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使用形態(tài)的圖像處理裝置的制作方法

文檔序號:6548275閱讀:189來源:國知局
專利名稱:使用形態(tài)的圖像處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及圖像處理裝置,特別涉及對以規(guī)定的網(wǎng)格圖形遮蔽的掩模(mask)圖像進行形態(tài)運算處理的技術(shù)。
背景技術(shù)
作為除去各種圖像的噪聲的處理方法,已知形態(tài)(morphology)法。在形態(tài)運算處理中,單獨或組合使用膨脹(dilation)處理、收縮(erosion)處理、開放處理、以及關(guān)閉處理來進行圖像處理。
膨脹處理是搜索以關(guān)注像素為中心的±m(xù)寬的范圍內(nèi)的最大值(Minkowski和)的處理,根據(jù)結(jié)構(gòu)元素來決定m。收縮處理是搜索以關(guān)注像素為中心的±m(xù)寬的范圍內(nèi)的最小值(Minkowski差)的處理。開放處理是在收縮處理后進行膨脹處理的處理,即在最小值的搜索后搜索最大值的處理。關(guān)閉處理是在膨脹處理后進行收縮處理的處理,即在最大值的搜索后搜索最小值的處理。這些處理用于孤立點的除去或不連續(xù)的點的連接、填補等。
圖10至圖12中示意地表示膨脹處理和收縮處理。圖10(A)表示結(jié)構(gòu)元素(內(nèi)核),圖10B表示對應(yīng)于該結(jié)構(gòu)元素的移動方向。結(jié)構(gòu)元素在上下左右有四個,表示將原圖像向a、b、c、d的四個方向各移動一個像素。
圖11表示將原圖像分別向圖10B所示的移動方向移動的情況下的移動圖像。在圖11中,a是將原圖像向圖10B的a方向僅移動一個像素的圖像,b是將原圖像向圖10B的b方向僅移動一個像素的圖像,c是將原圖像向圖10B的c方向僅移動一個像素的圖像,d是將原圖像向圖10B的d方向僅移動一個像素的圖像。
圖12A表示輸出圖11所示的原圖像以及a~d的四個圖像的Minkowski和(所有存在區(qū)域)的結(jié)果、即膨脹處理的結(jié)果。而且,圖12B表示輸出圖11所示的原圖像以及a~d的四個圖像的Minkowski差(僅共用區(qū)域)的結(jié)果、即收縮處理的結(jié)果。(日本)特開平11-259651號公報、特開2002-94799號公報中記載了使用形態(tài)運算處理來抑制圖像的噪聲的技術(shù)。
如圖13所示,在將透過網(wǎng)板掩模(screen mask)等的印刷基板圖像等作為被檢測對象,測定印刷基板的布線寬度A或直徑B的情況下,一般僅檢測作為測定對象的布線圖形的邊緣,并測定檢測出的該邊緣間的距離,但如圖所示,在圖像由網(wǎng)格圖形遮蔽時,難以檢測邊緣部分。
圖14表示圖13中的布線圖形的部分放大圖。由于網(wǎng)格圖形的存在,布線圖形部分被分離為多個區(qū)域的結(jié)果,不僅本來的布線圖形部分的邊緣100,不是本來的邊緣的布線圖形內(nèi)部的區(qū)域邊界200也作為邊緣被檢測,不能根據(jù)邊緣正確地測定布線寬度A或者直徑B。這里,圖14中將由于網(wǎng)格圖形的存在而形成的區(qū)域a和區(qū)域b稱為開放區(qū)(opening),區(qū)域間的間隙稱為開放區(qū)間隙(網(wǎng)格圖形的寬度)。
因此,考慮在檢測布線圖形的邊緣之前,通過上述形態(tài)運算處理從原圖像除去網(wǎng)格圖形而得到僅布線圖形的圖像。即,考慮對原圖像執(zhí)行膨脹處理,通過觀看確認了填補了網(wǎng)格圖形的情況之后,執(zhí)行收縮處理而使膨脹部分還原,從而除去網(wǎng)格圖形。
但是,膨脹處理以及收縮處理為無法將原圖像復(fù)原的不可逆處理,所以從抑制圖像變形的觀點出發(fā),期望形態(tài)運算處理的執(zhí)行次數(shù)少,且期望膨脹處理以及收縮處理抑制在必要最小次數(shù)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種從由網(wǎng)格圖形等遮蔽了的原圖像除去網(wǎng)格圖形部分,并且可以抑制原圖像的變形的圖像處理裝置。
本發(fā)明的圖像處理裝置通過對輸入圖像依次執(zhí)行形態(tài)運算處理的膨脹運算處理以及收縮運算處理來處理該輸入圖像,具有輸入由規(guī)定的網(wǎng)格圖形遮蔽了的掩模圖像的部件;計算所述掩模圖像中的所述網(wǎng)格圖形的開放區(qū)間隙的開放區(qū)間隙計算部件;根據(jù)所述開放區(qū)間隙以及所述形態(tài)運算處理的結(jié)構(gòu)元素,計算所述膨脹處理以及所述收縮處理的必要最小重復(fù)次數(shù)的次數(shù)計算部件;以及對所述掩模圖像將所述膨脹運算處理僅重復(fù)執(zhí)行所述必要最小重復(fù)次數(shù),之后將所述收縮運算處理重復(fù)執(zhí)行所述必要最小重復(fù)次數(shù),從而從所述掩模圖像除去所述網(wǎng)格圖形的部件。
在本發(fā)明的一個實施方式中,所述開放區(qū)間隙計算部件具有提取所述掩模圖像中的所述網(wǎng)格圖形以外的閉區(qū)域的部件;以及計算作為所述開放間隙的所述閉區(qū)域中鄰接的閉區(qū)域的邊界間距離的部件。
而且,在本發(fā)明的其它的實施方式中,所述開放區(qū)間隙計算部件具有將所述掩模圖像進行Radon變換的部件;以及根據(jù)所述Radon變換而得到的亮度圖形計算所述開放區(qū)間隙的部件。
而且,在本發(fā)明的其它的實施方式中,所述開放區(qū)間隙計算部件具有將所述掩模圖像進行傅立葉變換的部件;以及根據(jù)所述傅立葉變換而得到的亮度矢量計算所述開放區(qū)間隙的部件。
而且,本發(fā)明的圖像處理方法,通過對輸入圖像依次執(zhí)行形態(tài)運算處理的膨脹運算處理以及收縮運算處理,來處理該輸入圖像,具有輸入由規(guī)定的網(wǎng)格圖形遮蔽了的掩模圖像的步驟;計算所述掩模圖像中的所述網(wǎng)格圖形的開放區(qū)間隙的步驟;設(shè)定所述形態(tài)運算處理的結(jié)構(gòu)元素的步驟;根據(jù)所述開放區(qū)間隙以及所述結(jié)構(gòu)元素,計算所述膨脹處理以及所述收縮處理的必要最小重復(fù)次數(shù)的步驟;以及對所述掩模圖像將所述膨脹運算處理僅重復(fù)執(zhí)行所述必要最小重復(fù)次數(shù),之后將所述收縮運算處理僅重復(fù)執(zhí)行所述必要最小重復(fù)次數(shù),從而從所述掩模圖像除去所述網(wǎng)格圖形的步驟。
本發(fā)明中,計算掩模圖像中包含的網(wǎng)格圖形的開放區(qū)間隙,并計算填補該開放區(qū)間隙所需的最小重復(fù)次數(shù)。即,在存在開放區(qū)間隙的情況下,通過重復(fù)執(zhí)行膨脹運算處理可以填補開放區(qū)間隙,但形態(tài)運算處理結(jié)構(gòu)元素(內(nèi)核)提供原圖像的移動像素數(shù),且開放區(qū)間隙提供填補該開放區(qū)間隙所需的必要的總像素移動數(shù),所以可以根據(jù)兩者求填補開放區(qū)間隙所需的最小重復(fù)次數(shù)。通過對掩模圖像重復(fù)必要最小次數(shù)的膨脹運算處理,可以填補開放區(qū)間隙,之后,通過重復(fù)必要最小次數(shù)的收縮運算處理而收縮到原來的尺寸,從而得到除去開放區(qū)間隙,并且原圖像的變形也被限制到最小限度的圖像。在本發(fā)明中,由于從掩模圖像中除去了網(wǎng)格圖形,所以僅可以提取掩模圖像中包含的原圖像圖形,并可以對原圖像圖形進行邊緣檢測或邊緣強調(diào)等各種圖像處理。


圖1是實施方式的結(jié)構(gòu)方框圖。
圖2是實施方式的形態(tài)運算處理部的處理流程圖。
圖3是實施方式的形態(tài)運算處理的結(jié)構(gòu)元素(kernel內(nèi)核)說明圖。
圖4A~圖4C是膨脹處理說明圖。
圖5A~圖5C是收縮處理說明圖。
圖6是實施方式的處理完畢圖像說明圖。
圖7是圖6的局部放大圖。
圖8是Radon變換說明圖。
圖9是Radon變換的掩模間隙計算說明圖。
圖10A、圖10B是結(jié)構(gòu)元素(內(nèi)核)說明圖。
圖11是通過圖10B的結(jié)構(gòu)元素從原圖像派生的圖像組說明圖。
圖12A、圖12B分別是使用圖11的圖像組的膨脹處理圖以及收縮處理圖。
圖13是由網(wǎng)格狀的圖形遮蔽了的掩模圖像說明圖。
圖14是圖13的局部放大圖。
具體實施例方式
下面,基于

本發(fā)明的實施方式。
圖1表示本實施方式的圖像處理裝置的結(jié)構(gòu)方框圖。圖像處理裝置1被構(gòu)成為具有以下部件形態(tài)運算處理部10、邊緣檢測部12、以及測定部14。
形態(tài)運算處理部10通過對輸入的原圖像(具有網(wǎng)格圖形的掩模原圖像)執(zhí)行膨脹處理以及收縮處理來除去網(wǎng)格圖形。從原圖像除去了網(wǎng)格圖形的圖像,例如印刷基板的布線圖形圖像被供給到邊緣檢測部12。形態(tài)運算處理部10中的膨脹處理的重復(fù)次數(shù)N以及收縮處理的重復(fù)次數(shù)N被設(shè)定為必要最小值。形態(tài)運算處理部10首先計算從輸入原圖像除去網(wǎng)格圖形所需的最小的重復(fù)次數(shù)N。然后,通過對原圖像重復(fù)執(zhí)行N次膨脹處理,從而將網(wǎng)格圖形填補,之后,重復(fù)N次收縮處理而使膨脹部分復(fù)原從而除去網(wǎng)格圖形。根據(jù)由于網(wǎng)格圖形的存在而形成的原圖像的閉區(qū)域(相當于圖14中的區(qū)域a、b、c、d)之間的距離、即開放區(qū)間隙D(參照圖14)和形態(tài)運算處理的結(jié)構(gòu)元素來決定最小的重復(fù)次數(shù)N。結(jié)構(gòu)元素提供原圖像的移動像素數(shù),開放區(qū)間隔D提供填補網(wǎng)格圖形所需的總移動數(shù)。從而,基于這些值可以決定必要最小次數(shù)。結(jié)構(gòu)元素由用戶預(yù)先設(shè)定并存儲在形態(tài)運算處理部10的存儲器中。
邊緣檢測部12從由形態(tài)運算處理部10除去了網(wǎng)格圖形的圖像檢測邊緣。圖像的邊緣檢測為公知技術(shù),省略其說明。
測定部14使用由邊緣檢測部12檢測出的邊緣檢測并輸出圖像中包含的布線圖形的布線寬度和直徑。形態(tài)運算處理部10、邊緣檢測部12以及測定部14具體來說,由計算機(圖像處理計算機)的微處理器和存儲輸入原圖像數(shù)據(jù)或者處理完畢圖像數(shù)據(jù)的圖像存儲器構(gòu)成??梢跃哂休斎朐瓐D像為模擬圖像的情況下將其變換為數(shù)字數(shù)據(jù)的A/D變換部,或者也可以將由形態(tài)運算處理部10除去了網(wǎng)格圖形的圖像原樣作為處理結(jié)果而輸出到外部。
圖2表示形態(tài)運算處理部10中的代表性處理流程圖的例子。該處理流程圖通過依次執(zhí)行安裝在計算機中的圖像處理程序來實現(xiàn)。首先,為了測定布線寬度和直徑等而將檢查對象圖像取入裝置(S101)。檢查對象圖像例如圖13所示,是具有網(wǎng)格圖形的印刷基板圖像等。
接著,對掩模圖像進行標記處理(S102)。標記處理以某一閾值將輸入圖像二值化為“0”和“1”,檢查被判定為“1”的像素的連續(xù)性,從而對連續(xù)的像素的集合賦予標記。通過標記處理,多個連續(xù)的像素的集合、即多個閉區(qū)域(ブロツブ斑點)被提取。在標記處理時,將作為后面的形態(tài)運算處理的結(jié)構(gòu)元素的內(nèi)核設(shè)為最小單位,比內(nèi)核小的集合不標記。二值化的閾值例如可以從輸入圖像的直方圖設(shè)定,或者也可以設(shè)為預(yù)先設(shè)定并存儲在存儲器中的值。提取的閉區(qū)域作為其標記值以及存在區(qū)域坐標存儲在存儲器中。
通過標記處理提取出閉區(qū)域之后,至少兩處計算各閉區(qū)域的接近的重心坐標(S103)。即,將二維的輸入圖像投影到X-Y平面上,并將輸入圖像的規(guī)定點(例如左上角點)設(shè)為X-Y平面的原點,以該原點為基準計算各閉區(qū)域的重心坐標(xi,yi)(i=0、1、2、3……)。這里i表示各閉區(qū)域的標記值。重心坐標(xi,yi)是將各閉區(qū)域i賦予特征的參數(shù)。重心坐標與該閉區(qū)域的標記值都被存儲在存儲器中。
在計算出各閉區(qū)域的重心坐標之后,計算閉區(qū)域間的距離(斑點的間隙)(S104)。該閉區(qū)域之間的距離相當于開放區(qū)間隙。具體來說,提取多個閉區(qū)域(斑點)中鄰接的兩個閉區(qū)域i、j,并計算以這些閉區(qū)域i、j的重心坐標為起點和終點的矢量。這些矢量中,不屬于閉區(qū)域i、j的任何一個的部分的長度為閉區(qū)域間的距離、即開放區(qū)間隙D。進而,具體來說,在以兩個重心坐標為起點以及終點的矢量上執(zhí)行輸入圖像的邊緣檢測處理,并通過計算邊緣(即閉區(qū)域的邊界)間的距離來計算開放區(qū)間隔D。提取多個鄰接的兩個閉區(qū)域i,j的組,在各組中計算開放區(qū)間隙Di,并計算這些開放區(qū)間隙Di的平均值也可以。在圖14中說明時,根據(jù)閉區(qū)域a和閉區(qū)域b的各自的重心坐標計算開放區(qū)間隙,同時根據(jù)閉區(qū)域a和閉區(qū)域c的各自的重心坐標計算開放區(qū)間隙,從而計算兩開放區(qū)間隙的平均值。當然,也可以根據(jù)閉區(qū)域b和閉區(qū)域d、閉區(qū)域c和閉區(qū)域d來計算開放區(qū)間隙。
在計算出開放區(qū)間隙(斑點間隙)之后,同時確定最合適的形態(tài)實施次數(shù)(N)(S105)。即,計算填補計算出的開放區(qū)間隙所需的最小重復(fù)次數(shù)N。該次數(shù)N如上所述,基于開放區(qū)間隙和作為結(jié)構(gòu)元素的內(nèi)核來計算。例如,開放區(qū)間隙為4(4像素),內(nèi)核為圖3所示的3像素×3像素(即,在上下左右斜的合計8個方向上各一個像素)的情況下,通過對鄰接的兩個區(qū)域i,j的各個重復(fù)兩次膨脹處理,鄰接的兩個閉區(qū)域i,j間的開放區(qū)間隙填補,所以必要最小重復(fù)次數(shù)為N=2。在內(nèi)核為3像素×3像素的情況下,通過N=開放區(qū)間隙/(2×1)=D/2來計算。內(nèi)核為5像素×5像素(即,上下左右斜的8個方向上各兩個像素)的情況下,通過N=開放區(qū)間隙/(2×2)=D/4來計算。一般地,通過N=開放區(qū)間隙/(2×內(nèi)核的移動像素數(shù))來計算。
在計算出必要最小重復(fù)次數(shù)N之后,以標記了的各閉區(qū)域為對象重復(fù)執(zhí)行N次膨脹運算處理(S106、S107)。通過該膨脹運算處理,鄰接的閉區(qū)域間的開放區(qū)間隙填補,多個閉區(qū)域被統(tǒng)括到一個閉區(qū)域中。
圖4A~圖4C示意地表示S106、S107中的兩次的膨脹運算處理。鄰接的兩個閉區(qū)域20、22間存在開放區(qū)間隙(4像素),從圖4A的輸入圖像狀態(tài)進行第一次膨脹運算處理,對閉區(qū)域20、22分別運算在8個方向上每次移動一個像素的圖像的Minkowski(ミンコフスキ—)和時,成為圖4B所示的狀態(tài),4像素的開放區(qū)間隙中的2像素填補。進而,從圖4B的狀態(tài)進行第二次膨脹運算處理時,成為圖4C所示的狀態(tài),開放區(qū)間隙的剩余2像素填補,閉區(qū)域22、24被互相連接,并形成一個閉區(qū)域24。
再次返回圖2,如上所述,在結(jié)束膨脹運算處理之后,重復(fù)兩次收縮運算處理而使膨脹部分復(fù)原(S108、S109)。由此,僅剩下不存在開放區(qū)間隙的一個閉區(qū)域,作為形態(tài)運算處理結(jié)果圖像作為下一個邊緣檢測部12的源圖像輸出(S110)。
圖5A~圖5C示意地表示S108、S109中的兩次收縮運算處理。另外,圖5A和圖4C相同。對圖5A所示的通過膨脹運算處理形成了的閉區(qū)域24進行第一次收縮運算處理,并對閉區(qū)域24運算向8個方向每次移動一個像素的圖像的Minkowski差時,成為圖5B所示的狀態(tài),進而,進行第二次收縮運算處理時,成為圖5C所示的狀態(tài),并得到與閉區(qū)域20、22相同尺寸,且4像素的開放區(qū)間隙被填補的圖像。
圖6表示如以上那樣對圖13的掩模圖像僅重復(fù)執(zhí)行必要最小重復(fù)次數(shù)N的膨脹運算處理和收縮處理的情況下的處理結(jié)果圖像。而且,圖7表示圖6中的布線圖形的局部放大圖。網(wǎng)格圖形被除去(圖7中以虛線表示網(wǎng)格圖形),并得到布線圖形圖像。容易根據(jù)圖7所示的圖像檢測布線圖形部的邊緣100,并且膨脹運算處理以及收縮運算處理被抑制在最小次數(shù),所以原圖像的變形(布線圖形的變形)也少,作為結(jié)果,可以正確地測定布線寬度A和直徑B。
另外,如上所述,必要最小重復(fù)次數(shù)N通過N=開放區(qū)間隙/2×(內(nèi)核的移動像素數(shù))來決定,當然在有小數(shù)部分的情況下進行舍入來設(shè)定次數(shù)N。
而且,在本實施方式中,作為處理對象圖像例示了網(wǎng)格狀的圖形,但不限于此,可以應(yīng)用于任意的圖形中。在對象圖像不具有周期性的情況下,開放區(qū)間隙也以一定的寬度被計算,但在該情況下只要采用計算出的開放區(qū)間隙的最大值來計算必要最小重復(fù)次數(shù)N就可以。
而且,在本實施方式中,作為形態(tài)運算處理的結(jié)構(gòu)元素(內(nèi)核),設(shè)為3像素×3像素,或者5像素×5像素,但也可以使用其他的結(jié)構(gòu)元素,也可以使膨脹運算處理以及收縮運算處理的重復(fù)次數(shù)N和結(jié)構(gòu)元素都最優(yōu)化。即,對多個種類的結(jié)構(gòu)元素,通過N=開放區(qū)間隙/2×(內(nèi)核的移動像素數(shù))來計算重復(fù)次數(shù),也可以選擇N成為最小的結(jié)構(gòu)元素作為最優(yōu)結(jié)構(gòu)元素。結(jié)構(gòu)元素根據(jù)要除去的網(wǎng)格圖形被最優(yōu)化。
而且,在本實施方式中,進行標記處理而提取閉區(qū)域,并根據(jù)鄰接的閉區(qū)域的重心坐標計算開放區(qū)間隙,但不進行標記處理而對輸入圖像局部地執(zhí)行邊緣檢測處理從而提取閉區(qū)域的邊界,并通過計算該閉區(qū)域的邊界間距離(邊緣間距離)來計算開放區(qū)間隙也可以。
進而,也可以不計算閉區(qū)域的重心坐標而通過其他方法計算開放區(qū)間隙。作為這樣的方法,有傅立葉變換和Radon變換。
在使用傅里葉變換的情況下,形態(tài)運算處理部10對輸入圖像進行FFT(快速傅立葉變換),并計算亮度矢量。然后,根據(jù)亮度矢量提取網(wǎng)格狀掩模圖形的頻率,并計算作為頻率的倒數(shù)的網(wǎng)格狀圖形的間距、即開放區(qū)間隙。計算了開放區(qū)間隙之后,與上述實施方式同樣使用內(nèi)核的移動像素數(shù)計算必要最小重復(fù)次數(shù)N。
另一方面,在使用Radon變換的情況下,對輸入圖像在每個投射角度計算在特定方向上投影的情況的亮度的積分值,從而計算對于投射角度和位置的亮度積分值。圖8中示出相對于輸入圖像在矢量方向投影的情況下亮度積分值的分布。由于亮度積分值中出現(xiàn)網(wǎng)格狀的圖形的間距所對應(yīng)的間距,所以通過計算該間距可以計算開放區(qū)間隙。圖9表示根據(jù)亮度積分值計算開放區(qū)間隙。對亮度積分值設(shè)定適當?shù)拈撝?,將亮度積分值中小于等于閾值的部分的距離作為間隙距離,并以多個間隙距離的平均設(shè)為開放區(qū)間隙。
以上,說明了各實施方式,但重要的是,只要求在掩模圖像中由網(wǎng)格狀的圖形遮蔽并互相分離的亮度部分相互的距離,并求填補該距離所需的次數(shù)中的最小值就可以。
權(quán)利要求
1.一種圖像處理裝置,通過對輸入圖像依次執(zhí)行形態(tài)運算處理的膨脹運算處理以及收縮運算處理來處理該輸入圖像,包括輸入由規(guī)定的網(wǎng)格圖形遮蔽了的掩模圖像的部件;計算所述掩模圖像中的所述網(wǎng)格圖形的開放區(qū)間隙的開放區(qū)間隙計算部件;設(shè)定所述形態(tài)運算處理的結(jié)構(gòu)元素的部件;根據(jù)所述開放區(qū)間隙以及所述結(jié)構(gòu)元素,計算所述膨脹處理以及所述收縮處理的必要最小重復(fù)次數(shù)的次數(shù)計算部件;以及對所述掩模圖像將所述膨脹運算處理僅重復(fù)執(zhí)行所述必要最小重復(fù)次數(shù),之后將所述收縮運算處理重復(fù)執(zhí)行所述必要最小重復(fù)次數(shù),從而從所述掩模圖像除去所述網(wǎng)格圖形的部件。
2.如權(quán)利要求1所述的圖像處理裝置,其中,所述開放區(qū)間隙計算部件包括提取所述掩模圖像中的所述網(wǎng)格圖形以外的閉區(qū)域的部件;以及計算所述閉區(qū)域中鄰接的閉區(qū)域的邊界間距離而作為所述開放間隙的部件。
3.如權(quán)利要求1所述的圖像處理裝置,其中,所述開放區(qū)間隙計算部件包括提取所述掩模圖像中的所述網(wǎng)格圖形以外的閉區(qū)域的部件;計算所述閉區(qū)域中鄰接的閉區(qū)域各自的重心坐標的部件;以及根據(jù)所述重心坐標計算所述開放區(qū)間隙的部件。
4.如權(quán)利要求1所述的圖像處理裝置,其中,所述開放區(qū)間隙計算部件具有將所述掩模圖像進行Radon變換的部件;以及根據(jù)所述Radon變換而得到的亮度圖形計算所述開放區(qū)間隙的部件。
5.如權(quán)利要求1所述的圖像處理裝置,其中,所述開放區(qū)間隙計算部件包括將所述掩模圖像進行傅立葉變換的部件;以及根據(jù)所述傅立葉變換而得到的亮度矢量計算所述開放區(qū)間隙的部件。
6.如權(quán)利要求1所述的圖像處理裝置,還包括檢測除去所述網(wǎng)格圖形的掩模圖像內(nèi)的圖像邊緣的部件。
7.一種圖像處理方法,通過對輸入圖像依次執(zhí)行形態(tài)運算處理的膨脹運算處理以及收縮運算處理,來處理該輸入圖像,包括以下的步驟輸入由規(guī)定的網(wǎng)格圖形遮蔽了的掩模圖像的步驟;計算所述掩模圖像中的所述網(wǎng)格圖形的開放區(qū)間隙的步驟;設(shè)定所述形態(tài)運算處理的結(jié)構(gòu)元素的步驟;根據(jù)所述開放區(qū)間隙以及所述形態(tài)運算處理的結(jié)構(gòu)元素,計算所述膨脹處理以及所述收縮處理的必要最小重復(fù)次數(shù)的步驟;以及對所述掩模圖像將所述膨脹運算處理僅重復(fù)執(zhí)行所述必要最小重復(fù)次數(shù),之后將所述收縮運算處理僅重復(fù)執(zhí)行所述必要最小重復(fù)次數(shù),從而從所述掩模圖像除去所述網(wǎng)格圖形的步驟。
8.一種程序產(chǎn)品,應(yīng)用于圖像處理用計算機,所述圖像處理用計算機通過對輸入圖像依次執(zhí)行形態(tài)運算處理的膨脹運算處理以及收縮運算處理,來處理該輸入圖像,包括以下的執(zhí)行步驟輸入由規(guī)定的網(wǎng)格圖形遮蔽了的掩模圖像的步驟;計算所述掩模圖像中的所述網(wǎng)格圖形的開放區(qū)間隙的步驟;設(shè)定所述形態(tài)運算處理的結(jié)構(gòu)元素的步驟;根據(jù)所述開放區(qū)間隙以及所述結(jié)構(gòu)元素,計算所述膨脹處理以及所述收縮處理的必要最小重復(fù)次數(shù)的步驟;以及對所述掩模圖像將所述膨脹運算處理僅重復(fù)執(zhí)行所述必要最小重復(fù)次數(shù),之后將所述收縮運算處理僅重復(fù)執(zhí)行所述必要最小重復(fù)次數(shù),從而從所述掩模圖像除去所述網(wǎng)格圖形的步驟。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種使用形態(tài)的圖像處理裝置。掩模圖像被提供給圖像處理裝置的形態(tài)運算處理部。形態(tài)運算處理部計算掩模圖像的開放區(qū)間隙,并計算填補該開放區(qū)間隙所需的最小的膨脹重復(fù)次數(shù)N,在N次膨脹處理之后,執(zhí)行N次收縮處理從而除去網(wǎng)格狀的圖形。之后,通過邊緣檢測部檢測圖像內(nèi)的布線圖形邊緣,并由測定部計算作為布線寬度的邊緣間的距離。
文檔編號G06T5/30GK1691064SQ20051006691
公開日2005年11月2日 申請日期2005年4月22日 優(yōu)先權(quán)日2004年4月26日
發(fā)明者光谷直樹, 栗原正紀 申請人:三豐株式會社
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