翻轉(zhuǎn)機(jī)控制電路和晶圓翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實用新型提出了一種翻轉(zhuǎn)機(jī)控制電路和晶圓翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)，包括：翻轉(zhuǎn)機(jī)，安裝于翻轉(zhuǎn)機(jī)翻轉(zhuǎn)位置處多個并聯(lián)的接近開關(guān)，與接近開關(guān)相連的常開控制繼電器，常開控制繼電器串聯(lián)于翻轉(zhuǎn)機(jī)的回路中。在回路中添加常開控制繼電器，當(dāng)翻轉(zhuǎn)機(jī)內(nèi)部的晶圓位于其中一個翻轉(zhuǎn)位置時，則接近開關(guān)會導(dǎo)通，使常開控制繼電器導(dǎo)通，從而控制回路才導(dǎo)通，此時當(dāng)控制信號由翻轉(zhuǎn)機(jī)的控制電路發(fā)出時，翻轉(zhuǎn)機(jī)才能夠進(jìn)行翻轉(zhuǎn)；若翻轉(zhuǎn)機(jī)內(nèi)部的晶圓不處于翻轉(zhuǎn)位置時，回路無法導(dǎo)通，此時即便控制信號由翻轉(zhuǎn)機(jī)發(fā)出，回路翻轉(zhuǎn)機(jī)也不會進(jìn)行翻轉(zhuǎn)，這樣便能夠避免晶圓處于非翻轉(zhuǎn)位置時控制信號控制翻轉(zhuǎn)機(jī)翻轉(zhuǎn)，從而避免晶圓脫落造成損傷甚至造成報廢。
【專利說明】
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種翻轉(zhuǎn)機(jī)控制電路和晶圓翻轉(zhuǎn)系 統(tǒng)。 翻轉(zhuǎn)機(jī)控制電路和晶圓翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)

【背景技術(shù)】
[0002] 半導(dǎo)體行業(yè)中，翻轉(zhuǎn)機(jī)（Roller)用于整批翻轉(zhuǎn)晶圓以及傳輸晶圓。翻轉(zhuǎn)機(jī)內(nèi)部設(shè) 有一機(jī)械手臂（Robot Arm),機(jī)械手臂用于抓取晶圓，在相應(yīng)的翻轉(zhuǎn)位置處可以將晶圓翻轉(zhuǎn) 與水平線呈成不同的角度，例如90度、180度或者270度。
[0003] 現(xiàn)有技術(shù)中，翻轉(zhuǎn)機(jī)設(shè)有4個翻轉(zhuǎn)位置，分別是0度、90度、180度以及270度；在 翻轉(zhuǎn)機(jī)處于〇度位置時，晶圓能夠通過機(jī)械手臂裝載在所述翻轉(zhuǎn)機(jī)內(nèi)部或者由機(jī)械手臂將 晶圓從翻轉(zhuǎn)機(jī)內(nèi)卸載至晶圓盒之中，并不對晶圓進(jìn)行角度的翻轉(zhuǎn)。若需要對晶圓進(jìn)行翻轉(zhuǎn)， 那么翻轉(zhuǎn)機(jī)必須位于90度、180度或者270度的翻轉(zhuǎn)位置時，才能對晶圓進(jìn)行相應(yīng)的角度翻 轉(zhuǎn)。翻轉(zhuǎn)機(jī)內(nèi)部設(shè)有控制電路，控制電路用于發(fā)出控制信號，翻轉(zhuǎn)機(jī)在得到相應(yīng)的控制信號 時，會在相應(yīng)的翻轉(zhuǎn)位置處進(jìn)行相應(yīng)的翻轉(zhuǎn)動作，例如在90度的翻轉(zhuǎn)位置處，翻轉(zhuǎn)機(jī)得到 第一次控制信號時，翻轉(zhuǎn)機(jī)會通過機(jī)械手臂將晶圓從0度翻轉(zhuǎn)至90度，在180度的翻轉(zhuǎn)位 置處，在翻轉(zhuǎn)機(jī)得到第二次控制信號時，翻轉(zhuǎn)機(jī)會通過機(jī)械手臂將晶圓從90度翻轉(zhuǎn)至180 度，以此類推。
[0004] 當(dāng)翻轉(zhuǎn)機(jī)內(nèi)部出現(xiàn)異常，翻轉(zhuǎn)機(jī)的機(jī)械手臂可能位于翻轉(zhuǎn)機(jī)除以上四個翻轉(zhuǎn)位置 的其他任何位置處（非翻轉(zhuǎn)位置），或者控制電路無法確認(rèn)翻轉(zhuǎn)機(jī)機(jī)械手臂的具體位置時， 此時若翻轉(zhuǎn)機(jī)得到控制信號，則會導(dǎo)致晶圓在非翻轉(zhuǎn)位置處進(jìn)行翻轉(zhuǎn)，從而致使晶圓從機(jī) 械手臂上脫落，造成晶圓的損傷，甚至報廢。
[0005] 然而，現(xiàn)有技術(shù)中的翻轉(zhuǎn)機(jī)控制信號是由控制電路發(fā)出24V直流電壓信號作為控 制信號。因此，只要控制電路發(fā)出控制信號，翻轉(zhuǎn)機(jī)得到相應(yīng)的電壓信號，因此翻轉(zhuǎn)機(jī)不管 晶圓是否處于正確的翻轉(zhuǎn)位置（例如90度、180度或270度）其均會自動進(jìn)行翻轉(zhuǎn)，那么此 時的控制信號將會導(dǎo)致晶圓從機(jī)械手臂上脫落，進(jìn)而會導(dǎo)致晶圓的損傷和報廢，存在極大 的風(fēng)險。 實用新型內(nèi)容
[0006] 本實用新型的目的在于提供一種翻轉(zhuǎn)機(jī)控制電路和晶圓翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)，能夠確保翻轉(zhuǎn) 機(jī)在晶圓處于非翻轉(zhuǎn)位置時即便是獲得控制信號也不會進(jìn)行翻轉(zhuǎn)，進(jìn)而保護(hù)晶圓。
[0007] 為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型提出了 一種翻轉(zhuǎn)機(jī)控制電路，所述翻轉(zhuǎn)機(jī)控制電 路包括：多個接近開關(guān)、常開控制繼電器和回路，所述多個接近開關(guān)并聯(lián)且分別位于翻轉(zhuǎn)機(jī) 的多個翻轉(zhuǎn)位置處，所述常開控制繼電器串聯(lián)于所述回路中，所述接近開關(guān)與所述常開控 制繼電器相連。
[0008] 可選的，在所述的翻轉(zhuǎn)機(jī)控制電路中，所述回路包括一信號繼電器，所述信號繼電 器與所述常開控制繼電器串聯(lián)。
[0009] 可選的，在所述的翻轉(zhuǎn)機(jī)控制電路中，所述接近開關(guān)的個數(shù)為4個。
[0010] 本實用新型還提出了一種晶圓翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)，所述晶圓翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)包括：翻轉(zhuǎn)機(jī)以及如 上文任意一項所述的翻轉(zhuǎn)機(jī)控制電路。
[0011] 可選的，在所述的晶圓翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)中，所述翻轉(zhuǎn)機(jī)系統(tǒng)還包括一翻轉(zhuǎn)馬達(dá)，所述翻轉(zhuǎn) 馬達(dá)位于所述翻轉(zhuǎn)機(jī)的內(nèi)部。
[0012] 可選的，在所述的晶圓翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)中，所述翻轉(zhuǎn)機(jī)系統(tǒng)還包括一剎車裝置，所述剎車 裝置位于所述翻轉(zhuǎn)機(jī)的內(nèi)部并與所述翻轉(zhuǎn)馬達(dá)相連。
[0013] 可選的，在所述的晶圓翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)中，所述剎車裝置與所述回路通過信號線進(jìn)行信 號連接。
[0014] 可選的，在所述的晶圓翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)中，所述翻轉(zhuǎn)位置和接近開關(guān)的個數(shù)均為四個。
[0015] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果主要體現(xiàn)在：在控制翻轉(zhuǎn)的回路中添加 一常開控制繼電器，并在翻轉(zhuǎn)機(jī)內(nèi)部多個翻轉(zhuǎn)位置處安裝多個接近開關(guān)，接近開關(guān)相互之 間并聯(lián)并與常開控制繼電器相連，當(dāng)翻轉(zhuǎn)機(jī)內(nèi)部的晶圓位于其中一個翻轉(zhuǎn)位置時，則接近 開關(guān)會導(dǎo)通，使常開控制繼電器導(dǎo)通，從而控制回路才導(dǎo)通，此時當(dāng)控制信號由翻轉(zhuǎn)機(jī)的控 制電路發(fā)出時，翻轉(zhuǎn)機(jī)才能夠進(jìn)行翻轉(zhuǎn)；若翻轉(zhuǎn)機(jī)內(nèi)部的晶圓不處于翻轉(zhuǎn)位置時，回路無法 導(dǎo)通，此時即便控制信號由翻轉(zhuǎn)機(jī)發(fā)出，回路翻轉(zhuǎn)機(jī)也不會進(jìn)行翻轉(zhuǎn)，這樣便能夠避免晶圓 處于非翻轉(zhuǎn)位置時控制信號控制翻轉(zhuǎn)機(jī)翻轉(zhuǎn)，從而避免晶圓脫落造成損傷甚至造成報廢。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0016] 圖1為本實用新型一實施例中晶圓翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實施方式】
[0017] 下面將結(jié)合示意圖對本實用新型的翻轉(zhuǎn)機(jī)控制電路和晶圓翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)進(jìn)行更詳細(xì) 的描述，其中表示了本實用新型的優(yōu)選實施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描 述的本實用新型，而仍然實現(xiàn)本實用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對于本 領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對本實用新型的限制。
[0018] 為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能 和結(jié)構(gòu)，因為它們會使本實用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實際實施例 的開發(fā)中，必須做出大量實施細(xì)節(jié)以實現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商 業(yè)的限制，由一個實施例改變?yōu)榱硪粋€實施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和 耗費(fèi)時間的，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。
[0019] 在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實用新型。根據(jù)下面說明和權(quán) 利要求書，本實用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且 均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。
[0020] 請參考圖1，在本實施例中，提出了一種翻轉(zhuǎn)機(jī)控制電路，用于控制翻轉(zhuǎn)機(jī)的翻轉(zhuǎn)， 所述翻轉(zhuǎn)機(jī)控制電路包括：多個接近開關(guān)40、常開控制繼電器20和回路，所述接近開關(guān)40 相互之間并聯(lián)且分別位于翻轉(zhuǎn)機(jī)的多個翻轉(zhuǎn)位置處，所述常開控制繼電器20串聯(lián)于所述 回路中，所述接近開關(guān)40與常開控制繼電器20相連。
[0021] 在本實施例中，所述回路包括信號繼電器10,所述信號繼電器10與所述常開控制 繼電器20串聯(lián)。
[0022] 在本實施例中，所述接近開關(guān)40的個數(shù)為4個，四個接近開關(guān)40分別與翻轉(zhuǎn)機(jī)的 四個翻轉(zhuǎn)位置相對應(yīng)，分別設(shè)置于不同的翻轉(zhuǎn)位置處，用于探測翻轉(zhuǎn)位置處是否存在晶圓， 在本實施例以外的其它實施例中，若翻轉(zhuǎn)位置不止4個，則可以相應(yīng)的調(diào)整接近開關(guān)40的 個數(shù)。
[0023] 根據(jù)本實用新型的另一面，還提供一種晶圓翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)，所述晶圓翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)包括翻 轉(zhuǎn)機(jī)（圖未示出）以及與所述翻轉(zhuǎn)機(jī)連接的翻轉(zhuǎn)機(jī)控制電路，所述翻轉(zhuǎn)機(jī)控制電路包括多 個接近開關(guān)40、常開控制繼電器20和回路，所述接近開關(guān)40相互之間并聯(lián)且分別位于翻轉(zhuǎn) 機(jī)的多個翻轉(zhuǎn)位置處，所述常開控制繼電器20串聯(lián)于所述回路中，所述接近開關(guān)40與常開 控制繼電器20相連。
[0024] 在本實施例中，所述信號繼電器10用于接收與所述翻轉(zhuǎn)機(jī)連接的翻轉(zhuǎn)機(jī)控制電 路發(fā)出的24V直流電壓信號，所述控制信號即為24V直流電壓信號，S卩，當(dāng)所述信號繼電器 10獲得控制信號時，則信號繼電器10會導(dǎo)通，若所述信號繼電器10沒有獲得控制信號，則 信號繼電器10處于斷開狀態(tài)。同時，在本實施例中，所述常開控制繼電器20為常開繼電器， 確保在未接收到接近開關(guān)40發(fā)來的信號時，所述常開控制繼電器20保持?jǐn)嚅_狀態(tài)。
[0025] 在本實施例中，所述翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)還包括一翻轉(zhuǎn)馬達(dá)（圖未示出），所述翻轉(zhuǎn)馬達(dá)位于 所述翻轉(zhuǎn)機(jī)的內(nèi)部，所述晶圓翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)還包括一剎車裝置30,所述剎車裝置30位于所述翻 轉(zhuǎn)機(jī)的內(nèi)部并與所述翻轉(zhuǎn)馬達(dá)相連，所述剎車裝置30與所述回路信號連接；當(dāng)回路處于斷 開的狀態(tài)時，剎車裝置30與所述翻轉(zhuǎn)馬達(dá)緊貼，給翻轉(zhuǎn)馬達(dá)增加摩擦力，避免翻轉(zhuǎn)馬達(dá)發(fā) 生翻轉(zhuǎn)；當(dāng)回路處于導(dǎo)通的狀態(tài)時，剎車裝置30與所述翻轉(zhuǎn)馬達(dá)松開，使翻轉(zhuǎn)馬達(dá)能夠發(fā) 生翻轉(zhuǎn)。
[0026] 在本實施例中，所述翻轉(zhuǎn)位置和接近開關(guān)40的個數(shù)均為四個，兩者位置一一對 應(yīng)，所述接近開關(guān)40也為常開開關(guān)；在本實施例以外的其他實施例中，所述翻轉(zhuǎn)位置以及 接近開關(guān)40的個數(shù)均可以由具體要求來決定。
[0027] 本實施例提出的晶圓翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)，當(dāng)翻轉(zhuǎn)機(jī)內(nèi)部的晶圓處于其中一個位置時，那么 該位置的接近開關(guān)40會導(dǎo)通，進(jìn)而促使常開控制繼電器20導(dǎo)通，若此時翻轉(zhuǎn)機(jī)發(fā)出控制信 號，則會使信號繼電器10導(dǎo)通，從而保證整個回路導(dǎo)通，使翻轉(zhuǎn)機(jī)進(jìn)行正常的翻轉(zhuǎn)；若翻轉(zhuǎn) 機(jī)內(nèi)部的晶圓并不處于四個翻轉(zhuǎn)位置中的任何一個位置，則接近開關(guān)40不會導(dǎo)通，不會使 常開控制繼電器20導(dǎo)通，若翻轉(zhuǎn)機(jī)發(fā)出翻轉(zhuǎn)的信號，也翻轉(zhuǎn)機(jī)也不會進(jìn)行翻轉(zhuǎn)，從而能夠 保證處于內(nèi)部的晶圓安全不別損傷。
[0028] 綜上，在本實用新型實施例提供的翻轉(zhuǎn)機(jī)控制電路和晶圓翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)中，在控制翻 轉(zhuǎn)的控制回路中添加一常開控制繼電器，并在翻轉(zhuǎn)機(jī)內(nèi)部多個翻轉(zhuǎn)位置處安裝多個常開的 接近開關(guān)，接近開關(guān)相互之間并聯(lián)并與常開控制繼電器相連，當(dāng)翻轉(zhuǎn)機(jī)內(nèi)部的晶圓位于其 中一個翻轉(zhuǎn)位置時，則接近開關(guān)會導(dǎo)通，使常開控制繼電器導(dǎo)通，從而控制回路才導(dǎo)通，此 時當(dāng)控制信號由翻轉(zhuǎn)機(jī)的控制電路發(fā)出時，翻轉(zhuǎn)機(jī)才能夠進(jìn)行翻轉(zhuǎn)；若翻轉(zhuǎn)機(jī)內(nèi)部的晶圓 不處于翻轉(zhuǎn)位置時，回路無法導(dǎo)通，此時即便控制信號由翻轉(zhuǎn)機(jī)發(fā)出，回路翻轉(zhuǎn)機(jī)也不會進(jìn) 行翻轉(zhuǎn)，這樣便能夠避免晶圓處于非翻轉(zhuǎn)位置時控制信號控制翻轉(zhuǎn)機(jī)翻轉(zhuǎn)，從而避免晶圓 脫落造成損傷甚至造成報廢。
[0029] 上述僅為本實用新型的優(yōu)選實施例而已，并不對本實用新型起到任何限制作用。 任何所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員，在不脫離本實用新型的技術(shù)方案的范圍內(nèi)，對本實用新型 揭露的技術(shù)方案和技術(shù)內(nèi)容做任何形式的等同替換或修改等變動，均屬未脫離本實用新型 的技術(shù)方案的內(nèi)容，仍屬于本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1. 一種翻轉(zhuǎn)機(jī)控制電路，其特征在于，所述翻轉(zhuǎn)機(jī)控制電路包括：多個接近開關(guān)、常開 控制繼電器和回路，所述多個接近開關(guān)并聯(lián)且分別位于翻轉(zhuǎn)機(jī)的多個翻轉(zhuǎn)位置處，所述常 開控制繼電器串聯(lián)于所述回路中，所述接近開關(guān)與所述常開控制繼電器相連。
2. 如權(quán)利要求1所述的翻轉(zhuǎn)機(jī)控制電路，其特征在于，所述回路包括一信號繼電器，所 述信號繼電器與所述常開控制繼電器串聯(lián)。
3. 如權(quán)利要求1所述的翻轉(zhuǎn)機(jī)控制電路，其特征在于，所述接近開關(guān)的個數(shù)為4個。
4. 一種晶圓翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)，其特征在于，所述晶圓翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)包括：翻轉(zhuǎn)機(jī)以及如權(quán)利要求1 至3任意一項所述的翻轉(zhuǎn)機(jī)控制電路。
5. 如權(quán)利要求4所述的晶圓翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)，其特征在于，所述翻轉(zhuǎn)機(jī)系統(tǒng)還包括一翻轉(zhuǎn)馬 達(dá)，所述翻轉(zhuǎn)馬達(dá)位于所述翻轉(zhuǎn)機(jī)的內(nèi)部。
6. 如權(quán)利要求5所述的晶圓翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)，其特征在于，所述翻轉(zhuǎn)機(jī)系統(tǒng)還包括一剎車裝 置，所述剎車裝置位于所述翻轉(zhuǎn)機(jī)的內(nèi)部并與所述翻轉(zhuǎn)馬達(dá)相連。
7. 如權(quán)利要求6所述的晶圓翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)，其特征在于，所述剎車裝置與所述回路通過信 號線進(jìn)行信號連接。
8. 如權(quán)利要求4所述的晶圓翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)，其特征在于，所述翻轉(zhuǎn)位置和接近開關(guān)的個數(shù) 均為四個。
【文檔編號】G05B19/18GK203894595SQ201420291258
【公開日】2014年10月22日 申請日期:2014年6月3日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月3日
【發(fā)明者】張偉, 肖方, 倪堯, 潘建偉 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司