專利名稱：半導體制品的生產(chǎn)和生產(chǎn)設(shè)備及其電子交易系統(tǒng)與方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于通過網(wǎng)絡(luò)進行半導體制品交易的半導體制品的電子交易方法和系統(tǒng)，以及用于在工廠中進行高效率經(jīng)營的生產(chǎn)系統(tǒng)、生產(chǎn)方法、生產(chǎn)設(shè)備設(shè)計系統(tǒng)、生產(chǎn)設(shè)備設(shè)計方法，生產(chǎn)設(shè)備制造方法。
背景技術(shù)：
在已往的典型半導體工廠中，以月產(chǎn)數(shù)千批的規(guī)模生產(chǎn)存儲器等通用品。在生產(chǎn)線內(nèi)存在很多批，工期長，難于預測投放的制品何時出廠。即使在這種狀況下，對于通用品，只要使投放的批量符合交貨期，而不必予以特別的注意，也不會有太大的問題。
另一方面，在SOC(單片系統(tǒng))時代的半導體工廠中，考慮到根據(jù)顧客的要求，主要以月產(chǎn)數(shù)百批的規(guī)模生產(chǎn)系統(tǒng)LSI。在這種規(guī)模的小工廠中(以下稱為小型加工廠mini-fab)，必須按使用者的要求投入需要的批量，進行適當?shù)呐窟M展管理，遵守交貨期。并且，必須確定能否按照使用者的要求(規(guī)格、數(shù)量、交貨期、價格等)實際制造該制品。
但是，在已往的小型加工廠中，難于進行嚴密的批量進展管理，也難于正確進行可否按交貨期制造該制品的判定。對于系統(tǒng)LSI等的半導體制品，若構(gòu)建成利用以互連網(wǎng)為主的網(wǎng)絡(luò)的電子交易系統(tǒng)，則將特別增加商業(yè)機會。然而，由于存在上述批量進展管理和制品制造判定的困難，因此進行這種半導體制品的電子交易也是極其困難的。
這樣，對于已有的半導體工廠，難于正確進行批量進展管理和可否制造該制品的判定，特別是對于SOC時代的小型加工廠，這將是錯過商業(yè)機會的主要原因。
并且，已有的典型半導體工廠中，在各種工序所使用的裝置，同一用途的通常有數(shù)臺到數(shù)十臺。因此，由于多批在同一種類的裝置進行處理，則存在批量流程難于把握的問題。作為把握批量流程的系統(tǒng)，有タイシン公司的稱為管理系統(tǒng)的軟件。該軟件是輸入在制品各工序使用的裝置和處理時間、裝置群等信息，在計算機上虛擬使批量流動，從而進行批量流程的把握和生產(chǎn)線的最佳化，制訂生產(chǎn)計劃。
為了實現(xiàn)生產(chǎn)線的最佳化和生產(chǎn)計劃，首先將實際生產(chǎn)線中的批量進展信息、關(guān)于裝置狀態(tài)的信息、制品的工序信息等各種信息，傳送到在計算機上虛擬構(gòu)建的虛擬工廠。然后，將這些信息作為輸入數(shù)據(jù)，進行批量的進展預想計算，再將得到的信息作為工作指示，傳送到實際生產(chǎn)線。然而，對于月產(chǎn)數(shù)千批的大規(guī)模生產(chǎn)系統(tǒng)，由于計算機處理能力的限制，實際情況是對各種處理進行簡化計算。因此，不一定要進行準確的模擬。
作為類似的方法，提出了一種將生產(chǎn)試制系統(tǒng)的信息和實際系統(tǒng)的信息通過共有信息進行相互交流，利用進行模擬的結(jié)果管理生產(chǎn)或試制的制造工序的制造管理系統(tǒng)(特開平10-207506號公報)。然而，在該方法中，納入虛擬工廠的主要是裝置模擬和工序模擬、電路、形狀、邏輯模擬等，不包含使批量流動的部分，因此存在不能預測批量流程的問題。
圖1表示用管理系統(tǒng)得到的生產(chǎn)量和工期的計算結(jié)果。圖中，橫軸表示生產(chǎn)線內(nèi)的批量數(shù)(＝Work in ProcessWIP，在制品)，縱軸表示生產(chǎn)量(月平均生產(chǎn)量)和工期。由圖可見，當WIP少時生產(chǎn)量大致與WIP成比例，工期為一定值。在這種狀態(tài)下，不大會發(fā)生批量的等待。當WIP變大時，生產(chǎn)量的斜率漸漸變小，最后生產(chǎn)量為一定值。該生產(chǎn)量與妨礙生產(chǎn)流程的裝置的處理能力相對應(yīng)。在該領(lǐng)域。工期與WIP成比例地增加。
為了加大生產(chǎn)線的生產(chǎn)率，必須增加生產(chǎn)量，而且縮短工期。為了使工期最短，必須減少等待批量數(shù)，在該圖中必須使WIP在A附近。然而，生產(chǎn)量過小是不現(xiàn)實的。另一方面，為了使生產(chǎn)量最大，最好增大WIP以便在圖的C附近，但工期變長了。因此，在圖的B點附近經(jīng)營是適當?shù)摹?br> 然而，由于生產(chǎn)裝置的保養(yǎng)和故障、到達影響生產(chǎn)流程的裝置的制品的波動，如圖1中的虛線所示，生產(chǎn)量下降，生產(chǎn)率降低，為了防止生產(chǎn)量下降，必須進行恰當?shù)奶幚?，以便正確預測批量的進展，增加生產(chǎn)量，縮短工期。但是，對于上述大規(guī)模生產(chǎn)系統(tǒng)，由于計算機處理能力的限制，要簡化各種處理，不能精確計算，因此難于嚴密預測批量的進展。
另一方面，在某個裝置處理批量時會產(chǎn)生幾個選擇枝。例如，在可同時處理多個批量的分批裝置中，當1批量為等待批量時，必須進行應(yīng)立即處理該批量或應(yīng)等待其他批量到來的選擇。當某裝置中優(yōu)先度較低的批量是等待批量，而且預想優(yōu)先度較高的批量會在某時間后到來時，必須進行應(yīng)該先處理該優(yōu)先度較低的批量或者等待應(yīng)先處理優(yōu)先度較高的批量的選擇。此外，在引入連續(xù)工序時(例如，前處理→氧化或CVD)→后處理，24小時以內(nèi))，應(yīng)以哪種定時開始處理，也是存在的問題。
從上述多個選擇枝中選擇其中適當1個的方法，根據(jù)狀況可以為各種各樣的。然而，在上述管理系統(tǒng)中，應(yīng)專心規(guī)定選擇哪種選擇枝的規(guī)則，在該條件下進行批量進展的計算。因此，當上述選擇枝產(chǎn)生時，在管理系統(tǒng)中不可能進行該計算，這也是應(yīng)解決的大問題。
這樣，已往為了實現(xiàn)半導體生產(chǎn)線的最佳化和生產(chǎn)計劃，必須模擬實際生產(chǎn)線上的各種處理，然而由于計算機處理能力的限制，實際情況是對各種處理進行簡化計算，因此難于進行正確的模擬。嚴密預測批量的進展也是困難的。從多個選擇枝中選擇最適當1個的方法是根據(jù)情況變化的，用已有方法難于選擇最適當?shù)?個。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種可以正確進行批量進展管理和可否制造該制品的判定、并可擴展商業(yè)機會的半導體制品的電子交易方法及系統(tǒng)。
本發(fā)明的另一目的是提供可以正確模擬實際生產(chǎn)線上的各種處理，在比較小規(guī)模的工廠中也可以進行高效率經(jīng)營的生產(chǎn)系統(tǒng)、生產(chǎn)方法、生產(chǎn)設(shè)備設(shè)計系統(tǒng)、生產(chǎn)設(shè)備設(shè)計方法、生產(chǎn)設(shè)備制造方法。
為了解決上述課題，本發(fā)明采用下述構(gòu)成。
本發(fā)明是進行半導體制品的制造銷售的從業(yè)者和購入半導體制品的購入者進行交易的半導體制品的電子交易方法，其特征是將購入者或其代理者使用的顧客終端與通過在計算機上對制造半導體制品的實際生產(chǎn)線的生產(chǎn)工序進行模擬的虛擬生產(chǎn)線連接，實時模擬購入者所希望的制品按購入者所希望的條件在虛擬生產(chǎn)線上流動的情況，以便判定是否可按購入者希望的條件制造該制品。
另外的本發(fā)明是進行半導體制品的制造銷售的從業(yè)者和購入半導體制品的購入者利用網(wǎng)絡(luò)進行交易的半導體制品的電子交易方法，其特征是具有將在計算機上對制造半導體制品的實際生產(chǎn)線的生產(chǎn)工序進行模擬的虛擬生產(chǎn)線與購入者或其代理者使用的顧客終端通過網(wǎng)絡(luò)進行連接的步驟；從上述顧客終端輸入購入者應(yīng)購入的制品及所希望的條件并傳送到上述虛擬生產(chǎn)線的步驟；根據(jù)輸入到上述虛擬生產(chǎn)線的制品及條件，按購入者所希望的條件實時模擬在該虛擬生產(chǎn)線上制品流動情況的步驟；將在該虛擬生產(chǎn)線上模擬的結(jié)果傳送到上述顧客終端的步驟；對于上述模擬結(jié)果，從上述顧客終端回答可否做成生意的步驟；若生意成立，從上述虛擬生產(chǎn)線向上述實際生產(chǎn)線發(fā)出制造半導體制品的指示的步驟。
另一個本發(fā)明是購入半導體制品的購入者利用網(wǎng)絡(luò)與進行半導體制品的制造銷售的從業(yè)者進行交易的半導體制品的電子交易方法，其特征是具有對于在計算機上模擬制造半導體制品的實際生產(chǎn)線的生產(chǎn)的虛擬生產(chǎn)線，通過網(wǎng)絡(luò)連接購入者或其代理者使用的顧客終端的步驟；從上述顧客終端輸入應(yīng)購入的制品及其條件的步驟；根據(jù)上述輸入的制品及條件，在上述顧客終端接收按購入者所希望的條件實時模擬在該虛擬生產(chǎn)線上制品流動情況的結(jié)果的步驟；對于上述接收的模擬結(jié)果，從顧客終端回答是否購入半導體制品的步驟。
另一個本發(fā)明是進行半導體制品的制造銷售的從業(yè)者利用網(wǎng)絡(luò)與購入半導體制品的購入者進行交易的半導體制品的電子交易方法，其特征是具有將在計算機上模擬制造半導體制品的實際生產(chǎn)線的生產(chǎn)的虛擬生產(chǎn)線，通過網(wǎng)絡(luò)與購入者或其代理者使用的顧客終端連接的步驟；將從上述顧客終端輸入的應(yīng)購入的制品及其條件傳送到上述虛擬生產(chǎn)線的步驟；根據(jù)傳送到上述虛擬生產(chǎn)線的制品及其條件，按照購入者希望的條件實時模擬在該虛擬生產(chǎn)線上制品流動情況的步驟；將上述模擬結(jié)果傳送到上述顧客終端的步驟；根據(jù)從上述顧客終端對上述模擬結(jié)果的回答，判定該生產(chǎn)是否成立，若生意成立，從上述虛擬生產(chǎn)線向上述實際生產(chǎn)線發(fā)出制造半導體制品的指示的步驟。
另一個本發(fā)明是一種半導體制品的電子交易系統(tǒng)，具有在計算機上模擬實際制造半導體制品的實際生產(chǎn)線的生產(chǎn)工序的虛擬生產(chǎn)線；通過網(wǎng)絡(luò)將該虛擬生產(chǎn)線與顧客終端連接的連接服務(wù)器，其特征是上述連接服務(wù)器將從上述顧客終端輸入的條件傳送到上述虛擬生產(chǎn)線，將在傳送的條件下實時模擬在上述虛擬生產(chǎn)線上制品流動情況的結(jié)果傳送到上述顧客終端。
另一個本發(fā)明是一種半導體制品的電子交易系統(tǒng)，具有在計算機內(nèi)構(gòu)建的與實際制造制品的實際生產(chǎn)線具有實質(zhì)上相同功能的虛擬生產(chǎn)線；將上述實際生產(chǎn)線中的各種信息傳送到上述虛擬生產(chǎn)線的裝置；根據(jù)上述傳送的信息在上述虛擬生產(chǎn)線計算最佳批量進展方法的裝置；根據(jù)上述計算結(jié)果將工作指示數(shù)據(jù)傳送到上述實際生產(chǎn)線的裝置；通過網(wǎng)絡(luò)將上述虛擬生產(chǎn)線與顧客終端連接的連接服務(wù)器，其特征是將從上述顧客終端輸入的條件通過上述連接服務(wù)器傳送到上述虛擬生產(chǎn)線，在傳送的條件下實時模擬在虛擬生產(chǎn)線上制品流動情況，將模擬結(jié)果通過上述連接服務(wù)器傳送到上述顧客終端，根據(jù)模擬結(jié)果進行交易。
本發(fā)明中，作為從業(yè)者或顧客的用戶通過網(wǎng)絡(luò)與虛擬生產(chǎn)線連接，輸入預定的LSI的制品名稱、規(guī)格、交貨期、價格等，在虛擬生產(chǎn)線上模擬是否可以制造該制品。通過該模擬使得到了可以制造的結(jié)果的生產(chǎn)成立，向?qū)嶋H生產(chǎn)線發(fā)出工作指出。當?shù)玫搅瞬豢赡艿慕Y(jié)果時，改變半導體制品的規(guī)格、數(shù)量、交貨期、價格等，若得到了可容許的解決方案時，生產(chǎn)成立，向?qū)嶋H向產(chǎn)線發(fā)出工作指出。
由于虛擬生產(chǎn)線是在計算機上模擬制造半導體制品的實際生產(chǎn)線的生產(chǎn)工序構(gòu)建的，則用其進行模擬，可以正確進行實際生產(chǎn)線的批量進展管理和可否制造該制品的判定。因此，對于SOC時代的小型加工廠，可以進行半導體制品的電子交易，擴展商業(yè)機會。
另一個本發(fā)明是對于較小規(guī)模的工廠進行高效率經(jīng)營的生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征是具有實際制造該制品的實際生產(chǎn)線；在計算機內(nèi)構(gòu)建的與該實際生產(chǎn)線具有實質(zhì)上同樣功能的虛擬生產(chǎn)線；將上述實際生產(chǎn)線的各種信息傳送到上述虛擬生產(chǎn)線的裝置；根據(jù)上述傳送的信息在上述虛擬生產(chǎn)線計算最佳批量進展方法的裝置；根據(jù)上述計算結(jié)果將工作指示數(shù)據(jù)傳送到上述實際生產(chǎn)線的裝置。
另一個本發(fā)明是使用實際制造該制品的實際生產(chǎn)線以及在計算機內(nèi)構(gòu)建與該實際生產(chǎn)線實質(zhì)上相同功能的虛擬生產(chǎn)線，通過以虛擬生產(chǎn)線進行的模擬可使實際生產(chǎn)線高效率利用的生產(chǎn)方法，其特征是包含將上述實際生產(chǎn)線的各種信息傳送到上述虛擬生產(chǎn)線的步驟；根據(jù)上述傳送的信息在上述虛擬生產(chǎn)線計算最佳批量進展方法的步驟；根據(jù)上述計算結(jié)果將工作指示數(shù)據(jù)傳送到上述實際生產(chǎn)線的步驟；根據(jù)上述工作指示數(shù)據(jù)在上述實際生產(chǎn)線開始生產(chǎn)的步驟。
本發(fā)明中，對于半導體工廠特別是月產(chǎn)數(shù)千件或以下的比較小的半導體工廠(實際生產(chǎn)線小型加工廠)，為了高效率生產(chǎn)線的經(jīng)營，設(shè)置了虛擬制造該制品(包含試制品)的虛擬工廠(虛擬生產(chǎn)線)。將來自實際制造該制品的實際生產(chǎn)線的批量進展信息、有關(guān)裝置狀況的信息傳送到虛擬生產(chǎn)線。將這些信息和在虛擬生產(chǎn)線內(nèi)有關(guān)制品的工序信息作為輸入數(shù)據(jù)，進行批量進展預想的計算。輸出從該計算結(jié)果得到的最佳處理批量、順序等信息，將其作為工作指示傳送到實際生產(chǎn)線。在實際生產(chǎn)線，根據(jù)傳送的工作指示進行工作。這樣，即可實現(xiàn)生產(chǎn)線的高效率經(jīng)營。
將批量進展信息、有關(guān)裝置狀況的信息、制品的工序信息作為輸入數(shù)據(jù)進行批量進展預想的計算過程中，某個裝置處理批量時可產(chǎn)生幾個選擇枝。例如，在可以同時處理多個批量的分批裝置中，當1批量為等待批量時，要進行應(yīng)立即處理該批量或是等待其他批量到來的選擇。當預想其他批量立即到來時，可考慮等待該批量，當該批量不能立即到來時，可考慮僅對1批量進行處理。因此，可根據(jù)情況改變?yōu)樽罴烟幚矸椒?。另外，當某裝置中優(yōu)先度較低的批量為等待批量，而且預想優(yōu)先度較高的批量在某時間后到來時，必須進行應(yīng)先處理該優(yōu)先度低的批量或應(yīng)等待的選擇。
對于這些各種各樣的選擇枝，本發(fā)明對其全部或其一部分進行計算。當進行選擇的地方是多個時，對其全部組合或其中一部分的組合進行批量進展的預測。在由輸入數(shù)據(jù)指定該操作的計算對象時間的期間進行。
在生產(chǎn)月產(chǎn)數(shù)萬件或以上晶片的大規(guī)模半導體工廠中，相同種類的裝置有數(shù)臺到數(shù)十臺，當對上述組合進行計算時，必須進行非常龐大的計算，實質(zhì)上這種計算是困難的。另一方面，在生產(chǎn)月產(chǎn)數(shù)千件或以下晶片的半導體工廠中，相同種類的裝置最低1臺至多數(shù)臺，容易產(chǎn)生多個選擇枝的裝置，例如承擔多個批量的裝置為全部的1/3以下，進行選擇的機會比處理月產(chǎn)數(shù)萬件晶片的大規(guī)模半導體工廠要少。因此，組合數(shù)也較少，可以使作為批量進展計算的對象的時間拉長。
具體地說，在已往的大規(guī)模工廠中，由于計算機的限制，僅能計算10分鐘的進展，而在本發(fā)明作為對象的小型加工廠中，用同樣的計算機可計算1周的進展，是實用的。根據(jù)該批量進展預測，參照用于決定從其他途徑輸入的最佳處理方法或處理順序的判定條件，即可決定最佳處理方法或處理順序。將該處理方法向生產(chǎn)線發(fā)出工作指示。其結(jié)果，可實現(xiàn)批量的高效率流動，工期縮短，增加生產(chǎn)量。因此，提高了半導體晶片制造的生產(chǎn)率。
利用這種半導體晶片的制造方法，可以實現(xiàn)優(yōu)先度高的制品的優(yōu)先處理以及優(yōu)先度低的制品在可能范圍內(nèi)的高效率處理。在保養(yǎng)和裝置維修時，也可實現(xiàn)批量的處理順序的最佳化。


圖1是表示根據(jù)采用管理系統(tǒng)的已有技術(shù)的生產(chǎn)量和工序的計算結(jié)果例的圖。
圖2是表示第1實施例的半導體制品電子交易系統(tǒng)的整體構(gòu)成的方框圖。
圖3是說明第1實施例的全部處理流程的流程圖。
圖4是說明第1實施例的全部處理流程的流程圖。
圖5是表示用于進行裝置規(guī)格的輸入選擇的監(jiān)視器畫面例的圖。
圖6A和6B是表示用于輸入裝置規(guī)格的監(jiān)視器畫面例的圖。
圖7是表示根據(jù)訂貨數(shù)量和交貨期的價格回答例的監(jiān)視器畫面例的圖。
圖8是表示用于輸入訂貨量和交貨期的監(jiān)視器畫面例的圖。
圖9是表示來自裝置制造廠商的可能的交貨期和價格的監(jiān)視器畫面例的示圖。
圖10是表示進行交貨期和價格再商談的監(jiān)視器畫面例的圖。
圖11是表示用于說明第2實施例的在本發(fā)明電子交易方法中使用的半導體生產(chǎn)系統(tǒng)例的方框圖。
圖12是采用該實施例的半導體生產(chǎn)系統(tǒng)的批量進展計算處理的概念圖。
圖13A～13E是采用該實施例的半導體生產(chǎn)系統(tǒng)的批量進展計算處理的輸入數(shù)據(jù)圖。
圖14是該實施例的虛擬工廠13中，在未等待把握的某時刻的其他批量處理結(jié)束進行處理時的批量流動圖。
圖15是用于說明第2實施例的在批量進展預想時產(chǎn)生的選擇種類圖。
圖16是該實施例的虛擬工廠13中，等待把握的某時刻的其他批量處理結(jié)束進行處理時的批量流動圖。
圖17是用于說明第2實施例的從在批量進展時產(chǎn)生的很多選擇枝組合中選擇最佳組合的次序圖。
圖18是實行電力正?；目赡艿呐孔x出計算處理的虛擬工廠的構(gòu)成圖。
圖19是在進行電力正?；奶摂M工廠13中登記的裝置的電力·用料特性曲線圖。
圖20是在進行電力正?；奶摂M工廠13中登記的裝置的電力·用料的條件的數(shù)據(jù)圖。
圖21是第3實施例的生產(chǎn)系統(tǒng)圖。
圖22A～22C是未進行電力正?；瘯r的生產(chǎn)系統(tǒng)圖。
圖22D～22F是進行電力正?；瘯r的生產(chǎn)系統(tǒng)圖。
圖23是在第3實施例的生產(chǎn)系統(tǒng)圖中，從批量進展時產(chǎn)生的很多選擇枝組合中選擇最佳組合的次序圖。
圖24A和24B是大規(guī)模生產(chǎn)線和小規(guī)模生產(chǎn)線的電力圖。
圖25是該實施例的時間轉(zhuǎn)換的概念圖。
圖26是第4實施例的生產(chǎn)系統(tǒng)圖。
圖27A～27C是未進行超純水正常化時的生產(chǎn)系統(tǒng)圖。
圖27D～27F是進行超純水正?；瘯r的生產(chǎn)系統(tǒng)圖。
圖28是在第4實施例的生產(chǎn)系統(tǒng)圖中，從在批量進展時產(chǎn)生的很多選擇枝組合中選擇最佳組合的次序圖。
具體實施例方式
以下根據(jù)圖示的實施例詳細說明本發(fā)明。
第1實施例圖2是表示本發(fā)明第1實施例的半導體制品的電子交易系統(tǒng)全部構(gòu)成的方框圖。
網(wǎng)絡(luò)10例如是在因特網(wǎng)中代表的計算機網(wǎng)絡(luò)，本系統(tǒng)通過該網(wǎng)絡(luò)10完成電子交易。
在網(wǎng)絡(luò)10上連接多個顧客終端11和連接服務(wù)器12。顧客終端11是作為顧客的用戶和從業(yè)者操作的終端，可以采用能與因特網(wǎng)連接的個人計算機和攜帶電話。在連接服務(wù)器12上連接稱為小型加工廠的虛擬工廠(虛擬生產(chǎn)線)13。該連接服務(wù)器12在顧客終端11和虛擬工廠13之間進行各種數(shù)據(jù)的交換。虛擬工廠13，如后所述，與作為實際制造半導體制品的小型加工廠的實際工廠14連接。該虛擬工廠13由計算機系統(tǒng)實現(xiàn)。在計算機上虛擬構(gòu)建實際工廠14的各種處理。在顧客終端11、虛擬工廠13、實際工廠14中都有與網(wǎng)絡(luò)10之間傳送和接收各種信息的傳送/接收裝置11a，13a，14a。
實際工廠14中的各種信息可手動或自動傳送到虛擬工廠13。虛擬工廠13將從實際工廠14傳送的某時刻的批量進展信息、裝置狀態(tài)信息作為輸入數(shù)據(jù)，進行某時間范圍內(nèi)的批量進展預測的模擬。虛擬工廠13的模擬結(jié)果作為工作指示傳送到實際工廠14。例如，將某裝置結(jié)束批量處理的時間通知操作者，向該裝置發(fā)出下次應(yīng)投入的批量的指示以及將結(jié)束的批量保存在何處或向哪個搬運裝置移動的指示。
下面，參照圖3的流程圖說明本實施例的電子交易的情況。
虛擬工廠13經(jīng)常對實際工廠14的批量進展狀況和裝置的狀態(tài)進行管理，可計算與實際工廠14同等的批量進展(S1)。具體地說，從實際工廠14向虛擬工廠13傳送批量進展信息、裝置狀態(tài)信息。在該狀態(tài)下，作為顧客的用戶或從業(yè)員(以下稱為使用者)通過網(wǎng)絡(luò)10、連接服務(wù)器12與虛擬工廠連接，輸入所希望的制品(LSI的制品名稱、規(guī)格、數(shù)量、交貨期、價格等)(S2)。輸入的各信息傳送到虛擬工廠13。
在虛擬工廠13，接收在S2輸入的各信息，根據(jù)該接收的信息計算批量的進展預測(S3)。也就是，模擬是否可以制造由使用者輸入的制品。根據(jù)模擬結(jié)果判定能否制造(S4)，能制造時將其傳達給使用者(S5)。傳達給使用者的方法是通過連接服務(wù)器12、網(wǎng)絡(luò)10，將表示可以制造的數(shù)據(jù)發(fā)送到顧客終端11。顧客終端11根據(jù)接收的數(shù)據(jù)在監(jiān)視器(未圖示)畫面上顯示表示可以制造的信息，催促使用者可否購入。
根據(jù)監(jiān)視器畫面顯示的模擬結(jié)果，使用者決定是否購入制品(S6)，若同意購入則生意成立。是否購入制品即是否同意制品的購入，是使用顧客終端11的輸入裝置(未圖示)通過輸入表示購入制品的信息或表示不購入制品的信息來實現(xiàn)的。當虛擬工廠13接收到表示購入制品的信息時，則判定生意成立。這時，虛擬工廠13自動或半自動地指示實際工廠14制造該制品(S7)。所謂自動，即當判定生意成立后，不通過人的動作而由計算機向?qū)嶋H工廠14發(fā)出工作指示命令。所謂半自動，即當判定生意成立后，判斷是否向虛擬工廠13的操作者發(fā)出工作指示，在有了操作者的工作指示確認輸入等人的動作后，再由計算機向?qū)嶋H工廠14發(fā)出工作指示命令。
在上述S4，若得出不能制造所希望的制品的計算結(jié)果，則利用環(huán)路A。具體地說，改變使用者的要求內(nèi)容(規(guī)格、數(shù)量、交貨期、價格等)(S11)，在虛擬工廠13再次模擬是否可制造該制品。也就是，在變化使用者的要求內(nèi)容的條件下再次進行批量進展預測計算(S3)，根據(jù)該計算結(jié)果判定可否制造該制品(S4)。當?shù)贸隹梢灾圃熳兏耸褂谜咭髢?nèi)容情況下的LSI的計算結(jié)果時，將該情況告知使用者(S5)。這時，也將要求的變更內(nèi)容一起告知。當使用者同意時，生意即成立。
當即使變更使用者的要求內(nèi)容也不能制造時，利用環(huán)路B。具體地說，改變在虛擬工廠13的批量狀況(S12)，在虛擬工廠13進行可否制造此種制品的再次模擬。也就是，在批量狀況條件改變的條件下再次進行批量進展預測計算(S3)，根據(jù)該計算結(jié)果判定可否制造該制品(S4)。例如，在某時刻優(yōu)先度高的制品在實際工廠14內(nèi)是多數(shù)時，在預想到交出這些制品后實際工廠14內(nèi)的批量將減少的情況下，通過延遲批量的投入，在虛擬工廠13中模擬可否制造該制品。通過延遲批量投入的條件下的模擬，當?shù)贸隹梢灾圃煸揕SI制品的結(jié)果時，將該情況告知使用者(S5)。這時，也將告知延遲批量投入和交貨期。當使用者同意時，生產(chǎn)即成立。
當利用上述哪個環(huán)路都不能制造時，利用環(huán)路C。具體地說，選擇另一個小型加工廠(S13)，進行與上述同樣的操作，判定能否制造(S4)。也就是，對另一個小型加工廠進行批量進展預測計算(S3)，根據(jù)計算結(jié)果判定可否制造該制品(S4)，若判定可能制造，則將該情況告知使用者(S5)。若判定不能制造，則利用環(huán)路A和環(huán)路B再次進行模擬，尋求可能制造的條件。當另一個小型加工廠不能制造時，則生意不成立。當另一個小型加工廠能夠制造時，則將該情況告知使用者，在使用者同意來自小型加工廠的通知時，則生意成立。
以下參照圖4的流程圖和圖5～圖11的監(jiān)視器畫面詳細說明上述處理。
首先，用戶從顧客終端11對連接服務(wù)器12進行撥號，要求服務(wù)器12的ID、密碼。當用戶輸入ID、密碼時，若ID、密碼正確則連接服務(wù)器12接受并與虛擬工廠13連接。與此同時，在顧客終端11的監(jiān)視器畫面上如圖5所示，輸出用于輸入裝置規(guī)格的第1畫面。
在第1畫面，用戶可進行如下選擇①輸入功能，求解裝置構(gòu)成。
②優(yōu)化選擇裝置構(gòu)成。并構(gòu)成系統(tǒng)。
當指定裝置的功能時，如圖6A所示，進入第2a畫面，當指定裝置的構(gòu)成裝置時，如圖6B所示，進入第2b畫面。在第2a畫面，輸入作為系統(tǒng)的必要裝置。在第2b畫面，選擇SOC的構(gòu)成裝置。
當從用戶輸入裝置規(guī)格時，服務(wù)器12將其傳送到虛擬工廠13。在虛擬工廠13和實際工廠14之間，目前流動的批量狀況、有關(guān)制造的預定等進行實時交流。在虛擬工廠13，可考慮目前流動的批量和新投入的批量并進行模擬。虛擬工廠13根據(jù)目前流動的批量和新投入的批量導出交貨期和價格，通過服務(wù)器12將回答送到顧客終端11。這時，顧客終端11的監(jiān)視器畫面顯示為圖7的第3畫面。
用戶參照第3畫面進入下一個狀態(tài)，根據(jù)第3畫面的下一個畫面按鈕的選擇，虛擬工廠13將圖8的第4畫面顯示在顧客終端11的監(jiān)視器畫面上。用戶根據(jù)該第4畫面，輸入必要事項(個數(shù)、交貨期)。接收到該必要事項(個數(shù)、交貨期)的虛擬工廠13，尋求符合該必要事項的解答。然后，從虛擬工廠13將作為第1次解答的圖9所示第5畫面表示在顧客終端11，向用戶提示可能的交貨期和價格(第1次解答)。若第1次解答是滿意的解答，用戶即訂貨。若不是滿意的解答，則將其告知虛擬工廠13。虛擬工廠13對此予以應(yīng)答，將圖10所示的第6畫面顯示在顧客終端11的監(jiān)視器畫面上，進一步與用戶交涉。在與用戶交涉時，虛擬工廠13計算提前交貨期和提高價格的程度等，對用戶作出回答。對用戶的回答是通過在顧客終端11的監(jiān)視器畫面上表示必要信息來進行的。用戶在第2次交涉中認為是滿意的解答時，將予以訂貨。當有來自用戶的訂貨時，虛擬工廠13接受訂貨，進一步進行模擬導出詳細的交貨期，回答用戶。與此同時，向?qū)嶋H工廠14發(fā)出指示。實際工廠14按照該指示，開始制造該制品。
這樣，在本實施例中，構(gòu)建在計算機上模擬制造半導體制品的實際工廠14的生產(chǎn)工序的虛擬工廠13，作為營業(yè)員或顧客的用戶通過網(wǎng)絡(luò)與虛擬工廠連接，輸入預定的LSI制品的名稱、規(guī)格、交貨期、價格等，由虛擬工廠13模擬是否可制造該制品，從而可正確進行實際工廠14的批量進展管理和可否制造該制品的判定。
當通過上述模擬得到了可以制造的結(jié)果時，則生產(chǎn)成立，向?qū)嶋H工廠14發(fā)出工作指示。當?shù)玫搅瞬豢赡艿慕Y(jié)果時，改變半導體制品的規(guī)格、數(shù)量、交貨期、價格、批量狀況、進行制造的小型工廠等，若得到了容許的解答，則生意成立，向?qū)嶋H工廠14發(fā)出工作指示。這樣，對于SOC時代的小型加工廠，可進行半導體制品的電子交易，從而擴展了商業(yè)機會。
以下對使用本實施例的電子交易系統(tǒng)的實際電子交易例，在下面(1)～(9)中予以說明。
(1)按照用戶所希望的條件，營業(yè)員知道所希望的制品在虛擬工廠中流動，若流動順利，則可以制造，生意成立，由虛擬工廠發(fā)出工作指示。
(2)按照用戶所希望的條件，營業(yè)員知道所希望的制品在虛擬工廠中流動的結(jié)果是不能制造。改變交貨期再進行計算，當延遲10日交貨期得到了可以制造的結(jié)果時，則就此與用戶聯(lián)系，得到同意后生意成立，由虛擬工廠發(fā)出工作指示。
(3)按照用戶所希望的條件，營業(yè)員知道所希望的制品在虛擬工廠中流動的結(jié)果是不能制造。改變動作頻率規(guī)格再進行計算，當使動作頻率規(guī)格下降為50MHz時得到了可以制造的結(jié)果時，則就此與用戶聯(lián)系，得到同意后生意成立，由虛擬工廠發(fā)出工作指示。
(4)按照用戶所希望的條件，營業(yè)員知道所希望的制品在虛擬工廠中流動的結(jié)果是不能制造。改變價格再進行計算，當價格再加7％得到了可以制造的結(jié)果時，則就此與用戶聯(lián)系，得到同意后生意成立，由虛擬工廠發(fā)出工作指示。
(5)按照用戶所希望的條件，營業(yè)員知道所希望的制品在虛擬工廠中流動的結(jié)果是不能制造。改變數(shù)量和交貨期再進行計算，當減少數(shù)量10％或延遲交貨期7日得到了可以制造的結(jié)果時，則就此與用戶聯(lián)系。用戶選擇了后者，則生意成立，由虛擬工廠發(fā)出工作指示。
(6)按照用戶所希望的條件，營業(yè)員知道所希望的制品在虛擬工廠中流動的結(jié)果是不能制造，甚至進一步改變條件，也是不可能。為此，將另一個小型加工廠與可模擬的虛擬工廠連接，當進行同樣計算的結(jié)果是可以制造時，則就此與用戶聯(lián)系，得到同意后生意成立，由虛擬工廠發(fā)出工作指示。
(7)按照用戶所希望的條件，營業(yè)員知道所希望的制品在虛擬工廠中流動的結(jié)果是不能制造，甚至進一步改變條件，也是不可能。希望在2、3日后優(yōu)先度高的制品支付出去后，得到可以制造所希望制品的概率較高的結(jié)果，則處于等待狀態(tài)，3日后得到可以按照用戶所希望的條件制造的結(jié)果，就此與用戶聯(lián)系，得到同意后生意成立，由虛擬工廠發(fā)出工作指示。
(8)在大致相同時間，在2個用戶詢問，營業(yè)員知道按照所希望的條件使2個用戶所希望的制品在虛擬工廠中流動的結(jié)果是不可能同時流動，即使改變各個條件，仍然不可能同時流動。因此，在2個用戶中，當使小型加工廠利益較大(或者對小型加工廠負擔較小)的用戶的制品在虛擬工廠中流動的結(jié)果是可以制造時，在得到用戶的同意后生意成立，由虛擬工廠發(fā)出工作指示。
如上所述，本實施例中，在進行半導體制品制造銷售的營業(yè)員和購入半導體制品的購入者通過網(wǎng)絡(luò)進行交易時，將購入者或其代理者使用的顧客終端與納入了可在計算機上模擬制造半導體制品實際生產(chǎn)線的生產(chǎn)工序的虛擬生產(chǎn)線的計算機連接。然后，按照購入者所希望的條件，實時模擬購入者所希望的制品在虛擬生產(chǎn)線上的流動情況，判定可否按照購入者所希望的條件制造該制品。這樣，即可正確進行實際生產(chǎn)線的批量進展管理和可否制造該制品的判定，可以擴展半導體制品的電子交易的商業(yè)機會。
第2實施例圖11是表示本發(fā)明第2實施例的半導體生產(chǎn)系統(tǒng)例的方框圖。
在實際制造半導體制品(以及試制品)的實際工廠14(實際生產(chǎn)線)中，存在制造裝置群，制品在該實際工廠14內(nèi)的各實際生產(chǎn)線上流動。各制品的批量進展狀況由實際工廠14內(nèi)的計算機管理。例如，在計算機畫面上進行適當處理，即可知道某批量在哪個裝置、是處理中還是等待狀態(tài)、或是搬運中。在該計算機中，除了批量進展數(shù)據(jù)外，還存儲了裝置的狀態(tài)(運轉(zhuǎn)中或空轉(zhuǎn)中，保養(yǎng)中，故障中，保養(yǎng)預定等)信息。
實際工廠14中的各種信息，通過作為數(shù)據(jù)傳送媒體16的網(wǎng)絡(luò)，手動或自動傳送到虛擬工廠13(虛擬生產(chǎn)線)。手動時，實際工廠14的計算機操作員輸入各種信息。自動時，各種傳感器檢測實際工廠14的各種狀態(tài)，該檢測數(shù)據(jù)被傳送到虛擬工廠13。這里，實際生產(chǎn)線14的各種信息是各生產(chǎn)的接受訂貨量、批量的進展狀況、裝置的狀況(裝置的運轉(zhuǎn)狀況、裝置的性能狀況、缺陷發(fā)生狀況、QC狀況、到裝置的定期保養(yǎng)的時間、定期保養(yǎng)需要的時間)、工人的狀況(工人的考察狀況、工作狀況)以及制品的測試結(jié)果等。
虛擬工廠13是由計算機構(gòu)建了與實際工廠14完全相同的功能。具體地說，虛擬工廠13具有根據(jù)用于掌握實際工廠14的批量進展狀況、裝置的狀況、工人的狀況、制品測試結(jié)果的數(shù)值信息等，掌握實際工廠14運轉(zhuǎn)狀況的狀況掌握程序，具有用該狀況掌握程序通過模擬導出實際工廠14運轉(zhuǎn)狀況的功能。當然，根據(jù)各種信息導出模擬結(jié)果的裝置不僅限于軟件，也將預定的硬件作為模擬結(jié)果導出裝置的構(gòu)成要素。
目前的計算機性能，對于生產(chǎn)月產(chǎn)量萬件或其以上晶片的大規(guī)模半導體工廠，不可能虛擬構(gòu)建與其相同的功能。因此，本實施例中，以月產(chǎn)量千件或其以下的比較小規(guī)模的半導體工廠為對象。對于大規(guī)模的半導體工廠，可多次對其分割為小規(guī)模半導體工廠的集合，則在目前的計算機系統(tǒng)中即可對各個小規(guī)模工廠由計算機構(gòu)建相同的功能。
本實施例的虛擬工廠13中，在計算機內(nèi)部存儲了制品工序信息(某制品在哪個裝置群進行何種處理，各需要多少時間的信息)、以及實際生產(chǎn)線存在的裝置群或正在研究向生產(chǎn)線引入的裝置的信息。然后，將從實際工廠14傳送的某時刻的批量進展信息、裝置狀態(tài)信息作為輸入數(shù)據(jù)，進行某時間范圍內(nèi)的批量進展預測的模擬。
虛擬工廠13的模擬結(jié)果，通過作為數(shù)據(jù)傳送媒體15的網(wǎng)絡(luò)，作為工作指示傳送到實際工廠14。例如，與操作者聯(lián)系某裝置結(jié)束批量處理的時間，向該裝置發(fā)出接著應(yīng)投入批量的指示以及完成的批量保存在何處或移動到哪個搬運裝置的指示等。從實際工廠14向虛擬工廠13的各種信息的傳送、在虛擬工廠13的最佳批量進展的計算、以及從虛擬工廠13向?qū)嶋H工廠14的工作指示數(shù)據(jù)的傳送，都可實時反復進行。在各種條件下的指示內(nèi)容例如后面的(1)～(9)所示。
這里，說明虛擬工廠13使用由實際工廠14傳送的信息具體計算批量進展的半導體系統(tǒng)的動作。如圖12所示，將制品的制法信息、裝置信息、生產(chǎn)線狀況(批量進展狀況)、最佳批量流動的判定條件輸入到虛擬工廠13。虛擬工廠13根據(jù)這些輸入數(shù)據(jù)進行批量進展計算，例如輸出1個月的批量進展預測結(jié)果。圖13A～13E表示制品的制造法信息(圖13A)、裝置信息(圖13B)、生產(chǎn)線狀況(批量進展狀況)(圖13C)、最佳流動的判定條件(圖13D)、1個月的批量進展預測(圖13E)。圖14是圖解表示某時刻的批量流動圖。
在進行上述批量預想的計算時，在各種處理方法或處理順序中有2個以上選擇枝的情況。例如，對于可同時處理多個批量的分批裝置，當1批量為等待批量時，必須進行應(yīng)立即處理該批量或者等待其他批量到來的選擇。圖15表示一個例子。圖14表示圖15的選擇枝1的情況。具體地說，在第2工序(設(shè)備B)中，是不等待第2批量2(Lot2)而處理批量1(批量1)時的批量進展的例子。圖16表示選擇圖15的選擇枝2時的批量進展的例子。具體地說，圖16中表示在第2工序(設(shè)備B)，等待第2批量2(Lot2)處理批量1(Lot1)時的批量進展的例子。
比較圖14和圖16，批量1(Lot1)的三個工序的工期是圖16比圖14長，批量2(Lot2)的工期是圖16的短，后者的進展方式是希望的情況。
當在某裝置優(yōu)先度低的批量為等待批量，而且預想優(yōu)先度高的批量在某個時間后到來時，必須進行應(yīng)先處理該優(yōu)先度低的批量或者應(yīng)等待的選擇。
圖17是將各種各樣的選擇枝群畫成樹狀。本實施例中，對該各種各樣的選擇枝，在其全部或一部分進行批量進展預想的計算。然后，在各選擇枝導出批量進展預想計算結(jié)果。其結(jié)果是可按照各種選擇枝的選擇方法實現(xiàn)批量進展預想的計算。此后，如圖17所示，從各批量進展預想計算結(jié)果中選擇最佳的批量進展方式。這時，作為提取的方法，例如可以選擇使全部生產(chǎn)最大、工期短的，也可以采用某個批量能以較短的工期、最小的成本流動的。這些判斷基準由其他途徑從未圖示的輸入裝置由操作員輸入到虛擬工廠13。也就是，操作員參照在與虛擬工廠13連接的監(jiān)視器畫面上表示的各選擇枝的批量進展預想計算結(jié)果。設(shè)定上述批量進展的提取條件，決定最佳的批量進展，這里，根據(jù)從批量進展預想計算結(jié)果得到的數(shù)量，例如，某期間的生產(chǎn)量、平均工期，優(yōu)先度高生產(chǎn)量的產(chǎn)品量、平均工期等，按照優(yōu)先條件，虛擬工廠13自動選擇最佳進展?；蛘撸僮鲉T也可以從作為結(jié)果輸出的幾個進展預想計算結(jié)果中手動選擇最佳方法。
沒有必要對所有選擇枝導出批量進展預想計算結(jié)果，僅對操作員設(shè)定的提取條件計算就可以了。
虛擬工廠13決定最佳批量進展方法后，將其結(jié)果作為工作指示輸出到實際工廠14。具體地說，如上所述，虛擬工廠13將操作者在裝置結(jié)束批量處理的時刻與實際工廠14聯(lián)絡(luò)，對實際工廠14發(fā)出該裝置下次應(yīng)投入的批量的指示以及完成的批量保存在何處或移動到哪個搬運裝置的指示等。再發(fā)出各個選擇枝產(chǎn)生時的選擇枝選擇方法(處理方法)的指示。根據(jù)該指示，實際工廠14開始生產(chǎn)，實際工廠14可高效率運行。
這樣，本實施例中，利用實際制造制品的實際工廠14和在計算機內(nèi)構(gòu)建與該實際工廠14實質(zhì)上相同功能的虛擬工廠13，通過在虛擬工廠13模擬實際工廠14的生產(chǎn)工序，即可實現(xiàn)實際工廠14的高效率運行。特別是對于日產(chǎn)量千件或其以下的比較小規(guī)模的半導體工廠，由于可由虛擬工廠13正確模擬實際工廠14的各種處理，則可嚴密預測批量的進展，達到小規(guī)模工廠經(jīng)營的高效率。
下面說明在本實施例的各種條件下的指示內(nèi)容。
(1)在實際工廠14內(nèi)的某裝置，判明15分鐘后優(yōu)先度較高的批量將到達。該信息傳送到虛擬工廠13，在虛擬工廠13進行立即開始目前批量處理的模擬，以及不開始目前批量處理等待優(yōu)先度較高的批量到達再進行開始處理的模擬。從兩者的模擬結(jié)果得到等待優(yōu)先度較高的批量到達為適當?shù)慕獯?。將該結(jié)果傳送到實際工廠14，發(fā)出工作指示。其結(jié)果是可用短工期制造優(yōu)先度較高的批量。
(2)當必須進行實際工廠14內(nèi)某裝置的保養(yǎng)時，通過在虛擬工廠13的模擬，得到了優(yōu)先處理不受保養(yǎng)影響或較小影響的批量的最佳批量進展預想結(jié)果。通過對該結(jié)果進行工作指示，即可實現(xiàn)裝置保養(yǎng)時實際工廠14的高效率運行。并且，在進行裝置定期保養(yǎng)的一定時間以前，通過在計算機畫面上表示保養(yǎng)時間、必要的人員、交換零件、或用于下次保養(yǎng)的補充次序等，可高效率地進行保養(yǎng)。
(3)當預測裝置將產(chǎn)生故障時，可通過考慮了故障預測的虛擬工廠13的模擬，得到了優(yōu)先處理優(yōu)先度較高制品的適當結(jié)果。根據(jù)該結(jié)果，發(fā)出指示，即可不延遲工期地制造優(yōu)先度較高的批量。并且，通過在計算機畫面上表示故障的處理方法或用其他類似方法予以表示，則可實現(xiàn)順利的故障處理，防止降低生產(chǎn)量(拖延工期)。
(4)當通過某工序的批量數(shù)據(jù)出現(xiàn)異常值時，則由虛擬工廠13在通過該工序的批量中提取出可能出現(xiàn)異常值的批量。將該批量作為待機批量，在其后的調(diào)查中判定其不是好貨時，則予以廢棄。這樣，可使異常工序?qū)χ破返挠绊懽钚　?br> (5)通過虛擬工廠13的模擬，尋求操作者的最佳休息時間。其結(jié)果是了解到某工序處理10分鐘后結(jié)束，此后的70分鐘沒有工作，則得到了在其間休息的適當?shù)慕Y(jié)果。根據(jù)該結(jié)果，發(fā)出該工序處理后休息60分鐘的指示。該結(jié)果不會降低生產(chǎn)量(拖延工期)，操作者得到了休息。
(6)當制品變更時，使用的裝置和其使用時間也隨之變更，虛擬工廠13計算是否產(chǎn)生了裝置的過度不足。其結(jié)果是判明產(chǎn)生了裝置的過度不足。將為了消除該過度不足的裝置改造、裝置的調(diào)換等在計算機畫面上或用類似方法予以表示，以尋求費用最少或期間最短的方案。根據(jù)該結(jié)果，決定最佳裝置調(diào)換次序并予以實行。其結(jié)果可使制品順利變更。
(7)在決定實際生產(chǎn)線內(nèi)的裝置配置時，采用使空間最小的方法、動作路線最小的方法、操作者最少的方法、以及用料最小的方法，尋求各個最佳配置。其結(jié)果是采用使空間最小的方法和使動作路線最小的方法得到某種配置的最佳解答，而且可使操作者少、用料也小。通過采用該配置，提高了生產(chǎn)率。
(8)當預測到由于缺陷大量產(chǎn)生，隨著制品的晶片或芯片的廢棄，制品數(shù)量減少。此時，提高新批量的優(yōu)先度，進行投入和處理，或提高途中的待機批量的優(yōu)先度，進行處理。其結(jié)果可防止該制品合格數(shù)量的大幅度減少。
(9)在虛擬工廠13，進行生產(chǎn)材料和非生產(chǎn)材料的庫存管理。其結(jié)果是可減少生產(chǎn)材料和非生產(chǎn)材料的庫存。
變形例本發(fā)明不限定于上述各實施例。本發(fā)明使用的虛擬工廠，不必如第2實施例虛擬構(gòu)建與實際工廠完全相同的處理，對實際工廠某種程度的模擬就可以了。因此，對于目前的計算機系統(tǒng)，也可適用更大規(guī)模的半導體工廠。另外，網(wǎng)絡(luò)也不僅眼于因特網(wǎng)，能進行雙方向數(shù)據(jù)通信的系統(tǒng)也可以。第1實施例所示的電子交易方法也適用本實施例的半導體生產(chǎn)系統(tǒng)。
第2實施例中已經(jīng)舉例說明了半導體生產(chǎn)系統(tǒng)，但本發(fā)明不限于此，液晶、家電制品的工廠，若是較小規(guī)模的也可以適用。汽車、化學設(shè)備的工廠也適用。本發(fā)明中作為對象的系統(tǒng)的所謂大小(比較小規(guī)模的工廠)，即是用計算機對實際生產(chǎn)線進行相同數(shù)量的計算，能虛擬構(gòu)建與實際生產(chǎn)線完全相同的處理的范圍。將來計算機的處理能力提高了，也可適用于更大規(guī)模的系統(tǒng)。
本實施例的說明中，假設(shè)1批量的構(gòu)成件數(shù)＝25件，但不限于此。從1批量＝1件開始的任意件數(shù)都可作為對象。
如上詳述，本實施例中，利用實際制造制品的實際工廠(實際生產(chǎn)線)和在計算機內(nèi)構(gòu)建與該實際工廠實質(zhì)上相同功能的虛擬工廠(虛擬生產(chǎn)線)，將實際工廠的各種信息傳送到虛擬工廠，根據(jù)傳送的信息在虛擬工廠計算最佳批量進展方法，根據(jù)該計算結(jié)果向?qū)嶋H工廠傳送操作指示數(shù)據(jù)，根據(jù)傳送的操作指示數(shù)據(jù)實際工廠進行生產(chǎn)，由于可以正確模擬實際生產(chǎn)線的各種處理，則可使較小規(guī)模工廠高效率經(jīng)營。
本實施例中，在具有多個選擇枝時，對其全部或其一部分進行計算，可根據(jù)情況選擇最佳的，能使生產(chǎn)系統(tǒng)更好地運行。
第3實施例本實施例為第2實施例的變形例。
第2實施例對按照用短工期制造優(yōu)先度高的批量的目的以及優(yōu)先處理不受保養(yǎng)影響或影響較小的批量的目的，說明了尋求最佳處理的情況。本實施例是為了達到進行電力不超過設(shè)定值處理的目的，尋求最佳處理的實施例。
圖18表示可使電力(或用料)穩(wěn)定化的虛擬工廠13的構(gòu)成。圖18與圖12比較不同點是裝置的電力·用料信息數(shù)據(jù)以及電力·用料的條件數(shù)據(jù)為附加的輸入數(shù)據(jù)。圖19、圖20表示各裝置的電力·用料縱剖面以及電力·用料的條件數(shù)據(jù)。本實施例中，講述關(guān)于電力的限制，關(guān)于用料的限制，將在第4實施例講述。
以下，用圖21、圖22A～圖22F、圖23、圖24A、24B說明本實施例的生產(chǎn)系統(tǒng)。圖22A～圖22C是未進行電力最佳化時的生產(chǎn)系統(tǒng)圖，圖22D～圖22F是進行電力最佳化的生產(chǎn)系統(tǒng)圖。
在設(shè)計凈化間時，估計各生產(chǎn)裝置使用的電力額定值。圖21表示這些電力生產(chǎn)系統(tǒng)的估計值。圖21是氧化爐的電力和濕度變化圖。圖21中，計算電力的最大值，將在該最大值上增加了預定值的值作為電力額定值。
對凈化間內(nèi)所有生產(chǎn)裝置，算出按上述得到的生產(chǎn)裝置的電力額定值，將這些電力額定值相加，估計全部的電力設(shè)定值。然后，進行可承受該全部電力設(shè)定值的配線和配管等生產(chǎn)設(shè)備的設(shè)計。
例如，使用擴散爐和RTA(快速熱退火)的凈化間裝置，求出各裝置如圖21所示的電力特性。圖22A為擴散爐的電力特性，圖22B為RTA裝置的電力特性。這時，根據(jù)這些電力特性，算出電力的合計值。圖22C表示算出的電力特性。如圖22C所示，由于擴散爐和RTA裝置的電力峰值重疊，則電力合計值的峰值較大，必須設(shè)定較大的電力設(shè)定值。
各生產(chǎn)裝置的額定值，要考慮富裕量，一般為實際裝置運轉(zhuǎn)時實際使用值的數(shù)倍到數(shù)十倍的較大值。另外，各生產(chǎn)裝置不是滿載運轉(zhuǎn)。因此，根據(jù)各生產(chǎn)裝置求出的電力合計值(設(shè)定值)為大于生產(chǎn)線運轉(zhuǎn)時的值。當電力設(shè)定值比實際使用值過大時，將導致配線和配管等生產(chǎn)設(shè)備過剩，出現(xiàn)凈化間建設(shè)費過高的問題。
另外，使RTA裝置的RTA工序的開始時間比擴散爐的開始時間延遲20分鐘(ΔT)。也就是，使圖22E所示電力特性與圖22D所示電力特性重疊。這樣，如圖22F所示，2個裝置的電力合計值的峰值比圖22C所示的情況小。
在達到電力最佳化的本實施例的生產(chǎn)系統(tǒng)中，設(shè)法使批量的流動不超過全部電力的設(shè)定值。具體地說，首先如圖23所示，進行凈化間內(nèi)批量的先讀出計算。在進行批量的先讀出時，例如同時使用擴散爐和RTA裝置。這時，同時使用各裝置，預想將超過設(shè)定的電力值。如圖23的231所示，電力的最大值超過設(shè)定值。因此，通過先讀出計算，使RTA裝置的RTA工序的開始時間比擴散爐的開始時間延遲20分鐘。也就是，如圖23的232所示，使電力的最大值不超過電力的設(shè)定值。
圖23中，用232表示選擇選擇枝2、選擇枝2A的時間和電力的關(guān)系。如圖23的232的特性曲線所示可知，電力的最大值被控制在設(shè)定值以下。本發(fā)明中，在該兩種可能性中，選擇使2個裝置的電力峰值錯開使電力穩(wěn)定化的批量流動，也就是選擇選擇枝2、選擇枝2a。
這樣，不超過電力設(shè)定值的生產(chǎn)是可能的。在未進行電力最佳化的圖22C情況下，為了在電力不超過設(shè)定值的條件下進行生產(chǎn)，必須增大電力的設(shè)定值。在對其進行最佳化的圖22F的情況下，可使電力設(shè)定值減小。本實施例中，可以邊減少電力設(shè)定值邊導出不超過該電力設(shè)定值的條件。
在實際各生產(chǎn)裝置中，多個批量配置了可待機的通道，通過計算機的先讀出計算，比較在各批量實施的工序，自動決定處理的順序，自動地將批量從通道裝載到生產(chǎn)裝置，開始進行處理。這樣，生產(chǎn)裝置的操作員可僅將批量配置在通道中，節(jié)省了人力?；蛘?，使用自動搬運系統(tǒng)也可以全部自動化。
該生產(chǎn)系統(tǒng)是裝置保養(yǎng)結(jié)束后處理等待批量的非常有效的方法。當然也適用于保養(yǎng)結(jié)束前。
操作員根據(jù)計算機的先讀出計算按照工作指示，也可以手動進行批量的搬運、裝置的置位、處理開始等。
該生產(chǎn)系統(tǒng)可適用于大規(guī)模生產(chǎn)線、小規(guī)模生產(chǎn)線，特別對小規(guī)模生產(chǎn)線有效。圖24A表示大規(guī)模生產(chǎn)線的電力值，圖24B表示小規(guī)模生產(chǎn)線的電力值。細實線表示穩(wěn)定化前(現(xiàn)有技術(shù))的電力值，粗實線表示穩(wěn)定化后(本申請)的電力值，細虛線表示現(xiàn)有技術(shù)的電力設(shè)定值，粗虛線表示穩(wěn)定化后的電力設(shè)定值。比較圖24A和24B可見，穩(wěn)定化的電力值與穩(wěn)定化前的電力值之差，與大規(guī)模生產(chǎn)線比較，小規(guī)模生產(chǎn)線大。也就是，穩(wěn)定化的效果大。這也表現(xiàn)在穩(wěn)定化前的電力設(shè)定值和穩(wěn)定化后的電力設(shè)定值之差上。也就是，穩(wěn)定化前的電力設(shè)定值和穩(wěn)定化后的電力設(shè)定值之差，與大規(guī)模生產(chǎn)線比較，小規(guī)模生產(chǎn)線大。這就意味著，小規(guī)模生產(chǎn)線通過穩(wěn)定化可大幅度減低電力設(shè)定值。
這樣，使批量流動而不超過電力設(shè)定值，由于電力設(shè)定值減小，則可壓縮生產(chǎn)設(shè)備的建設(shè)費。
以上舉例說明了2臺裝置的調(diào)整，當有3臺以上的裝置時，也可設(shè)定對整條生產(chǎn)線電力的限制，與上述同樣處理。
適用于生產(chǎn)線內(nèi)的裝置群也是其優(yōu)點。以后將具體說明。在圖20的電力條件中，整條生產(chǎn)線的電力，例如限制為500KW，作為組1定義的光刻技術(shù)(Lithography)工序的裝置群，限制為150KW以下。根據(jù)對每組的限制，可減小從生產(chǎn)線內(nèi)的主電源到該組裝置群的配線規(guī)模，可以低成本建設(shè)生產(chǎn)線。
另外，使錯開處理的時間為20分鐘，例如可用以下方法決定該時間偏移。圖25中表示求出開始時間的偏移量的方法。當錯開開始時間時，15分鐘后電力的最大值等于設(shè)定值，20分鐘后電力的最大值為設(shè)定值的90％。也就是，當錯開15分鐘以上時，電力的最大值不會超過設(shè)定值，則將偏移量定為15分鐘和16分鐘，但因未預期的微小電力變動超過設(shè)定值時，會導致停電、生產(chǎn)線停止運行、產(chǎn)生批量位移，形成大的損害。為此，本例中，決定最大值為設(shè)定值90％以下的偏移時間＝20分鐘。當然，限定為90％還是不行的，當電力變動大時，應(yīng)在90％以下，使偏移時間長于20分鐘。反之，當電力變動小時，可在90％以上，使偏移時間短于20分鐘。
本發(fā)明不限定于上述實施例。舉例說明了電力的穩(wěn)定化，然而對于水(超純水和冷卻水)、氮氣體、特殊材料氣體等的用料，同樣的穩(wěn)定化也是可能的。在下面的實施例中詳細說明。
第4實施例本實施例是第2實施例的變形例。
第2實施例中，根據(jù)用短工期制造優(yōu)先度較高的批量的目的、優(yōu)先處理不受保養(yǎng)影響或影響較小的批量的目的，說明了尋求最佳處理的情況。本實施例是為了達到進行用料不超過設(shè)定值的處理的目的，尋求最佳處理的例子。
下面，用圖26、圖27A～圖27F、圖28說明本實施例的生產(chǎn)系統(tǒng)。圖27A～圖27C是未進行用料最佳化時的生產(chǎn)系統(tǒng)說明圖，圖27D～圖27F是進行電力和用料最佳化的生產(chǎn)系統(tǒng)說明圖。下面作為用料的例子，以在生產(chǎn)系統(tǒng)處理工序的洗凈中使用的超純水穩(wěn)定化為例予以說明。
圖26是某處理裝置超純水使用量的時間變化圖。在該圖26的時間變化特性中，第1峰值對應(yīng)于調(diào)整藥液濃度的稀釋工序。比第1峰值延遲的第2峰值對應(yīng)于沖洗處理工序。
例如在使用前處理裝置和后處理裝置的凈化間，對各裝置求出圖26所示的超純水使用量的時間變化特性。圖27A是由前處理裝置得到的時間變化特性，圖27B是由后處理裝置得到的時間變化特性，根據(jù)這些時間變化特性算出超純水使用量的合計值。圖27C表示算出的合計值的時間變化特性。如圖27C所示，由于前處理裝置和后處理裝置的超純水使用量的峰值重疊，則超純水使用量合計值的峰值變大，因此必須增加超純水使用量的設(shè)定值。
另一方面，使后處理裝置的后處理工序的開始時間比前處理裝置的開始時間延遲10分鐘(ΔT)。也就是，使圖27E所示特性重疊于圖27D所示特性。這樣，如圖27F所示，2個超純水使用量的合計值的峰值小于圖27C所示的情況。
在力圖達到用料最佳化的生產(chǎn)系統(tǒng)中，使批量流動而又設(shè)法不超過全部用料的設(shè)定值。具體地說，首先如圖28所示，進行凈化間內(nèi)的批量的先讀出計算。當進行批量的先讀出時，同時使用前處理裝置和后處理裝置。當同時使用各裝置時，預想將超過設(shè)定的用料值。如圖28的281所示可知，超純水使用量的最大值超過了設(shè)定值。因此，通過先讀出計算，使后處理裝置的后處理工序的開始時間比前處理裝置的開始時間延遲10分鐘。也就是，如圖28的282所示，超純水使用量的最大值不超過設(shè)定值。
在圖28的282中，表示通過選擇選擇枝2、選擇枝2a的時間與超純水使用量的關(guān)系。如該282的特性曲線所示可知，超純水使用量的最大值被控制在設(shè)定值以下。本發(fā)明中，在2種可能性之中，選擇錯開2個裝置的用料峰值使用料穩(wěn)定化的批量流動方法，即選擇選擇枝2、選擇枝2a。
使后處理裝置的后處理工序開始時間比前處理裝置開始時間延遲的時間(這里是10分鐘)，可用與第3實施例所述方法(圖25)同樣的方法求得。
采用以上方法，可實現(xiàn)不超過用料設(shè)定值的生產(chǎn)。在未進行用料最佳化的圖27C的情況下，為了在用料不超過設(shè)定值的條件下進行生產(chǎn)，必須增大用料設(shè)定值。在對此進行最佳化的圖27F的情況下，可以減小用料設(shè)定值。本實施例中，邊減小用料設(shè)定值，邊導出不超過該用料設(shè)定值的條件。
本發(fā)明不限定于上述實施例。作為用料的一個例子通過超純水說明了本實施例，而對于冷卻水、氮氣體、特殊材料氣體等其他用料，也可進行同樣的穩(wěn)定化。其結(jié)果是可減小生產(chǎn)設(shè)備的規(guī)模，控制凈化間的制造成本。對于熱排氣和筐體排氣等管道排氣，可同樣穩(wěn)定化。通過排氣量的穩(wěn)定化，可減小排氣用配管，控制送風機動力、局部排氣動力。
特別是可減小超純水和冷卻水、氣體等的配管，達到用工具等即可彎曲的尺寸，不需要使用接頭的焊接和粘接加工，具有容易實現(xiàn)配管設(shè)置加工的優(yōu)點。其結(jié)果是縮短了凈化間建設(shè)、裝置的存放、配置變更等的工期。
將第3實施例和第4實施例進行組合，對電力和用料都設(shè)置較低的設(shè)定值，使批量流動而不超過上述設(shè)定值。則可縮小設(shè)備的規(guī)模。
上述第3、第4實施例是根據(jù)預先設(shè)定的電力或用料的設(shè)定值管理最佳批量進展的系統(tǒng)，利用該系統(tǒng)可進行生產(chǎn)設(shè)備的設(shè)計。具體地說，根據(jù)上述圖22A～22F和圖27A～27F所示的電力或用料的峰值減低方法，算出該減低的各裝置的電力或用料的設(shè)定值。然后，根據(jù)該設(shè)定的電力或用料的設(shè)定值進行生產(chǎn)設(shè)備的設(shè)計。這樣，即可進行無浪費的小規(guī)模生產(chǎn)設(shè)備的設(shè)計。根據(jù)上述生產(chǎn)設(shè)備的設(shè)計技巧建設(shè)生產(chǎn)設(shè)備的方法也包含在本發(fā)明中。
權(quán)利要求
1.一種進行半導體制品的制造銷售的從業(yè)者和購入半導體制品的購入者進行交易的電子交易方法，其特征是該方法包含將購入者或其代理者使用的顧客終端與通過在計算機上模擬進行半導體制品制造的實際生產(chǎn)線的生產(chǎn)工序構(gòu)建的虛擬生產(chǎn)線連接，從上述顧客終端接收購入者所希望制品的購入者所希望的條件，按照購入者所希望條件實時模擬上述購入者所希望制品在虛擬生產(chǎn)線的流動情況，判定可否按照購入者所希望條件制造該制品。
2.權(quán)利要求1記載的電子交易方法，其特征是，當上述模擬結(jié)果是不能按所希望條件制造時，改變所希望條件的至少1個，實時再次模擬可否制造該制品。
3.一種進行半導體制品的制造銷售的從業(yè)者和購入半導體制品的購入者利用網(wǎng)絡(luò)進行交易的半導體制品的電子交易方法，其特征是該方法包含通過網(wǎng)絡(luò)連接在計算機上模擬進行半導體制品制造的實際生產(chǎn)線的生產(chǎn)工序構(gòu)建的虛擬生產(chǎn)線和購入者或其代理者使用的顧客終端的步驟；從上述顧客終端輸入購入者應(yīng)購入的制品及所希望的條件并傳送到上述虛擬生產(chǎn)線的步驟；根據(jù)輸入到上述虛擬生產(chǎn)線的制品及條件，實時模擬制品可否按照購入者希望的條件在該虛擬生產(chǎn)線上流動的步驟；將在上述虛擬生產(chǎn)線上的模擬結(jié)果傳送到上述顧客終端的步驟；對上述模擬結(jié)果，從上述顧客終端回答生意是否成立的步驟；若生意成立，從上述虛擬生產(chǎn)線向上述實際生產(chǎn)線發(fā)出制造半導體制品的指示的步驟。
4.一種購入半導體制品的購入者利用網(wǎng)絡(luò)與進行半導體制品的制造銷售的從業(yè)者進行交易的半導體制品的電子交易方法，其特征是該方法包含對于在計算機上模擬進行半導體制品的制造的實際生產(chǎn)線的生產(chǎn)構(gòu)建的虛擬生產(chǎn)線，通過網(wǎng)絡(luò)連接購入者或其代理者使用的顧客終端的步驟；從上述顧客終端輸入應(yīng)購入的制品及其條件的步驟；根據(jù)上述輸入的制品及條件，上述顧客終端接收實時模擬制品可否按照購入者希望的條件在上述虛擬生產(chǎn)線上流動的結(jié)果的步驟；對于上述接收的模擬結(jié)果，從顧客終端回答是否購入半導體制品的步驟。
5.一種進行半導體制品的制造銷售的從業(yè)者利用網(wǎng)絡(luò)與購入半導體制品的購入者進行交易的半導體制品的電子交易方法，其特征是該方法包含將在計算機上模擬進行半導體制品制造的實際生產(chǎn)線的生產(chǎn)構(gòu)建的虛擬生產(chǎn)線，通過網(wǎng)絡(luò)與購入者或者其代理者使用的顧客終端連接的步驟；在上述虛擬生產(chǎn)線接收從上述顧客終端輸入的應(yīng)購入制品及其條件的步驟；根據(jù)傳送到上述虛擬生產(chǎn)線的制品及條件，實時模擬制品可否按照購入者希望的條件在虛擬生產(chǎn)線上流動的步驟；將上述模擬結(jié)果傳送到上述顧客終端的步驟；根據(jù)上述模擬結(jié)果，按照來自上述顧客終端的回答判定生意是否成立的步驟；在通過上述判定生意成立時，從上述虛擬生產(chǎn)線向上述實際生產(chǎn)線發(fā)出制造半導體制品指示的步驟。
6.一種電子交易系統(tǒng)，其特征是包含在計算機上模擬進行實際制造半導體制品的實際生產(chǎn)線的生產(chǎn)工序構(gòu)建的虛擬生產(chǎn)線；以及通過網(wǎng)絡(luò)將該虛擬生產(chǎn)線與顧客終端連接的連接服務(wù)器，上述連接服務(wù)器，將從上述顧客終端輸入的條件傳送到上述虛擬生產(chǎn)線，將在傳送條件下實時模擬制品可否在上述虛擬生產(chǎn)線上流動的結(jié)果傳送到上述顧客終端。
7.一種電子交易系統(tǒng)，其特征是包含在計算機內(nèi)構(gòu)建的與實際制造制品的實際生產(chǎn)線具有實質(zhì)上同樣功能的虛擬生產(chǎn)線；將上述實際生產(chǎn)線的各種信息傳送到上述虛擬生產(chǎn)線的裝置；根據(jù)上述傳送的信息，計算上述虛擬生產(chǎn)線的最佳批量進展方法的裝置；根據(jù)上述計算的結(jié)果，將操作指示數(shù)據(jù)傳送到上述實際生產(chǎn)線的裝置；以及通過網(wǎng)絡(luò)將上述虛擬生產(chǎn)線與顧客終端連接的連接服務(wù)器，通過上述連接服務(wù)器，將從上述顧客終端輸入的條件傳送到上述虛擬生產(chǎn)線，在傳送的條件下實時模擬制品可否在虛擬生產(chǎn)線流動，通過上述連接服務(wù)器將模擬結(jié)果傳送到上述顧客終端，根據(jù)模擬結(jié)果進行交易。
8.一種生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征是包含在計算機內(nèi)構(gòu)建的與實際制造制品的實際生產(chǎn)線具有實質(zhì)上同樣功能的虛擬生產(chǎn)線；在上述虛擬生產(chǎn)線接收上述實際生產(chǎn)線的各種信息的裝置；根據(jù)上述接收的信息，計算在上述虛擬生產(chǎn)線的最佳批量進展方法的裝置；根據(jù)上述計算結(jié)果，將操作指示數(shù)據(jù)傳送到上述實際生產(chǎn)線的裝置。
9.權(quán)利要求8記載的生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征是，實時反復進行在上述虛擬生產(chǎn)線的各種信息的接收、上述虛擬生產(chǎn)線的最佳批量進展方法的計算、以及從上述虛擬生產(chǎn)線向上述實際生產(chǎn)線的操作指示數(shù)據(jù)的傳送。
10.權(quán)利要求8記載的生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征是，從上述實際生產(chǎn)線向上述虛擬生產(chǎn)線傳送的各種信息包含各生產(chǎn)的接受訂貨量、批量的進展狀況、裝置的狀況、工人的狀況、以及制品的測試結(jié)果。
11.權(quán)利要求8記載的生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征是，計算上述最佳批量進展方法的裝置，按照上述每個批量進展方法的條件多次算出批量的進展預測計算結(jié)果，從該多個進展預測計算結(jié)果中提取出其中至少一個。
12.權(quán)利要求11記載的生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征是，計算上述最佳批量進展方法的裝置具有表示上述多個算出的批量進展預測計算結(jié)果并選擇其中至少一個計算結(jié)果的裝置。
13.權(quán)利要求11記載的生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征是，計算上述最佳批量進展方法的裝置，根據(jù)由用戶輸入的提取條件，從上述多個進展預測計算結(jié)果中提取。
14.權(quán)利要求8記載的生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征是，計算上述最佳批量進展方法的裝置，求出制造工期最短并且月平均生產(chǎn)量最大的解答。
15.權(quán)利要求8記載的生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征是，計算上述最佳批量進展方法的裝置，根據(jù)接受訂貨的制品的優(yōu)先級，求出優(yōu)先級高的制品的較短制造工期的解答。
16.權(quán)利要求8記載的生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征是，將上述實際生產(chǎn)線生產(chǎn)的制品的測試結(jié)果傳送到上述虛擬生產(chǎn)線，對照該制品的接受訂貨量，決定下面的投入計劃。
17.權(quán)利要求8到16任一項記載的生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征是，上述實際生產(chǎn)線是半導體生產(chǎn)線。
18.權(quán)利要求8記載的生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征是，還包含根據(jù)上述傳送的信息，計算上述虛擬生產(chǎn)線的電力和用料的至少其中一個的時間依存性的裝置，計算上述最佳批量進展方法的裝置，根據(jù)計算上述時間依存性的裝置得到的時間依存性，按照不超過在生產(chǎn)線設(shè)定的電力值和用料值的至少其中一個的條件，算出批量進展方法。
19.權(quán)利要求18記載的生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征是，上述用料是超純水、冷卻水、半導體材料氣體、半導體制造用氣體、半導體制造用液體、半導體制造用固體。
20.一種采用在計算機內(nèi)構(gòu)建與實際制造制品的實際生產(chǎn)線具有實質(zhì)上相同功能的虛擬生產(chǎn)線，通過在虛擬生產(chǎn)線上模擬，可使實際生產(chǎn)線高效率運營的生產(chǎn)方法，其特征是包含在上述虛擬生產(chǎn)線接收上述實際生產(chǎn)線的各種信息的步驟；根據(jù)上述接收的信息，在上述虛擬生產(chǎn)線計算最佳批量進展方法的步驟；根據(jù)上述計算結(jié)果，將操作指示數(shù)據(jù)傳送到上述實際生產(chǎn)線的步驟。
21.權(quán)利要求20記載的上述生產(chǎn)方法，其特征是還包含根據(jù)上述操作指示數(shù)據(jù)，在上述實際生產(chǎn)線開始生產(chǎn)的步驟。
22.權(quán)利要求20記載的生產(chǎn)方法，其特征是，實時反復進行在上述虛擬生產(chǎn)線對來自上述實際生產(chǎn)線的各種信息的接收、在上述虛擬生產(chǎn)線的最佳批量進展方法的計算、以及從上述虛擬生產(chǎn)線向上述實際生產(chǎn)線的操作指示數(shù)據(jù)的傳送。
23.權(quán)利要求20記載的生產(chǎn)方法，其特征是，在上述虛擬生產(chǎn)線接收的來自上述實際生產(chǎn)線的各種信息包含各生產(chǎn)的接受訂貨量、批量的進展狀況、裝置的狀況、工人的狀況、以及制品的測試結(jié)果。
24.權(quán)利要求20記載的生產(chǎn)方法，其特征是，作為計算上述最佳批量進展方法的步驟，求出制造工期最短、月平均生產(chǎn)量最大的解答。
25.權(quán)利要求20記載的生產(chǎn)方法，其特征是，作為計算上述最佳批量進展方法的步驟，根據(jù)對接受訂貨制品附加的優(yōu)先級，求出優(yōu)先級高的制品的制造工期短的解答。
26.權(quán)利要求20記載的生產(chǎn)方法，其特征是，將在上述實際生產(chǎn)線生產(chǎn)的制品的測試結(jié)果傳送到上述虛擬生產(chǎn)線，對照該制品的接受訂貨量，決定下面的投入計劃。
27.權(quán)利要求20到26任一項記載的生產(chǎn)方法，其特征是，上述實際生產(chǎn)線是半導體生產(chǎn)線。
28.一種生產(chǎn)設(shè)備設(shè)計系統(tǒng)，其特征是包含在計算機內(nèi)構(gòu)建的與實際制造制品的實際生產(chǎn)線具有實質(zhì)上同樣功能的虛擬生產(chǎn)線；將上述實際生產(chǎn)線的各種信息傳送到上述虛擬生產(chǎn)線的裝置；根據(jù)上述傳送的信息，計算上述虛擬生產(chǎn)線的電力和用料的至少其中一個的時間依存性的裝置；根據(jù)計算上述時間依存性的裝置得到的時間依存性，設(shè)定生產(chǎn)線使用的電力值和用料值的至少其中一個的裝置；根據(jù)上述設(shè)定的電力值和用料值的至少其中一個，進行生產(chǎn)設(shè)備設(shè)計的裝置。
29.權(quán)利要求28記載的生產(chǎn)設(shè)備設(shè)計系統(tǒng)，其特征是，上述生產(chǎn)設(shè)備是生產(chǎn)線的配線、生產(chǎn)線的配管的至少其中之一。
30.一種在計算機內(nèi)構(gòu)建的與實際制造制品的實際生產(chǎn)線具有實質(zhì)上相同功能的虛擬生產(chǎn)線上，通過模擬進行生產(chǎn)設(shè)備設(shè)計的生產(chǎn)設(shè)備設(shè)計方法，其特征是包含在上述虛擬生產(chǎn)線接收上述實際生產(chǎn)線的各種信息的步驟；根據(jù)上述接收的信息，計算上述虛擬生產(chǎn)線的電力和用料的至少其中之一的時間依存性的步驟；根據(jù)計算上述時間依存性的裝置得到的時間依存性，設(shè)定生產(chǎn)線使用的電力值和用料值的至少其中一個的步驟；根據(jù)上述設(shè)定的電力值和用料值的至少其中一個，進行生產(chǎn)設(shè)備設(shè)計的步驟。
31.一種在計算機內(nèi)構(gòu)建的與實際制造制品的實際生產(chǎn)線具有實質(zhì)上相同功能的虛擬生產(chǎn)線上進行模擬，根據(jù)該模擬結(jié)果進行生產(chǎn)設(shè)備制造的生產(chǎn)設(shè)備制造方法，其特征是包含在上述虛擬生產(chǎn)線接收上述實際生產(chǎn)線的各種信息的步驟；根據(jù)上述傳送的信息，計算上述虛擬生產(chǎn)線的電力和用料的至少其中一個的時間依存性的步驟；根據(jù)計算上述時間依存性的裝置得到的時間依存性，設(shè)定生產(chǎn)線使用的電力值和用料值的至少其中一個的步驟；制造滿足上述設(shè)定的電力值和用料值的至少其中一個的生產(chǎn)設(shè)備的步驟。
全文摘要
一種半導體制品的電子交易系統(tǒng),具有:在計算機內(nèi)構(gòu)建的與實際制造半導體制品的實際生產(chǎn)線14具有實質(zhì)上同樣功能的、計算最佳批量進展方法的虛擬生產(chǎn)線13;通過網(wǎng)絡(luò)10將虛擬生產(chǎn)線13與顧客終端11連接的連接服務(wù)器12。將從顧客終端11輸入的條件通過連接服務(wù)器12傳送到虛擬生產(chǎn)線13,在傳送的條件下實時模擬制品可否在虛擬生產(chǎn)線13上流動,將模擬結(jié)果通過連接服務(wù)器12傳送到顧客終端11,按照模擬的結(jié)果進行交易。
文檔編號G06Q30/00GK1347054SQ01132528
公開日2002年5月1日 申請日期2001年5月31日 優(yōu)先權(quán)日2000年5月31日
發(fā)明者光武邦寬, 奧村勝彌 申請人:株式會社東芝