一種物料使用情況的監(jiān)控管理方法及系統(tǒng)的制作方法
【專(zhuān)利摘要】一種物料使用情況的監(jiān)控管理方法及系統(tǒng)，該方法包括：設(shè)置并獲取物料管理記錄標(biāo)準(zhǔn)配置文件；設(shè)置用于記錄參與該工藝過(guò)程的每一個(gè)晶圓承載器中每個(gè)物料的記錄文件，記錄文件與設(shè)備狀態(tài)記錄文件相關(guān)聯(lián)且根據(jù)設(shè)備狀態(tài)文件參數(shù)的變化而改變；每次工藝完成后，使用迭代的方法對(duì)每一個(gè)晶圓承載器中每個(gè)物料的使用次數(shù)值和膜厚值進(jìn)行記錄文件的累計(jì)更新；比較和判斷更新后的記錄文件參數(shù)是否達(dá)到或超出所述配置文件中相應(yīng)的配置項(xiàng)，如果是，輸出報(bào)警并執(zhí)行相應(yīng)的處理。本發(fā)明符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體設(shè)備的管控設(shè)計(jì)，能夠確保物料的管理記錄的準(zhǔn)確性、更新的實(shí)時(shí)性和通知的精確性。
【專(zhuān)利說(shuō)明】 一種物料使用情況的監(jiān)控管理方法及系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備工廠自動(dòng)化(Factory Automation)【技術(shù)領(lǐng)域】,更具體地說(shuō)，涉及一種物料使用情況的監(jiān)控管理方法及系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體設(shè)備的工廠自動(dòng)化監(jiān)控管理功能(Factory Automation)是半導(dǎo)體設(shè)備一項(xiàng)非常重要的功能，也是半導(dǎo)體設(shè)備加入工廠生產(chǎn)線的關(guān)鍵所在。管理準(zhǔn)確度的好壞直接影響到硅片(物料)的合格率的高低。
[0003]具體地說(shuō)，物料設(shè)備的物料管理，涉及到記錄物料的使用情況，根據(jù)工藝實(shí)時(shí)更新物料的使用情況，達(dá)到限制后如何通知主機(jī)，物料的管理不僅要求記錄的準(zhǔn)確性，更新的實(shí)時(shí)性和通知的精確性。
[0004]工廠自動(dòng)化對(duì)物料的使用情況有著非常嚴(yán)格的限制標(biāo)準(zhǔn)，且這些標(biāo)準(zhǔn)條件發(fā)生異常時(shí)，也會(huì)對(duì)設(shè)備和產(chǎn)品產(chǎn)生較大的危害。
[0005]本領(lǐng)域技術(shù)人員清楚，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，晶圓有四種類(lèi)型，分別是陪片(Dummy)，特殊陪片(ExtraDummy),產(chǎn)品片(Product)和檢測(cè)片(Monitor)。Dummy 和 ExtraDummy 有使用次數(shù)和累積膜厚的限制，Product和Monitor只能使用一次不能多次使用，所以發(fā)明的物料管理方法是針對(duì)Dummy和ExtraDummy的。
[0006]陪片(Dummy)和特殊陪片(ExtraDummy)類(lèi)型的物料是用來(lái)監(jiān)控工藝參數(shù),陪片也被稱(chēng)為控片，可重復(fù)利用，但控片有一定的使用次數(shù)，超過(guò)后就應(yīng)該報(bào)廢或降級(jí)做其他工藝的控片。因此，當(dāng)Dummy和ExtraDummy類(lèi)型的物料的使用次數(shù)或累積膜厚達(dá)到最大限制時(shí)，必須及時(shí)通知生產(chǎn)線上的主機(jī)，及時(shí)停止該物料參加工藝并運(yùn)送出設(shè)備。
[0007]然而，目前業(yè)界較常見(jiàn)的Dummy和ExtraDummy類(lèi)型的物料的使用次數(shù)或累積膜厚監(jiān)控管理，還是以人工或半人工記錄監(jiān)控管理為主，其在及時(shí)且準(zhǔn)確地掌握物料的使用當(dāng)前狀態(tài)方面存在如下問(wèn)題:
[0008]①、由于人為因數(shù)的影響，會(huì)使記錄數(shù)據(jù)的全面和準(zhǔn)確性帶來(lái)誤差；
[0009]②、數(shù)據(jù)的更新會(huì)有一定的延遲。
[0010]③、斷電重啟或軟件系統(tǒng)重啟時(shí)，不能夠保持物料的使用情況記錄。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]本發(fā)明的目的在于提供一種對(duì)物料使用情況的監(jiān)控管理方法，其通過(guò)將配置文件設(shè)置為使用次數(shù)(Usage Count)或累積膜厚(Accumulate Thickness)、采用記錄物料使用情況的XML文件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、物料使用情況更新的方法以及觸發(fā)使用超限的方法和事件設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)一種具有準(zhǔn)確性、更新實(shí)時(shí)性和通知精確性的物料使用的管理方法。
[0012]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0013]一種物料使用情況的監(jiān)控管理方法，所述方法包括:
[0014]步驟S1:設(shè)置并獲取物料管理記錄標(biāo)準(zhǔn)配置文件，其中，所述配置文件的配置項(xiàng)包括物料的使用次數(shù)標(biāo)準(zhǔn)和物料的累計(jì)膜厚標(biāo)準(zhǔn)；
[0015]步驟S2:設(shè)置用于記錄參與該工藝過(guò)程的每一個(gè)晶圓承載器及其每個(gè)物料參數(shù)的記錄文件，其中，記錄文件的參數(shù)包括物料的名稱(chēng)、物料的類(lèi)型、物料的使用次數(shù)和物料的累積膜厚；所述記錄文件與設(shè)備狀態(tài)記錄文件相關(guān)聯(lián)且根據(jù)設(shè)備狀態(tài)文件參數(shù)的變化而改變；
[0016]步驟S3:每次工藝完成后，物料的管理以晶圓承載器的使用次數(shù)和膜厚為基準(zhǔn)，使用迭代的方法遍歷晶圓承載器中所有物料的使用次數(shù)和累積膜厚，獲得該晶圓承載器中物料的最大使用次數(shù)和最大累積膜厚，即為晶圓承載器的使用次數(shù)和膜厚，并對(duì)每一個(gè)晶圓承載器及其每個(gè)物料的使用次數(shù)值和膜厚值進(jìn)行記錄文件的累計(jì)更新；其中，晶圓承載器的使用次數(shù)等于晶圓承載器中包含的所有物料的最大使用次數(shù)，同理晶圓承載器的膜厚等于晶圓承載器中包含的所有物料的最大累積膜厚；
[0017]步驟S4:比較和判斷更新后晶圓承載器的記錄文件參數(shù)是否達(dá)到或超出所述配置文件中相應(yīng)的配置項(xiàng)，如果是，輸出報(bào)警并執(zhí)行相應(yīng)的處理；如果不是，繼續(xù)執(zhí)行步驟S3。
[0018]優(yōu)選地，所述物料為每個(gè)承載器中陪片和/或特殊陪片，所述配置文件的配置項(xiàng)包括陪片的最大使用次數(shù)值、特殊陪片的最大使用次數(shù)值、陪片的最大累計(jì)膜厚值、和/或特殊陪片的最大累計(jì)膜厚值。
[0019]優(yōu)選地,所述步驟S3具體包括如下步驟:
[0020]步驟S31:以承載器為判斷單位，確定每個(gè)承載器內(nèi)所有物料的最大使用次數(shù)，遍歷并使用迭代的方法累計(jì)與當(dāng)前設(shè)備狀態(tài)記錄文件相關(guān)聯(lián)的每個(gè)承載器內(nèi)所有物料的使用次數(shù)；
[0021]步驟S32:如果其中某物料的使用次數(shù)大于其最大使用次數(shù)，則該承載器的最大使用次數(shù)等于該物料的使用次數(shù)，直到比較完最后的物料后，承載器的使用次數(shù)由獲取物料的最大使用次數(shù)確定。
[0022]優(yōu)選地，所述步驟4具體包括:啟動(dòng)讀取配置文件，在工藝結(jié)束更新完物料使用情況后，讀取配置項(xiàng)中物料的最大使用次數(shù)，然后，判斷承載器的使用次數(shù)是否超出設(shè)置的最大使用次數(shù)，如果超出范圍觸發(fā)事件并拋出報(bào)警信息。
[0023]優(yōu)選地,所述步驟S3具體包括如下步驟:
[0024]步驟S31':以承載器為判斷單位，確定每個(gè)承載器內(nèi)所有物料的最大累計(jì)膜厚值，遍歷并使用迭代的方法累計(jì)與當(dāng)前設(shè)備狀態(tài)記錄文件相關(guān)聯(lián)的每個(gè)承載器內(nèi)所有物料的累計(jì)膜厚值；
[0025]步驟S32':如果其中某物料的累計(jì)膜厚值大于其最大累計(jì)膜厚值，則該承載器的最大使用次數(shù)等于該物料的累計(jì)膜厚值，直到比較完最后的物料后，承載器的累計(jì)膜厚值由獲取物料的最大累計(jì)膜厚值確定。
[0026]優(yōu)選地，所述步驟4具體包括:啟動(dòng)讀取配置文件，在工藝結(jié)束更新完物料使用情況后，讀取配置項(xiàng)中物料的最大累計(jì)膜厚值，然后，判斷承載器的累計(jì)膜厚值是否超出設(shè)置的最大累計(jì)膜厚值，如果超出范圍觸發(fā)事件并拋出報(bào)警信息。
[0027]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案還包括如下:
[0028]一種物料使用情況的監(jiān)控管理系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括:物料使用情況記錄文件，其通過(guò)數(shù)據(jù)聯(lián)動(dòng)單元與設(shè)備狀態(tài)記錄文件相關(guān)聯(lián)；還包括物料情況記錄配置單元、管控單元、處理單元和報(bào)警限制單元；每次工藝完成后，所述管控單元控制處理單元使用迭代的方法對(duì)每一個(gè)晶圓承載器中每個(gè)物料的使用次數(shù)值和膜厚值進(jìn)行記錄文件的累計(jì)更新，比較和判斷更新后晶圓承載器的記錄文件參數(shù)是否達(dá)到或超出所述配置文件中相應(yīng)的配置項(xiàng)，并通過(guò)所述報(bào)警限制單元輸出報(bào)警并執(zhí)行相應(yīng)的處理。
[0029]優(yōu)選地，所述管控單元、處理單元和報(bào)警由機(jī)架構(gòu)構(gòu)成；其中，下位機(jī)為可編程控制器。
[0030]從上述技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明一種物料使用情況的監(jiān)控管理方法及系統(tǒng)，其主要有以下四個(gè)部分組成，分別是管理標(biāo)準(zhǔn)配置，物料使用情況記錄，物料使用情況更新和超出限制觸發(fā)事件。本發(fā)明用于符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體設(shè)備軟件設(shè)計(jì)，能夠確保物料的管理記錄的準(zhǔn)確性、更新的實(shí)時(shí)性和通知的精確性。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0031]圖1為本發(fā)明物料使用情況的監(jiān)控管理系統(tǒng)一較佳實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖
[0032]圖2為本發(fā)明物料使用情況的監(jiān)控管理方法一較佳實(shí)施例的流程示意圖
[0033]圖3為本發(fā)明實(shí)施例中用戶配置設(shè)置結(jié)構(gòu)圖
[0034]圖4為本發(fā)明實(shí)施例中物料使用情況記錄結(jié)構(gòu)圖
[0035]圖5為本發(fā)明實(shí)施例中物料使用情況更新流程圖
[0036]圖6為本發(fā)明實(shí)施例中事件StockerManagerEventArgs類(lèi)結(jié)構(gòu)圖
【具體實(shí)施方式】
[0037]下面結(jié)合附圖1-6，對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。
[0038]請(qǐng)參閱圖1，圖1為本發(fā)明物料使用情況的監(jiān)控管理系統(tǒng)一較佳實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖所示，該系統(tǒng)包括:物料使用情況記錄文件，其通過(guò)數(shù)據(jù)聯(lián)動(dòng)單元與設(shè)備狀態(tài)記錄文件相關(guān)聯(lián)；還包括物料情況記錄配置單元、管控單元、處理單元和報(bào)警限制單元；每次工藝完成后，管控單元控制處理單元使用迭代的方法對(duì)每一個(gè)晶圓承載器及其每個(gè)物料的使用次數(shù)值和膜厚值進(jìn)行記錄文件的累計(jì)更新，比較和判斷更新后晶圓承載器的記錄文件參數(shù)是否達(dá)到或超出配置文件中相應(yīng)的配置項(xiàng)，并通過(guò)報(bào)警限制單元輸出報(bào)警并執(zhí)行相應(yīng)的處理。
[0039]需要說(shuō)明的是，上述系統(tǒng)中模塊或單元可以由硬件、軟件或軟硬件相結(jié)合實(shí)現(xiàn)，在本實(shí)施例中，上述單元由上位機(jī)+下位機(jī)架構(gòu)構(gòu)成；其中，下位機(jī)為可編程控制器(Programmable Logic Device,簡(jiǎn)稱(chēng) PLD)。
[0040]請(qǐng)參閱圖2，圖2為本發(fā)明物料使用情況的監(jiān)控管理方法一較佳實(shí)施例的流程示意圖。如圖所示，該方法可以具體包括如下步驟:
[0041]步驟S1:設(shè)置并獲取物料管理記錄標(biāo)準(zhǔn)配置文件，其中，配置文件的配置項(xiàng)包括物料的使用次數(shù)標(biāo)準(zhǔn)和物料的累計(jì)膜厚標(biāo)準(zhǔn)。
[0042]其中，該物料可以為每個(gè)承載器(Carrier)中的陪片(Dummy)和/或特殊陪片(ExtraDmnmy)，這時(shí)，配置文件的配置項(xiàng)包括陪片的最大使用次數(shù)值、特殊陪片的最大使用次數(shù)值、陪片的最大累計(jì)膜厚值、和/或特殊陪片的最大累計(jì)膜厚值。在本實(shí)施例中，在上位機(jī)中安裝軟件，可以添加用戶配置選項(xiàng)，通過(guò)選取配置文件，用戶可以選擇使用次數(shù)(Usage Count)或累積膜厚(Accumulate Thickness)作為物料使用情況的管理標(biāo)準(zhǔn)。
[0043]請(qǐng)參閱圖3和圖4，圖3為本發(fā)明實(shí)施例中用戶配置設(shè)置結(jié)構(gòu)圖；圖4為本發(fā)明實(shí)施例中物料使用情況記錄結(jié)構(gòu)圖。也就是說(shuō)，設(shè)置CarrierCompleteOption選項(xiàng),用于選擇物料管理的記錄標(biāo)準(zhǔn)，UsageCount表示以物料使用次數(shù)為管理標(biāo)準(zhǔn)，AccuThickness則為物料的累積膜厚。MaxUsageCountForDummy 和 MaxUsageCountForED 表不 Dummy 和ExtraDummy 的最大使用次數(shù),MaxAccuThicknessForDummy 和 MaxAccuThicknessForED 表不Dummy和ExtraDmnmy的最大累積膜厚。這些參數(shù)都記錄在相關(guān)的XML文件中，用戶可以根據(jù)設(shè)備的實(shí)際情況和工廠的要求隨時(shí)進(jìn)行修改。
[0044]配置完成后，就可以設(shè)置專(zhuān)門(mén)的XML文件用于記錄每個(gè)物料的使用情況，這個(gè)記錄文件和軟件系統(tǒng)的設(shè)備狀態(tài)記錄文件關(guān)聯(lián)，并根據(jù)設(shè)備狀態(tài)文件的變化而改變。物料使用情況的記錄文件記錄的參數(shù)包括物料的名稱(chēng)，物料的類(lèi)型，物料的使用次數(shù)和物料的累積膜厚。即執(zhí)行:
[0045]步驟S2:設(shè)置用于記錄參與該工藝過(guò)程的每一個(gè)晶圓承載器及其每個(gè)物料參數(shù)的記錄文件，其中，記錄文件的參數(shù)包括物料的名稱(chēng)、物料的類(lèi)型、物料的使用次數(shù)和物料的累積膜厚；所述記錄文件與設(shè)備狀態(tài)記錄文件相關(guān)聯(lián)且根據(jù)設(shè)備狀態(tài)文件參數(shù)的變化而改變。
[0046]上述的配置文件在系統(tǒng)工藝啟動(dòng)過(guò)程中會(huì)被讀取，在工藝完成以后記載物料使用情況的記錄文件被更新，包括使用次數(shù)和累積膜厚。即執(zhí)行:
[0047]步驟S3:每次工藝完成后，物料的管理以晶圓承載器的使用次數(shù)和膜厚為基準(zhǔn)，使用迭代的方法遍歷晶圓承載器中所有物料的使用次數(shù)和累積膜厚，獲取該晶圓承載器中物料的最大使用次數(shù)和最大累積膜厚，即為晶圓承載器的使用次數(shù)和膜厚，使用迭代的方法并對(duì)每一個(gè)晶圓承載器及其中每個(gè)物料的使用次數(shù)值和膜厚值進(jìn)行記錄文件的累計(jì)更新；其中，晶圓承載器的使用次數(shù)等于晶圓承載器中包含的所有物料的最大使用次數(shù)，同理晶圓承載器的膜厚等于晶圓承載器中包含的所有物料的最大累積膜厚。
[0048]具體地，下面我們分物料的使用次數(shù)和累積膜厚兩種情況進(jìn)行說(shuō)明。請(qǐng)參閱圖5，圖5為本發(fā)明實(shí)施例中物料使用情況更新流程圖。
[0049]如圖所示,對(duì)于承載器(Carrier)來(lái)說(shuō),其使用次數(shù)等于Carrier內(nèi)所有陪片和特殊陪片的最大使用次數(shù)，更新可以采用迭代的方法。首先，定義陪片和特殊陪片最大使用次數(shù)，然后遍歷Carrier中所有陪片和特殊陪片的使用次數(shù)，如果使用次數(shù)大于最大使用次數(shù)，則最大使用次數(shù)等于該使用次數(shù)，以此類(lèi)推，比較完最后的陪片和特殊陪片后，獲取陪片和特殊陪片的最大使用次數(shù)，即為Carrier的使用次數(shù)。同樣地，物料的累積膜厚也可以采用類(lèi)似的方法獲取。
[0050]實(shí)施例1:
[0051]在本實(shí)施例步驟S3中，使用迭代的方法對(duì)每一個(gè)晶圓承載器中每個(gè)物料的使用次數(shù)值進(jìn)行記錄文件的累計(jì)更新可以具體包括如下步驟:
[0052]步驟S31:以承載器為判斷單位，確定每個(gè)承載器內(nèi)所有物料的最大使用次數(shù)，遍歷并使用迭代的方法累計(jì)與當(dāng)前設(shè)備狀態(tài)記錄文件相關(guān)聯(lián)的每個(gè)承載器內(nèi)所有物料的使用次數(shù)；[0053]步驟S32:如果其中某物料的使用次數(shù)大于其最大使用次數(shù)，則該承載器的最大使用次數(shù)等于該物料的使用次數(shù)，直到比較完最后的物料后，承載器的使用次數(shù)由獲取物料的最大使用次數(shù)確定。
[0054]實(shí)施例2:
[0055]在本實(shí)施例步驟S3中，使用迭代的方法對(duì)每一個(gè)晶圓承載器中每個(gè)物料的累計(jì)膜厚值進(jìn)行記錄文件的累計(jì)更新可以具體包括如下步驟:
[0056]步驟S31':以承載器為判斷單位，確定每個(gè)承載器內(nèi)所有物料的最大累計(jì)膜厚值，遍歷并使用迭代的方法累計(jì)與當(dāng)前設(shè)備狀態(tài)記錄文件相關(guān)聯(lián)的每個(gè)承載器內(nèi)所有物料的累計(jì)膜厚值；
[0057]步驟S32':如果其中某物料的累計(jì)膜厚值大于其最大累計(jì)膜厚值，則該承載器的最大使用次數(shù)等于該物料的累計(jì)膜厚值，直到比較完最后的物料后，承載器的累計(jì)膜厚值由獲取物料的最大累計(jì)膜厚值確定。
[0058]接下來(lái)，請(qǐng)參閱結(jié)合圖6參閱圖2，圖6為本發(fā)明實(shí)施例中事件StockerManagerEventArgs 類(lèi)結(jié)構(gòu)圖。
[0059]步驟S4:比較和判斷更新后晶圓承載器的記錄文件參數(shù)是否達(dá)到或超出所述配置文件中相應(yīng)的配置項(xiàng)，如果是，輸出報(bào)警并執(zhí)行相應(yīng)的處理；如果不是，繼續(xù)執(zhí)行步驟S3。
[0060]具體地，如果用戶選擇的是物料使用次數(shù)(UsageCount)進(jìn)行判斷，則可以在工藝結(jié)束更新完物料使用情況后讀取用戶設(shè)置的最大使用次數(shù)，然后，判斷承載器的使用次數(shù)UsageCount是否超出設(shè)置的最大使用次數(shù)，如果超出范圍觸發(fā)事件StockerManagerEventArgs,傳遞承載器識(shí)別號(hào)參數(shù)(CarrierID),并拋出報(bào)警到用戶界面。
[0061]如果用戶選擇物料累積膜厚Accumulate Thickness,則在工藝結(jié)束后，判斷承載器的累計(jì)膜厚Accumulate Thickness是否超出范圍，如果超限，同樣觸發(fā)事件StockerManagerEventArgs,傳遞承載器識(shí)別號(hào)參數(shù)(CarrierID),并拋出報(bào)警到用戶界面。
[0062]以上所述的僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，所述實(shí)施例并非用以限制本發(fā)明的專(zhuān)利保護(hù)范圍，因此凡是運(yùn)用本發(fā)明的說(shuō)明書(shū)及附圖內(nèi)容所作的等同結(jié)構(gòu)變化，同理均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種物料使用情況的監(jiān)控管理方法，其特征在于，所述方法包括: 步驟S1:設(shè)置并獲取物料管理記錄標(biāo)準(zhǔn)配置文件，其中，所述配置文件的配置項(xiàng)包括物料的使用次數(shù)標(biāo)準(zhǔn)和物料的累計(jì)膜厚標(biāo)準(zhǔn)； 步驟S2:設(shè)置用于記錄參與該工藝過(guò)程的每一個(gè)晶圓承載器及其每個(gè)物料參數(shù)的記錄文件，其中，記錄文件的參數(shù)包括物料的名稱(chēng)、物料的類(lèi)型、物料的使用次數(shù)和物料的累積膜厚；所述記錄文件與設(shè)備狀態(tài)記錄文件相關(guān)聯(lián)且根據(jù)設(shè)備狀態(tài)文件參數(shù)的變化而改變； 步驟S3:每次工藝完成后，物料的管理以晶圓承載器的使用次數(shù)和膜厚為基準(zhǔn)，使用迭代的方法遍歷晶圓承載器中所有物料的使用次數(shù)和累積膜厚，獲得該晶圓承載器中物料的最大使用次數(shù)和最大累積膜厚，確定該最大使用次數(shù)和最大累積膜厚為晶圓承載器的使用次數(shù)和膜厚，并對(duì)每一個(gè)晶圓承載器及其每個(gè)物料的使用次數(shù)值和膜厚值進(jìn)行記錄文件的累計(jì)更新；其中，晶圓承載器的使用次數(shù)等于晶圓承載器中包含的所有物料的最大使用次數(shù)，同理，晶圓承載器的膜厚等于晶圓承載器中包含的所有物料的最大累積膜厚； 步驟S4:比較和判斷更新后的晶圓承載器記錄文件參數(shù)是否達(dá)到或超出所述配置文件中相應(yīng)的配置項(xiàng)，如果是，輸出報(bào)警并執(zhí)行相應(yīng)的處理；如果不是，繼續(xù)執(zhí)行步驟S3。
2.如權(quán)利要求1所述的監(jiān)控管理方法，其特征在于，所述物料為每個(gè)承載器中陪片和/或特殊陪片，所述配置文件的配置項(xiàng)包括陪片的最大使用次數(shù)值、特殊陪片的最大使用次數(shù)值、陪片的最大累計(jì)膜厚值、和/或特殊陪片的最大累計(jì)膜厚值。
3.如權(quán)利要求1或2所述的監(jiān)控管理方法，其`特征在于，所述步驟S3具體包括如下步驟: 步驟S31:以承載器為判斷單位，確定每個(gè)承載器內(nèi)所有物料的最大使用次數(shù)，遍歷并使用迭代的方法累計(jì)與當(dāng)前設(shè)備狀態(tài)記錄文件相關(guān)聯(lián)的每個(gè)承載器內(nèi)所有物料的使用次數(shù)； 步驟S32:如果其中某物料的使用次數(shù)大于其最大使用次數(shù)，則該承載器的最大使用次數(shù)等于該物料的使用次數(shù)，直到比較完最后的物料后，承載器的使用次數(shù)由獲取物料的最大使用次數(shù)確定。
4.如權(quán)利要求3所述的監(jiān)控管理方法，其特征在于，所述步驟4具體包括:啟動(dòng)讀取配置文件，在工藝結(jié)束更新完物料使用情況后，讀取配置項(xiàng)中物料的最大使用次數(shù)，然后，判斷承載器的使用次數(shù)是否超出設(shè)置的最大使用次數(shù)，如果超出范圍觸發(fā)事件并拋出報(bào)警信肩、O
5.如權(quán)利要求1或2所述的監(jiān)控管理方法，其特征在于，所述步驟S3具體包括如下步驟: 步驟S31':以承載器為判斷單位，確定每個(gè)承載器內(nèi)所有物料的最大累計(jì)膜厚值，遍歷并使用迭代的方法累計(jì)與當(dāng)前設(shè)備狀態(tài)記錄文件相關(guān)聯(lián)的每個(gè)承載器內(nèi)所有物料的累計(jì)膜厚值； 步驟S32':如果其中某物料的累計(jì)膜厚值大于其最大累計(jì)膜厚值，則該承載器的最大使用次數(shù)等于該物料的累計(jì)膜厚值，直到比較完最后的物料后，承載器的累計(jì)膜厚值由獲取物料的最大累計(jì)膜厚值確定。
6.如權(quán)利要求5所述的監(jiān)控管理方法，其特征在于，所述步驟4具體包括:啟動(dòng)讀取配置文件，在工藝結(jié)束更新完物料使用情況后，讀取配置項(xiàng)中物料的最大累計(jì)膜厚值，然后，判斷承載器的累計(jì)膜厚值是否超出設(shè)置的最大累計(jì)膜厚值，如果超出范圍觸發(fā)事件并拋出報(bào)警信息。
7.一種采用權(quán)利要求1所述方法的監(jiān)控管理系統(tǒng)，其特征在于:所述系統(tǒng)包括:物料使用情況記錄文件，其通過(guò)數(shù)據(jù)聯(lián)動(dòng)單元與設(shè)備狀態(tài)記錄文件相關(guān)聯(lián)；還包括物料情況記錄配置單元、管控單元、處理單元和報(bào)警限制單元；每次工藝完成后，所述管控單元控制處理單元使用迭代的方法對(duì)每一個(gè)晶圓承載器及其每個(gè)物料的使用次數(shù)值和膜厚值進(jìn)行記錄文件的累計(jì)更新，比較和判斷更新后的晶圓承載器記錄文件參數(shù)是否達(dá)到或超出所述配置文件中相應(yīng)的配置項(xiàng)，并通過(guò)所述報(bào)警限制單元輸出報(bào)警并執(zhí)行相應(yīng)的處理。
8.如權(quán)利要求7所述的監(jiān)控管理系統(tǒng)，其特征在于，所述管控單元、處理單元和報(bào)警由上位機(jī)+下位機(jī)架構(gòu)構(gòu)成；其中，下位機(jī)為可編程控制器。
【文檔編號(hào)】G05B19/418GK103760881SQ201410058284
【公開(kāi)日】2014年4月30日 申請(qǐng)日期:2014年2月20日 優(yōu)先權(quán)日:2014年2月20日
【發(fā)明者】黃揚(yáng)君, 魏靖南, 肖托, 祁璞 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司