專利名稱：射頻識(shí)別感應(yīng)系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型是有關(guān)于一種貨物處理系統(tǒng)，特別是有關(guān)于一種藉由射頻識(shí)別感應(yīng)系統(tǒng)以及貨物上裝設(shè)的射頻識(shí)別標(biāo)簽，來控制貨物處理程序的系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在晶片廠里，每一晶片批次上都有標(biāo)示晶片批次編號(hào)，而各個(gè)加工機(jī)臺(tái)就依據(jù)晶片批次編號(hào)，選擇對(duì)應(yīng)的制程加工程序(recipe)，來進(jìn)行晶片的加工。晶片批次編號(hào)的確認(rèn)，在自動(dòng)化的晶片加工機(jī)臺(tái)更是至關(guān)重要，晶片批次編號(hào)辨識(shí)或輸入的錯(cuò)誤，將使得機(jī)臺(tái)使用不適當(dāng)?shù)闹瞥碳庸こ绦騺磉M(jìn)行晶片加工，而經(jīng)過錯(cuò)誤制程加工程序處理過的晶片產(chǎn)品，輕則需要重新處理，重則無法挽回而必須加以銷毀。不論是再處理或是銷毀，都造成了機(jī)臺(tái)產(chǎn)能以及成本的耗費(fèi)。
條形碼(bar code)是一種傳統(tǒng)的晶片批次辨識(shí)方法。依據(jù)此方法，在每一個(gè)晶片運(yùn)輸匣(cassette)上，貼有載有晶片批次編號(hào)的條形碼標(biāo)簽，當(dāng)晶片運(yùn)輸匣運(yùn)送到機(jī)臺(tái)載卸部時(shí)，藉由人工以條形碼讀取機(jī)，讀取該晶片運(yùn)輸匣上條形碼標(biāo)簽的內(nèi)容，再由人工將該晶片運(yùn)輸匣置入該載卸部，使得該機(jī)臺(tái)能夠進(jìn)一步處理該晶片運(yùn)輸匣中的晶片片。此種方法中，條形碼的辨識(shí)和晶片加載機(jī)臺(tái)是分離的兩個(gè)人工動(dòng)作，有時(shí)因?yàn)槿藶榈腻e(cuò)誤，讀取條形碼所在的晶片運(yùn)輸匣并非實(shí)際加載的晶片運(yùn)輸匣，而使得機(jī)臺(tái)依據(jù)讀取條形碼以不適當(dāng)?shù)闹瞥碳庸こ绦騺硖幚砑虞d的晶片片。
近來出現(xiàn)以射頻辨識(shí)系統(tǒng)來辨識(shí)對(duì)象的方法，但是如果直接將此方法應(yīng)用到晶片廠中的話，可能會(huì)發(fā)生下述問題。若在每一個(gè)晶片運(yùn)輸匣上，貼有載有晶片批次編號(hào)的射頻識(shí)別標(biāo)簽，當(dāng)晶片運(yùn)輸匣運(yùn)送到機(jī)臺(tái)載卸部時(shí)，藉由射頻識(shí)別讀取機(jī)，自動(dòng)感應(yīng)并接收該晶片運(yùn)輸匣上的射頻識(shí)別標(biāo)簽所載的內(nèi)容，然后自動(dòng)啟動(dòng)機(jī)械手臂，將該晶片運(yùn)輸匣置入該機(jī)臺(tái)的載卸部，使其進(jìn)入該機(jī)臺(tái)進(jìn)行處理。此種方法中，射頻識(shí)別條形碼讀取機(jī)是自動(dòng)啟動(dòng)，其可能因?yàn)橛猩漕l識(shí)別條形碼的接近或是另外裝設(shè)光感應(yīng)器來感知晶片運(yùn)輸匣的靠近，進(jìn)而自動(dòng)啟動(dòng)機(jī)械手臂作動(dòng)。其可能晶片運(yùn)輸匣出現(xiàn)在機(jī)臺(tái)附近的時(shí)候就自動(dòng)進(jìn)行上述程序，使得機(jī)械手臂自動(dòng)作動(dòng)而造成廠區(qū)人員的危險(xiǎn)。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本實(shí)用新型的目的為提供一種射頻識(shí)別感應(yīng)系統(tǒng)，使得能夠以接觸式控制的方式，明確控制射頻識(shí)別感應(yīng)器以及相關(guān)器械的作動(dòng)，使得機(jī)臺(tái)能夠正確進(jìn)行晶片批次的處理。
依據(jù)本實(shí)用新型的射頻識(shí)別感應(yīng)系統(tǒng)，其適用于射頻識(shí)別卷標(biāo)與主機(jī)系統(tǒng)之間，包括加載控制裝置、輸出控制裝置、感應(yīng)裝置、處理裝置。該加載及輸出控制裝置分別產(chǎn)生加載及輸出觸發(fā)訊號(hào)。該感應(yīng)裝置讀取射頻識(shí)別卷標(biāo)中記錄的貨物識(shí)別碼及數(shù)據(jù)。該處理裝置接收該加載觸發(fā)訊號(hào)時(shí)，啟動(dòng)該加載指示裝置及該感應(yīng)裝置，接收該貨物識(shí)別碼并將其與該加載觸發(fā)訊號(hào)傳送至主機(jī)系統(tǒng)，使得執(zhí)行貨物加載程序；當(dāng)其接收該輸出觸發(fā)訊號(hào)時(shí)，啟動(dòng)該輸出指示裝置及該感應(yīng)裝置，接收該貨物識(shí)別碼并將其與該輸出觸發(fā)訊號(hào)傳送至該主機(jī)系統(tǒng)，使得執(zhí)行貨物輸出程序。


圖1顯示依據(jù)本實(shí)用新型機(jī)臺(tái)裝置的示意圖。
符號(hào)說明100晶片制造系統(tǒng)；10機(jī)臺(tái)；11載卸部；12晶片運(yùn)輸裝置；13射頻識(shí)別感應(yīng)系統(tǒng)；131加載按鈕；132運(yùn)出控制裝置；133加載按鈕；134運(yùn)出按鈕；135載入指示燈；136運(yùn)出指示燈；137處理裝置；139感應(yīng)裝置；14機(jī)械手臂；15主機(jī)系統(tǒng)；16晶片運(yùn)輸匣；161射頻識(shí)別標(biāo)簽165晶片批次。
具體實(shí)施方式
茲以晶片制造系統(tǒng)100為例，說明本實(shí)用新型射頻識(shí)別感應(yīng)系統(tǒng)的實(shí)施。上述晶片制程機(jī)臺(tái)(以下簡稱為機(jī)臺(tái))是用以執(zhí)行晶片制程步驟，以處理至少一晶片。
機(jī)臺(tái)10設(shè)有載卸部11，用以將待處理的晶片批次加載機(jī)臺(tái)10，并將處理過的晶片批次運(yùn)出機(jī)臺(tái)10。機(jī)臺(tái)10是與機(jī)械手臂14及晶片運(yùn)輸裝置12搭配運(yùn)作，使得經(jīng)由晶片運(yùn)輸裝置12運(yùn)送到機(jī)臺(tái)10的晶片批次165，可以藉由機(jī)械手臂14將晶片批次165加載機(jī)臺(tái)10進(jìn)行處理。其中晶片批次16 5是裝在晶片運(yùn)輸匣16中，而晶片運(yùn)輸匣16上設(shè)有射頻識(shí)別標(biāo)簽161。射頻識(shí)別卷標(biāo)161中記錄了晶片批次165的晶片批次編號(hào)以及其它相關(guān)數(shù)據(jù)。
機(jī)臺(tái)10并與射頻識(shí)別卷標(biāo)感應(yīng)系統(tǒng)13連結(jié)，使得晶片運(yùn)輸匣16上的射頻識(shí)別卷標(biāo)161中所記載的數(shù)據(jù)能夠被射頻識(shí)別感應(yīng)系統(tǒng)13接收，以辨識(shí)晶片運(yùn)輸匣16中所裝的晶片批次編號(hào)。
機(jī)臺(tái)10并與主機(jī)系統(tǒng)15連結(jié)。當(dāng)晶片運(yùn)輸匣16運(yùn)抵機(jī)臺(tái)10時(shí)，射頻識(shí)別卷標(biāo)感應(yīng)系統(tǒng)13接收射頻識(shí)別卷標(biāo)161中記載的晶片批次編號(hào)以及其它相關(guān)數(shù)據(jù)，并將之傳送給主機(jī)系統(tǒng)15，使得主機(jī)系統(tǒng)15能夠據(jù)以控制機(jī)臺(tái)10的運(yùn)作。
射頻識(shí)別卷標(biāo)感應(yīng)系統(tǒng)13包含加載按鈕131、運(yùn)出控制裝置132、處理裝置137以及感應(yīng)裝置139。
其中，加載按鈕131是用以執(zhí)行欲將晶片運(yùn)輸匣加載機(jī)臺(tái)時(shí)的晶片批次辨識(shí)工作。加載按鈕131包含加載按鈕133及加載指示燈135(發(fā)出紅色燈號(hào))，當(dāng)加載按鈕133被啟動(dòng)時(shí)產(chǎn)生加載訊號(hào)。運(yùn)出控制裝置132是用以執(zhí)行欲將晶片運(yùn)輸匣運(yùn)出機(jī)臺(tái)時(shí)的晶片批次辨識(shí)工作。運(yùn)出控制裝置132包含一運(yùn)出按鈕134及運(yùn)出指示燈136(發(fā)出綠色燈號(hào))，當(dāng)運(yùn)出按鈕133被啟動(dòng)時(shí)產(chǎn)生運(yùn)出訊號(hào)。
感應(yīng)裝置139在未啟動(dòng)時(shí)是處于待機(jī)狀態(tài)，當(dāng)其被啟動(dòng)時(shí)讀取射頻識(shí)別卷標(biāo)161中記錄的晶片批次編號(hào)以及其它相關(guān)數(shù)據(jù)。
處理裝置137依據(jù)該加載訊號(hào)及該運(yùn)出訊號(hào)分別控制加載指示燈135及運(yùn)出指示燈136以及感應(yīng)裝置139。當(dāng)處理裝置137接收加載按鈕133被按壓所產(chǎn)生的加載訊號(hào)時(shí)，啟動(dòng)加載指示燈135及感應(yīng)裝置139，使得當(dāng)感應(yīng)裝置139接收該晶片批次編號(hào)時(shí)，加載指示燈135持續(xù)發(fā)出紅色燈號(hào)，以提醒作業(yè)人員此時(shí)不要將晶片運(yùn)輸匣16移動(dòng)，以免中斷晶片批次編號(hào)的讀取。處理裝置137并接收感應(yīng)裝置139讀取的該晶片批次編號(hào)并將該其與該加載訊號(hào)傳送至主機(jī)系統(tǒng)15。此時(shí)載入指示燈135熄滅而不再發(fā)出紅色燈號(hào)，以指示作業(yè)人員晶片批次編號(hào)已經(jīng)讀取完成。當(dāng)主機(jī)系統(tǒng)15接收該加載訊號(hào)及該讀取的晶片批次編號(hào)時(shí)，其是進(jìn)行一系列預(yù)定的動(dòng)作，使得機(jī)臺(tái)10能夠經(jīng)由其載卸部11將晶片運(yùn)輸匣16加載并進(jìn)行處理。
當(dāng)處理裝置137接收運(yùn)出按鈕134被按壓所產(chǎn)生的運(yùn)出訊號(hào)時(shí)，啟動(dòng)運(yùn)出指示燈136及感應(yīng)裝置139，使得當(dāng)感應(yīng)裝置139接收該晶片批次編號(hào)時(shí)，運(yùn)出指示燈136持續(xù)發(fā)出綠色燈號(hào)，以提醒作業(yè)人員此時(shí)不要將晶片運(yùn)輸匣16移動(dòng)，以免中斷晶片批次編號(hào)的讀取。處理裝置137并接收感應(yīng)裝置139讀取的該晶片批次編號(hào)并將其與該運(yùn)出訊號(hào)傳送至主機(jī)系統(tǒng)15。此時(shí)運(yùn)出指示燈136熄滅而不再發(fā)出綠色燈號(hào)，以指示作業(yè)人員晶片批次編號(hào)已經(jīng)讀取完成。當(dāng)主機(jī)系統(tǒng)15接收該運(yùn)出訊號(hào)及該讀取的晶片批次編號(hào)時(shí)，其是進(jìn)行一系列預(yù)定的動(dòng)作，使得機(jī)臺(tái)10能夠經(jīng)由其載卸部11將晶片運(yùn)輸匣16運(yùn)出并經(jīng)由晶片運(yùn)輸裝置12將其送往下一個(gè)制程步驟的機(jī)臺(tái)進(jìn)行處理。
射頻識(shí)別卷標(biāo)感應(yīng)系統(tǒng)13除了讀取射頻識(shí)別卷標(biāo)161中的數(shù)據(jù)之外，也能夠依據(jù)主機(jī)系統(tǒng)15的指示，更新或?qū)懭肷漕l識(shí)別卷標(biāo)161中的數(shù)據(jù)。當(dāng)主機(jī)系統(tǒng)15透過射頻識(shí)別卷標(biāo)感應(yīng)系統(tǒng)13將數(shù)據(jù)寫入射頻識(shí)別標(biāo)簽161中時(shí)，其將欲寫入的數(shù)據(jù)以及寫入命令傳送至處理裝置137中。處理裝置137接收該數(shù)據(jù)及寫入命令后，進(jìn)一步使得感應(yīng)裝置139將該數(shù)據(jù)加載射頻識(shí)別卷標(biāo)161中，同時(shí)分別傳送指示指令至加載指示燈135及運(yùn)出指示燈136，使得當(dāng)數(shù)據(jù)寫入正在執(zhí)行時(shí)，加載指示燈135發(fā)出紅色閃爍燈號(hào)，而運(yùn)出指示燈136發(fā)出綠色閃爍燈號(hào)。當(dāng)數(shù)據(jù)寫入步驟完成后，加載指示燈135及運(yùn)出指示燈136均熄滅，以提醒作業(yè)人員該數(shù)據(jù)寫入動(dòng)作已完成。
上述加載指示燈135及運(yùn)出指示燈136在數(shù)據(jù)讀取及數(shù)據(jù)寫入時(shí)的燈號(hào)表示方式，均可以依據(jù)主機(jī)系統(tǒng)15的指令來進(jìn)行調(diào)整。其燈號(hào)的顏色以及發(fā)光的模式(持續(xù)發(fā)光或閃爍發(fā)光)等均可以依據(jù)使用需要調(diào)整之。
上述按鈕裝置可以為任何接觸式的控制裝置，例如控制桿或觸控式面板等，其是可以依據(jù)實(shí)際需要而設(shè)計(jì)。
本實(shí)用新型亦提供一種具有辨識(shí)功能的晶片批處理方法，其適用于類似如上述的具有射頻識(shí)別感應(yīng)裝置的機(jī)臺(tái)，該射頻識(shí)別感應(yīng)裝置是由類似如按鈕的接觸式啟動(dòng)裝置所啟動(dòng)。
當(dāng)晶片批次欲加載機(jī)臺(tái)進(jìn)行處理時(shí)，首先將射頻識(shí)別標(biāo)簽161貼付于晶片運(yùn)輸匣16上，其中該晶片運(yùn)輸匣16中裝有晶片批次165，射頻識(shí)別卷標(biāo)則記錄了該晶片批次的晶片批次編號(hào)。當(dāng)晶片批次165需由10機(jī)臺(tái)處理時(shí)，晶片運(yùn)輸匣16運(yùn)送至機(jī)臺(tái)10，作業(yè)人員需依據(jù)指示，對(duì)機(jī)械手臂14下達(dá)指令以將晶片運(yùn)輸匣16加載機(jī)臺(tái)10中。此時(shí)，作業(yè)人員需按下射頻識(shí)別感應(yīng)系統(tǒng)的加載按鈕131，使其產(chǎn)生加載訊號(hào)。射頻識(shí)別感應(yīng)系統(tǒng)13的處理裝置137接收該加載訊號(hào)，同時(shí)發(fā)出指示訊號(hào)至加載指示燈135并啟動(dòng)感應(yīng)裝置139。感應(yīng)裝置139被啟動(dòng)后讀取射頻識(shí)別卷標(biāo)161中記錄的晶片批次編號(hào)。處理裝置137接收該晶片批次編號(hào)，并將之連同該加載訊號(hào)傳送至主機(jī)系統(tǒng)15。主機(jī)系統(tǒng)15接收該加載訊號(hào)及該晶片批次編號(hào)后，依據(jù)該晶片批次編號(hào)，選取適當(dāng)?shù)闹瞥碳庸こ绦?，并?jù)以傳送動(dòng)作指令至機(jī)臺(tái)10，使其依據(jù)該動(dòng)作指令處理該晶片批次。
當(dāng)晶片批次已由機(jī)臺(tái)處理完成欲運(yùn)出機(jī)臺(tái)時(shí)，晶片運(yùn)輸匣16被運(yùn)送至機(jī)臺(tái)10的載卸部，作業(yè)人員需依據(jù)指示，對(duì)機(jī)械手臂14下達(dá)指令以將晶片運(yùn)輸匣16運(yùn)出機(jī)臺(tái)10，使得能夠藉由晶片運(yùn)輸裝置12將其運(yùn)往其它機(jī)臺(tái)進(jìn)行處理。此時(shí)，作業(yè)人員需按下射頻識(shí)別感應(yīng)系統(tǒng)的運(yùn)出控制裝置132，使其產(chǎn)生運(yùn)出訊號(hào)。射頻識(shí)別感應(yīng)系統(tǒng)13的處理裝置137接收該運(yùn)出訊號(hào)，同時(shí)發(fā)出指示訊號(hào)至運(yùn)出指示燈136并啟動(dòng)感應(yīng)裝置139。感應(yīng)裝置139被啟動(dòng)后讀取射頻識(shí)別卷標(biāo)161中記錄的晶片批次編號(hào)。處理裝置137接收該晶片批次編號(hào)，并將之連同該運(yùn)出訊號(hào)傳送至主機(jī)系統(tǒng)15。主機(jī)系統(tǒng)15接收該運(yùn)出訊號(hào)及該晶片批次編號(hào)后，依據(jù)該晶片批次編號(hào)，讀取該晶片批次的加工排程數(shù)據(jù)，并據(jù)以傳送動(dòng)作指令至機(jī)械手臂14，使其依據(jù)該動(dòng)作指令移動(dòng)該晶片批次。
雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本實(shí)用新型，任何熟習(xí)此技藝者，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許的更動(dòng)與潤飾，因此本實(shí)用新型的保護(hù)范圍當(dāng)視所附的權(quán)利要求范圍所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種射頻識(shí)別感應(yīng)系統(tǒng)，其適用于射頻識(shí)別卷標(biāo)與主機(jī)系統(tǒng)之間，其特征在于，包括控制裝置，其包含接觸式啟動(dòng)的控制單元及指示單元，當(dāng)該控制單元被啟動(dòng)時(shí)產(chǎn)生觸發(fā)訊號(hào)；感應(yīng)裝置，當(dāng)其啟動(dòng)時(shí)讀取該射頻識(shí)別卷標(biāo)中記錄的貨物識(shí)別碼及數(shù)據(jù)；以及處理裝置，依據(jù)該觸發(fā)訊號(hào)控制該指示單元以及該感應(yīng)裝置，當(dāng)其接收該觸發(fā)訊號(hào)時(shí)，啟動(dòng)該指示裝置及該感應(yīng)裝置，接收該感應(yīng)裝置讀取的該貨物識(shí)別碼并將該貨物識(shí)別碼及該觸發(fā)訊號(hào)傳送至該主機(jī)系統(tǒng)，使得進(jìn)行貨物處理程序。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻識(shí)別感應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，該貨物為半導(dǎo)體晶片。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻識(shí)別感應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，上述控制單元包含按鈕裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻識(shí)別感應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，上述指示單元包含發(fā)光裝置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻識(shí)別感應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，該觸發(fā)訊號(hào)傳送至該主機(jī)系統(tǒng)時(shí)，使得該主機(jī)系統(tǒng)執(zhí)行貨物加載程序。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻識(shí)別感應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，該觸發(fā)訊號(hào)傳送至該主機(jī)系統(tǒng)時(shí)，使得該主機(jī)系統(tǒng)執(zhí)行貨物運(yùn)出程序。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻識(shí)別感應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，該處理裝置進(jìn)一步接收該主機(jī)系統(tǒng)傳送的寫入命令及數(shù)據(jù)，使得該感應(yīng)裝置將該數(shù)據(jù)加載該射頻識(shí)別標(biāo)簽中。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的射頻識(shí)別感應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，該處理裝置進(jìn)一步啟動(dòng)該指示單元。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻識(shí)別感應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，該處理裝置進(jìn)一步接收該主機(jī)系統(tǒng)傳送的指示設(shè)定訊號(hào)，使得設(shè)定該指示單元的光訊號(hào)執(zhí)行模式。
專利摘要一種射頻識(shí)別感應(yīng)系統(tǒng)，包括加載控制裝置、輸出控制裝置、感應(yīng)裝置、處理裝置。該加載及輸出控制裝置分別產(chǎn)生加載及輸出觸發(fā)訊號(hào)。該感應(yīng)裝置讀取射頻識(shí)別卷標(biāo)中記錄的貨物識(shí)別碼及數(shù)據(jù)。該處理裝置接收該加載觸發(fā)訊號(hào)時(shí)，啟動(dòng)該加載指示裝置及該感應(yīng)裝置，接收該貨物識(shí)別碼并將其與該加載觸發(fā)訊號(hào)傳送至主機(jī)系統(tǒng)，使得執(zhí)行貨物加載程序；當(dāng)其接收該輸出觸發(fā)訊號(hào)時(shí)，啟動(dòng)該輸出指示裝置及該感應(yīng)裝置，接收該貨物識(shí)別碼并將其與該輸出觸發(fā)訊號(hào)傳送至該主機(jī)系統(tǒng)，使得執(zhí)行貨物輸出程序。
文檔編號(hào)G06K7/10GK2720520SQ20042008441
公開日2005年8月24日 申請(qǐng)日期2004年7月20日 優(yōu)先權(quán)日2004年7月20日
發(fā)明者游瑛準(zhǔn), 黃啟仁, 林鎮(zhèn)雍, 鄭培德, 林信忠, 孫金釧 申請(qǐng)人:臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司