一種spc策略自動(dòng)更新方法及spc自動(dòng)策略系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種SPC策略自動(dòng)更新方法及SPC自動(dòng)策略系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中，從半導(dǎo)體單晶片到制成最終成品的過程是一個(gè)極其復(fù)雜的過程，從氧化擴(kuò)散，光刻，刻蝕，洗滌，淀積等大約有不少于三四百個(gè)工序；特別是現(xiàn)在各類專用集成電路的需求猛增，大多數(shù)半導(dǎo)體企業(yè)又從面向庫存的生產(chǎn)方式轉(zhuǎn)向了面向訂單的生產(chǎn)方式，使晶圓車間的生產(chǎn)模式也由以前大批量的單一品種的生產(chǎn)轉(zhuǎn)為批量的多品種的生產(chǎn)模式，極大的增加了生產(chǎn)過程的復(fù)雜性。制造執(zhí)行系統(tǒng)(manufacturing execut1nsystem,簡(jiǎn)稱MES)由此成為半導(dǎo)體生產(chǎn)不接或缺的管理工具，能夠?qū)ιa(chǎn)過程進(jìn)行優(yōu)化，確保產(chǎn)品性能合格、穩(wěn)定可靠，并有高的成品率，包括下列功能:工作進(jìn)行中(work inprocess，簡(jiǎn)稱WIP)追蹤、資源配置和狀態(tài)、動(dòng)作排程、品管數(shù)據(jù)(quality data)收集和處理控制，同時(shí)MES也可以被當(dāng)做一個(gè)用來收集數(shù)據(jù)和分配數(shù)據(jù)的中央存放處(centraldepository)，例如，MES可以實(shí)時(shí)地和動(dòng)態(tài)地收集、組合和表示(express)原料(rawmaterials)、成品(finished products)、半成品(semifinished products)、機(jī)器、時(shí)間和成本的數(shù)據(jù)，并追蹤和控制每一個(gè)生產(chǎn)步驟。
[0003]同時(shí)，在半導(dǎo)體制造工藝中，任何一項(xiàng)工藝，都可能包含許多步驟，每個(gè)步驟又包括眾多參數(shù)，對(duì)一項(xiàng)工藝中每個(gè)參數(shù)進(jìn)行控制，是保證工藝正常進(jìn)行、制造出符合標(biāo)準(zhǔn)和要求的半導(dǎo)體器件的關(guān)鍵因素?，F(xiàn)有半導(dǎo)體制造工藝的參數(shù)一般通過SPC系統(tǒng)(StatisticalProcess Control，統(tǒng)計(jì)過程控制)來控制。SPC是基于統(tǒng)計(jì)理論的技術(shù)和方法，通過對(duì)生產(chǎn)過程中的工藝參數(shù)質(zhì)量數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析和描圖，實(shí)現(xiàn)對(duì)工藝過程穩(wěn)定性的實(shí)時(shí)監(jiān)控和預(yù)測(cè)，從而達(dá)到發(fā)現(xiàn)異常、及時(shí)改進(jìn)、減少波動(dòng)、保證工藝過程穩(wěn)定、產(chǎn)品總體質(zhì)量穩(wěn)定可靠之目的。而SPC策略(strategy)的建立和更新是SPC系統(tǒng)的關(guān)鍵點(diǎn)所在，完善的SPC策略能夠?qū)に囘^程進(jìn)行及時(shí)、有效的分析和評(píng)價(jià)。
[0004]現(xiàn)有的一個(gè)SPC策略下可以設(shè)置多個(gè)控制或監(jiān)視chart (圖表):均值一級(jí)差圖(X — R圖)、均值一標(biāo)準(zhǔn)差圖(X — S圖)、單值一移動(dòng)極差圖(X — MR圖)、運(yùn)行圖、指數(shù)加權(quán)移動(dòng)均值圖(EWMA圖)等計(jì)量型圖表；以及，不合格品率圖(P圖)，不合格品數(shù)圖(Pn圖)，單位缺陷圖(u圖)和總體均值，總體標(biāo)準(zhǔn)差、樣本均值、樣本標(biāo)準(zhǔn)差、Cp、Cpk、Cpl、Cpu、直方圖偏斜指數(shù)(Skewness)，陸度指數(shù)(Kurtosis)等的排列圖、直方圖。數(shù)據(jù)查詢、總體監(jiān)控、現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)控、異常報(bào)告都可通過控制圖表和各統(tǒng)計(jì)參數(shù)來表達(dá)，通過這些可以幫助用戶從不同的視角去監(jiān)控過程狀態(tài)，及時(shí)發(fā)現(xiàn)問題，解決問題。每個(gè)chart有自己采集數(shù)據(jù)的規(guī)格及收集的點(diǎn)數(shù)和數(shù)據(jù)類型，其中需要的這些數(shù)據(jù)的一部份來源于MES系統(tǒng)收集的DCSpec (數(shù)據(jù)采集規(guī)格)，而通常情況下，MES與SPC實(shí)現(xiàn)由不同的專業(yè)公司完成，例如，MES采用A頂公司的成品，SPC采用PDF公司產(chǎn)品，系統(tǒng)中MES與SPC間沒有提供自動(dòng)建立的接口，不能數(shù)據(jù)共享，MES的DC SPEC信息有修改時(shí)，SPC系統(tǒng)無法整合MES系統(tǒng)的數(shù)據(jù)進(jìn)行自動(dòng)建立或者更新數(shù)據(jù)采集規(guī)則，從而會(huì)導(dǎo)致在對(duì)工藝過程穩(wěn)定性的實(shí)時(shí)監(jiān)控和預(yù)測(cè)過程中所參考的數(shù)值不是最新，使得在實(shí)際生產(chǎn)時(shí)會(huì)發(fā)出警報(bào)，更有可能由于該收集的數(shù)據(jù)未收集到而導(dǎo)致產(chǎn)品報(bào)廢?，F(xiàn)有技術(shù)中為了避免這種問題，需要人工對(duì)SPC系統(tǒng)進(jìn)行維護(hù)及設(shè)計(jì)。請(qǐng)參閱圖1，圖1所示為圖1為現(xiàn)有技術(shù)中用人工自動(dòng)更新策略配置文件的流程示意圖。從圖1中我們可以看出，在有DCSpec (數(shù)據(jù)采集規(guī)格)在MES (生產(chǎn)制造執(zhí)行系統(tǒng))修改數(shù)值后，SPC系統(tǒng)無法進(jìn)行自動(dòng)更新，需人工查詢MES系統(tǒng)采集的DC SPEC信息，然后根據(jù)MES系統(tǒng)的DCSpec手動(dòng)計(jì)算每個(gè)工藝參數(shù)的所需數(shù)值，并手動(dòng)將這些數(shù)值輸入PCB系統(tǒng)，建立和修改策略配置文件，例如人工設(shè)置量測(cè)地址端口(SITE COUNT)、與SITE COUNT相對(duì)應(yīng)的上下限(limit),包括:系統(tǒng)設(shè)定的控制上限(SPCUCL)和系統(tǒng)設(shè)定的控制下限(SPCLCL)，以及報(bào)警編號(hào)(Alarm)等。這種手動(dòng)更新的技術(shù)存在以下弊端:
[0005]1、一個(gè)制造工藝中的參數(shù)一般有200?300項(xiàng)，如若修改上百個(gè)DCSpec，則需要花費(fèi)7天左右的時(shí)間才能完成所有SPC策略的更新
[0006]2、手動(dòng)更新難免會(huì)在輸入時(shí)出現(xiàn)錯(cuò)誤，或者在計(jì)算上下限時(shí)出現(xiàn)計(jì)算錯(cuò)誤等，進(jìn)而造成SPC策略更新的錯(cuò)誤，給工藝帶來隱患；
[0007]3、若需要人工檢查更新是否有錯(cuò)誤，則更加增加了人力和時(shí)間。
[0008]綜上，如何提供一種SPC策略自動(dòng)更新方案，改變現(xiàn)有技術(shù)手動(dòng)更新的模式，來提高修改效率和準(zhǔn)確率，是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)問題之一。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]本發(fā)明的目的在于提供一種SPC策略自動(dòng)更新方法及SPC自動(dòng)策略系統(tǒng)，改變現(xiàn)有技術(shù)手動(dòng)更新的模式，來提高更新效率和數(shù)據(jù)準(zhǔn)確率。
[0010]為解決上述問題，本發(fā)明提出一種SPC策略自動(dòng)更新方法，包括:
[0011]從生產(chǎn)制造執(zhí)行系統(tǒng)中抓取數(shù)據(jù)采集規(guī)格信息；
[0012]根據(jù)所述數(shù)據(jù)采集規(guī)格信息的修改類型進(jìn)行不同程度的SPC策略修正:
[0013]若數(shù)據(jù)采集規(guī)格信息的修改類型為添加新的工藝參數(shù)，則保持SPC策略中原有工藝參數(shù)的配置數(shù)據(jù)不變，并按照預(yù)設(shè)更新公式在SPC策略中自動(dòng)添加所述新的工藝參數(shù)的配置數(shù)據(jù)；
[0014]若數(shù)據(jù)采集規(guī)格信息的修改類型為刪除工藝參數(shù)，則在SPC策略中自動(dòng)刪除對(duì)應(yīng)的工藝參數(shù)的配置數(shù)據(jù)，并保持其余工藝參數(shù)的配置文件數(shù)據(jù)；
[0015]若數(shù)據(jù)采集規(guī)格信息的修改類型為修改工藝參數(shù)的數(shù)值，則在SPC策略中修改該工藝參數(shù)配置數(shù)據(jù)中的中間限值。
[0016]進(jìn)一步的，所述方法還包括:在根據(jù)所述數(shù)據(jù)采集規(guī)格信息的修改類型進(jìn)行不同程度的SPC策略修正之后，檢驗(yàn)SPC策略修正是否正確，如果正確修正后的SPC策略生效，如果錯(cuò)誤，提示錯(cuò)誤信息。
[0017]進(jìn)一步的，所述數(shù)據(jù)采集規(guī)格信息中，一個(gè)工藝參數(shù)的數(shù)值包括目標(biāo)值、下限數(shù)值和上限數(shù)值。
[0018]進(jìn)一步的，所述SPC策略中一個(gè)工藝參數(shù)的配置數(shù)據(jù)包括:控制上限值、控制下限值和中間限值。
[0019]進(jìn)一步的，所述SPC策略中一個(gè)工藝參數(shù)的配置數(shù)據(jù)還包括報(bào)警編號(hào)。
[0020]進(jìn)一步的，所述預(yù)設(shè)更新公式用于根據(jù)任意新添加的工藝參數(shù)的目標(biāo)值、下限數(shù)值和上限數(shù)值，計(jì)算任意新添加的工藝參數(shù)的控制上限值和控制下限值。
[0021]進(jìn)一步的，按照預(yù)設(shè)更新公式在SPC策略中自動(dòng)添加所述新的工藝參數(shù)的配置數(shù)據(jù)包括:SPC控制上限=目標(biāo)值+(上限數(shù)值-目標(biāo)值)*第一百分比，SPC控制下限=目標(biāo)值-(目標(biāo)值-下限數(shù)值)*第二百分比。
[0022]進(jìn)一步的，第一百分比與第二百分比相等，均為75%。
[0023]本發(fā)明還提供一種SPC自動(dòng)策略系統(tǒng)，包括:
[0024]數(shù)據(jù)抓取模塊，用于從生產(chǎn)制造執(zhí)行系統(tǒng)中抓取數(shù)據(jù)采集規(guī)格信息；
[0025]自動(dòng)策略模塊，用于為數(shù)據(jù)抓取模塊抓取的數(shù)據(jù)采集規(guī)格信息建立SPC策略，并根據(jù)數(shù)據(jù)抓取模塊新抓取的數(shù)據(jù)采集規(guī)格信息的修改類型對(duì)原有的SPC策略進(jìn)行不同程度的修正:
[0026]若數(shù)據(jù)采集規(guī)格信息的修改類型為添加新的工藝參數(shù)，則保持SPC策略中原有工藝參數(shù)的配置數(shù)據(jù)不變，并按照預(yù)設(shè)更新公式在SPC策略中自動(dòng)添加所述新的工藝參數(shù)的配置數(shù)據(jù)；
[0027]若數(shù)據(jù)采集規(guī)格信息的修改類型為刪除工藝參數(shù)，則在SPC策略中自動(dòng)刪除對(duì)應(yīng)的工藝參數(shù)的配置數(shù)