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一種微機(jī)電系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)溫度補(bǔ)償裝置的制作方法

文檔序號(hào):11782315閱讀:422來源:國知局
一種微機(jī)電系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)溫度補(bǔ)償裝置的制作方法
本實(shí)用新型涉及一種微機(jī)電系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)溫度補(bǔ)償裝置,屬于無人機(jī)飛行控制器中微機(jī)電系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)溫度補(bǔ)償裝置。

背景技術(shù):
目前MEMS陀螺儀和加速度計(jì)受工藝限制,在不同的溫度下輸出有較大的參數(shù)漂移。以往的處理方案主要把傳感器置于緩慢變化的人工環(huán)境下,記錄不同溫度點(diǎn)對(duì)應(yīng)的參數(shù)輸出,獲得該期間的溫度補(bǔ)償曲線,然后再軟件上做相應(yīng)的補(bǔ)償。這種方案需要較長的時(shí)間來獲得溫度補(bǔ)償曲線,并且由于MEMS元件的特性,一旦傳感器受到輕微撞擊,溫度補(bǔ)償曲線也需要相應(yīng)變化。而用戶在生產(chǎn)環(huán)境下通常是沒有相應(yīng)的設(shè)備和條件來重新做溫度補(bǔ)償?shù)?,這就導(dǎo)致了無人機(jī)系統(tǒng)使用一段時(shí)間后性能惡化,精度降低。針對(duì)這一問題現(xiàn)有技術(shù)是利用控制電阻通過的電流,產(chǎn)生熱效應(yīng)對(duì)附近的MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))器件加溫,配合單片機(jī)控制貼片電阻的驅(qū)動(dòng)電路可以達(dá)到MEMS期間恒溫效果,通過設(shè)置MEMS器件的恒溫工作環(huán)境,得到更精度的數(shù)據(jù)輸出(現(xiàn)有這一技術(shù)的核心是利用電阻加熱和自然散熱,把MEMS陀螺儀或者加速度計(jì)的芯片溫度維持在一個(gè)恒定的高于常溫的溫度上)。但是現(xiàn)有的這項(xiàng)技術(shù)是通過電阻產(chǎn)生熱效應(yīng)能夠達(dá)到對(duì)MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))器件加溫,是將電阻直接設(shè)置在MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))器件上加溫,這樣的設(shè)計(jì)雖然能夠達(dá)到加溫效果,但是電阻產(chǎn)生的熱效應(yīng)對(duì)MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))器件加熱的均勻度不夠,導(dǎo)致精度偏低,同樣直接造成溫度補(bǔ)償缺乏。為此,需要設(shè)計(jì)一種新型微機(jī)電系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)溫度補(bǔ)償裝置,能夠綜合性地克服上述現(xiàn)有技術(shù)中微機(jī)電系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)溫度補(bǔ)償裝置存在的不足。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
本實(shí)用新型正是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的不足,提供一種微機(jī)電系統(tǒng)的動(dòng) 態(tài)溫度補(bǔ)償裝置,在滿足使用方便的前提下,能夠避免電阻直接對(duì)MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))器件加熱造成加熱均勻度不夠的弊端,從而提高了MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))器件加熱的均勻度和精準(zhǔn)度,具有較好的安全性能,滿足實(shí)際使用要求。為解決上述問題,本實(shí)用新型所采取的技術(shù)方案如下:一種微機(jī)電系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)溫度補(bǔ)償裝置,包括:電路板和微機(jī)電系統(tǒng),所述微機(jī)電系統(tǒng)設(shè)置在電路板下方,所述微機(jī)電系統(tǒng)下方對(duì)應(yīng)所述微機(jī)電系統(tǒng)位置設(shè)置有加熱室,所述加熱室包括熱阻室和傳熱室,所述熱阻室內(nèi)設(shè)置熱管罩,所述熱管罩內(nèi)并排設(shè)置有若干電阻管,位于所述熱管罩兩端還設(shè)置有離心風(fēng)機(jī);所述熱阻室和傳熱室交界處并排且等間距設(shè)置有若干傳熱接口,所述傳熱室內(nèi)設(shè)置有高靈敏溫度傳感器,所述傳熱室外側(cè)壁上還設(shè)置有感應(yīng)閥門。作為上述技術(shù)方案的改進(jìn),所述熱管罩上設(shè)置有若干排氣孔,所述熱阻室的外側(cè)壁上設(shè)置有進(jìn)氣口,底部設(shè)置有排氣口。作為上述技術(shù)方案的改進(jìn),所述傳熱接口是由圓筒部分和圓錐部分組成,且圓筒部分是設(shè)置在所述傳熱室內(nèi),圓錐部分是設(shè)置在所述熱阻室內(nèi),且所述圓錐部分的側(cè)壁上設(shè)置有若干接風(fēng)口。作為上述技術(shù)方案的改進(jìn),所述電路板為薄電路板,且所述電路板的厚度設(shè)置在0.8-1.2毫米之間。本實(shí)用新型所述傳熱室與所述微機(jī)電系統(tǒng)交界。本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比較,本實(shí)用新型的實(shí)施效果如下:本實(shí)用新型所述的一種微機(jī)電系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)溫度補(bǔ)償裝置,在滿足使用方便的前提下,能夠避免電阻直接對(duì)MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))器件加熱造成加熱均勻度不夠的弊端,采用電阻電加熱空氣的,再通過熱空氣對(duì)MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))器件進(jìn)行加熱,從而提高了MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))器件加熱的均勻度和精準(zhǔn)度,具有較好的安全性能,滿足實(shí)際使用要求。附圖說明圖1為本實(shí)用新型所述的一種微機(jī)電系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)溫度補(bǔ)償裝置結(jié)構(gòu)示意圖;圖2為本實(shí)用新型所述的一種微機(jī)電系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)溫度補(bǔ)償裝置工作流程結(jié)構(gòu)示意圖;圖3為本實(shí)用新型所述的一種微機(jī)電系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)溫度補(bǔ)償裝置中傳熱接口截面結(jié)構(gòu)示意圖。具體實(shí)施方式下面將結(jié)合具體的實(shí)施例來說明本實(shí)用新型的內(nèi)容。如圖1至圖3所示,為本實(shí)用新型所述的一種微機(jī)電系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)溫度補(bǔ)償裝置結(jié)構(gòu)示意圖。本實(shí)用新型所述一種微機(jī)電系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)溫度補(bǔ)償裝置,包括:電路板10和微機(jī)電系統(tǒng)20,微機(jī)電系統(tǒng)20設(shè)置在電路板10下方,微機(jī)電系統(tǒng)20下方對(duì)應(yīng)微機(jī)電系統(tǒng)20位置設(shè)置有加熱室,加熱室包括熱阻室30和傳熱室40,熱阻室30內(nèi)設(shè)置熱管罩31,熱管罩31內(nèi)并排設(shè)置有若干電阻管32,位于熱管罩31兩側(cè)還設(shè)置有離心風(fēng)機(jī)34;熱阻室30和傳熱室40交界處并排且等間距設(shè)置有若干傳熱接口50,傳熱室40內(nèi)設(shè)置有高靈敏溫度傳感器41,傳熱室40外側(cè)壁上還設(shè)置有感應(yīng)閥門42。熱管罩31上設(shè)置有若干排氣孔33,熱阻室30的外側(cè)壁上設(shè)置有進(jìn)氣口35,底部設(shè)置有排氣口36。本實(shí)用新型所述的一種微機(jī)電系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)溫度補(bǔ)償裝置,在滿足使用方便的前提下,能夠避免電阻直接對(duì)MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))器件加熱造成加熱均勻度不夠的弊端,采用電阻電加熱空氣的方式,再通過熱空氣對(duì)MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))器件進(jìn)行加熱,從而提高了MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))器件加熱的均勻度和精準(zhǔn)度,具有較好的安全性能,滿足實(shí)際使用要求。本實(shí)用新型所述的一種微機(jī)電系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)溫度補(bǔ)償裝置,如圖3所示,傳熱接口50是由圓筒部分51和圓錐部分52組成,且圓筒部分51是設(shè)置在所述傳熱室40內(nèi),圓錐部分52是設(shè)置在熱阻室30內(nèi),且圓錐部分52的側(cè)壁上設(shè)置有若干接風(fēng)口53。當(dāng)啟動(dòng)熱阻室30內(nèi)電阻管32發(fā)熱后,熱阻室30內(nèi)空氣的溫度會(huì)迅速上升,且此時(shí)在離心風(fēng)機(jī)34作用下,會(huì)在熱 阻室30內(nèi)形成循環(huán)作用,熱空氣在循環(huán)過程中傳熱接口50會(huì)產(chǎn)生對(duì)熱空氣的阻力,熱空氣會(huì)順著圓錐部分52上的接風(fēng)口53進(jìn)入到傳熱室內(nèi),然后熱空氣直接對(duì)MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))器件加熱。具體地,電路板10為薄電路板,且電路板10的厚度設(shè)置在0.8-1.2毫米之間。便于安裝和使用,且能夠節(jié)省材料。本實(shí)用新型所述的一種微機(jī)電系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)溫度補(bǔ)償裝置,是利用控制電阻通過的電流,產(chǎn)生熱效應(yīng)對(duì)周圍的空氣加溫,配合單片機(jī)控制電阻的驅(qū)動(dòng)電路可以通過加熱空氣進(jìn)行傳熱達(dá)到MEMS期間恒溫效果,可以改變兩組離心風(fēng)機(jī)34的旋轉(zhuǎn)方向以形成相互對(duì)流作用,加快熱空氣進(jìn)入傳熱室內(nèi)40的速度,且通過設(shè)置MEMS器件的恒溫工作環(huán)境,得到更精度的數(shù)據(jù)輸出。以上內(nèi)容是結(jié)合具體的實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型所作的詳細(xì)說明,不能認(rèn)定本實(shí)用新型具體實(shí)施僅限于這些說明。對(duì)于本實(shí)用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員來說,在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下,還可以做出若干簡單推演或替換,都應(yīng)當(dāng)視為屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
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