草酸濃度控制器的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開一種草酸濃度控制器，包括主機臺、計量補給部以及測定控制部；所述計量補給部包括酸液進入口、酸液回流口以及凈水補給口；待測酸液從所述酸液進入口進入流經(jīng)所述計量補給部后從所述酸液回流口流出；所述計量補給部向所述測定控制部提供部分所述待測酸液；所述測定控制部測量所述待測酸液的電導率并向所述計量補給部發(fā)出補給指令，控制所述凈水補給口向所述酸液回流口提供凈水補給。本實用新型根據(jù)藥液的電導率，實時計算出藥液的濃度，并進行控制，能更好的保證產(chǎn)品的質(zhì)量，并且有效的延長藥液的使用壽命，減少使用費用。
【專利說明】草酸濃度控制器

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及蝕刻液濃度測定控制設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種草酸濃度控制器。

【背景技術(shù)】
[0002]TFT、觸摸屏ITO膜蝕刻液用量比較大，必須24H連續(xù)生產(chǎn)，對蝕刻液濃度控制必須實時進行，用化學滴定法，周期長，而且需要離線測量，不能很好的實時監(jiān)控。實際在生產(chǎn)過程中，為了節(jié)省ITO膜蝕刻液的用量，ITO膜蝕刻液需要反復使用，一次加入量在400L左右，因此需要實時對草酸濃度進行測定以保證藥液濃度在一定的可控范圍內(nèi)。
實用新型內(nèi)容
[0003]本實用新型的目的是:提供一種草酸濃度控制器，根據(jù)草酸液的濃度與電導率曲線相關(guān)，通過實時測量藥液的電導率計算出藥液的實時濃度，并根據(jù)實時濃度對系統(tǒng)進行補水，保證藥液濃度在一定的可控范圍內(nèi)，減少了濃度波動對產(chǎn)品質(zhì)量的影響。
[0004]為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型的技術(shù)方案是:
[0005]一種草酸濃度控制器，包括主機臺、計量補給部以及測定控制部；所述計量補給部包括酸液進入口、酸液回流口以及凈水補給口 ；待測酸液從所述酸液進入口進入流經(jīng)所述計量補給部后從所述酸液回流口流出；所述計量補給部向所述測定控制部提供部分所述待測酸液；所述測定控制部測量所述待測酸液的電導率并向所述計量補給部發(fā)出補給指令，控制所述凈水補給口向所述酸液回流口提供凈水補給。
[0006]進一步的，所述計量補給部還包括凈水供應(yīng)口，連接于外部凈水源。
[0007]進一步的，還包括廢液排放口。
[0008]本實用新型由于采用了上述技術(shù)，使之與現(xiàn)有技術(shù)相比具有的積極效果是:
[0009]本實用新型由于設(shè)置了測定控制部和計量補給部，通過實時測量藥液的電導率，根據(jù)草酸液的濃度與電導率曲線關(guān)系，計算出藥液的實時濃度，并根據(jù)實時濃度對系統(tǒng)進行補水，保證藥液濃度在一定的可控范圍內(nèi)，減少了濃度波動對產(chǎn)品質(zhì)量的影響。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1為本實用新型草酸濃度控制器的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實施方式】
[0011]以下結(jié)合附圖進一步說明本實用新型的實施例。
[0012]請參見圖1所示，一種草酸濃度控制器，包括主機臺1、計量補給部2以及測定控制部3 ;所述計量補給部2包括酸液進入口 4、酸液回流口 5以及凈水補給口 8 ;待測酸液從所述酸液進入口 4進入流經(jīng)所述計量補給部2后從所述酸液回流口 5流出；所述計量補給部2向所述測定控制部3提供部分所述待測酸液；所述測定控制部3測量所述待測酸液的電導率并向所述計量補給部2發(fā)出補給指令，控制所述凈水補給口 8向所述酸液回流口 5提供凈水補給。
[0013]優(yōu)選的，所述計量補給部2還包括凈水供應(yīng)口 7，連接于外部凈水源。
[0014]優(yōu)選的，還包括廢液排放口 6，用于草酸濃度控制器內(nèi)的廢液排出。
[0015]本實用新型通過測定控制部3通過實時測量藥液的電導率，根據(jù)草酸液的濃度與電導率曲線關(guān)系，計算出藥液的實時濃度，并根據(jù)實時濃度確定系統(tǒng)需要的補水量，然后向計量補給部2發(fā)出指令，通過凈水補給口 8向酸液回流口 5補給凈水，保證藥液濃度在一定的可控范圍內(nèi)，減少了濃度波動對產(chǎn)品質(zhì)量的影響。
[0016]請參見圖1所示，根據(jù)生產(chǎn)需求，從刻蝕機臺10中的TANK(儲液箱)A or TANK B中給機臺供液，供液的同時通過酸液進入口 4給本實用新型草酸濃度控制器供應(yīng)液體，測定控制部3測得供液的導電率，并計算得待測液的濃度，進而計算補水的量和時間，濃度偏得越高，相對補水時間越長。
[0017]綜上所述，本實用新型根據(jù)藥液的電導率，實時計算出藥液的濃度，并進行控制，能更好的保證產(chǎn)品的質(zhì)量，并且有效的延長藥液的使用壽命，減少使用費用。
【權(quán)利要求】
1.一種草酸濃度控制器，其特征在于:包括主機臺(1)、計量補給部(2)以及測定控制部⑶；所述計量補給部(2)包括酸液進入口(4)、酸液回流口(5)以及凈水補給口⑶；待測酸液從所述酸液進入口(4)進入流經(jīng)所述計量補給部(2)后從所述酸液回流口(5)流出；所述計量補給部(2)向所述測定控制部(3)提供部分所述待測酸液；所述測定控制部(3)測量所述待測酸液的電導率并向所述計量補給部(2)發(fā)出補給指令，控制所述凈水補給口⑶向所述酸液回流口(5)提供凈水補給。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的草酸濃度控制器，其特征在于:所述計量補給部(2)還包括凈水供應(yīng)口(7)，連接于外部凈水源。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的草酸濃度控制器，其特征在于:還包括廢液排放口(6)。
【文檔編號】G05D11/13GK204129540SQ201420648719
【公開日】2015年1月28日 申請日期:2014年11月2日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月2日
【發(fā)明者】姚強, 蔣繼德, 劉寧, 繆星鑫 申請人:上海斡鈮禾自動化科技有限公司