) 簇。然后，熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)選擇與該簇相關(guān)聯(lián)的分類后的非熱點(diǎn)圖案的形心來(lái)表示相關(guān)聯(lián)的 非熱點(diǎn)簇。在一些實(shí)施例中，熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)丟棄該簇內(nèi)的剩余非熱點(diǎn)圖案，因?yàn)樗鼈兙哂信c 該形心相同或非常相似的數(shù)據(jù)信息。由所有的非熱點(diǎn)形心來(lái)形成下采樣后的非熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù) 據(jù)集。在備選實(shí)施例中，該熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)可以在拓?fù)浞诸愔跋虏蓸樱ɡ?，隨機(jī)選擇）非 熱點(diǎn)數(shù)據(jù)。然而，由于這可能會(huì)損失一些非熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)，所以這不是優(yōu)選的。
[0039] 在備選實(shí)施例中，熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)的大小可以大于非熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)的大小。在這些 實(shí)施例中，熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)可以調(diào)整（即上采樣或下采樣）熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)和非熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)， 使得兩個(gè)數(shù)據(jù)集達(dá)到中間大小。另外，在一些實(shí)施例中，熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)和非熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)在 大小上可以相等，因此不必要調(diào)整。
[0040] 熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)根據(jù)上采樣后的熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)的拓?fù)涠鴮⑸喜蓸雍蟮臒狳c(diǎn)訓(xùn)練數(shù) 據(jù)分類為'Ν'個(gè)熱點(diǎn)簇。類似地，熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)根據(jù)非熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)的拓?fù)涠鴮⒎菬狳c(diǎn)訓(xùn) 練數(shù)據(jù)分類為'η'個(gè)簇。拓?fù)浞诸愒谙挛膶⒄請(qǐng)D4Α-Β和圖5Α-Ε來(lái)詳細(xì)討論。
[0041] 熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)從每個(gè)熱點(diǎn)簇的每個(gè)訓(xùn)練圖案以及從每個(gè)非熱點(diǎn)形心中提取拓?fù)?關(guān)鍵特征和非拓?fù)潢P(guān)鍵特征。具體地，熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)從包括熱點(diǎn)簇的數(shù)據(jù)項(xiàng)以及從下采樣 后的非熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)集中提取拓?fù)洌◣缀蜗嚓P(guān)的）關(guān)鍵特征和非拓?fù)洌ü饪坦に囅嚓P(guān)的） 關(guān)鍵特征。關(guān)鍵特征提取在下文將參照?qǐng)D6Α-Β來(lái)詳細(xì)討論。
[0042] 熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)使用所提取的熱點(diǎn)簇的關(guān)鍵特征和下采樣后的非熱點(diǎn)數(shù)據(jù)集的關(guān) 鍵特征來(lái)針對(duì)每個(gè)熱點(diǎn)簇構(gòu)造特定的核。在一些實(shí)施例中，基于支持向量機(jī)（SVM)模型、人 工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)、一些其它機(jī)器學(xué)習(xí)模型或前述的某種組合來(lái)構(gòu)造這些核。
[0043] 使用熱點(diǎn)簇和所有的非熱點(diǎn)形心來(lái)創(chuàng)建每個(gè)核。在一些實(shí)施例中，使用熱點(diǎn)簇和 部分的非熱點(diǎn)簇來(lái)創(chuàng)建每個(gè)核。利用拓?fù)浞诸?，每個(gè)核能夠集中在特定于其對(duì)應(yīng)簇的關(guān)鍵 特征上。在評(píng)估階段，如果一個(gè)核將一個(gè)布局片段分類為熱點(diǎn)，則該布局片段被標(biāo)記為熱 點(diǎn)。拓?fù)浞诸愡€促進(jìn)熱點(diǎn)和非熱點(diǎn)群體平衡。此外，如下所討論的，與單個(gè)大核相比，多核學(xué) 習(xí)實(shí)現(xiàn)高準(zhǔn)確度。熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)可以使用迭代學(xué)習(xí)處理來(lái)將核發(fā)展成確定的訓(xùn)練等級(jí)。例 如，熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)可訓(xùn)練核，直至達(dá)到一定閾值（例如，熱點(diǎn)預(yù)測(cè)達(dá)到90%的準(zhǔn)確度）。迭 代多核SVM核學(xué)習(xí)在下文詳細(xì)討論。
[0044] 此外，（發(fā)生在上采樣過(guò)程中的）數(shù)據(jù)移位從熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)中生成若干派生數(shù)據(jù)， 因此引入足夠的簇種類。熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)可以使用數(shù)據(jù)移位來(lái)將初始定位在外圍的一個(gè)或多 個(gè)多邊形包括到芯區(qū)中，由此捕獲可能影響熱點(diǎn)的更多布局信息。此外，在一些實(shí)施例中， 數(shù)據(jù)移位還能夠補(bǔ)償在片段提取期間引入的可能的布局片段提取偏差。因此，這些核具有 靈活性來(lái)識(shí)別先前未見(jiàn)過(guò)的圖案。
[0045] 一旦這些核已經(jīng)達(dá)到足夠的訓(xùn)練水平，它們可以被用于評(píng)估測(cè)試布局（即評(píng)估階 段）。測(cè)試布局是熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)使用多核來(lái)評(píng)估以識(shí)別熱點(diǎn)的布局。
[0046] 熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)將測(cè)試布局劃分成一個(gè)或多個(gè)片段。在一些實(shí)施例中，這些片段中 的一個(gè)或多個(gè)可以具有與一個(gè)或多個(gè)相鄰片段重疊的一些部分。熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)從測(cè)試布局 中提取一個(gè)或多個(gè)片段。在備選實(shí)施例中，熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)定義用于熱點(diǎn)檢測(cè)的片段。在一 些情況下，定義片段可以包括將測(cè)試布局劃分成一個(gè)或多個(gè)片段并且從測(cè)試布局中提取一 個(gè)或多個(gè)片段。在一些實(shí)施例中，熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)可以使用從熱點(diǎn)簇和非熱點(diǎn)簇中提取的幾 何信息中的一些幾何信息（例如，芯的多邊形密度）來(lái)快速地識(shí)別所提取的布局片段是否 重要。該片段提取步驟在測(cè)試布局中讀取，并且提取布局片段，然后熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)使用從熱 點(diǎn)簇和非熱點(diǎn)簇中提取的一些幾何信息來(lái)快速地丟棄無(wú)用的片段。
[0047] 熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)然后使用所訓(xùn)練的核來(lái)評(píng)估所提取的布局片段，以識(shí)別熱點(diǎn)。這些 核中的每個(gè)核被配置成識(shí)別特定的熱點(diǎn)拓?fù)?。在一些?shí)施例中，這些核中的每個(gè)核處理所 提取的所有片段，以識(shí)別熱點(diǎn)。此外，在一些實(shí)施例中，在傳送到核之前，可以對(duì)所提取的片 段中的已知的非熱點(diǎn)進(jìn)行一些丟棄。然后，可以將所識(shí)別的熱點(diǎn)呈現(xiàn)給熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)的用 戶。例如，熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)可以將包含熱點(diǎn)的一個(gè)或多個(gè)芯（即熱點(diǎn)芯）呈現(xiàn)給用戶。
[0048] 在一些實(shí)施例中，熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)可以執(zhí)行熱點(diǎn)過(guò)濾，以減小所識(shí)別的熱點(diǎn)中可能 的冗余。在通過(guò)核進(jìn)行評(píng)估之后，所報(bào)告的熱點(diǎn)芯可以在具有高多邊形密度的區(qū)域內(nèi)強(qiáng)烈 地重疊。熱點(diǎn)過(guò)濾減小了冗余。此外，熱點(diǎn)過(guò)濾能夠大幅減小誤報(bào)警而不損失準(zhǔn)確性。 [0049] 在一個(gè)實(shí)施例中，熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)將所識(shí)別的包括熱點(diǎn)的芯（即熱點(diǎn)芯）合并成若 干區(qū)域，并且如果其芯與該區(qū)域的一些熱點(diǎn)芯重疊，則將熱點(diǎn)片段合并到現(xiàn)有的合并區(qū)域。 合并區(qū)域是覆蓋該區(qū)域中的所有熱點(diǎn)芯的最小邊界框。
[0050] 熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)重新框定包含超過(guò)四個(gè)熱點(diǎn)芯的合并區(qū)域。重新框定的目的是使所 識(shí)別的熱點(diǎn)的數(shù)目最小化而不丟失任何可能的實(shí)際熱點(diǎn)。片段重新框定確保任意的實(shí)際熱 點(diǎn)的芯被至少一個(gè)重新框定的芯所覆蓋。另外，熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)可以移除位于兩個(gè)合并區(qū)域 的重疊區(qū)中的冗余片段。在下面兩種條件下可以丟棄熱點(diǎn)芯：（1)位于該芯內(nèi)的所有多邊 形被其它熱點(diǎn)芯所覆蓋；（2)這個(gè)芯的每個(gè)角與某一合并區(qū)域內(nèi)部的其它熱點(diǎn)芯重疊。
[0051] 柘樸分類
[0052] -些訓(xùn)練圖案具有相似的形狀，而一些訓(xùn)練圖案的形狀相當(dāng)不同。因此，為了促進(jìn) 隨后的機(jī)器學(xué)習(xí)核訓(xùn)練，訓(xùn)練數(shù)據(jù)集中的熱點(diǎn)/非熱點(diǎn)圖案基于拓?fù)浔环诸惓纱?。在拓?fù)?分類后，一個(gè)簇內(nèi)的圖案具有非常相似的幾何特點(diǎn)（關(guān)鍵特征）。
[0053] 在一個(gè)實(shí)施例中，熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)使用二級(jí)拓?fù)浞诸悾夯诖姆诸惡突诿芏鹊?分類。圖4A圖示了根據(jù)實(shí)施例的四個(gè)圖案A、B、C和D?；诖姆诸惢谕?fù)洌ɡ?，B 和C兩者為十字）來(lái)將這些圖案分割成兩個(gè)中間簇{A、D}和{B、C}。
[0054] 在一個(gè)實(shí)施例中，熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)對(duì)串分類的中間簇使用基于密度的分類，以根據(jù) 正在被處理的數(shù)據(jù)集創(chuàng)建非熱點(diǎn)簇或熱點(diǎn)簇。例如，被應(yīng)用到簇{A、D}和{B、C}的基于密 度的分類被用于基于簇的多邊形分布而將簇{B、C}劃分成簇{B}和{C}。圖4B圖示了根 據(jù)實(shí)施例的簇{A、D}、{B}和{C}。拓?fù)浞诸愂沟妹總€(gè)機(jī)器學(xué)習(xí)核集中在特定于其對(duì)應(yīng)簇的 關(guān)鍵特征上，以及促進(jìn)熱點(diǎn)和非熱點(diǎn)群體平衡。
[0055] 在一個(gè)實(shí)施例中，熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)使用四個(gè)方向的串來(lái)捕獲一個(gè)圖案的拓?fù)洹D5A 是根據(jù)實(shí)施例的已經(jīng)被分割成不同區(qū)域的多邊形。為了針對(duì)向下方向生成十進(jìn)制串，首先 沿著多邊形邊緣堅(jiān)直地分割該圖案，例如對(duì)于圖5A而言，生成兩個(gè)切片。對(duì)于每個(gè)切片，邊 界被標(biāo)記為" 1"，多邊形塊被標(biāo)記為" 1"，并且空白塊被標(biāo)記為"0"。由此，每個(gè)切片對(duì)應(yīng)于 二進(jìn)制序列，并且然后將這個(gè)序列被轉(zhuǎn)換成十進(jìn)制數(shù)。圖5A的向下分割生成被記錄在底邊 的串〈3,10>( =〈112,10102>)。圖5B是根據(jù)實(shí)施例的包括針對(duì)每個(gè)邊的串的圖5A的多邊 形。在相鄰邊處被記錄的任意兩個(gè)串完全捕獲圖案的拓?fù)洹?br> [0056] 在一個(gè)實(shí)施例中，熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)使用來(lái)自一個(gè)圖案的兩個(gè)相鄰邊的串以及正被比 較的圖案上的對(duì)應(yīng)的相鄰邊，來(lái)驗(yàn)證兩個(gè)圖案是否具有相同的拓?fù)?。在一個(gè)實(shí)施例中，熱點(diǎn) 檢測(cè)系統(tǒng)針對(duì)兩個(gè)圖案生成四個(gè)方向的串。熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)選擇一個(gè)圖案的相鄰邊的任意兩 個(gè)串。熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)通過(guò)逆時(shí)針和順時(shí)針地級(jí)聯(lián)另一個(gè)圖案的串，來(lái)生成兩個(gè)復(fù)合串。在 起始邊的串應(yīng)當(dāng)在最后被添加。
[0057] 考慮八個(gè)可能的方位，當(dāng)且僅當(dāng)在一個(gè)圖案的相鄰邊處的任意兩個(gè)串存在于另一 圖案的逆時(shí)針或順時(shí)針的復(fù)合串中時(shí)，兩個(gè)圖案具有相同的拓?fù)?。八個(gè)可能的方位包括圖 案的四個(gè)旋度（〇°、90°、180°和270° )與圖案的兩個(gè)鏡像（水平和堅(jiān)直）的組合。
[0058] 例如，在圖5B中，熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)針對(duì)左邊和底邊來(lái)選擇在圖案的相鄰邊處的兩個(gè) 串〈5,3,5,3，10>。圖5(：圖示了根據(jù)實(shí)施例的包括復(fù)合串的圖案。逆時(shí)針復(fù)合串 ：〈6,3,6， 10, 3, 5, 3, 5, 3,10,6, 3,6>，并且順時(shí)針復(fù)合串：〈10, 3, 5, 3, 5, 3,10,6, 3,6,10, 3>。串組分 〈5, 3, 5, 3,10>存在于逆時(shí)針復(fù)合串中。因此，圖5B和圖5C中給定的圖案具有相同的拓?fù)洹?br> [0059] 在基于串的分類之后，在一個(gè)簇內(nèi)的圖案具有相同的拓?fù)?。盡管如此，在一些情況 下，具有同一拓?fù)涞膬蓚€(gè)圖案可能仍然具有非常不同的幾何特點(diǎn)。例如，在離散過(guò)程禁止規(guī) 則下，一個(gè)可以是熱點(diǎn)，而另一個(gè)是非熱點(diǎn)。
[0060] 在一個(gè)實(shí)施例中，對(duì)于圖案Pi，首先像素化其布局片段，并且計(jì)算每個(gè)像素dk的多 邊形密度。圖?圖示了根據(jù)實(shí)施例的像素化的布局片段。兩個(gè)圖案之間的距離 P (Pi，Pj)是通過(guò)基于同一方位的對(duì)于所有像素的像素密度差的和來(lái)定義：
[0061]

【權(quán)利要求】
1. 一種使用熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)用于熱點(diǎn)檢測(cè)的計(jì)算機(jī)實(shí)施的方法，包括： 定義片段以表示集成電路拓?fù)涞囊徊糠?；以? 使用多個(gè)核來(lái)評(píng)估所述片段，其中所述核識(shí)別指示熱點(diǎn)要發(fā)生的可能性的不同拓?fù)洹?br> 2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述核中的每個(gè)核處理所提取的所有片段以識(shí)別 執(zhí)占。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,進(jìn)一步包括執(zhí)行熱點(diǎn)過(guò)濾。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，進(jìn)一步包括將所識(shí)別的熱點(diǎn)芯合并成若干區(qū)域，其中 合并區(qū)域是覆蓋該區(qū)域中的所有熱點(diǎn)芯的最小邊界框。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，進(jìn)一步包括： 從連接到所述熱點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)的客戶端設(shè)備接收布局；以及 將所識(shí)別的熱點(diǎn)提供至所述客戶端設(shè)備。
6. -種計(jì)算機(jī)實(shí)施方法，包括： 根據(jù)熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)的拓?fù)鋵狳c(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)集分類成多個(gè)熱點(diǎn)簇，其中所述熱點(diǎn)簇與不 同的熱點(diǎn)拓?fù)湎嚓P(guān)聯(lián)； 根據(jù)非熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)的拓?fù)鋵⒎菬狳c(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)集分類成多個(gè)非熱點(diǎn)簇，其中所述非熱 點(diǎn)簇與不同的拓?fù)湎嚓P(guān)聯(lián)； 從所述熱點(diǎn)簇并且從所述非熱點(diǎn)簇的形心中提取拓?fù)潢P(guān)鍵特征和非拓?fù)潢P(guān)鍵特征，其 中所述拓?fù)潢P(guān)鍵特征是使簇特征化的幾何相關(guān)特征，并且所述非拓?fù)潢P(guān)鍵特征是使簇特征 化的光刻工藝相關(guān)特征；以及 創(chuàng)建被配置為識(shí)別熱點(diǎn)的多個(gè)核，其中使用所提取的所述非熱點(diǎn)簇的所述形心的關(guān)鍵 特征以及從所述熱點(diǎn)簇中的一個(gè)熱點(diǎn)簇所提取的關(guān)鍵特征來(lái)構(gòu)造每個(gè)核，以及每個(gè)核被配 置為識(shí)別與其他核被配置用于識(shí)別的熱點(diǎn)拓?fù)洳煌臒狳c(diǎn)拓?fù)洹?br> 7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，進(jìn)一步包括： 將所述熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)上采樣成第一數(shù)據(jù)大小， 其中根據(jù)非熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)的拓?fù)鋵⒎菬狳c(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)集分類成多個(gè)非熱點(diǎn)簇包括將所 述非熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)下采樣成第二數(shù)據(jù)大小。
8. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中： 所述熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)包括多個(gè)熱點(diǎn)數(shù)據(jù)項(xiàng)；并且 上采樣所述熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)包括： 對(duì)每個(gè)熱點(diǎn)數(shù)據(jù)項(xiàng)進(jìn)行數(shù)據(jù)移位，以創(chuàng)建一個(gè)或多個(gè)相關(guān)聯(lián)的派生數(shù)據(jù)項(xiàng)，其中每個(gè) 熱點(diǎn)數(shù)據(jù)項(xiàng)及其相關(guān)聯(lián)的一個(gè)或多個(gè)派生數(shù)據(jù)項(xiàng)形成不同的熱點(diǎn)簇。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中數(shù)據(jù)移位包括： 向上、向下、向左、向右移位熱點(diǎn)數(shù)據(jù)項(xiàng)，旋轉(zhuǎn)所述熱點(diǎn)數(shù)據(jù)項(xiàng)，移動(dòng)所述數(shù)據(jù)項(xiàng)中的某 個(gè)邊緣，或前述的某種組合。
10. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中所述多個(gè)核使用支持向量機(jī)學(xué)習(xí)模型。
11. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，進(jìn)一步包括： 迭代地訓(xùn)練所述多個(gè)核，直至滿足停止準(zhǔn)則，所述停止準(zhǔn)則為熱點(diǎn)檢測(cè)準(zhǔn)確率。
12. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中根據(jù)熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)的拓?fù)鋵狳c(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)集分 類成多個(gè)熱點(diǎn)簇包括： 使用基于串的分類將所述熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)聚類成多個(gè)中間熱點(diǎn)簇；以及 使用基于密度的分類從每個(gè)中間熱點(diǎn)簇中創(chuàng)建一個(gè)或多個(gè)熱點(diǎn)簇。
13. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中根據(jù)非熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)的拓?fù)鋵⒎菬狳c(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù) 集分類成多個(gè)非熱點(diǎn)簇包括： 使用基于串的分類將所述非熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)聚類成多個(gè)中間非熱點(diǎn)簇；以及 使用基于密度的分類從每個(gè)中間非熱點(diǎn)簇生成一個(gè)或多個(gè)非熱點(diǎn)簇。
14. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，進(jìn)一步包括： 接收測(cè)試布局的一部分；以及 通過(guò)所述多個(gè)核來(lái)評(píng)估所述部分，以識(shí)別一個(gè)或多個(gè)熱點(diǎn)，其中每個(gè)核評(píng)估所述部分 以識(shí)別所述核被配置用于識(shí)別的熱點(diǎn)是否存在于所述部分中。
15. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，進(jìn)一步包括： 過(guò)濾所識(shí)別的一個(gè)或多個(gè)熱點(diǎn)以去除所識(shí)別的熱點(diǎn)中的冗余。
16. -種其上嵌入有程序的非瞬態(tài)計(jì)算機(jī)可讀取介質(zhì)，所述程序可由處理器執(zhí)行以用 于實(shí)現(xiàn)一種方法，所述方法包括： 根據(jù)熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)的拓?fù)鋵狳c(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)集分類成多個(gè)熱點(diǎn)簇，其中所述熱點(diǎn)簇與不 同的熱點(diǎn)拓?fù)湎嚓P(guān)聯(lián)； 根據(jù)非熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)的拓?fù)鋵⒎菬狳c(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)集分類成多個(gè)非熱點(diǎn)簇，其中所述非熱 點(diǎn)簇與不同的拓?fù)湎嚓P(guān)聯(lián)； 從所述熱點(diǎn)簇并且從所述非熱點(diǎn)簇的形心中提取拓?fù)潢P(guān)鍵特征和非拓?fù)潢P(guān)鍵特征，其 中所述拓?fù)潢P(guān)鍵特征是使簇特征化的幾何相關(guān)特征，并且所述非拓?fù)潢P(guān)鍵特征是使簇特征 化的光刻工藝相關(guān)特征；以及 創(chuàng)建被配置為識(shí)別熱點(diǎn)的多個(gè)核，其中使用所提取的所述非熱點(diǎn)簇的所述形心的關(guān)鍵 特征以及從所述熱點(diǎn)簇中的一個(gè)熱點(diǎn)簇所提取的關(guān)鍵特征來(lái)構(gòu)造每個(gè)核，每個(gè)核被配置為 識(shí)別與其他核被配置用于識(shí)別的熱點(diǎn)拓?fù)洳煌臒狳c(diǎn)拓?fù)洹?br> 17. 根據(jù)權(quán)利要求16所述的計(jì)算機(jī)可讀取介質(zhì)，進(jìn)一步包括： 將所述熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)上采樣成第一數(shù)據(jù)大小，并且 其中根據(jù)非熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)的拓?fù)鋵⒎菬狳c(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)集分類成多個(gè)非熱點(diǎn)簇包括將所 述非熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)下采樣成第二數(shù)據(jù)大小。
18. 根據(jù)權(quán)利要求16所述的計(jì)算機(jī)可讀取介質(zhì)，其中： 所述熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)包括多個(gè)熱點(diǎn)數(shù)據(jù)項(xiàng)；并且 上采樣所述熱點(diǎn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)包括： 對(duì)每個(gè)熱點(diǎn)數(shù)據(jù)項(xiàng)進(jìn)行數(shù)據(jù)移位，以創(chuàng)建一個(gè)或多個(gè)相關(guān)聯(lián)的派生數(shù)據(jù)項(xiàng)，其中每個(gè) 熱點(diǎn)數(shù)據(jù)項(xiàng)及其相關(guān)聯(lián)的一個(gè)或多個(gè)派生數(shù)據(jù)項(xiàng)形成不同的熱點(diǎn)簇。
19. 根據(jù)權(quán)利要求18所述的計(jì)算機(jī)可讀取介質(zhì)，其中數(shù)據(jù)移位包括： 向上、向下、向左、向右移位熱點(diǎn)數(shù)據(jù)項(xiàng)，旋轉(zhuǎn)所述熱點(diǎn)數(shù)據(jù)項(xiàng)，移動(dòng)所述數(shù)據(jù)項(xiàng)中的某 個(gè)邊緣，或前述的某種組合。
20. 根據(jù)權(quán)利要求16所述的計(jì)算機(jī)可讀取介質(zhì)，進(jìn)一步包括： 迭代地訓(xùn)練所述多個(gè)核，直至滿足停止準(zhǔn)則，所述停止準(zhǔn)則為熱點(diǎn)檢測(cè)準(zhǔn)確率。
【文檔編號(hào)】G06F17/50GK104217224SQ201410240890
【公開(kāi)日】2014年12月17日 申請(qǐng)日期:2014年5月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月30日
【發(fā)明者】江清流, 余彥廷, 林耕禾, 江蕙如 申請(qǐng)人:美商新思科技有限公司