專利名稱：：標(biāo)記識別方法和印刷裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種對基板印刷膏狀焊料、導(dǎo)電糊劑等糊劑的印刷裝置，特別涉及一種對被處理基板或掩模片上所設(shè)置的標(biāo)記進(jìn)行圖像識別的方法。
背景技術(shù)：
：以往，一般已知的絲網(wǎng)印刷裝置，是通過在固定于平臺上的基板上疊置掩模片(masksheet)，用刮板按壓供給到掩模片上的膏狀焊料、導(dǎo)電糊劑等糊劑，經(jīng)由掩模片上所形成的開口部將糊劑涂敷(印刷)到基板上的規(guī)定位置。在這種印刷裝置中，例如日本專利公開公報(bào)第2682145號所示，利用設(shè)置在用于支撐基板的平臺上的攝像機(jī)拍攝設(shè)置在掩模片上的基準(zhǔn)標(biāo)記，并使平臺在設(shè)于規(guī)定位置的基板識別攝像機(jī)的下方移動(dòng)，拍攝基板上的基準(zhǔn)標(biāo)記，根據(jù)上述圖像來把握掩模片與基板的相對位置關(guān)系，從而使基板相對于掩模片準(zhǔn)確地定位。即，為避免在將掩模片疊置到基板上時(shí)與平臺等發(fā)生干擾，基板識別攝像機(jī)配置在掩模片下方區(qū)域的外側(cè)，將基板搬入并固定到平臺上后，平臺再從掩模片的下方區(qū)域向外側(cè)移動(dòng)，開始對基板上的基準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行拍攝。然而，上述日本專利公開公報(bào)第2682145號所示的印刷裝置，如上所述，在搬入新的基板并固定到平臺上后，該平臺再從掩模片的下方區(qū)域向外側(cè)移動(dòng)，即向與基板識別攝像機(jī)相對的位置移動(dòng)，以開始對基板上的基準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行拍攝，所以從將基板搬入到平臺上至開始識別第一個(gè)標(biāo)記，需要時(shí)間，結(jié)果產(chǎn)生印刷作業(yè)的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間變長的問題。此外，由于識別標(biāo)記后，也需要使平臺從與基板識別攝像機(jī)相對的位置向掩模片的下方區(qū)域移動(dòng)，所以在該操作上耗費(fèi)時(shí)間，也會導(dǎo)致印刷作業(yè)的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間變長的問題。另外，關(guān)于這種印刷裝置，眾所周知的是，與安裝機(jī)及回流爐等一起使用而構(gòu)成元件的安裝生產(chǎn)線，近年來，關(guān)于這種安裝生產(chǎn)線，考慮在位于上游工序的印刷裝置中集中識別基板上所設(shè)置的各個(gè)標(biāo)記，將其圖像數(shù)據(jù)等傳送給下游工序的安裝機(jī)來使用。即，在基板上，除定位用的基準(zhǔn)標(biāo)記外，還帶有位于對精度有所要求的安裝位置附近的局部基準(zhǔn)標(biāo)記及用于判斷基板是否合格的壞板標(biāo)記等各種標(biāo)記(以下稱局部標(biāo)記等)，以往，由于安裝生產(chǎn)線所包含的各個(gè)裝置(有多個(gè)安裝機(jī)時(shí)為上述各個(gè)安裝機(jī))分別進(jìn)行必要的標(biāo)記識別作業(yè)，例如針對壞板標(biāo)記在所有裝置中重復(fù)進(jìn)行標(biāo)記識別，所以效率很低。于是，近年來，考慮在位于上游工序的印刷裝置中集中識別除定位用的基準(zhǔn)標(biāo)記以外的標(biāo)記(或其中一部分)，將其圖像數(shù)據(jù)等傳送給下游工序的安裝機(jī)，以削減用于識別標(biāo)記的總時(shí)間，縮短生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間。為此，印刷裝置中，有時(shí)除掩模片或基板上所設(shè)置的定位用的基準(zhǔn)標(biāo)記外，還要求識別很多標(biāo)記，相應(yīng)地，要求高效地進(jìn)行此類標(biāo)記識別。特別是，對于所謂的多倒棱基板(多面取り基板)而言，由于標(biāo)記數(shù)量多，高效進(jìn)行識別對縮短生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間尤為重要。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是鑒于上述問題而做出的，其目的在于在印刷裝置中高效地進(jìn)行掩模片或基板的標(biāo)記識別，以縮短生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間。為解決上述課題，本發(fā)明的標(biāo)記識別方法，是用于將掩模片疊置在印刷臺所保持的基板上，經(jīng)由上述掩模片印刷糊劑，并在該印刷操作之前使用可移動(dòng)的攝像裝置拍攝、識別基板上所設(shè)置的多個(gè)標(biāo)記的印刷裝置的上述標(biāo)記的識別方法，其中，按照預(yù)先設(shè)定的識別順序移動(dòng)上述攝像裝置，以拍攝各個(gè)標(biāo)記，并使上述攝像裝置在對象基板向上述印刷臺的搬入操作完成之前開始向該標(biāo)記識別操作過程中的第一個(gè)識別位置移動(dòng)。采用該方法，可利用把基板搬入到印刷臺之前的時(shí)間將攝像裝置移動(dòng)至第一個(gè)標(biāo)記識別位置，所以可縮短單獨(dú)進(jìn)行標(biāo)記識別操作所需的時(shí)間。在該方法中，較為理想的是，將上述標(biāo)記中、當(dāng)上述掩模片被疊置在基板上時(shí)距離位于該基板外側(cè)區(qū)域中的上述攝像裝置的待機(jī)位置最遠(yuǎn)的標(biāo)記以外的標(biāo)記作為最后一個(gè)識別標(biāo)記，以此作為設(shè)定條件來設(shè)定標(biāo)記識別順序，并按照該設(shè)定順序來移動(dòng)攝像裝置，由此對各個(gè)標(biāo)記進(jìn)行拍攝。采用該方法，由于將最遠(yuǎn)標(biāo)記以外的標(biāo)記作為最后一個(gè)識別標(biāo)記，所以在進(jìn)行最后一個(gè)標(biāo)記識別后，可使攝像裝置更迅速地向待機(jī)位置移動(dòng)，由此可使基板相對于掩模片的疊合操作盡早開始。此外，較為理想的是，將上述標(biāo)記中、當(dāng)上述掩模片被疊置在基板上時(shí)距離位于該基板外側(cè)區(qū)域中的上述攝像裝置的待機(jī)位置最近的標(biāo)記以外的標(biāo)記作為第一個(gè)識別標(biāo)記，以此作為設(shè)定條件來設(shè)定標(biāo)記的識別順序，并按照該設(shè)定順序來移動(dòng)攝像裝置，由此對各個(gè)標(biāo)記進(jìn)行拍攝。采用該方法，由于設(shè)定標(biāo)記的識別順序時(shí)，將距離攝像裝置的待機(jī)位置最近的標(biāo)記以外的標(biāo)記作為第一個(gè)識別標(biāo)記，所以可有效縮短上述的單獨(dú)操作的時(shí)間。此時(shí)，具體而言，較為理想的是，以位置距離上述待機(jī)位置最遠(yuǎn)的標(biāo)記作為第一個(gè)識別標(biāo)記來設(shè)定標(biāo)記的識別順序。另外，標(biāo)記識別所需時(shí)間的長短，很大程度上取決于攝像裝置的移動(dòng)時(shí)間。因此，雖然也可以僅根據(jù)標(biāo)記間的距離來決定拍攝順序(即選擇標(biāo)記間距離近者來依次決定拍攝順序)，但在這種情況下，有時(shí)根據(jù)與攝像裝置的移動(dòng)速度或加減速度的關(guān)系未必有效。所以，上述各個(gè)標(biāo)記識別方法中，較為理想的是，設(shè)定上述標(biāo)記的拍攝順序，以使上述攝像裝置的總移動(dòng)時(shí)間為最小。此外，上述各個(gè)標(biāo)記識別方法中，較為理想的是，在對象基板向上述印刷臺的搬入操作完成之前，預(yù)先將攝像裝置配置在第一個(gè)識別位置。采用該方法，可以切實(shí)地縮短上述的單獨(dú)操作的時(shí)間，節(jié)省了攝像裝置從待機(jī)位置移動(dòng)到第一個(gè)識別位置的移動(dòng)時(shí)間的量。此外，本發(fā)明的另一種標(biāo)記識別方法，是用于將掩模片疊置在印刷臺所保持的基板上，經(jīng)由上述掩模片印刷糊劑，并在該印刷操作前使用可移動(dòng)的攝像裝置拍攝、識別掩模片或基板上所設(shè)置的多個(gè)標(biāo)記的印刷裝置的上述標(biāo)記的識別方法，其中，設(shè)定上述標(biāo)記的識別順序，以使上述攝像裝置的總移動(dòng)時(shí)間為最小，并按照該設(shè)定順序來移動(dòng)攝像裝置，以對各個(gè)標(biāo)記進(jìn)行拍攝。采用該方法，識別掩模片的標(biāo)記或基板的標(biāo)記時(shí)攝像裝置的總移動(dòng)時(shí)間最短，所以始終能以盡可能短的時(shí)間進(jìn)行標(biāo)記的識別。此外，本發(fā)明的另一標(biāo)記識別方法，是用于將掩模片疊置在印刷臺所保持的基板上，經(jīng)由上述掩模片印刷糊劑，并在該印刷操作之前使用可移動(dòng)的攝像裝置拍攝、識別掩模片和基板上所設(shè)置的多個(gè)標(biāo)記的印刷裝置的上述掩模片的識別方法，其中，使用具有從上述掩模片下側(cè)拍攝該掩模片的標(biāo)記的第1攝像部和從上述基板上側(cè)拍攝該基板的標(biāo)記的第2攝像部的上述攝像裝置拍攝上述標(biāo)記，并將上述掩模片的標(biāo)記和上述基板的標(biāo)記作為一體來設(shè)定上述標(biāo)記的識別順序，以使上述攝像裝置的總移動(dòng)時(shí)間為最小，且按照上述設(shè)定順序來移動(dòng)攝像裝置，以對各個(gè)標(biāo)記進(jìn)行拍攝。采用該方法，由于不對掩模片和基板的各個(gè)標(biāo)記進(jìn)行區(qū)分，而一體地依次拍攝，所以與區(qū)分掩模片標(biāo)記和基板標(biāo)記(分別)進(jìn)行拍攝的情況相比，可以高效地進(jìn)行拍攝。由于在這種情況下，也按攝像裝置的總移動(dòng)時(shí)間最短來設(shè)定識別順序，所以能以盡可能短的時(shí)間進(jìn)行標(biāo)記的識別。本發(fā)明的印刷裝置，包括掩模片；印刷臺，可以相對于上述掩模片相對移動(dòng)；和攝像裝置，在上述掩模片與印刷臺分離的狀態(tài)下，可在位于掩模片和印刷臺之間的作業(yè)區(qū)域與處于該區(qū)域外側(cè)的待機(jī)位置之間進(jìn)行移動(dòng)，并可對基板上所設(shè)置的標(biāo)記進(jìn)行拍攝；經(jīng)由上述掩模片向上述印刷臺所保持的基板上印刷糊劑，并在該印刷操作之前使用攝像裝置拍攝、識別上述標(biāo)記，其特征在于包括順序設(shè)定裝置，設(shè)定上述標(biāo)記的拍攝順序；和控制裝置，按照上述順序設(shè)定裝置所設(shè)定的順序來移動(dòng)上述攝像裝置，以拍攝各個(gè)標(biāo)記，并對上述攝像裝置進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，以使該攝像裝置在對象基板向上述印刷臺的搬入操作完成之前開始向第一個(gè)識別位置移動(dòng)。該印刷裝置中，較為理想的是，上述順序設(shè)定裝置，以上述標(biāo)記中、距離攝像裝置的上述待機(jī)位置最遠(yuǎn)的標(biāo)記以外的標(biāo)記作為最后一個(gè)識別標(biāo)記，以此作為設(shè)定條件來設(shè)定標(biāo)記的識別順序。此外，上述順序設(shè)定裝置，也可以將上述標(biāo)記中、距離攝像裝置的上述待機(jī)位置最近的標(biāo)記以外的標(biāo)記作為第一個(gè)識別標(biāo)記，以此作為設(shè)定條件來設(shè)定上述標(biāo)記的拍攝順序。此外，本發(fā)明的另一印刷裝置，包括掩模片；印刷臺，可相對于上述掩模片相對移動(dòng)；和攝像裝置，在掩模片與印刷臺分離的狀態(tài)下，可在位于上述掩模片和印刷臺之間的作業(yè)區(qū)域與位于該區(qū)域外側(cè)的待機(jī)位置之間進(jìn)行移動(dòng)，且可對掩模片或基板上所設(shè)置的標(biāo)記進(jìn)行拍攝；經(jīng)由上述掩模片向上述印刷臺所保持的基板印刷糊劑，并且在該印刷操作前使用攝像裝置拍攝、識別上述標(biāo)記，其中，包括順序設(shè)定裝置，設(shè)定標(biāo)記的拍攝順序，以使上述攝像裝置的總移動(dòng)時(shí)間為最??；和控制裝置，對上述攝像裝置進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，使其按照上述順序設(shè)定裝置所設(shè)定的拍攝順序來拍攝各個(gè)標(biāo)記。另外，本發(fā)明的另一印刷裝置，包括掩模片；印刷臺，可相對于上述掩模片相對移動(dòng)；和攝像裝置，在掩模片與印刷臺分離的狀態(tài)下，可在位于上述掩模片和印刷臺之間的作業(yè)區(qū)域與位于該區(qū)域外側(cè)的待機(jī)位置之間進(jìn)行移動(dòng)，且可對掩模片或基板上所設(shè)置的標(biāo)記進(jìn)行拍攝；經(jīng)由上述掩模片向上述印刷臺所保持的基板印刷糊劑，并且在該印刷操作之前使用攝像裝置拍攝、識別上述標(biāo)記，其特征在于具有上述攝像裝置，其一體設(shè)有從上述掩模片的下側(cè)拍攝該掩模片的標(biāo)記的第1攝像部和從基板上側(cè)拍攝基板的標(biāo)記的第2攝像部；還包括順序設(shè)定裝置，將上述掩模片的標(biāo)記和上述基板的標(biāo)記作為一體來設(shè)定上述標(biāo)記的識別順序，以使上述攝像裝置的總移動(dòng)時(shí)間為最?。缓涂刂蒲b置，對上述攝像裝置進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，使其按照上述順序設(shè)定裝置所設(shè)定的順序來拍攝各個(gè)標(biāo)記。采用上述結(jié)構(gòu)，在印刷裝置的一系列操作中，標(biāo)記的拍攝順序由順序設(shè)定裝置設(shè)定，控制裝置按照該設(shè)定順序控制攝像裝置，從而對標(biāo)記進(jìn)行識別。因此，在印刷裝置中，可促進(jìn)技術(shù)方案1～3、7以及8所涉及的標(biāo)記識別方法的自動(dòng)化。在上述的印刷裝置中，較為理想的是，還包括移動(dòng)裝置，使上述攝像裝置在規(guī)定的可移動(dòng)范圍內(nèi)移動(dòng)，該攝像裝置由具有攝像機(jī)的帶有攝像機(jī)的移動(dòng)部構(gòu)成；和迂回移動(dòng)裝置，當(dāng)上述帶有攝像機(jī)的移動(dòng)部通過上述移動(dòng)裝置從當(dāng)前位置向目標(biāo)位置移動(dòng)時(shí)，若連接上述兩個(gè)位置的直線上存在干擾物，則使上述攝像裝置沿著繞過干擾物的迂回路線進(jìn)行移動(dòng)，以避免其與干擾物產(chǎn)生干擾。這樣一來，除上述效果外，還可以切實(shí)避免攝像裝置(帶有攝像機(jī)的移動(dòng)部)在移動(dòng)時(shí)與干擾物產(chǎn)生干擾，確保操作可靠性的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)了裝置的小型化。此外，本發(fā)明的另一印刷裝置，經(jīng)由掩模片向基板印刷糊劑，包括帶有攝像機(jī)的移動(dòng)部，具有用于在裝置內(nèi)進(jìn)行拍攝的攝像機(jī)；移動(dòng)裝置，使上述帶有攝像機(jī)的移動(dòng)部在規(guī)定的可移動(dòng)范圍內(nèi)進(jìn)行移動(dòng)；和迂回移動(dòng)裝置，當(dāng)上述帶有攝像機(jī)的移動(dòng)部通過上述移動(dòng)裝置從當(dāng)前位置向目標(biāo)位置移動(dòng)時(shí)，若連接上述兩個(gè)位置的直線上存在干擾物，則使上述帶有攝像機(jī)的移動(dòng)部沿著繞過干擾物的迂回路線進(jìn)行移動(dòng)，以避免其與干擾物產(chǎn)生干擾。采用該印刷裝置，可以切實(shí)避免攝像裝置(帶有攝像機(jī)的移動(dòng)部)在移動(dòng)時(shí)與干擾物產(chǎn)生干擾，確保操作可靠性的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)了裝置的小型化。該印刷裝置中，較為理想的是，還包括直進(jìn)移動(dòng)裝置，當(dāng)上述帶有攝像機(jī)的移動(dòng)部通過上述移動(dòng)裝置從當(dāng)前位置向目標(biāo)位置移動(dòng)時(shí)，若連接上述兩個(gè)位置的直線上不存在干擾物，則使上述帶有攝像機(jī)的移動(dòng)部沿著該直線上的最短路線進(jìn)行移動(dòng)。如此一來，可以攝像機(jī)可以高效地進(jìn)行移動(dòng)，提高了生產(chǎn)率。此外，上述帶有攝像機(jī)的移動(dòng)部，較為理想的是，具有拍攝基板的基板攝像機(jī)和拍攝掩模片的掩模片識別攝像機(jī)。如此一來，可用一臺移動(dòng)裝置移動(dòng)多臺攝像機(jī)，通過共用移動(dòng)裝置進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)了裝置的小型化。此外，該印刷裝置中，較為理想的是，在用于配置基板的印刷臺上設(shè)置用于支撐基板的支撐銷(backuppin)，在上述帶有攝像機(jī)的移動(dòng)部上設(shè)置相對于上述印刷臺對上述支撐銷進(jìn)行插拔的支撐銷插拔機(jī)構(gòu)。如此一來，不僅可以自動(dòng)進(jìn)行支撐銷的插拔，還可以利用帶有攝像機(jī)的移動(dòng)部的移動(dòng)裝置使支撐銷插拔機(jī)構(gòu)進(jìn)行移動(dòng)。圖1是表示本發(fā)明第1實(shí)施例所涉及的絲網(wǎng)印刷裝置的側(cè)視圖。圖2是表示上述絲網(wǎng)印刷裝置的正視圖。圖3是表示上述絲網(wǎng)印刷裝置的立體圖。圖4是表示上述絲網(wǎng)印刷裝置的攝像單元和清掃器(cleaner)部分的立體圖。圖5是表示上述絲網(wǎng)印刷裝置的控制系統(tǒng)的方框圖。圖6是表示控制部主體中所包含的功能結(jié)構(gòu)(主要與標(biāo)記識別操作的控制相關(guān)的組成部分)的方框圖。圖7(a)是表示掩模片的俯視圖，(b)是表示基板的俯視圖。圖8是以攝像機(jī)頭部的移動(dòng)路線來表示一例掩模片專用數(shù)據(jù)的示意圖。圖9是以攝像機(jī)頭部的移動(dòng)路線來表示一例基板專用數(shù)據(jù)的示意圖。圖10是以攝像機(jī)頭部的移動(dòng)路線來表示一例混合數(shù)據(jù)的示意圖。圖11是表示控制裝置對印刷操作的控制的流程圖。圖12是表示基板固定標(biāo)記識別處理的子程序的流程圖。圖13是表示標(biāo)記識別順序數(shù)據(jù)的生成處理的子程序的流程圖。圖14是表示標(biāo)記識別處理的子程序的流程圖。圖15是表示印刷操作中的一個(gè)狀態(tài)的示意圖，(a)表示攝像機(jī)頭部在印刷作業(yè)區(qū)域中移動(dòng)的狀態(tài)，(b)表示印刷準(zhǔn)備已完成的狀態(tài)。圖16是本發(fā)明第2實(shí)施例所涉及的印刷裝置的側(cè)視圖。圖17是概略表示上述印刷裝置的俯視圖。圖18是表示上述印刷裝置的主要部分的立體圖。圖19是表示上述印刷裝置的夾緊單元(clampunit)周邊的側(cè)視圖。圖20是表示上述印刷裝置的帶有攝像機(jī)的單元和清掃器的立體圖。圖21是表示上述印刷裝置的控制系統(tǒng)的方框圖。圖22是將上述印刷裝置中的帶有攝像機(jī)的單元移動(dòng)至后端的狀態(tài)的俯視圖。圖23是將上述印刷裝置中的帶有攝像機(jī)的單元移動(dòng)至前端的狀態(tài)的俯視圖。圖24是將上述印刷裝置中的帶有攝像機(jī)的單元移動(dòng)至左端的狀態(tài)的俯視圖。圖25是將上述印刷裝置中的帶有攝像機(jī)的單元移動(dòng)至右端的狀態(tài)的俯視圖。圖26是表示上述印刷裝置的操作的流程圖。圖27是表示上述印刷裝置的基板標(biāo)記識別操作的流程圖。圖28是表示上述印刷裝置的帶有攝像機(jī)的單元的移動(dòng)控制操作的流程圖。圖29是表示上述印刷裝置的模板標(biāo)記(stencilmark)識別操作的流程圖。圖30是表示上述印刷裝置的帶有攝像機(jī)的單元直進(jìn)移動(dòng)時(shí)的操作的概略俯視圖。圖31是表示上述印刷裝置的帶有攝像機(jī)的單元迂回移動(dòng)時(shí)的操作的概略俯視圖。圖32是表示現(xiàn)有印刷裝置的概略俯視圖。具體實(shí)施例方式第1實(shí)施例利用圖1～圖5對本發(fā)明的第1實(shí)施例進(jìn)行說明。圖1和圖2概略地表示本發(fā)明所涉及的絲網(wǎng)印刷裝置(使用本發(fā)明所涉及的標(biāo)記識別方法的絲網(wǎng)印刷裝置)，圖1以拆除罩體時(shí)的要部側(cè)視圖表示絲網(wǎng)印刷裝置，圖2以正視圖表示絲網(wǎng)印刷裝置。另外，該絲網(wǎng)印刷裝置，作為與圖示省略的裝料機(jī)、安裝機(jī)、回流爐和卸料機(jī)等共同構(gòu)成元件安裝生產(chǎn)線的裝置來進(jìn)行說明。如上述附圖所示，在絲網(wǎng)印刷裝置(以下簡稱為印刷裝置)的基座1上，設(shè)有印刷臺3，以該印刷臺3為中心在其兩側(cè)沿著搬送線配置用于將印刷基板W(以下簡稱為基板W)搬入和搬出印刷臺3的上游側(cè)傳送帶2A和下游側(cè)傳送帶2C。另外，在以下的說明中，以上述傳送帶2A、2C搬送基板W的方向(搬送線的方向)為X軸方向、水平面上與其正交的方向?yàn)閅軸方向、與X軸和Y軸方向均正交的方向?yàn)閆軸方向來進(jìn)行說明。印刷臺3，是保持基板W而使其相對于下述掩模片25從下側(cè)定位的裝置，主要由后述的主傳送帶2B、升降工作臺18和夾緊機(jī)構(gòu)4等構(gòu)成。該印刷臺3，支撐在4軸單元10上，在該單元10的作用下，在X軸、Y軸、Z軸和R軸(圍繞Z軸的轉(zhuǎn)動(dòng))上移動(dòng)。具體而言，基座1上，在水平面內(nèi)沿Y軸方向配置滑軌11，同時(shí)在該滑軌11上滑動(dòng)自如地安裝了Y軸工作臺12。設(shè)置在基座1上的滾珠絲杠機(jī)構(gòu)(圖示省略)與Y軸工作臺12相連，通過驅(qū)動(dòng)該滾珠絲杠機(jī)構(gòu)而使Y軸工作臺12相對于基座1在Y軸方向上移動(dòng)。在Y軸工作臺12上沿X軸方向配置滑軌13，同時(shí)在該滑軌13上滑動(dòng)自如地安裝了X軸工作臺14。設(shè)置在Y軸工作臺12上的滾珠絲杠機(jī)構(gòu)(圖示省略)與X軸工作臺14相連，通過驅(qū)動(dòng)該滾珠絲杠機(jī)構(gòu)而使X軸工作臺14相對于Y軸工作臺12在X軸方向上移動(dòng)。在X軸工作臺14上圍繞鉛垂線(Z軸方向)的軸線轉(zhuǎn)動(dòng)自如地設(shè)有R軸工作臺16，該R軸工作臺16在圖示以外的驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)下相對于X軸工作臺14圍繞Z軸轉(zhuǎn)動(dòng)。在R軸工作臺16上沿上下方向(Z軸方向)滑動(dòng)自如地安裝有滑動(dòng)支柱17，同時(shí)在該滑動(dòng)支柱17的上部安裝有升降工作臺18。在升降工作臺18與R軸工作臺16之間設(shè)有滾珠絲杠機(jī)構(gòu)19，通過驅(qū)動(dòng)該滾珠絲杠機(jī)構(gòu)19使升降工作臺18在滑動(dòng)支柱17的引導(dǎo)下相對于R軸工作臺16在Z軸方向(上下方向)上移動(dòng)。這樣，4軸單元10，通過分別驅(qū)動(dòng)上述各個(gè)工作臺12、14、16、18，使印刷臺3在X軸、Y軸、Z軸和R軸(圍繞Z軸的轉(zhuǎn)動(dòng))上移動(dòng)。在升降工作臺18上，沿X軸方向設(shè)有一對主傳送帶2B，同時(shí)還設(shè)有夾緊機(jī)構(gòu)4、定位機(jī)構(gòu)5和載置工作臺20等。另外，如上所述，本實(shí)施例中，由上述升降工作臺18、主傳送帶2B等構(gòu)成用于保持基板W的上述印刷臺3。主傳送帶2B，隨著升降工作臺18的升降與其一體移動(dòng)，升降工作臺18在設(shè)定于規(guī)定的初始位置(homeposition)(為下降端位置，且為X軸、Y軸和R軸方向的預(yù)定原點(diǎn)位置)的狀態(tài)下，與上游側(cè)傳送帶2A和下游側(cè)傳送帶2C在X軸方向上排成一列。這樣一來，將升降工作臺18設(shè)定在初始位置上，從而將基板W從上游側(cè)傳送帶2A向印刷臺3(主傳送帶2B)搬入和將基板W從印刷臺3向下游側(cè)傳送帶2C搬出。夾緊機(jī)構(gòu)4，是在作業(yè)過程中固定地保持基板W的機(jī)構(gòu)，具有在Y軸方向上可靠近分離的一對夾片4a，由上述夾片4a從Y軸方向兩側(cè)夾住基板W加以固定。該夾緊機(jī)構(gòu)4，以氣缸為驅(qū)動(dòng)源，可在該氣缸的作用下，在夾片4a相互靠近的夾緊狀態(tài)和兩夾片4a相互分離的夾緊解除狀態(tài)之間進(jìn)行切換。定位機(jī)構(gòu)5，無詳細(xì)圖示，是在由上述夾緊機(jī)構(gòu)4夾緊基板W之前，限制基板W的撓曲等并對基板W進(jìn)行定位的機(jī)構(gòu)。載置工作臺20，是對主傳送帶2B上的基板W從其下側(cè)抬高而支撐基板W的裝置。該載置工作臺20，通過滑動(dòng)支柱21可升降地支撐在升降工作臺18上，同時(shí)與設(shè)置在該工作臺20和升降工作臺18之間的滾珠絲杠機(jī)構(gòu)(圖示省略)相連，通過驅(qū)動(dòng)該滾珠絲杠機(jī)構(gòu)使其相對于升降工作臺18在Z軸方向(上下方向)上移動(dòng)。另一方面，在印刷臺3等的上方，配置有掩模片保持單元6、刮板單元7、攝像單元8和清掃器9等。掩模片保持單元6，是保持掩模片25的機(jī)構(gòu)。該掩模片保持單元6，如圖3和圖4所示，具有分別固定在高架狀的一對框架30上的掩模片支撐臺26，其中所述一對框架30通過支柱60支撐在基座1上，由設(shè)置在上述掩模片支撐臺26上的掩模片夾27夾緊掩模片25的框部，從而在上述印刷臺3的上方，以水平架設(shè)的狀態(tài)保持掩模片25。刮板單元7，對由圖示以外的吸嘴供給到上述掩模片25上的膏狀焊料、導(dǎo)電糊劑等糊劑，一邊進(jìn)行滾壓(混合)一邊進(jìn)行擴(kuò)展。該刮板單元7，分別固定在上述各個(gè)框架30上，包括在Y軸方向上延伸的滑軌31，以橫跨上述滑軌31的狀態(tài)安裝、并受圖示以外的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)而在Y軸方向上移動(dòng)的橫梁32，用于在掩模片25上擴(kuò)展糊劑的一對刮板33、33，和設(shè)置在橫梁32上并單獨(dú)使刮板33、33進(jìn)行升降的升降機(jī)構(gòu)；印刷時(shí)，橫梁32一邊在Y軸方向上往復(fù)移動(dòng)，一邊使上述刮板33、33交替地沿著掩模片25的表面滑動(dòng)，從而在掩模片25上擴(kuò)展糊劑。攝像單元8，是用于拍攝基板W和掩模片25的機(jī)構(gòu)，設(shè)置在掩模片保持單元6的下側(cè)。攝像單元8，作為一體設(shè)有掩模片識別攝像機(jī)41和基板識別攝像機(jī)42的攝像裝置，具有攝像機(jī)頭部40和使該攝像機(jī)頭部40移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，通過使上述攝像機(jī)頭部40在X軸方向和Y軸方向上平面移動(dòng)來拍攝掩模片25和基板W。具體而言，在上述各個(gè)框架30的下表面，分別設(shè)有在Y軸方向上延伸的一對滑軌35，上述滑軌35上可移動(dòng)地安裝了沿X軸方向延伸的橫梁36，同時(shí)將支撐在框架30上且由電動(dòng)機(jī)37驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)的滾珠絲杠軸38螺合插入到該橫梁36的圖示以外的螺母部分。此外，在橫梁36上設(shè)有在X軸方向上延伸的一對滑軌39，在上述滑軌39上可移動(dòng)地安裝有攝像機(jī)頭部40，同時(shí)將裝載在橫梁36上的由電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)的未圖示的滾珠絲杠軸螺合插入到攝像機(jī)頭部40的圖示以外的螺母部分。即，隨著上述各個(gè)滾珠絲杠軸的轉(zhuǎn)動(dòng)，橫梁36相對于上述框架30在Y軸方向上移動(dòng)，攝像機(jī)頭部40相對于橫梁36在X軸方向上移動(dòng)，從而使攝像機(jī)頭部40在印刷作業(yè)區(qū)域WE及其外側(cè)的區(qū)域(退避區(qū)域)之間平面移動(dòng)。掩模片識別攝像機(jī)41和基板識別攝像機(jī)42，都由包括照明的CCD攝像機(jī)等構(gòu)成。上述攝像機(jī)中，掩模片識別攝像機(jī)41(相當(dāng)于本發(fā)明所涉及的第1攝像部)朝上設(shè)置，以便對設(shè)置在掩模片25的下表面上的基準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行拍攝，同時(shí)可根據(jù)需要拍攝掩模片的污垢等。另一方面，基板識別攝像機(jī)42(相當(dāng)于本發(fā)明所涉及的第2攝像部)則朝下設(shè)置，以便拍攝設(shè)置在基板W上的基準(zhǔn)標(biāo)記、局部基準(zhǔn)標(biāo)記、壞板標(biāo)記等各種標(biāo)記。另外，上述攝像機(jī)41、42，光軸排列在同一軸線上地上下對稱設(shè)置在攝像機(jī)頭部40中，由此可拍攝X-Y坐標(biāo)平面的相同位置上的上下互異的對象物。清掃器9，是從掩模片25的下表面?zhèn)葘ζ溥M(jìn)行清掃的裝置，一體安裝在攝像單元8的上述橫梁36上。清掃器9，具有受圖示以外的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)而進(jìn)行升降的清掃頭部(cleaninghead)44，清掃時(shí)，該清掃頭部44設(shè)定在上升位置上，以便使該頭部44隨著上述橫梁36的移動(dòng)滑接掩模片25進(jìn)行清掃。另外，雖然未具體圖示，但是清掃頭部44，保持有卷繞擦拭紙的卷軸，通過從該卷軸拉出擦拭紙，來吸取并拭去掩模片的下表面和開口部上殘留的糊劑等。圖5用方框圖概略地表示上述印刷裝置的控制系統(tǒng)。在該印刷裝置中，設(shè)有同圖所示的對上述各單元的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行集中控制的控制裝置50。該驅(qū)動(dòng)裝置50，包括控制部主體51、鍵盤/鼠標(biāo)等輸入裝置58、液晶監(jiān)視器等顯示裝置59、控制電路61、圖像處理電路62、照明控制電路63和光磁盤等外部存儲裝置57等?？刂撇恐黧w51，包括執(zhí)行邏輯運(yùn)算的眾所周知的CPU52，預(yù)先存儲控制該CPU52的各種程序等的ROM53，臨時(shí)存儲裝置運(yùn)行過程中的各種數(shù)據(jù)的RAM54，存儲各種程序、OS以及生產(chǎn)程序等各種數(shù)據(jù)的HDD55，和I/O控制器(IOC)56等，上述CPU52等構(gòu)成由內(nèi)部總線互相連接的結(jié)構(gòu)。IOC56上，連接有上述輸入裝置58和顯示裝置59，同時(shí)連接有攝像單元8的電動(dòng)機(jī)37等的控制電路61、上述攝像機(jī)41、42的圖像處理電路62和照明控制電路63等。根據(jù)CPU52基于從輸入裝置58輸入的各種輸入信息而發(fā)出的指令，由該IOC56對控制電路61等與控制部主體51之間的各種控制信號和各種數(shù)據(jù)的輸入進(jìn)行控制，從而通過控制部主體51控制各單元的動(dòng)作。另外，該圖中，為了方便起見，伺服電機(jī)雖然僅顯示了攝像單元8的電動(dòng)機(jī)37，此處還包含除此以外的驅(qū)動(dòng)各種單元的裝置，例如在X軸方向上驅(qū)動(dòng)攝像機(jī)頭部40的未圖示的電動(dòng)機(jī)，4軸單元10的X軸、Y軸、Z軸和R軸的各種驅(qū)動(dòng)裝置，上游側(cè)傳送帶2A、下游側(cè)傳送帶2C、主傳送帶2B、刮板33、33的升降裝置等的各種促動(dòng)器，此外還分別包含，各促動(dòng)器由電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)時(shí)的該電動(dòng)機(jī)，以氣缸為驅(qū)動(dòng)源時(shí)氣壓電路中的電動(dòng)切換閥。圖6用方框圖概略地表示，控制部主體51所包含的功能結(jié)構(gòu)中與攝像單元8的標(biāo)記識別的操作控制相關(guān)的部分。如該圖所示，控制部主體51，包含有主控制部511、識別順序設(shè)定部512(相當(dāng)于本發(fā)明所涉及的順序設(shè)定裝置)和存儲部513。主控制部511，通過控制電路61對各種單元的電動(dòng)機(jī)等進(jìn)行集中控制，同時(shí)進(jìn)行該印刷處理所需的各種運(yùn)算，以便按照預(yù)先存儲的程序執(zhí)行一系列印刷處理。此外，還用作信息發(fā)送裝置，將后述標(biāo)記識別操作過程中所識別出的基板W的標(biāo)記中的、下游工序的安裝機(jī)所使用的標(biāo)記的圖像數(shù)據(jù)或由該圖像數(shù)據(jù)所求出的標(biāo)記位置的相關(guān)數(shù)據(jù)發(fā)送到該安裝機(jī)一側(cè)。識別順序設(shè)定部512，對標(biāo)記識別操作時(shí)的標(biāo)記識別順序、即用攝像機(jī)頭部40拍攝設(shè)置在掩模片25上的標(biāo)記和設(shè)置在基板W上的標(biāo)記時(shí)的順序進(jìn)行設(shè)定，上述主控制部511，按照在此設(shè)定的順序來控制攝像機(jī)頭部40的移動(dòng)，以便拍攝標(biāo)記。具體而言，在掩模片25的下表面上，例如圖7(a)所示，在掩模片的角部設(shè)有定位用的基準(zhǔn)標(biāo)記Ma。另一方面，在基板W上，雖然根據(jù)其種類會有所不同，例如圖7(b)所示，在具有多個(gè)(圖示的例子中為6個(gè))組塊(block)B的所謂多倒棱基板的情況下，在基板W的角部上設(shè)有整個(gè)基板定位用的基準(zhǔn)標(biāo)記M1，并在各組塊B的角部上設(shè)有位置識別用的基準(zhǔn)標(biāo)記M2。此外，各組塊B，還設(shè)有，例如安裝精度要求高的布線圖形用的局部基準(zhǔn)標(biāo)記M3(以下，為與基準(zhǔn)標(biāo)記M1、M2相區(qū)分，稱為局部標(biāo)記M3)、用于判斷組塊B是否合格的壞塊標(biāo)記M4等。換言之，識別順序設(shè)定部512，根據(jù)存儲在存儲部513中的掩模片25及基板W的各個(gè)標(biāo)記Ma、M1～M4的位置(坐標(biāo))的有關(guān)信息、各單元的驅(qū)動(dòng)條件相關(guān)信息，例如關(guān)于攝像機(jī)頭部40的移動(dòng)速度、加減速度等驅(qū)動(dòng)條件的相關(guān)數(shù)據(jù)等，對識別順序進(jìn)行演算，在存儲部513中更新存儲該數(shù)據(jù)(稱為識別順序數(shù)據(jù))，以便能高效地拍攝上述標(biāo)記Ma、M1～M4。在此，識別順序設(shè)定部512，作為識別順序數(shù)據(jù)，例如根據(jù)操作者用輸入裝置58輸入的指示生成3種數(shù)據(jù)，具體而言，分別生成，僅依次拍攝掩模片25的基準(zhǔn)標(biāo)記Ma的數(shù)據(jù)(稱為掩模片專用數(shù)據(jù))，僅依次拍攝基板W的標(biāo)記M1～M4的數(shù)據(jù)(稱為基板專用數(shù)據(jù))，依次一體拍攝掩模片25和基板W雙方的標(biāo)記Ma、M1～M4的數(shù)據(jù)(稱為混合數(shù)據(jù))，且生成各數(shù)據(jù)時(shí)的條件為(1)選擇標(biāo)記識別動(dòng)作過程中的攝像機(jī)頭部40的總移動(dòng)時(shí)間最小者。此外，對于基板專用數(shù)據(jù)而言，生成數(shù)據(jù)時(shí)的條件還包括(2)以攝像機(jī)頭部40的初始位置HP(待機(jī)位置)為基準(zhǔn)，將距離該位置最遠(yuǎn)的位置(坐標(biāo))上的標(biāo)記作為第一個(gè)的拍攝標(biāo)記，(3)以攝像機(jī)頭部40的初始位置HP為基準(zhǔn)，將距離該位置最近或至少在Y軸方向上最近的位置(坐標(biāo))上的標(biāo)記作為最后一個(gè)拍攝標(biāo)記。圖8～圖10，按照攝像機(jī)頭部40的移動(dòng)路線來表示識別圖7所示的掩模片25和基板W的各個(gè)標(biāo)記Ma、M1～M4時(shí)的識別順序數(shù)據(jù)的內(nèi)容。具體而言，圖8是掩模片專用數(shù)據(jù)的例子，將拍攝順序設(shè)定為首先，拍攝遠(yuǎn)離攝像機(jī)頭部40的初始位置HP一側(cè)的基準(zhǔn)標(biāo)記Ma，然后拍攝初始位置HP一側(cè)的基準(zhǔn)標(biāo)記Ma。另外，該圖中的符號WE表示印刷作業(yè)區(qū)域WE，攝像機(jī)頭部40的初始位置HP如該圖所示設(shè)定在該區(qū)域WE的外側(cè)。圖9是基板專用數(shù)據(jù)的例子，將拍攝順序設(shè)定為首先，拍攝遠(yuǎn)離攝像機(jī)頭部40的初始位置HP一側(cè)的基準(zhǔn)標(biāo)記M1，依次拍攝各個(gè)組塊B的壞板標(biāo)記M4后，再拍攝初始位置HP一側(cè)的基準(zhǔn)標(biāo)記M1。另外，該圖中為了說明的方便，表示僅拍攝基準(zhǔn)標(biāo)記M1和各組塊B的壞塊標(biāo)記M4的情況(圖10也同樣)。圖10是混合數(shù)據(jù)的例子，將拍攝順序設(shè)定為首先，拍攝遠(yuǎn)離攝像機(jī)頭部40的初始位置HP一側(cè)的掩模片25的基準(zhǔn)標(biāo)記Ma，接著拍攝最近的基板W的基準(zhǔn)標(biāo)記M1后，依次拍攝基板W的各組塊B的壞板標(biāo)記M4。然后，依次拍攝基板W的其余的基準(zhǔn)標(biāo)記M1和掩模片25的其余的基準(zhǔn)標(biāo)記Ma。另外，圖8～圖10所示的各個(gè)數(shù)據(jù)的內(nèi)容(拍攝順序)，是為了方便而設(shè)定的，不一定與圖示的標(biāo)記Ma、M1～M4的實(shí)際拍攝順序一致。存儲部513，如上所述，存儲生產(chǎn)程序、各個(gè)單元的驅(qū)動(dòng)條件相關(guān)信息、掩模片的相關(guān)信息、基板的相關(guān)信息等該印刷裝置的作業(yè)所必需的各種數(shù)據(jù)，同時(shí)在作業(yè)過程中，更新存儲由識別順序設(shè)定部512設(shè)定的識別順序數(shù)據(jù)(掩模片專用數(shù)據(jù)、基板專用數(shù)據(jù)、混合數(shù)據(jù))。下面，按照圖11～圖14的流程圖對上述控制裝置50對基板W的印刷操作控制進(jìn)行說明。圖11是以時(shí)間序列表示對印刷操作的控制的流程圖。該印刷裝置開始生產(chǎn)后，首先讀入生產(chǎn)程序，進(jìn)而讀入各種數(shù)據(jù)，從而在識別順序設(shè)定部512中生成標(biāo)記的識別順序數(shù)據(jù)(步驟S1、S2)。此時(shí)，印刷臺3，以未保持基板W的狀態(tài)固定在初始位置上(4軸單元10中升降工作臺18位于下降端位置，且固定在X軸、Y軸和R軸方向上的預(yù)定原點(diǎn)位置上的狀態(tài))，此外，攝像機(jī)頭部40固定在上述初始位置HP上。另外，刮板單元7也以將兩刮板33、33保持在上升位置的狀態(tài)固定于規(guī)定的初始位置上。圖13是表示步驟S2(標(biāo)記識別順序數(shù)據(jù)的生成)的子程序的流程圖。在該處理中，首先，獲取攝像機(jī)頭部40的移動(dòng)速度、加減速度等的驅(qū)動(dòng)條件相關(guān)數(shù)據(jù)，判斷是否需要生成基板專用數(shù)據(jù)，即安裝生產(chǎn)線中是否使用(識別)基板W的標(biāo)記M1～M4(步驟S21、S22)。此處判斷為是時(shí)，獲取基板W的標(biāo)記相關(guān)數(shù)據(jù)，生成如用圖9說明的標(biāo)記M1～M4的識別順序數(shù)據(jù)(基板專用數(shù)據(jù))，將該數(shù)據(jù)存儲到存儲部513中(步驟S23～S25)。另外，步驟S32中判斷為否時(shí)，移至步驟S26。接著，判斷是否需要生成掩模片專用數(shù)據(jù)，即安裝生產(chǎn)線是否使用(識別)掩模片25的標(biāo)記Ma(步驟S26)。此處判斷為是時(shí)，獲取掩模片25的標(biāo)記相關(guān)數(shù)據(jù)，生成如用圖8說明的標(biāo)記Ma的識別順序數(shù)據(jù)(掩模片專用數(shù)據(jù))，將該數(shù)據(jù)存儲到存儲部513中(步驟S27～S29)。另外，步驟S26中判斷為否時(shí)，移至步驟S30。進(jìn)而，在步驟S30中判斷是否需要生成混合數(shù)據(jù)(步驟S30)，此處判斷為是時(shí)，獲取掩模片25和基板W的標(biāo)記相關(guān)數(shù)據(jù)，生成如用圖10說明的標(biāo)記Ma、M1～M4的識別順序數(shù)據(jù)(混合數(shù)據(jù))，將該數(shù)據(jù)存儲到存儲部513中(步驟S31～S32)。由此結(jié)束步驟S2的子程序。另外，步驟S30中判斷為否時(shí)，跳過步驟S31、32，結(jié)束處理。返回圖11，當(dāng)標(biāo)記識別順序數(shù)據(jù)的生成結(jié)束時(shí)(T1時(shí)刻)，將基板W搬入印刷臺3并加以固定，同時(shí)如圖15(a)所示，使攝像機(jī)頭部40從初始位置HP向印刷作業(yè)區(qū)域WE移動(dòng)，依次拍攝基板W的各個(gè)標(biāo)記M1～M4，同時(shí)拍攝掩模片25的基準(zhǔn)標(biāo)記Ma。關(guān)于對該標(biāo)記識別操作的控制，稍后用圖12詳細(xì)說明。另外，首先，使載置工作臺20上升，以抬高搬入主傳送帶2B的基板W，一邊由定位機(jī)構(gòu)5對基板W進(jìn)行定位，一邊由夾緊機(jī)構(gòu)4夾住基板W，從而將基板W固定到印刷臺3上。由此，如圖15(a)所示，基板W以由載置工作臺20從下側(cè)進(jìn)行支撐的狀態(tài)、且由夾緊機(jī)構(gòu)14從兩側(cè)夾住的狀態(tài)保持水平。標(biāo)記的識別結(jié)束后，攝像機(jī)頭部40從印刷作業(yè)區(qū)域WE復(fù)位到初始位置HP(圖15(a)中的雙點(diǎn)劃線所示)，4軸單元10工作，使基板W與印刷臺3一起上升，由此從掩模片25的下側(cè)將基板W疊置到掩模片25上(步驟S4)。此時(shí)，根據(jù)步驟S3中的標(biāo)記Ma、M1的識別結(jié)果，求取掩模片25和基板W的相對位置關(guān)系，根據(jù)該位置關(guān)系對4軸單元等進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，使基板W相對于掩模片25進(jìn)行定位。此外，基本與該疊置操作并行地將刮板單元7的刮板33、33移動(dòng)到規(guī)定的印刷開始位置上，同時(shí)使其中一個(gè)刮板33下降，與掩模片25的表面接觸(步驟S5)。完成上述操作時(shí)(T2時(shí)刻)，向掩模片25上供給糊劑后(參照圖15(b))，使刮板33向Y軸方向移動(dòng)以擴(kuò)展糊劑(步驟S6)。由此通過掩模片25的圖形孔在基板W的規(guī)定位置上印刷(涂敷)糊劑。對基板W的印刷作業(yè)結(jié)束后，使印刷臺3下降一些，以使基板W脫離掩模片25(離版)，迅速復(fù)位到初始位置上(步驟S7)。當(dāng)印刷臺3復(fù)位至初始位置時(shí)(T3時(shí)刻)，解除夾緊機(jī)構(gòu)4對基板W的固定，在通過傳送帶2B、2C的工作將基板W搬出的同時(shí)，與此并行地開始對掩模片25進(jìn)行清掃(步驟S9、S10)。具體而言，通過驅(qū)動(dòng)橫梁36，一邊使與橫梁36形成一體的清掃器9在Y軸方向上往復(fù)移動(dòng)，一邊使清掃頭部44從掩模片25的下側(cè)與掩模片25滑動(dòng)接觸。此外，與上述操作并行地使刮板33上升(步驟S11)。步驟S9～S11的各個(gè)操作開始后(T4時(shí)刻)，判斷是否已完成規(guī)定的生產(chǎn)塊數(shù)(步驟S12)，此處判斷為否時(shí)返回步驟S3、S5，重復(fù)上述T1時(shí)刻以后的處理。與此相對，步驟S12中判斷為是時(shí)，等待清掃器9結(jié)束清掃操作并結(jié)束生產(chǎn)。下面，利用圖12的流程圖對上述步驟S3的處理(基板固定、標(biāo)記識別處理)的操作控制進(jìn)行更為詳細(xì)的說明。首先，在上述標(biāo)記的識別順序數(shù)據(jù)生成完成后(T1時(shí)刻)，從控制裝置50向上游工序的裝置(裝料機(jī))輸出基板要求信號，判斷是否要求搬入基板(步驟S301、S302)。此處，判斷要求搬入基板時(shí)，使傳送帶2A、2B工作，將基板W搬入到印刷臺3上，同時(shí)如上所述，由夾緊機(jī)構(gòu)4等對基板W進(jìn)行固定(步驟S303、S304)。另外，步驟S302中判斷為否時(shí)，返回步驟S301，進(jìn)入基板W的搬入待機(jī)狀態(tài)。在進(jìn)行上述操作控制的同時(shí)，等待清掃器9結(jié)束清掃操作(步驟S305是)，清掃結(jié)束后，判斷是否識別掩模片25的基準(zhǔn)標(biāo)記Ma(步驟S306)。這是由于，本實(shí)施例中，僅在生產(chǎn)開始時(shí)和生產(chǎn)規(guī)定塊數(shù)時(shí)，才對掩模片25的基準(zhǔn)標(biāo)記Ma進(jìn)行識別。此處判斷為否時(shí)，從上述3種識別順序數(shù)據(jù)中讀入基板專用數(shù)據(jù)(參照圖9)，根據(jù)該數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)攝像單元8，使攝像機(jī)頭部40在印刷作業(yè)區(qū)域WE內(nèi)移動(dòng)，配置到第一個(gè)標(biāo)記識別(拍攝)位置上。另外，清掃器9的清掃操作時(shí)間，是印刷結(jié)束后，從開始搬出基板W到完成下一塊基板W向印刷臺3的搬入為止的時(shí)間，具體而言，大大短于到夾緊機(jī)構(gòu)4完成對基板W的固定(完成步驟S304的處理)為止的時(shí)間，控制裝置50，對攝像單元8進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，使得在完成基板W向印刷臺3的搬入前，將攝像機(jī)頭部40配置到第一個(gè)標(biāo)記識別位置上。另外，生產(chǎn)開始之后，清掃器9并不是立即執(zhí)行對掩模片25的清掃操作，所以跳過步驟S305的處理，移至步驟S306，所以此時(shí)，控制裝置50對攝像單元8進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，使得在首次完成基板W向印刷臺3的搬入之前，將攝像機(jī)頭部40配置到第一個(gè)標(biāo)記識別位置上。與此相對，步驟S306中判斷為是時(shí)，判斷是否已完成基板W向印刷臺3的搬入(步驟S310)，此處判斷為否時(shí)，驅(qū)動(dòng)攝像單元8，拍攝掩模片25的基準(zhǔn)標(biāo)記Ma(步驟S311)。圖14是表示步驟S311(標(biāo)記識別操作)的子程序的流程圖。在該處理中，首先從識別順序數(shù)據(jù)中讀入掩模片專用數(shù)據(jù)(參照圖8)，將標(biāo)記的計(jì)數(shù)器值i置為“1”，將攝像機(jī)頭部40移動(dòng)到標(biāo)記識別位置(Pi)上拍攝標(biāo)記(步驟S41～S44)。判斷標(biāo)記的識別是否成功(步驟S45)，此處判斷為是時(shí)，計(jì)數(shù)器值i加1(步驟S46)。然后判斷是否全部標(biāo)記的識別都已完成(步驟S47)，此處判斷為否時(shí)，移至步驟S43重復(fù)步驟S43～步驟S46的處理。與此相對，步驟S47中判斷為是時(shí)，即判斷全部標(biāo)記的識別都已完成時(shí)，結(jié)束標(biāo)記的識別操作。另外，步驟S45中判斷為否時(shí)，用規(guī)定的警示燈亮燈等方式通知操作者，同時(shí)使印刷裝置停止。返回圖12，步驟S311中，掩模片25的標(biāo)記識別完成后，讀入基板專用數(shù)據(jù)(參照圖9)，根據(jù)該數(shù)據(jù)使攝像機(jī)頭部40向第一個(gè)標(biāo)記識別位置移動(dòng)(步驟S312)。完成基板W向印刷臺3的搬入、且完成攝像機(jī)頭部40向基板W的第一個(gè)標(biāo)記識別位置的配置后(T1′時(shí)刻)，根據(jù)基板專用數(shù)據(jù)對攝像單元8進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，利用基板識別攝像機(jī)42依次拍攝基板W的各個(gè)標(biāo)記M1～M4。此時(shí)的操作控制，與之前說明的對掩模片25的標(biāo)記識別操作的控制(參照圖14)基本相同。但是，步驟S308的處理，由于是將攝像機(jī)頭部40配置到第一個(gè)標(biāo)記識別位置上后的處理，所以在最初的循環(huán)中跳過圖14中的步驟S43的處理。這樣，各個(gè)標(biāo)記M1～M4中，攝像機(jī)頭部40對最后一個(gè)標(biāo)記拍攝完成后，以最短的移動(dòng)距離使攝像機(jī)頭部40復(fù)位到初始位置HP上。另一方面，步驟S310中判斷為是時(shí)，從識別順序數(shù)據(jù)中讀入混合數(shù)據(jù)(參照圖10)，根據(jù)該數(shù)據(jù)移動(dòng)攝像機(jī)頭部40，利用掩模片識別攝像機(jī)41拍攝掩模片25的基準(zhǔn)標(biāo)記Ma，利用基板識別攝像機(jī)42拍攝基板W的各個(gè)標(biāo)記M1～M4，從而對掩模片25和基板W的各個(gè)標(biāo)記Ma、M1～M4進(jìn)行拍攝。此時(shí)，對標(biāo)記識別操作的控制，與之前說明的對掩模片25的標(biāo)記識別操作的控制(參照圖14)是相同的。然后，在掩模片25和基板W的各個(gè)標(biāo)記Ma、M1～M4的拍攝完成后，攝像機(jī)頭部40復(fù)位到初始位置HP上，由此結(jié)束對掩模片25和基板W的標(biāo)記識別。另外，進(jìn)行步驟S308和步驟S313的處理后，根據(jù)所拍攝的各個(gè)標(biāo)記Ma、M1～M4的圖像求取掩模片25和基板W的相對位置關(guān)系，生成疊置掩模片時(shí)(圖11的步驟S4)的修正數(shù)據(jù)，同時(shí)根據(jù)需要將基板W的各個(gè)標(biāo)記M2～M4的識別結(jié)果發(fā)送給下游工序的安裝機(jī)等。采用本發(fā)明所涉及的上述印刷裝置(本發(fā)明所涉及的標(biāo)記識別方法)，在將基板W搬入印刷臺3到搬出的一系列印刷操作中，可以高效地進(jìn)行掩模片25及基板W的標(biāo)記識別，其結(jié)果，具有能夠縮短元件安裝生產(chǎn)線的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間的優(yōu)點(diǎn)。即，在該印刷裝置中，雖然在開始印刷作業(yè)之前對搬入印刷臺3的基板W的各個(gè)標(biāo)記M1～M4進(jìn)行識別，但此時(shí)，由于與基板W向印刷臺3的搬入操作并行地將攝像機(jī)頭部40移動(dòng)到第一個(gè)標(biāo)記識別位置(圖12的步驟S307、S312)，所以可以相應(yīng)地縮短標(biāo)記識別單獨(dú)操作的時(shí)間。特別是，僅拍攝基板W的標(biāo)記M1～M4時(shí)(步驟S307)，由于對攝像單元8進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，使得在完成基板W向印刷臺3的搬入之前，將攝像機(jī)頭部40配置到第一個(gè)標(biāo)記識別位置上，所以例如與完成基板W向印刷臺3的搬入后再將攝像機(jī)頭部40移動(dòng)到第一個(gè)標(biāo)記識別位置上的情況相比，可以縮短標(biāo)記識別單獨(dú)操作所需的時(shí)間，縮短了攝像機(jī)頭部40從初始位置HP移動(dòng)到第一個(gè)標(biāo)記識別位置的時(shí)間量。而且，在該印刷裝置中，關(guān)于標(biāo)記的識別順序，設(shè)定基板W或掩模片25的標(biāo)記識別順序時(shí)的條件為，以攝像機(jī)頭部40的初始位置HP為基準(zhǔn)，將距離該位置最遠(yuǎn)的位置(坐標(biāo))上的標(biāo)記作為第1個(gè)拍攝標(biāo)記(上述條件(2))，即，將攝像機(jī)頭部40移動(dòng)所需時(shí)間最長的位置上的標(biāo)記設(shè)定為第一個(gè)標(biāo)記，如此使耗時(shí)的移動(dòng)操作與基板的搬入操作并行地進(jìn)行(使之在完成基板W向印刷臺3的搬入之前開始)，所以可以有效地縮短標(biāo)記識別單獨(dú)操作所需的時(shí)間。此外，關(guān)于標(biāo)記識別順序的設(shè)定，根據(jù)掩模片25的標(biāo)記Ma的位置(坐標(biāo))、基板W的M1～M4的位置、攝像機(jī)頭部40的移動(dòng)速度或加減速度等驅(qū)動(dòng)條件等，以標(biāo)記識別所需的攝像機(jī)頭部40的總移動(dòng)時(shí)間最短為條件(上述條件(1))來設(shè)定該順序，所以可以以盡可能短的時(shí)間進(jìn)行標(biāo)記識別操作本身。此處，例如，也可僅考慮標(biāo)記間的距離，選擇距離近者來設(shè)定依次識別順序，但此時(shí)，未必能利用與攝像機(jī)頭部40的移動(dòng)速度或加減速度等驅(qū)動(dòng)條件等的關(guān)系在盡可能短的時(shí)間內(nèi)進(jìn)行標(biāo)記識別。與此相對，如果采用上述實(shí)施例，由于將該順序設(shè)定為使攝像機(jī)頭部40的總移動(dòng)時(shí)間最小，所以能切實(shí)地以盡可能短的時(shí)間實(shí)施標(biāo)記的識別，從而可以有效縮短標(biāo)記識別操作本身的時(shí)間。此外，標(biāo)記識別操作后，可迅速地使攝像機(jī)頭部40從掩模片25和基板W之間的空間移動(dòng)退避到初始位置HP，可以盡早實(shí)施基板W上升而與掩模片25疊合的操作，結(jié)果可以縮短生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間。另外，在該印刷裝置中，由于作為識別順序數(shù)據(jù)預(yù)先生成混合數(shù)據(jù)，該混合數(shù)據(jù)為一體識別基板W的標(biāo)記M1～M4和掩模片25的基準(zhǔn)標(biāo)記Ma的識別順序數(shù)據(jù)、且滿足上述條件(1)，在完成基板W向印刷臺3的搬入后再識別掩模片25和基板W的各個(gè)標(biāo)記Ma、M1～M4時(shí)(步驟S313)，根據(jù)該混合數(shù)據(jù)識別各個(gè)標(biāo)記Ma、M1～M4，所以例如與分別識別掩模片25的基準(zhǔn)標(biāo)記Ma和基板W的各個(gè)標(biāo)記M1～M4的情況相比，可以有效地縮短標(biāo)記識別操作的時(shí)間。如此，采用該印刷裝置(標(biāo)記識別方法)，可以有效地縮短一系列的印刷操作時(shí)間(生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間)中的標(biāo)記識別單獨(dú)操作所需的時(shí)間，而且由于可以有效縮短標(biāo)記識別操作本身的時(shí)間，還可以有效地縮短元件安裝生產(chǎn)線中的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間。此外，上述印刷裝置是本發(fā)明所涉及的印刷裝置(采用本發(fā)明所涉及的標(biāo)記識別方法的印刷裝置)的一個(gè)實(shí)施例，其具體結(jié)構(gòu)或標(biāo)記識別方法可以在不脫離本發(fā)明主旨的范圍內(nèi)適當(dāng)進(jìn)行變更。例如也可應(yīng)用如下的結(jié)構(gòu)(方法)。在上述實(shí)施例中，關(guān)于基板專用數(shù)據(jù)的生成(僅識別基板W的標(biāo)記M1～M4時(shí)的識別順序的設(shè)定)，雖然以攝像機(jī)頭部40的初始位置HP為基準(zhǔn)，將距離該位置最遠(yuǎn)的位置(坐標(biāo))上的標(biāo)記作為第一個(gè)識別標(biāo)記，以此作為條件來生成該數(shù)據(jù)(上述條件(2))，但是也可以設(shè)定為離初始位置HP最遠(yuǎn)的標(biāo)記以外的標(biāo)記。但是，利用完成基板W向印刷臺3的搬入之前的時(shí)間將攝像機(jī)頭部40移動(dòng)到第一個(gè)標(biāo)記識別位置上，由此縮短標(biāo)記識別單獨(dú)的操作時(shí)間，從該觀點(diǎn)出發(fā)，較為理想的是，將距離初始位置HP最近的標(biāo)記以外的標(biāo)記作為第一個(gè)識別標(biāo)記，最為理想的是，像實(shí)施例那樣設(shè)定為離初始位置HP最遠(yuǎn)的標(biāo)記。此外，在實(shí)施例中，除該條件(上述條件(2))以外，雖然以選擇標(biāo)記識別操作中的攝像機(jī)頭部40的總移動(dòng)時(shí)間最小者(上述條件(1))作為條件來生成基板專用數(shù)據(jù)，但是也可僅根據(jù)條件(1)或(2)中的其中一個(gè)條件來生成該基板專用數(shù)據(jù)。此外，在實(shí)施例中，作為識別掩模片25的基準(zhǔn)標(biāo)記Ma時(shí)的識別順序數(shù)據(jù)，雖然生成掩模片專用數(shù)據(jù)和混合數(shù)據(jù)這兩種數(shù)據(jù)，但是例如也可僅生成混合數(shù)據(jù)來進(jìn)行標(biāo)記識別。即，在實(shí)施例中，當(dāng)需要識別掩模片25的基準(zhǔn)標(biāo)記Ma時(shí)，且基板W向印刷臺3的搬入未完成時(shí)(圖12的步驟S310中為否)，僅對該標(biāo)記Ma實(shí)施識別操作，以利用完成基板W的搬入之前的時(shí)間對該標(biāo)記Ma進(jìn)行識別(步驟S311)。因此，雖然從僅對該標(biāo)記Ma實(shí)施識別操作的必要性出發(fā)，需要采用掩模片專用數(shù)據(jù)，但是例如也可以僅生成混合數(shù)據(jù)，始終一體識別掩模片25和基板W的各個(gè)標(biāo)記Ma、M1～M4。此時(shí)，基板W向印刷臺3的搬入無論是否完成都開始標(biāo)記的拍攝操作，當(dāng)基板W的搬入完成時(shí)依次拍攝全部的各個(gè)標(biāo)記Ma、M1～M4，另一方面，當(dāng)基板W的搬入未完成時(shí)，按照可拍攝的順序?qū)?biāo)記Ma、M1～M4進(jìn)行拍攝，關(guān)于其余的標(biāo)記Ma、M1～M4，等待基板W的搬入完成后再進(jìn)行拍攝即可。例如，作為后者的一個(gè)具體例子，當(dāng)?shù)谝粋€(gè)標(biāo)記為掩模片25的標(biāo)記Ma、第二個(gè)標(biāo)記為基板W的掩模片M1時(shí)，拍攝掩模片25的標(biāo)記Ma后，預(yù)先將攝像機(jī)頭部40配置到基板W的標(biāo)記M1的識別位置上，基板W向印刷臺3的搬入完成后，依次拍攝該標(biāo)記M1以后的各個(gè)標(biāo)記Ma、M1～M4即可。此外，攝像機(jī)頭部40的初始位置HP(待機(jī)位置)，也可以不僅僅固定在橫梁36的X軸方向中央。印刷結(jié)束后，基板W下降，解除與掩模片25的疊合，在攝像機(jī)頭部40可以向掩模片25和基板W之間的空間移動(dòng)前，也可使攝像機(jī)頭部40先在X軸方向上移動(dòng)，與第一個(gè)標(biāo)記的X軸坐標(biāo)一致。此時(shí)，在設(shè)定第一個(gè)標(biāo)記時(shí)，將在Y軸方向上距離X軸方向上具有長度(寬度)的初始位置HP最遠(yuǎn)的位置(坐標(biāo))的標(biāo)記作為第一個(gè)拍攝標(biāo)記。同樣，在設(shè)定最后拍攝的標(biāo)記時(shí)，將在Y軸方向上具有X軸方向上具有長度的初始位置HP最近的位置的標(biāo)記作為最后一個(gè)拍攝標(biāo)記。此外，在設(shè)定第一個(gè)標(biāo)記時(shí)，雖然較為理想的是選擇距離初始位置HP最遠(yuǎn)的位置的標(biāo)記，但是選擇距離初始位置HP最近位置的標(biāo)記以外的標(biāo)記，也可以縮短生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間。同樣，在設(shè)定最后一個(gè)標(biāo)記時(shí)，雖然較為理想的是選擇距離初始位置HP最近的位置的標(biāo)記，但是選擇距離初始位置HP最遠(yuǎn)的位置的標(biāo)記以外的標(biāo)記也可以縮短生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間。第2實(shí)施例利用圖16～圖32對本發(fā)明的第2實(shí)施例進(jìn)行說明。本實(shí)施例，當(dāng)使構(gòu)成攝像裝置的帶有攝像機(jī)的移動(dòng)部從當(dāng)前位置向目標(biāo)位置移動(dòng)時(shí)，如果連接兩個(gè)位置的直線上存在干擾物，則使上述帶有攝像機(jī)的移動(dòng)部沿著繞過干擾物的迂回路線進(jìn)行移動(dòng)，從而避免與該干擾物發(fā)生干擾。較為理想的是，像第1實(shí)施例那樣，力求拍攝、安裝作業(yè)的高效化地生成標(biāo)記識別順序數(shù)據(jù)，同時(shí)使攝像裝置在完成對象基板向上述印刷臺的搬入之前開始向第一個(gè)識別位置移動(dòng)，并在帶有攝像機(jī)的移動(dòng)部移動(dòng)時(shí)，通過本實(shí)施例的方式避免與干擾物發(fā)生干擾。圖16～圖20表示本實(shí)施例的印刷裝置的機(jī)械結(jié)構(gòu)。與第1實(shí)施例相同的部分標(biāo)注相同的符號，并省略說明。在本實(shí)施例的印刷裝置中，在升降工作臺18上，對應(yīng)于一對主傳送帶2B之間，設(shè)有可通過滑動(dòng)支柱21在上下方向上升降自如的支撐工作臺(backuptable)29。此外，在該支撐工作臺29和升降工作臺18之間設(shè)有滾珠絲杠機(jī)構(gòu)(圖示省略)，通過驅(qū)動(dòng)該滾珠絲杠機(jī)構(gòu)使支撐工作臺19相對于升降工作臺18在上下方向上移動(dòng)。如圖19所示，在該支撐工作臺19的上表面一側(cè)，以矩陣狀設(shè)有多個(gè)銷安裝孔(圖示省略)，在規(guī)定的銷安裝孔內(nèi)，垂直配置地插著用于支撐基板W的多個(gè)支撐銷29a。通過支撐工作臺29的上升將主傳送帶2B上的基板W移送到支撐銷29a上，使其向上方移動(dòng)，并通過下降將支撐銷29a上的基板W移送到主傳送帶20一側(cè)。此外，在配置于掩模片保持單元6下方的可移動(dòng)的橫梁36上，在Y軸方向的一側(cè)(后側(cè))安裝有清掃器9，同時(shí)在Y軸方向的另一側(cè)(前側(cè))，設(shè)有沿橫梁長度方向(X軸方向)移動(dòng)自如的滑塊361，在該滑塊361上安裝有作為帶有攝像機(jī)的移動(dòng)部(攝像裝置)的帶有攝像機(jī)的單元70?；瑝K361由未圖示的伺服電機(jī)(驅(qū)動(dòng)裝置)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，沿著橫梁36在X軸方向上移動(dòng)。因此，帶有攝像機(jī)的單元70，可以通過滑塊361在X軸方向上的移動(dòng)和橫梁36在Y軸方向上的移動(dòng)而在X軸和Y軸方向上移動(dòng)。帶有攝像機(jī)的單元70，具有掩模片識別攝像機(jī)71、基板識別攝像機(jī)72和印刷狀態(tài)檢查攝像機(jī)73共3臺攝像機(jī)及支撐銷插拔機(jī)構(gòu)79。掩模片識別攝像機(jī)71，例如由包括照明的CCD攝像機(jī)等構(gòu)成，其朝上設(shè)置，可以拍攝位于帶有攝像機(jī)的單元70的上側(cè)的掩模片25。該掩模片識別攝像機(jī)71，在安裝了新的掩模片25等情況下，通過拍攝設(shè)置在掩模片25上的定位標(biāo)記，進(jìn)行用于檢測掩模片位置的拍攝，或在由清掃器9對掩模片51進(jìn)行清掃時(shí)，進(jìn)行用于確認(rèn)其清掃是否正常進(jìn)行等清掃狀態(tài)的拍攝等。掩模片識別攝像機(jī)71形成下述結(jié)構(gòu)隨著借助移動(dòng)橫梁36向X軸方向移動(dòng)和借助滑塊361向Y軸方向移動(dòng)的帶有攝像機(jī)的單元7的移動(dòng)，在XY方向(水平方向)上自如地移動(dòng)，可在對應(yīng)于掩模片25的印刷面整個(gè)區(qū)域的范圍內(nèi)移動(dòng)?；遄R別攝像機(jī)72，例如由包括照明的CCD攝像機(jī)等構(gòu)成，其朝下設(shè)置，以便可以拍攝位于帶有攝像機(jī)的單元70下側(cè)的基板W。該基板識別攝像機(jī)72，為了與掩模片25對準(zhǔn)位置，通過拍攝印刷臺3上的基板W上設(shè)置的位置標(biāo)記等，進(jìn)行用于檢測基板位置的拍攝。基板識別攝像機(jī)72形成下述結(jié)構(gòu)隨著帶有攝像機(jī)的單元70的移動(dòng)，在水平面內(nèi)自由移動(dòng)，可以在對應(yīng)于印刷臺上的基板整個(gè)區(qū)域的范圍內(nèi)移動(dòng)。印刷狀態(tài)檢查攝像機(jī)73，例如由包含照明的CCD攝像機(jī)等構(gòu)成，其朝下設(shè)置，以便可以拍攝位于帶有攝像機(jī)的單元70下側(cè)的基板W。該印刷狀態(tài)檢查攝像機(jī)73，進(jìn)行用于確認(rèn)印刷在基板W上的膏狀焊料S是否正常涂敷等印刷狀態(tài)的拍攝。印刷狀態(tài)檢查攝像機(jī)73，同上所述，形成下述結(jié)構(gòu)隨著帶有攝像機(jī)的單元70的移動(dòng)，在水平面內(nèi)自由移動(dòng)，可以在對應(yīng)于印刷臺上的基板整個(gè)區(qū)域的范圍內(nèi)移動(dòng)。另外，在本實(shí)施例中，基板攝像機(jī)包括基板攝像機(jī)72和印刷狀態(tài)檢查攝像機(jī)73。支撐銷插拔機(jī)構(gòu)79，具有可以自由地對上述支撐工作臺29上的支撐銷29a進(jìn)行夾持或解除夾持的卡盤(chuck)裝置(圖示省略)。另外，支撐銷插拔機(jī)構(gòu)79，形成下述結(jié)構(gòu)隨著借助移動(dòng)橫梁36和滑塊361的移動(dòng)而進(jìn)行移動(dòng)的帶有攝像機(jī)的單元70的移動(dòng)，在水平面內(nèi)自由移動(dòng)，可以在支撐工作臺29上的支撐銷插裝區(qū)域(基板支撐區(qū)域)的范圍內(nèi)移動(dòng)。此外，在印刷臺3的前部設(shè)有用于儲存支撐銷29a的銷站(pinstation)791(參照圖22等)，支撐銷插拔機(jī)構(gòu)79，形成可隨著移動(dòng)橫梁36和滑塊31的移動(dòng)進(jìn)入銷站791的結(jié)構(gòu)。通過支撐銷插拔機(jī)構(gòu)79，可以在支撐工作臺29上附加支撐銷29a，或從支撐工作臺29上拆除規(guī)定的支撐銷29a，或?qū)⒅喂ぷ髋_29上的規(guī)定的銷29a更換到別的位置上。即，在支撐工作臺29上附加支撐銷29a時(shí)，使支撐銷插拔機(jī)構(gòu)79移動(dòng)到銷站791，用支撐銷插拔機(jī)構(gòu)79的卡盤裝置來保持支撐銷29a。然后，在該保持狀態(tài)下，使支撐銷插拔機(jī)構(gòu)79移動(dòng)到支撐工作臺29上的銷附加位置，將銷29a插裝到該位置上后，解除對銷29a的保持。由此可以附加新的支撐銷29a。另外，在支撐工作臺29上拆除規(guī)定的銷29a時(shí)，使支撐銷插拔機(jī)構(gòu)79移動(dòng)到該銷上，保持該銷29a。然后，在該保持狀態(tài)下，使支撐銷插拔機(jī)構(gòu)79移動(dòng)到銷站791，將銷29a插裝到銷站791中以后，解除對銷29a的保持，從而可以拆除支撐工作臺29上的支撐銷29a，移動(dòng)到銷站791中。此外，將支撐工作臺29上的規(guī)定的銷29a更換到別的位置上時(shí)，由銷插拔機(jī)構(gòu)29保持更換前的銷29a，移動(dòng)到預(yù)定的更換位置后插裝在該處。這樣通過設(shè)置支撐銷插拔機(jī)構(gòu)79，可以根據(jù)需要適當(dāng)變更支撐工作臺79上的支撐銷29a的配置或個(gè)數(shù)。下面，對本實(shí)施例中的帶有攝像機(jī)的單元70和清掃器9的移動(dòng)范圍進(jìn)行說明。首先，如圖22所示，帶有攝像機(jī)的單元70的掩模片識別攝像機(jī)71，如上所述，需要對應(yīng)于掩模片25的印刷面整個(gè)區(qū)域進(jìn)行移動(dòng)，此外，如圖22所示，為避免印刷過程中與印刷臺3發(fā)生干擾，需要移動(dòng)退避到印刷臺3的后方，另外，為方便操作者進(jìn)行保養(yǎng)檢查等，如圖23所示，需要移動(dòng)到印刷面附近。在圖中標(biāo)出該移動(dòng)所需的范圍，為該圖中虛線所包圍的移動(dòng)所需范圍A1。此外，帶有攝像機(jī)的單元70的基板攝像機(jī)72、73，如前所述，需要對應(yīng)于基板W進(jìn)行移動(dòng)，此外，還需要從后端的退避位置移動(dòng)到前端的保養(yǎng)檢查位置。此處，對應(yīng)于基板W的區(qū)域，由于設(shè)定為與上述掩模片25的印刷面區(qū)域基本相同，所以基板攝像機(jī)72、73移動(dòng)所需的范圍(移動(dòng)所需范圍)，同上所述，與圖22、圖23的移動(dòng)所需范圍A1一致。另外，支撐銷插拔機(jī)構(gòu)79，同上所述，包含與基板W對應(yīng)的區(qū)域，需要在從后端的退避位置(參照圖22)到前端的保養(yǎng)檢查位置(參照圖23)的范圍內(nèi)進(jìn)行移動(dòng)，該移動(dòng)所需的范圍，同上所述，與圖22、圖23的移動(dòng)所需范圍A1一致。另外，清掃器9，如前所述，需要在掩模片25的印刷面整個(gè)區(qū)域內(nèi)移動(dòng)，此外，還需要從后端的退避位置(參照圖22)移動(dòng)到前端的保養(yǎng)檢查位置(參照圖23)，至于Y軸方向，與上述移動(dòng)所需范圍A1一致。此處，在將帶有攝像機(jī)的單元70移動(dòng)到移動(dòng)所需范圍A1的后端的狀態(tài)下，如圖22所示，清掃器9超出了移動(dòng)所需范圍A1，配置在該范圍A1的后方。另外，如圖24所示，在將配置在帶有攝像機(jī)的單元70右側(cè)的印刷狀態(tài)檢查攝像機(jī)73移動(dòng)到移動(dòng)所需范圍A1的左端的狀態(tài)下，配置在帶有攝像機(jī)的單元70左側(cè)的支撐銷插拔機(jī)構(gòu)79超出了移動(dòng)所需范圍A1，配置在該范圍A1的左方。反之，如圖25所示，在將配置在帶有攝像機(jī)的單元左側(cè)的支撐銷插拔機(jī)構(gòu)79移動(dòng)到移動(dòng)所需范圍A1右端的狀態(tài)下，帶有攝像機(jī)的單元右側(cè)的印刷狀態(tài)檢查攝像機(jī)73向右超出了移動(dòng)所需范圍A1。此外，如圖23所示，在為了方便保養(yǎng)檢查而將清掃器9移動(dòng)到移動(dòng)所需范圍A1前端的狀態(tài)下，配置在清掃器9前方的帶有攝像機(jī)的單元70向前超出了移動(dòng)所需范圍A1。這樣，帶有攝像機(jī)的單元70和清掃器9，可在比移動(dòng)所需范圍A1大出一圈的范圍內(nèi)進(jìn)行移動(dòng)，該可移動(dòng)的范圍，在圖22～25中用虛線所包圍的可移動(dòng)范圍A2表示。在本實(shí)施例中，在可移動(dòng)范圍A2中的移動(dòng)所需范圍A1的外側(cè)，具體而言，在裝置附近的兩側(cè)，如上所述，配置有支撐刮板保持單元7、掩模片保持單元6、帶有攝像機(jī)的單元70等的支柱60。這樣，在本實(shí)施例中，在帶有攝像機(jī)的單元70的可移動(dòng)范圍A2內(nèi)配置有支柱60，雖然表面上看來，帶有攝像機(jī)的單元70有可能與支柱60發(fā)生干擾，但實(shí)際上通過后述的迂回移動(dòng)裝置，可以切實(shí)地防止帶有攝像機(jī)的單元7與支柱60發(fā)生干擾。圖21是表示該印刷裝置的控制系統(tǒng)的方框圖。如該圖所示，在該裝置中，設(shè)有CPU100作為控制整個(gè)裝置的操作的控制裝置。CPU100，通過電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)部101和電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)電路111對各種伺服電機(jī)的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行控制。作為受控制的電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)部，例如，除了用于使攝像機(jī)71～73等帶有攝像機(jī)的單元70及清掃器9移動(dòng)的伺服電機(jī)37等之外，還有用于使各傳送帶11、12、20進(jìn)行移動(dòng)的移動(dòng)用伺服電機(jī)、各個(gè)工作臺21、22、23、24、29的移動(dòng)用伺服電機(jī)等。另外，CPU100，通過I/O處理部102和I/O驅(qū)動(dòng)電路112，對各種氣缸等各種促動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行控制，同時(shí)獲取來自各種傳感器的信息，并對該信息進(jìn)行處理。此外，CPU100，通過圖像處理部103和圖像處理電路113從各攝像機(jī)71～73獲取圖像信息，并對該圖像信息進(jìn)行處理。另外，CPU100，通過程序處理部104從程序存儲部114獲取程序信息，同時(shí)通過輸入裝置控制部106獲取來自鍵盤等各種輸入裝置的輸入信息，對上述信息進(jìn)行處理，并通過圖像顯示輸出部105將規(guī)定的信息顯示在顯示器等圖像顯示裝置115上。另外，CPU100，以帶有攝像機(jī)的單元7的初始位置作為基準(zhǔn)，根據(jù)用于使帶有攝像機(jī)的單元70移動(dòng)的伺服電機(jī)37的轉(zhuǎn)數(shù)數(shù)據(jù)等信息，通過測量X軸和Y軸方向的移動(dòng)量，可以把握帶有攝像機(jī)的單元70的位置(當(dāng)前位置)。另外，CPU100，通過帶有攝像機(jī)的單元的干擾判定部107，使帶有攝像機(jī)71～73等攝像機(jī)的單元70移動(dòng)時(shí)從當(dāng)前位置、目標(biāo)位置和干擾物(支柱60)的位置關(guān)系出發(fā)，如后所述，事先對帶有攝像機(jī)的單元70是否會與支柱60發(fā)生干擾做出判斷。并根據(jù)該判定結(jié)果，使帶有攝像機(jī)的單元70避免與支柱60發(fā)生干擾，移動(dòng)到目的位置上。在此，在本實(shí)施例中，由CPU100、電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)部101、電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)電路111、帶有攝像機(jī)的單元干擾判定部107等構(gòu)成移動(dòng)控制裝置。而且，該移動(dòng)控制裝置中，包含迂回移動(dòng)裝置和直進(jìn)移動(dòng)裝置。在本實(shí)施例的印刷裝置中，CPU100響應(yīng)來自鍵盤等輸入裝置的指令而工作，自動(dòng)地執(zhí)行以下操作。首先，印刷極板W從上游側(cè)傳送帶2A被搬入到主傳送帶2B，該基板W由主傳送帶2B一直搬送到規(guī)定位置(圖26的步驟ST1)。接著，支撐工作臺29上升，以將主傳送帶2B上的基板W支撐在支撐銷29a上，進(jìn)而在基板W的上表面高度位置與夾片4a、4a的上表面高度位置基本一致的狀態(tài)下，閉合夾片4a、4a，將基板W夾入并保持在夾片4a、4a中(步驟ST2)。然后，由基板識別攝像機(jī)72對基板W上形成的標(biāo)記進(jìn)行拍攝，從而在固定在印刷臺3上的狀態(tài)下識別基板W的位置或基板W的種類(步驟S3)。具體而言，如圖27所示，識別次數(shù)(拍攝次數(shù))的計(jì)數(shù)器清零(步驟ST31)，由CPU100獲取基板W上應(yīng)第一個(gè)識別的標(biāo)記位置(步驟ST32)。接著，基板識別攝像機(jī)72移動(dòng)到該識別位置(拍攝位置)上(步驟ST33)。另外，如上所述，基板識別攝像機(jī)72并非單獨(dú)移動(dòng)，而是通過帶有攝像機(jī)的單元70的移動(dòng)，與其他攝像機(jī)71、73和支撐銷插拔機(jī)構(gòu)79一起在X軸和Y軸方向上一體移動(dòng)，而且在Y軸方向上，還包含清掃器9地一體進(jìn)行移動(dòng)。接著，拍攝標(biāo)記，進(jìn)行標(biāo)記識別(步驟ST34)。標(biāo)記識別失敗，未能識別出標(biāo)記時(shí)(步驟ST35)，發(fā)生識別錯(cuò)誤，裝置操作(印刷操作)停止(步驟ST38)，根據(jù)需要在監(jiān)視器等上顯示錯(cuò)誤，或發(fā)出警示音。此外，如果標(biāo)記識別正確(步驟ST35中為是)，則將識別次數(shù)加1(步驟ST36)，同上所述，進(jìn)行下一標(biāo)記的識別(步驟ST37中為否，S32～S36)。這樣一來，基板W的全部標(biāo)記識別完成后(步驟ST37中為是)，可以正確把握基板W的位置。在此，本實(shí)施例中，當(dāng)在由基板識別攝像機(jī)72進(jìn)行識別處理的過程中(步驟ST3)移動(dòng)帶有攝像機(jī)的單元70時(shí)，按照圖28所示的移動(dòng)控制處理進(jìn)行移動(dòng)。首先，由CPU100獲取帶有攝像機(jī)的單元70的當(dāng)前位置、目標(biāo)位置(下一拍攝位置)(步驟ST101)。接著，由CPU100，求出連接當(dāng)前位置和目標(biāo)位置的直線，判定該直線上是否配置有作為干擾物的支柱60(步驟ST102)。另外，當(dāng)求取帶有攝像機(jī)的單元70的位置時(shí)，以帶有攝像機(jī)的單元70的基準(zhǔn)點(diǎn)Ps(參照圖22等)的位置作為基準(zhǔn)來測量當(dāng)前位置及目標(biāo)位置并求取連接兩位置的直線。此時(shí)，該直線雖然通常作為不具有面積的線段進(jìn)行處理，但在本實(shí)施例中連接兩位置的直線作為具有與帶有攝像機(jī)的單元的尺寸相對應(yīng)的面積的線段來處理。即，本實(shí)施例中，連接兩位置的直線上配置有支柱60的情況是指，帶有攝像機(jī)的單元70沿著該直線平行移動(dòng)時(shí)，從俯視看，帶有攝像機(jī)的單元70至少有一部分與支柱60發(fā)生干擾的情況(疊合的情況)。此外，本實(shí)施例中連接兩位置的直線上未配置有支柱60的情況是指，帶有攝像機(jī)的單元在該直線上平行移動(dòng)時(shí)，帶有攝像機(jī)的單元70未與支柱60發(fā)生干擾的情況(未疊合的情況)。如圖30所示，判定在連接當(dāng)前位置P1和目標(biāo)位置P2的直線上未配置有支柱60時(shí)(圖28的步驟ST102為否)，帶有攝像機(jī)的單元70沿著直線L上的最短路線(直進(jìn)路線)Q1從當(dāng)前位置P1移動(dòng)到目標(biāo)位置P2(步驟ST103)。此外，如圖31所示，在連接當(dāng)前位置P1和目標(biāo)位置P2的直線L上配置有支柱60時(shí)(步驟ST102為是)，帶有攝像機(jī)的單元70沿著繞過支柱60的迂回路線Q2從當(dāng)前位置P1移動(dòng)到目標(biāo)位置P2，以避免與支柱60發(fā)生干擾(步驟ST104)。另外，在本實(shí)施例中，迂回路線Q2的求法不受特別限制，例如可采用從能避免與支柱60發(fā)生干擾且由2條直線構(gòu)成的折線狀路線中確定距離最短的路線作為迂回路線Q2的方法等。此外，在本發(fā)明中，迂回路線Q2的結(jié)構(gòu)不受特別限制，可以是由3條以上的直線構(gòu)成的折線狀路線、曲線狀路線或折線和曲線的組合路線。通過拍攝上述基板(圖26的步驟ST3)識別基板W的位置以后，由掩模片識別攝像機(jī)71拍攝在掩模片25上形成的標(biāo)記，以識別掩模片25的種類或位置(步驟ST4)。具體而言，如圖14所示，將識別次數(shù)(拍攝次數(shù))的計(jì)數(shù)器清零(步驟ST41)，由CPU100獲取掩模片25上的應(yīng)第一個(gè)識別的標(biāo)記位置(步驟ST42)。接著，掩模片識別攝像機(jī)71移動(dòng)到該識別位置(拍攝位置)上(步驟ST43)。另外，該攝像機(jī)的移動(dòng)，也與上述圖28、圖30、圖31的攝像機(jī)移動(dòng)控制處理同樣地進(jìn)行。即，獲取當(dāng)前位置和目標(biāo)位置(步驟ST101)，當(dāng)連接兩位置的直線上未配置有干擾物(支柱60)時(shí)(步驟ST102為否)，帶有攝像機(jī)的單元70沿著該直線上的最短路線Q1移動(dòng)(步驟ST103)，另一方面當(dāng)連接兩位置的直線上配置有干擾物時(shí)(步驟ST102為是)，帶有攝像機(jī)的單元70沿著繞過干擾物的迂回路線Q2移動(dòng)。攝像機(jī)完成移動(dòng)后(圖14的步驟ST43)，由攝像機(jī)71拍攝標(biāo)記，開始識別標(biāo)記(步驟ST44)。當(dāng)標(biāo)記識別失敗，未能識別出標(biāo)記時(shí)(步驟ST45為否)，發(fā)生識別錯(cuò)誤，停止操作(步驟ST48)，根據(jù)需要進(jìn)行錯(cuò)誤顯示等。此外，如果標(biāo)記識別正確(步驟ST45為是)，則將識別次數(shù)加1(步驟ST46)，同上所述進(jìn)行下一標(biāo)記的識別(步驟ST47為否，ST42～ST46)。這樣，掩模片25的全部標(biāo)記識別完成后(步驟ST47為是)，可以正確地把握掩模片25的位置。掩模片標(biāo)記的識別(圖26的步驟ST4)，通常是在設(shè)置了新掩模片25時(shí)進(jìn)行的，對一種掩模片25只識別一次。另外，如圖26所示，簡單地按步驟ST1～ST4的順序執(zhí)行基板搬入、固定和標(biāo)記識別的處理，較為理想的是，如上述第1實(shí)施例那樣，在完成基板的搬入、固定之前，開始向標(biāo)記識別位置移動(dòng)。此外，較為理想的是，在該流程圖的處理之前，生成上述第1實(shí)施例所示的標(biāo)記識別順序數(shù)據(jù)(圖11的步驟S2、圖13)。通過拍攝上述掩模片(圖13的步驟ST4)識別掩模片標(biāo)記以后，升降工作臺24上升一些，主傳送帶2B向兩側(cè)傳送帶2A、2C的上方脫出，然后根據(jù)需要，Y軸工作臺12、X軸工作臺14和R軸工作臺16適當(dāng)?shù)卦赮軸、X軸和R軸方向上移動(dòng)，對基板W相對于掩模片25在水平方向上的位置進(jìn)行微調(diào)。隨后，升降工作臺18上升，使基板W的上表面與掩模片25的下表面疊合地進(jìn)行疊置(步驟ST5)。隨后，刮板單元7的其中一側(cè)的刮板33下降，沿掩模片25在Y方向上移動(dòng)，從而擴(kuò)展供給到掩模片25上的作為糊劑的膏狀焊料S，使膏狀焊料S通過掩模片25的圖形孔印刷(涂敷)到基板W的規(guī)定位置上(步驟ST6)。另外，本實(shí)施例中，對接受印刷處理的每個(gè)基板W，交替使用一側(cè)和另一側(cè)的刮板33、33。即，使一側(cè)刮板33從一端區(qū)域向印刷區(qū)域滑動(dòng)的一個(gè)方向移動(dòng)的印刷處理和使另一側(cè)刮板33從另一端區(qū)域向印刷區(qū)域滑動(dòng)的另一方向移動(dòng)的印刷處理，在接受處理的每個(gè)基板W上交替進(jìn)行。在基板W上涂敷膏狀焊料S后，升降工作臺18下降，基板W脫離掩模片25而離版(步驟ST7)。接著，由印刷狀態(tài)檢查攝像機(jī)73拍攝基板W，確認(rèn)印刷狀態(tài)(步驟ST8)。即，通過帶有攝像機(jī)的單元70的移動(dòng)，使印刷狀態(tài)檢查攝像機(jī)73移動(dòng)到基板W上的應(yīng)第一個(gè)確認(rèn)的位置，對該位置進(jìn)行拍攝，確認(rèn)印刷狀態(tài)。以下同樣地，攝像機(jī)73向下一個(gè)應(yīng)確認(rèn)的位置移動(dòng)，對該位置進(jìn)行拍攝，確認(rèn)印刷狀態(tài)。這樣，在基板W上的所需的多個(gè)位置上確認(rèn)印刷狀態(tài)。在本實(shí)施例中，進(jìn)行該印刷狀態(tài)確認(rèn)處理的攝像機(jī)的移動(dòng)，也與上述圖28、圖30、圖31的攝像機(jī)移動(dòng)控制處理同樣地進(jìn)行。即，獲取當(dāng)前位置和目標(biāo)位置(步驟ST101)，當(dāng)連接兩位置的直線上未配置有干擾物(支柱60)時(shí)(步驟ST102為否)，帶有攝像機(jī)的單元70沿著該直線上的最短路線Q1移動(dòng)(步驟ST103)，另一方面當(dāng)連接兩位置的直線上配置有干擾物時(shí)(步驟ST102為是)，帶有攝像機(jī)的單元70沿著繞過干擾物的迂回路線Q2移動(dòng)。在該印刷狀態(tài)確認(rèn)處理過程中，當(dāng)未能正確進(jìn)行印刷狀態(tài)的確認(rèn)時(shí)，發(fā)生印刷狀態(tài)確認(rèn)錯(cuò)誤，例如裝置操作(印刷操作)停止，在顯示器等上顯示錯(cuò)誤，或發(fā)出警示音。另外，在本實(shí)施例中，雖然分別設(shè)置識別基板位置的攝像機(jī)72和識別印刷狀態(tài)的攝像機(jī)73，但本發(fā)明中，也可以由1臺攝像機(jī)兼用作上述兩臺攝像機(jī)。確認(rèn)印刷狀態(tài)后(步驟ST8)，基板W的水平位置返回原位置，升降工作臺18下降，同時(shí)夾片4a、4a放開，解除對基板W的保持(步驟ST9)。一邊使升降工作臺18降至初始的下降位置，一邊使支撐工作臺29下降，基板W從支撐工作臺29上移送到主傳送帶2B上。隨后，基板W從主傳送帶2B轉(zhuǎn)移到下游側(cè)傳送帶2C，由該下游側(cè)傳送帶2C搬出到規(guī)定位置(步驟ST10)。接著，進(jìn)行對掩模片25的清掃處理(步驟ST11)。即，通過移動(dòng)橫梁36的移動(dòng)，使清掃器9移動(dòng)到掩模片25的后端位置，清掃頭部44上升，與掩模片25的下表面抵接。清掃器9在該狀態(tài)下向掩模片25的前方移動(dòng)，在前端位置處折返，返回后端位置，由此對掩模片25進(jìn)行清掃。清掃處理完成后，確認(rèn)清掃是否正常進(jìn)行。即，掩模片識別攝像機(jī)71，移動(dòng)到掩模片25上應(yīng)第一個(gè)確認(rèn)的位置，對該位置進(jìn)行拍攝，確認(rèn)粘污情況等清掃狀態(tài)。以下同樣地，攝像機(jī)71向下一應(yīng)確認(rèn)的位置移動(dòng)，對該位置集進(jìn)行拍攝，確認(rèn)清掃狀態(tài)。如此，在掩模片25上的所需的多個(gè)位置上確認(rèn)清掃狀態(tài)。另外，在清掃狀態(tài)不佳時(shí)，再次進(jìn)行清掃。進(jìn)行該清掃狀態(tài)確認(rèn)處理的攝像機(jī)的移動(dòng)，也與上述圖28、圖30、圖31的攝像機(jī)移動(dòng)控制處理同樣地進(jìn)行，當(dāng)連接當(dāng)前位置和目標(biāo)位置的直線上未配置有干擾物時(shí)，帶有攝像機(jī)的單元70沿著該直線上的最短路線Q1移動(dòng)，另一方面當(dāng)連接兩位置的直線上配置有干擾物時(shí)，帶有攝像機(jī)的單元70沿著繞過干擾物的迂回路線Q2移動(dòng)。另外，在本實(shí)施例中，雖然將用于識別掩模片位置的攝像機(jī)71作為用于確認(rèn)掩模片25的清掃狀態(tài)的攝像機(jī)，但并非僅限于此，本發(fā)明中，也可分別設(shè)置掩模片位置確認(rèn)用的攝像機(jī)和掩模片清掃狀態(tài)確認(rèn)用的攝像機(jī)。清掃處理(步驟ST11)完成后，變更支撐工作臺29上的支撐銷29a的插裝配置狀態(tài)時(shí)，例如從下次開始處理形狀或尺寸不同的基板W等情況下，對支撐銷29a進(jìn)行插拔處理(步驟ST12)。支撐銷29a的插拔處理，如上所述，是從銷站791將支撐銷29a附加到支撐工作臺29上，或從支撐工作臺29上拆除規(guī)定的支撐銷29a并移送到銷站791中，或?qū)⒅喂ぷ髋_29上的規(guī)定的銷29a更換到別的位置上。另外，在本實(shí)施例中，進(jìn)行該支撐銷插拔處理時(shí)的支撐銷插拔機(jī)構(gòu)79的移動(dòng)(帶有攝像機(jī)的單元的移動(dòng))，也與上述圖28、圖30、圖31的帶有攝像機(jī)的單元移動(dòng)控制處理同樣地進(jìn)行。即，當(dāng)連接當(dāng)前位置和目標(biāo)位置的直線上未配置有干擾物時(shí)，帶有攝像機(jī)的單元70沿著該直線上的最短路線Q1移動(dòng)，另一方面當(dāng)連接兩位置的直線上配置有干擾物時(shí)，帶有攝像機(jī)的單元70沿著繞過干擾物的迂回路線Q2移動(dòng)。此外，本實(shí)施例中，當(dāng)為了檢查攝像機(jī)71～73、支撐銷插拔機(jī)構(gòu)79、清掃器9，而使裝置臨時(shí)停止工作，使帶有攝像機(jī)的單元70向前方移動(dòng)時(shí)，也執(zhí)行上述移動(dòng)控制處理。即，該移動(dòng)時(shí)也是同樣的，當(dāng)連接當(dāng)前位置和目標(biāo)位置的直線上存在有干擾物時(shí)，帶有攝像機(jī)的單元70沿著繞過干擾物的迂回路線Q2移動(dòng)。如上所述，如果采用本實(shí)施例的印刷裝置，由于在帶有攝像機(jī)的單元70的可移動(dòng)范圍A2內(nèi)還配置了支柱60等裝置構(gòu)成元件，所以與以往支柱60等配置在可移動(dòng)范圍A2外側(cè)的裝置相比，可以有效地配置支柱60等構(gòu)成元件，實(shí)現(xiàn)裝置的小型化。即使可移動(dòng)范圍A2擴(kuò)大到能夠處理尺寸特別大的基板W，也可以切實(shí)地防止裝置的大型化，進(jìn)而可以節(jié)省整個(gè)安裝生產(chǎn)線的空間。作為參考，在現(xiàn)有印刷裝置中，如圖32所示，通常是在可移動(dòng)范圍A2內(nèi)一概不配置支柱等干擾物，而將支柱60等配置到可移動(dòng)范圍A2外側(cè)，該現(xiàn)有裝置，與圖30、圖31的本實(shí)施例的印刷裝置相比，裝置趨于大型化。另外，為了容易理解發(fā)明，圖32中，相當(dāng)于本實(shí)施例的裝置的部分，標(biāo)注相同的符號。此外，采用本實(shí)施例的印刷裝置，在移動(dòng)帶有攝像機(jī)的單元70時(shí)，如果連接當(dāng)前位置P1和目標(biāo)位置P2的直線L上不存在支柱60，則沿著該直線上的最短路線Q1移動(dòng)帶有攝像機(jī)的單元70，所以可以快速有效地進(jìn)行帶有攝像機(jī)的單元70的移動(dòng)，改善生產(chǎn)效率。而且，在連接當(dāng)前位置P1和目標(biāo)位置P2的直線L上存在支柱60的情況下，沿著繞過支柱60的迂回路線Q2移動(dòng)帶有攝像機(jī)的單元70，以避免與支柱60發(fā)生干擾，所以可以切實(shí)地防止帶有攝像機(jī)的單元70與支柱60發(fā)生干擾這類問題，從而確保足夠的操作可靠性。此外，本實(shí)施例中，在帶有攝像機(jī)的單元70上安裝有3臺攝像機(jī)71～73和支撐銷插拔機(jī)構(gòu)79，用一臺移動(dòng)裝置(移動(dòng)橫梁36、滑塊361)使上述部件在規(guī)定范圍內(nèi)移動(dòng)，所以與攝像機(jī)71～73和支撐銷插拔機(jī)構(gòu)79分別借助不同的移動(dòng)裝置進(jìn)行移動(dòng)時(shí)相比，可以削減零件數(shù)，實(shí)現(xiàn)裝置的簡化、小型化和輕量化。另外，本實(shí)施例中，清掃器9的移動(dòng)裝置(移動(dòng)橫梁36)兼用作帶有攝像機(jī)的單元70的移動(dòng)裝置，所以可以進(jìn)一步削減零件數(shù)，可以進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)簡化、小型化和輕量化。另外，在上述實(shí)施例中，雖然以帶有攝像機(jī)的單元70中安裝有3臺攝像機(jī)71～73和支撐銷插拔機(jī)構(gòu)79的情況為例進(jìn)行了說明，但并非僅限于此，本發(fā)明中，帶有攝像機(jī)的單元70上至少安裝1臺以上的攝像機(jī)即可，也可以不設(shè)置支撐銷插拔機(jī)構(gòu)等。另外，攝像機(jī)安裝單元70中還可以安裝攝像機(jī)及支撐銷插拔機(jī)構(gòu)以外的元件。此外，上述實(shí)施例中，作為支撐基板的機(jī)構(gòu)，雖然采用了銷類機(jī)構(gòu)，但并非僅限于此，在本發(fā)明中，作為支撐機(jī)構(gòu)，也可使用平坦的工作臺類型的機(jī)構(gòu)。權(quán)利要求1.一種標(biāo)記識別方法，是用于將掩模片疊置在印刷臺所保持的基板上，經(jīng)由上述掩模片印刷糊劑，并在該印刷操作前使用可移動(dòng)的攝像裝置拍攝、識別基板上所設(shè)置的多個(gè)標(biāo)記的印刷裝置的上述標(biāo)記的識別方法，其特征在于按照預(yù)先設(shè)定的識別順序移動(dòng)上述攝像裝置，以拍攝各個(gè)標(biāo)記，并使上述攝像裝置在對象基板向上述印刷臺的搬入操作完成之前開始向該標(biāo)記識別操作過程中的第一個(gè)識別位置移動(dòng)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的標(biāo)記識別方法，其特征在于將上述標(biāo)記中、當(dāng)上述掩模片被疊置在基板上時(shí)距離位于該基板外側(cè)區(qū)域中的上述攝像裝置的待機(jī)位置最遠(yuǎn)的標(biāo)記以外的標(biāo)記作為最后一個(gè)識別標(biāo)記，以此作為設(shè)定條件來設(shè)定標(biāo)記的識別順序，并按照該設(shè)定順序來移動(dòng)攝像裝置，由此對各個(gè)標(biāo)記進(jìn)行拍攝。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的標(biāo)記識別方法，其特征在于將上述標(biāo)記中、當(dāng)上述掩模片被疊置在基板上時(shí)距離位于該基板外側(cè)區(qū)域中的上述攝像裝置的待機(jī)位置最近的標(biāo)記以外的標(biāo)記作為第一個(gè)識別標(biāo)記，以此作為設(shè)定條件來設(shè)定標(biāo)記的識別順序，并按照該設(shè)定順序來移動(dòng)攝像裝置，由此對各個(gè)標(biāo)記進(jìn)行拍攝。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的標(biāo)記識別方法，其特征在于以位置距離上述待機(jī)位置最遠(yuǎn)的標(biāo)記作為第一個(gè)識別標(biāo)記來設(shè)定標(biāo)記的識別順序。5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述標(biāo)記識別方法，其特征在于設(shè)定上述標(biāo)記的拍攝順序，以使上述攝像裝置的總移動(dòng)時(shí)間為最小。6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的標(biāo)記識別方法，其特征在于在對象基板向上述印刷臺的搬入操作完成之前，預(yù)先將攝像裝置設(shè)置在第一個(gè)識別位置。7.一種標(biāo)記識別方法，用于將掩模片疊置在印刷臺所保持的基板上，經(jīng)由上述掩模片印刷糊劑，并在該印刷操作前使用可移動(dòng)的攝像裝置拍攝、識別掩模片或基板上所設(shè)置的多個(gè)標(biāo)記的印刷裝置的所述標(biāo)記的識別方法，其特征在于設(shè)定上述標(biāo)記的識別順序，以使上述攝像裝置的總移動(dòng)時(shí)間為最小，并按照該設(shè)定順序來移動(dòng)攝像裝置，以對各個(gè)標(biāo)記進(jìn)行拍攝。8.一種標(biāo)記識別方法，用于將掩模片疊置在印刷臺所保持的基板上，經(jīng)由上述掩模片印刷糊劑，并在該印刷操作前使用可移動(dòng)的攝像裝置拍攝、識別掩模片或基板上所設(shè)置的多個(gè)標(biāo)記的印刷裝置的所述標(biāo)記的識別方法，其特征在于使用一體設(shè)有從上述掩模片的下側(cè)拍攝該掩模片的標(biāo)記的第1攝像部和從上述基板上側(cè)拍攝該基板的標(biāo)記的第2攝像部的上述攝像裝置拍攝上述標(biāo)記，并將上述掩模片的標(biāo)記和上述基板的標(biāo)記作為一體來設(shè)定上述標(biāo)記的識別順序，以使上述攝像裝置的總移動(dòng)時(shí)間為最小，按照該設(shè)定順序來移動(dòng)攝像裝置，由此對各個(gè)標(biāo)記進(jìn)行拍攝。9.一種印刷裝置，包括掩模片；印刷臺，可以相對于上述掩模片相對移動(dòng)；和攝像裝置，在上述掩模片與印刷臺分離的狀態(tài)下，可在位于掩模片和印刷臺之間的作業(yè)區(qū)域與處于該區(qū)域外側(cè)的待機(jī)位置之間進(jìn)行移動(dòng)，并可對基板上所設(shè)置的標(biāo)記進(jìn)行拍攝；經(jīng)由上述掩模片向上述印刷臺所保持的基板上印刷糊劑，并在該印刷操作前使用攝像裝置拍攝、識別上述標(biāo)記，其特征在于包括順序設(shè)定裝置，設(shè)定上述標(biāo)記的拍攝順序；和控制裝置，按照上述順序設(shè)定裝置所設(shè)定的順序來移動(dòng)上述攝像裝置，以拍攝各個(gè)標(biāo)記，并對上述攝像裝置進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，以使該攝像裝置在對象基板向上述印刷臺的搬入操作完成之前開始向第一個(gè)識別位置移動(dòng)。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的印刷裝置，其特征在于上述順序設(shè)定裝置，將上述標(biāo)記中、距離攝像裝置的上述待機(jī)位置最遠(yuǎn)的標(biāo)記以外的標(biāo)記作為最后一個(gè)識別標(biāo)記，以此作為設(shè)定條件來設(shè)定標(biāo)記的識別順序。11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的印刷裝置，其特征在于上述順序設(shè)定裝置，將上述標(biāo)記中、距離攝像裝置的上述待機(jī)位置最近的標(biāo)記以外的標(biāo)記為第一個(gè)識別標(biāo)記，以此作為設(shè)定條件來設(shè)定上述標(biāo)記的拍攝順序。12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的印刷裝置，其特征在于還包括移動(dòng)裝置，使攝像裝置在規(guī)定的可移動(dòng)范圍內(nèi)進(jìn)行移動(dòng)，該攝像裝置由具有攝像機(jī)的帶有攝像機(jī)的移動(dòng)部構(gòu)成；和迂回移動(dòng)裝置，當(dāng)上述帶有攝像機(jī)的移動(dòng)部通過上述移動(dòng)裝置從當(dāng)前位置向目標(biāo)位置移動(dòng)時(shí)，若連接上述兩個(gè)位置的直線上存在干擾物，則使上述帶有攝像機(jī)的移動(dòng)部沿著繞過干擾物的迂回路線進(jìn)行移動(dòng)，以避免其與干擾物產(chǎn)生干擾。13.一種印刷裝置，包括掩模片；印刷臺，可相對于上述掩模片相對移動(dòng)；和攝像裝置，在掩模片與印刷臺分離的狀態(tài)下，可在位于上述掩模片和印刷臺之間的作業(yè)區(qū)域與位于該區(qū)域外側(cè)的待機(jī)位置之間進(jìn)行移動(dòng)，且可對掩模片或基板上所設(shè)置的標(biāo)記進(jìn)行拍攝；經(jīng)由上述掩模片向上述印刷臺所保持的基板印刷糊劑，并且在該印刷操作前使用攝像裝置拍攝、識別上述標(biāo)記，其特征在于包括順序設(shè)定裝置，設(shè)定標(biāo)記的拍攝順序，以使上述攝像裝置的總移動(dòng)時(shí)間為最??；和控制裝置，對上述攝像裝置進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，使其按照上述順序設(shè)定裝置所設(shè)定的拍攝順序來拍攝各個(gè)標(biāo)記。14.一種印刷裝置，包括掩模片；印刷臺，可相對于上述掩模片相對移動(dòng)；和攝像裝置，在掩模片與印刷臺分離的狀態(tài)下，可在位于上述掩模片和印刷臺之間的作業(yè)區(qū)域與位于該區(qū)域外側(cè)的待機(jī)位置之間進(jìn)行移動(dòng)，且可對掩模片或基板上所設(shè)置的標(biāo)記進(jìn)行拍攝；經(jīng)由上述掩模片向上述印刷臺所保持的基板印刷糊劑，并且在該印刷操作之前使用攝像裝置拍攝、識別上述標(biāo)記，其特征在于具有上述攝像裝置，其一體設(shè)有從上述掩模片的下側(cè)拍攝該掩模片的標(biāo)記的第1攝像部和從基板上側(cè)拍攝基板的標(biāo)記的第2攝像部；還包括順序設(shè)定裝置，將上述掩模片的標(biāo)記和上述基板的標(biāo)記作為一體來設(shè)定上述標(biāo)記的識別順序，以使上述攝像裝置的總移動(dòng)時(shí)間為最??；和控制裝置，對上述攝像裝置進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，使其按照上述順序設(shè)定裝置所設(shè)定的順序來拍攝各個(gè)標(biāo)記。15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的印刷裝置，其特征在于包括移動(dòng)裝置，使攝像裝置在規(guī)定的可移動(dòng)范圍內(nèi)進(jìn)行移動(dòng)，該攝像裝置由具有攝像機(jī)的帶有攝像機(jī)的移動(dòng)部構(gòu)成；迂回移動(dòng)裝置，當(dāng)上述帶有攝像機(jī)的移動(dòng)部通過上述移動(dòng)裝置從當(dāng)前位置向目標(biāo)位置移動(dòng)時(shí)，若連接上述兩個(gè)位置的直線上存在干擾物，則使上述帶有攝像機(jī)的移動(dòng)部沿著繞過干擾物的迂回路線進(jìn)行移動(dòng)，以避免其與干擾物產(chǎn)生干擾。16.一種印刷裝置，經(jīng)由掩模片向基板印刷糊劑，其特征在于包括帶有攝像機(jī)的移動(dòng)部，具有用于在裝置內(nèi)進(jìn)行拍攝的攝像機(jī)；移動(dòng)裝置，使上述帶有攝像機(jī)的移動(dòng)部在規(guī)定的可移動(dòng)范圍內(nèi)進(jìn)行移動(dòng)；和迂回移動(dòng)裝置，當(dāng)上述帶有攝像機(jī)的移動(dòng)部通過上述移動(dòng)裝置從當(dāng)前位置向目標(biāo)位置移動(dòng)時(shí)，若連接上述兩個(gè)位置的直線上存在干擾物，則使上述帶有攝像機(jī)的移動(dòng)部沿著繞過干擾物的迂回路線進(jìn)行移動(dòng)，以避免其與干擾物產(chǎn)生干擾。17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的印刷裝置，其特征在于還包括直進(jìn)移動(dòng)裝置，若連接上述兩個(gè)位置的直線上不存在干擾物，則使上述帶有攝像機(jī)的移動(dòng)部沿著該直線上的最短路線進(jìn)行移動(dòng)。18.根據(jù)權(quán)利要求16所述的印刷裝置，其特征在于上述帶有攝像機(jī)的移動(dòng)部，具有用于拍攝基板的基板攝像機(jī)和用于拍攝掩模片的掩模片識別攝像機(jī)。19.根據(jù)權(quán)利要求16所述的印刷裝置，其特征在于在用于配置基板的印刷臺上設(shè)置了用于支撐基板的支撐銷，在上述帶有攝像機(jī)的移動(dòng)部上設(shè)置了相對于上述印刷臺對上述支撐銷進(jìn)行插拔的支撐銷插拔機(jī)構(gòu)。全文摘要本發(fā)明提供一種印刷裝置和標(biāo)記識別方法，該下述識別方法為用于將掩模片疊置在印刷臺所保持的基板W上，經(jīng)由該掩模片的開口向基板W涂敷糊劑，并在該印刷操作前使用攝像裝置拍攝、識別基板W上所設(shè)置的多個(gè)標(biāo)記M1、M4的印刷裝置的標(biāo)記M1、M4的識別方法。以標(biāo)記M1、M4中距離攝像機(jī)的初始位置HP(待機(jī)位置)最遠(yuǎn)的標(biāo)記為第1個(gè)拍攝標(biāo)記，以此作為設(shè)定條件來設(shè)定標(biāo)記識別順序，并按照該順序一邊移動(dòng)攝像機(jī)一邊對各個(gè)標(biāo)記M1、M4進(jìn)行拍攝。此外，在拍攝上述標(biāo)記M1、M4時(shí)，是在基板W向印刷臺的搬入操作完成之前，使攝像機(jī)向第1個(gè)標(biāo)記識別位置開始移動(dòng)。采用本發(fā)明，可通過有效地進(jìn)行掩模片或基板的標(biāo)記識別，來縮短生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間。文檔編號G06K9/00GK1942059SQ20061014150公開日2007年4月4日申請日期2006年9月28日優(yōu)先權(quán)日2005年9月28日發(fā)明者楠木壽幸,相羽昌孝申請人:雅馬哈發(fā)動(dòng)機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