技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種用于搬送緩存腔體的壓力控制系統(tǒng)及壓力控制方法。用于搬送緩存腔體的壓力控制系統(tǒng)包括：安裝在進(jìn)入搬送緩存腔體的氮?dú)饬魅牍苈分械牧髁靠刂破?，用于控制?jīng)由氮?dú)饬魅牍苈愤M(jìn)入搬送緩存腔體的氮?dú)饬髁俊?br/>
技術(shù)研發(fā)人員：顧海龍;裴雷洪;嚴(yán)駿;石慶球
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海華力微電子有限公司
文檔號(hào)碼：201610924439
技術(shù)研發(fā)日：2016.10.24
技術(shù)公布日：2017.01.04