專利名稱:光斑取像裝置與方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種光斑取像的裝置與方法,特別是一種散射光通過小孔徑狀的限光件而產(chǎn)生衍射光,并且衍射光又彼此干涉而成為光斑,而加以取像的裝置與方法。
背景技術(shù):
激光為一相干性很高的一種光源,因此,當兩高相干性光束碰在一起,且其光程差小于相干長度(coherent length)時,會產(chǎn)生干涉效應(yīng),而干涉效應(yīng)分為建設(shè)性干涉與破壞性干涉,建設(shè)性干涉為亮的,而破壞性干涉為暗的,因此干涉效應(yīng)往往是亮暗排列的圖形。而且干涉系與波長有關(guān),當兩光束相遇時,若其相位差為半波長,則會產(chǎn)生破壞性干涉,若其相位差為波長的整數(shù)倍時,則可產(chǎn)生建設(shè)性干涉。因此,其感測精度為半波長,而我們知道光的波長相當短,如可見光的波長約為0.3到0.7μm,其變化的精度為半波長,所以相當靈敏。因此,應(yīng)用干涉效應(yīng)的場合,非常廣泛。
當高相干性的光入射一較粗糙的表面時,便會因粗糙的表面而使高相干性光產(chǎn)生散射(scatter),散射的結(jié)果便是使入射光往任意方向傳播。因此,當兩高相干性的光碰在一起且其光程差(OPD)又小于其相干長度時,便會產(chǎn)生穩(wěn)定的干涉現(xiàn)象。這些高相干性的散射光互相干涉會形成許多亮點及暗點的圖像,我們稱此圖像為激光光斑(Laser Speckle)。
光斑在未發(fā)現(xiàn)與位移有關(guān)時,被人視為噪聲,影響了圖像品質(zhì)。但是,自從有人發(fā)現(xiàn)位移與光斑具有相關(guān)性時,光斑便成為一種量測技術(shù)。最近,有鼠標應(yīng)用了光斑的特點,作為鼠標移動時的傳感技術(shù),如美國專利公開號第20050024623號專利(以下稱為623案),公開了一種光學(xué)位移方法與裝置,利用了具有相干性光源發(fā)射一相干性光,入射一表面,因此便有一反射光由表面反射而離開表面,有一傳感器位于反射光的入射位置,以接受此反射光,且入射光與表面的角度,約略等于反射光與表面的角度,以形成所謂的鏡面反射(specular reflection)。由于傳感器所接受的反射光圖像,含有許多的光斑,所以經(jīng)由判斷此反射光內(nèi)含的光斑圖像,將移動前與移動后的圖像相比較,以判斷光斑移動的方向與大小。
另一相關(guān)技術(shù)為2007年6月13日 申請日期2005年12月6日 優(yōu)先權(quán)日2005年12月6日
發(fā)明者黃宜裕, 陳銘, 王茂燃, 黃文政, 馬心一 申請人:中山科學(xué)研究院第五研究所