晶圓測(cè)試數(shù)據(jù)處理方法及其系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種晶圓測(cè)試數(shù)據(jù)處理方法及其系統(tǒng)，該方法包括：S1、機(jī)臺(tái)對(duì)晶圓依次進(jìn)行測(cè)試，獲取類文本格式測(cè)試數(shù)據(jù)；S2、提取類文本格式測(cè)試數(shù)據(jù)，并轉(zhuǎn)換成XML格式測(cè)試數(shù)據(jù)；S3、將轉(zhuǎn)換后的XML格式測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行多地址存儲(chǔ)。本發(fā)明通過(guò)將系統(tǒng)得到的類文本測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)據(jù)整理和分類，轉(zhuǎn)換成疊加嵌套的XML格式測(cè)試數(shù)據(jù)，可以實(shí)現(xiàn)多個(gè)信息進(jìn)行分離提取，適用于國(guó)際化的工廠需求，無(wú)需在存儲(chǔ)其它格式的數(shù)據(jù)，同時(shí)，XML格式數(shù)據(jù)的架構(gòu)設(shè)計(jì)，格式保持一致，處理效率高，可使用于其它的系統(tǒng)和工具，數(shù)據(jù)分析更加的便利，更符合廠內(nèi)生產(chǎn)需求及未來(lái)測(cè)試的可擴(kuò)展性。
【專利說(shuō)明】晶圓測(cè)試數(shù)據(jù)處理方法及其系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體測(cè)試【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是涉及一種晶圓測(cè)試數(shù)據(jù)處理方法及其系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有技術(shù)中的晶圓測(cè)試數(shù)據(jù)是一行一行逐行進(jìn)行排列的，只需要采用文本讀取方式對(duì)下面格式來(lái)進(jìn)行順序的讀取并存儲(chǔ)數(shù)據(jù)。目前對(duì)數(shù)據(jù)的讀取僅限在Lucent測(cè)試系統(tǒng)上，WINDOWS系統(tǒng)尚無(wú)高效的讀取方式，數(shù)據(jù)量大時(shí)，讀取很慢。就當(dāng)前情形，對(duì)數(shù)據(jù)分析非常不利?，F(xiàn)有的技術(shù)可以對(duì)上述的格式進(jìn)行數(shù)據(jù)的讀取，但是特殊格式還不能實(shí)現(xiàn)，所以改變現(xiàn)狀刻不容緩。類文本格式的數(shù)據(jù)是由UNIX環(huán)境Lucent測(cè)試系統(tǒng)在測(cè)試時(shí)自動(dòng)生成的，也是測(cè)試系統(tǒng)自帶的功能，并不能滿足日益增長(zhǎng)的多系統(tǒng)多數(shù)據(jù)源共享的需要。
[0003]可擴(kuò)展標(biāo)記語(yǔ)言(Extensible Markup Language,XML),用于標(biāo)記電子文件使其具有結(jié)構(gòu)性的標(biāo)記語(yǔ)言，可以用來(lái)標(biāo)記數(shù)據(jù)、定義數(shù)據(jù)類型，是一種允許用戶對(duì)自己的標(biāo)記語(yǔ)言進(jìn)行定義的源語(yǔ)言，XML是標(biāo)準(zhǔn)通用標(biāo)記語(yǔ)言(SGML)的子集，非常適合Web傳輸，且XML可以提供統(tǒng)一的方法來(lái)描述和交換獨(dú)立于應(yīng)用程序或供應(yīng)商的結(jié)構(gòu)化數(shù)據(jù)。
[0004]因此，針對(duì)上述技術(shù)問(wèn)題，有必要提供一種晶圓測(cè)試數(shù)據(jù)處理方法及其系統(tǒng)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]有鑒于此，本發(fā)明的目的在于提供一種晶圓測(cè)試數(shù)據(jù)處理方法及其系統(tǒng)，其可以實(shí)現(xiàn)測(cè)試數(shù)據(jù)的格式轉(zhuǎn)換。
[0006]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明實(shí)施例提供的技術(shù)方案如下:
[0007]—種晶圓測(cè)試數(shù)據(jù)處理方法，所述方法包括以下步驟:
[0008]S1、機(jī)臺(tái)對(duì)晶圓依次進(jìn)行測(cè)試，獲取類文本格式測(cè)試數(shù)據(jù)；
[0009]S2、提取類文本格式測(cè)試數(shù)據(jù)，并轉(zhuǎn)換成XML格式測(cè)試數(shù)據(jù)；
[0010]S3、將轉(zhuǎn)換后的XML格式測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行多地址存儲(chǔ)。
[0011 ] 作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述步驟S2中的XML格式測(cè)試數(shù)據(jù)包括測(cè)試得到類文本格式測(cè)試數(shù)據(jù)中的LOT信息、WAFER信息和SITE信息。
[0012]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述步驟S2具體為:
[0013]S21、提取類文本格式測(cè)試數(shù)據(jù)中的文檔信息；
[0014]S22、提取類文本格式測(cè)試數(shù)據(jù)中的LOT信息，并嵌套在文檔信息節(jié)點(diǎn)下；
[0015]S23、提取類文本格式測(cè)試數(shù)據(jù)中的WAFER信息，并嵌套在LOT信息節(jié)點(diǎn)下；
[0016]S24、提取類文本格式測(cè)試數(shù)據(jù)中的SITE信息，并嵌套在WAFER信息節(jié)點(diǎn)下；
[0017]S25、提取類文本格式測(cè)試數(shù)據(jù)中的測(cè)試數(shù)值，并嵌套在SITE信息節(jié)點(diǎn)下。
[0018]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述LOT信息包括批號(hào)信息，產(chǎn)品名信息，量測(cè)時(shí)間信息，廠名信息，規(guī)范文件信息，工藝名信息，設(shè)備名信息，操作人員信息；所述WAFER信息包括片數(shù)信息，點(diǎn)數(shù)信息，參數(shù)數(shù)目信息，開(kāi)始時(shí)間信息，結(jié)束時(shí)間信息，測(cè)試時(shí)間信息，合格片信息，失效項(xiàng)號(hào)信息；所述SITE信息包括點(diǎn)號(hào)信息,點(diǎn)狀態(tài)，X坐標(biāo)信息，Y坐標(biāo)信息。
[0019]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述步驟S2還包括:
[0020]忽略類文本格式測(cè)試數(shù)據(jù)中的無(wú)關(guān)信息，所述無(wú)關(guān)信息包括存儲(chǔ)路徑、數(shù)據(jù)上下限。
[0021]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述步驟S3中存儲(chǔ)的XML格式測(cè)試數(shù)據(jù)包括用于備份的數(shù)據(jù)、用于系統(tǒng)內(nèi)使用的數(shù)據(jù)和用于系統(tǒng)外使用的數(shù)據(jù)。
[0022]相應(yīng)地，一種晶圓測(cè)試數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括:
[0023]測(cè)試模塊，用于對(duì)晶圓依次進(jìn)行測(cè)試，獲取類文本格式測(cè)試數(shù)據(jù)；
[0024]轉(zhuǎn)換模塊，用于將提取類文本格式測(cè)試數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成XML格式測(cè)試數(shù)據(jù)；
[0025]存儲(chǔ)模塊，用于將轉(zhuǎn)換后的XML格式測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行多地址存儲(chǔ)。
[0026]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述轉(zhuǎn)換模塊中獲得的XML格式測(cè)試數(shù)據(jù)包括測(cè)試模塊中類文本測(cè)試數(shù)據(jù)的LOT信息、WAFER信息和SITE信息。
[0027]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述轉(zhuǎn)換模塊中獲得的XML格式測(cè)試數(shù)據(jù)包括:
[0028]文檔信息；
[0029]嵌套在文檔信息節(jié)點(diǎn)下的LOT信息；
[0030]嵌套在LOT信息節(jié)點(diǎn)下的WAFER信息；
[0031 ] 嵌套在WAFER信息節(jié)點(diǎn)下的SITE信息；
[0032]嵌套在SITE信息節(jié)點(diǎn)下的測(cè)試數(shù)值。
[0033]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述LOT信息包括批號(hào)信息，產(chǎn)品名信息，量測(cè)時(shí)間信息，廠名信息，規(guī)范文件信息，工藝名信息，設(shè)備名信息，操作人員信息；所述WAFER信息包括片數(shù)信息，點(diǎn)數(shù)信息，參數(shù)數(shù)目信息，開(kāi)始時(shí)間信息，結(jié)束時(shí)間信息，測(cè)試時(shí)間信息，合格片信息，失效項(xiàng)號(hào)信息；所述SITE信息包括點(diǎn)號(hào)信息,點(diǎn)狀態(tài)，X坐標(biāo)信息，Y坐標(biāo)信息。
[0034]本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明通過(guò)將系統(tǒng)得到的類文本測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)據(jù)整理和分類，轉(zhuǎn)換成疊加嵌套的XML格式測(cè)試數(shù)據(jù)，可以實(shí)現(xiàn)多個(gè)信息進(jìn)行分離提取，適用于國(guó)際化的工廠需求，無(wú)需在存儲(chǔ)其它格式的數(shù)據(jù)，同時(shí)，XML格式數(shù)據(jù)的架構(gòu)設(shè)計(jì)，格式保持一致，處理效率高，可使用于其它的系統(tǒng)和工具，數(shù)據(jù)分析更加的便利，更符合廠內(nèi)生產(chǎn)需求及未來(lái)測(cè)試的可擴(kuò)展性。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0035]為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明中記載的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0036]圖1為本發(fā)明一實(shí)施方式中晶圓測(cè)試數(shù)據(jù)處理方法的具體流程圖；
[0037]圖2為本發(fā)明一實(shí)施方式中轉(zhuǎn)換后的XML格式測(cè)試數(shù)據(jù)示意圖；
[0038]圖3為本發(fā)明一實(shí)施方式中晶圓測(cè)試數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)的模塊示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0039]為了使本【技術(shù)領(lǐng)域】的人員更好地理解本發(fā)明中的技術(shù)方案，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都應(yīng)當(dāng)屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0040]參圖1所示，本發(fā)明的一種晶圓測(cè)試數(shù)據(jù)處理方法，包括以下步驟:
[0041]S1、機(jī)臺(tái)對(duì)晶圓依次進(jìn)行測(cè)試，獲取類文本格式測(cè)試數(shù)據(jù):
[0042]參下述表1所示為本發(fā)明一實(shí)施方式中獲取的類文本格式測(cè)試數(shù)據(jù)，類文本格式數(shù)據(jù)信量非常大，包括CODE、LOT、片數(shù)、機(jī)臺(tái)、存儲(chǔ)路徑、溫度、工藝大類、操作員名、SPEC上下限、每點(diǎn)值等信息，但是這些信息混合在一起，當(dāng)需要處理測(cè)試數(shù)據(jù)中某一數(shù)據(jù)時(shí)，需要從整個(gè)類文本格式測(cè)試數(shù)據(jù)中進(jìn)行搜索，提取出對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)，由于測(cè)試數(shù)據(jù)信息非常大，所以數(shù)據(jù)處理效率非常低。
[0043]表1:類文本格式測(cè)試數(shù)據(jù)
[0044]
【權(quán)利要求】
1.一種晶圓測(cè)試數(shù)據(jù)處理方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟: 51、機(jī)臺(tái)對(duì)晶圓依次進(jìn)行測(cè)試，獲取類文本格式測(cè)試數(shù)據(jù)； 52、提取類文本格式測(cè)試數(shù)據(jù)，并轉(zhuǎn)換成XML格式測(cè)試數(shù)據(jù)； 53、將轉(zhuǎn)換后的XML格式測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行多地址存儲(chǔ)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述步驟S2中的XML格式測(cè)試數(shù)據(jù)包括測(cè)試得到類文本格式測(cè)試數(shù)據(jù)中的LOT信息、WAFER信息和SITE信息。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述步驟S2具體為: 521、提取類文本格式測(cè)試數(shù)據(jù)中的文檔信息； 522、提取類文本格式測(cè)試數(shù)據(jù)中的LOT信息，并嵌套在文檔信息節(jié)點(diǎn)下； 523、提取類文本格式測(cè)試數(shù)據(jù)中的WAFER信息，并嵌套在LOT信息節(jié)點(diǎn)下； 524、提取類文本格式測(cè)試數(shù)據(jù)中的SITE信息，并嵌套在WAFER信息節(jié)點(diǎn)下； 525、提取類文本格式測(cè)試數(shù)據(jù)中的測(cè)試數(shù)值，并嵌套在SITE信息節(jié)點(diǎn)下。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述LOT信息包括批號(hào)信息，產(chǎn)品名信息，量測(cè)時(shí)間信息，廠名信息，規(guī)范文件信息，工藝名信息，設(shè)備名信息，操作人員信息；所述WAFER信息包括片數(shù)信息,點(diǎn)數(shù)信息，參數(shù)數(shù)目信息，開(kāi)始時(shí)間信息，結(jié)束時(shí)間信息，測(cè)試時(shí)間信息，合格片信息，失效項(xiàng)號(hào)信息；所述SITE信息包括點(diǎn)號(hào)信息,點(diǎn)狀態(tài)，X坐標(biāo)信息，Y坐標(biāo)信息。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述步驟S2還包括: 忽略類文本格式測(cè)試數(shù)據(jù)中的無(wú)關(guān)信息，所述無(wú)關(guān)信息包括存儲(chǔ)路徑、數(shù)據(jù)上下限。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述步驟S3中存儲(chǔ)的XML格式測(cè)試數(shù)據(jù)包括用于備份的數(shù)據(jù)、用于系統(tǒng)內(nèi)使用的數(shù)據(jù)和用于系統(tǒng)外使用的數(shù)據(jù)。
7.—種如權(quán)利要求1所述的晶圓測(cè)試數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)包括: 測(cè)試模塊，用于對(duì)晶圓依次進(jìn)行測(cè)試，獲取類文本格式測(cè)試數(shù)據(jù)； 轉(zhuǎn)換模塊，用于將提取類文本格式測(cè)試數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成XML格式測(cè)試數(shù)據(jù)； 存儲(chǔ)模塊，用于將轉(zhuǎn)換后的XML格式測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行多地址存儲(chǔ)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述轉(zhuǎn)換模塊中獲得的XML格式測(cè)試數(shù)據(jù)包括測(cè)試模塊中類文本測(cè)試數(shù)據(jù)的LOT信息、WAFER信息和SITE信息。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述轉(zhuǎn)換模塊中獲得的XML格式測(cè)試數(shù)據(jù)包括: 文檔信息； 嵌套在文檔信息節(jié)點(diǎn)下的LOT信息； 嵌套在LOT信息節(jié)點(diǎn)下的WAFER信息； 嵌套在WAFER信息節(jié)點(diǎn)下的SITE信息； 嵌套在SITE信息節(jié)點(diǎn)下的測(cè)試數(shù)值。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述LOT信息包括批號(hào)信息，產(chǎn)品名信息，量測(cè)時(shí)間信息，廠名信息，規(guī)范文件信息，工藝名信息，設(shè)備名信息，操作人員信息；所述WAFER信息包括片數(shù)信息，點(diǎn)數(shù)信息，參數(shù)數(shù)目信息，開(kāi)始時(shí)間信息，結(jié)束時(shí)間信息，測(cè)試時(shí)間信息，合格片信息，失效項(xiàng)號(hào)信息；所述SITE信息包括點(diǎn)號(hào)信息,點(diǎn)狀態(tài)，X坐標(biāo)信息，Y坐標(biāo)信息。
【文檔編號(hào)】G06F17/30GK103793437SQ201210433640
【公開(kāi)日】2014年5月14日 申請(qǐng)日期:2012年11月1日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月1日
【發(fā)明者】許文慧, 連曉謙 申請(qǐng)人:無(wú)錫華潤(rùn)上華科技有限公司