一種氣體控制系統(tǒng)及其方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種氣體控制系統(tǒng)及方法，該氣體控制系統(tǒng)包括：機臺設備，用于在需要液體時，生成第一控制信號，在不需要液體時，生成第二控制信號；控制器，與機臺設備連接，用于接收第一控制信號及第二控制信號；液體供應系統(tǒng)，分別與機臺設備的進液管道及控制器連接，并與一氣體源裝置及一液體源裝置連接，當液體供應系統(tǒng)接收到第一控制信號后，執(zhí)行第一控制信號，獲得來自氣體源裝置的氣體，以保持液體供應系統(tǒng)中的液體壓力符合預設條件，同時將來自液體源裝置的液體通過進液管道供給機臺設備；當液體供應系統(tǒng)接收到第二控制信號后，執(zhí)行第二控制信號，以使氣體不能進入液體供應系統(tǒng)，并停止提供液體給機臺設備。
【專利說明】一種氣體控制系統(tǒng)及其方法
【技術(shù)領域】
[0001]本發(fā)明涉及自動控制領域，特別涉及一種氣體控制系統(tǒng)及其方法。
【背景技術(shù)】
[0002]液體脈沖緩沖器適用于一種應用在半導體、微電子、太陽能等行業(yè)的工藝流程中需要間歇、安全、穩(wěn)定的供應化學品等液體到使用機臺的化學品供應系統(tǒng)中。
[0003]而現(xiàn)有技術(shù)中的液體脈沖緩沖器本身是依靠持續(xù)供給穩(wěn)定壓力的氣體來穩(wěn)定經(jīng)過緩沖器的液體的壓力的。化學品供應系統(tǒng)每天24小時需要多次較短時間的供應化學品到生產(chǎn)設備，因此，所有的設備都必須處于開機狀態(tài)。
[0004]本申請發(fā)明人在實現(xiàn)本申請實施例技術(shù)方案的過程中，至少發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)中存在如下技術(shù)問題:
[0005]由于所有的設備都必須處于開機狀態(tài)，所以，存在著液體脈沖緩沖器的進氣口會一直處于開啟狀態(tài)，緩沖器內(nèi)的流體的微小顫動都將導致緩沖器的風囊來回震蕩使得進氣口需要不停的供氣給緩沖器，而這部分氣體卻從緩沖器的出氣口排出，導致極大的浪費的技術(shù)問題；
[0006]由于存在上述技術(shù)問題，緩沖器的風囊會長期震蕩，還會導致風囊變形而損壞緩沖器。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本申請實施例提供一種氣體控制系統(tǒng)，可以解決現(xiàn)有技術(shù)中化學品供應系統(tǒng)的液體脈沖緩沖器的進氣口會一直處于開啟狀態(tài)，緩沖器內(nèi)的流體的微小顫動都將導致緩沖器的風囊來回震蕩使得進氣口需要不停的供氣給緩沖器，而這部分氣體卻從緩沖器的出氣口排出，導致極大的浪費的技術(shù)問題的技術(shù)問題。
[0008]為了解決上述問題，本申請實施例提供了一種氣體控制系統(tǒng)，該氣體控制系統(tǒng)包括:
[0009]機臺設備，用于在需要液體時，生成第一控制信號，以及在不需要所述液體時，生成第二控制信號；
[0010]控制器，與所述機臺設備連接，用于接收所述第一控制信號及所述第二控制信號;
[0011]液體供應系統(tǒng)，分別與所述機臺設備的進液管道及所述控制器連接，所述液體供應系統(tǒng)還分別與一氣體源裝置及一液體源裝置連接，其中:
[0012]當所述液體供應系統(tǒng)接收到所述第一控制信號后，執(zhí)行所述第一控制信號，獲得來自所述氣體源裝置的氣體，以保持所述液體供應系統(tǒng)中的液體壓力符合一預設條件，同時將來自所述液體源裝置的所述液體通過所述進液管道供給所述機臺設備；
[0013]當所述液體供應系統(tǒng)接收到所述第二控制信號后，執(zhí)行所述第二控制信號，以使所述氣體不能進入所述液體供應系統(tǒng)，并停止提供所述液體給所述機臺設備。[0014]優(yōu)選地，所述氣體控制系統(tǒng)還包括:
[0015]一閥控制箱，分別與所述控制器、所述液體供應系統(tǒng)以及所述機臺設備連接，所述閥控制箱具有與所述機臺設備相對應的閥門；
[0016]其中，當所述閥控制箱接收到所述第一控制信號時，執(zhí)行所述第一控制信號，以使所述閥門處于開啟狀態(tài)，當所述閥控制箱接收到所述第二控制信號時，執(zhí)行所述第二控制信號，以使所述閥門處于關閉狀態(tài)。
[0017]優(yōu)選地，所述控制器具體為可編程邏輯輸入輸出控制板。
[0018]優(yōu)選地,所述液體供應系統(tǒng)具體包括:
[0019]液體脈沖緩沖器，具有一進氣口、進液口、出液口 ；
[0020]進氣控制裝置，分別與所述氣體源裝置、所述進氣口連接；
[0021]進液控制裝置，分別與所述液體源裝置、所述進液口連接；
[0022]液體輸出裝置，分別與所述出液口、所述機臺設備連接；
[0023]其中，當所述進液控制裝置接收到所述第一控制信號后，通過執(zhí)行所述第一控制信號，將所述液體源裝置中的液體通過所述進液口輸送到所述液體脈沖緩沖器，再通過所述出液口輸送到所述液體輸出裝置，所述液體輸出裝置再將所述液體輸送到所述機臺設備，同時，所述進氣控制裝置會控制所述進氣口打開，以使所述氣體源裝置中的氣體輸送到所述液體脈沖緩沖器內(nèi)，以保持所述液體脈沖緩沖器內(nèi)的液體壓力符合所述預設條件；
[0024]當所述進液控制裝置接收到所述第二控制信號后，通過執(zhí)行所述第二控制信號，所述進液控制裝置停止將所述液體通過所述進液口輸送到所述液體脈沖緩沖器，同時，所述進氣控制裝置會控制所述進氣口關閉，以使所述氣體不能進入所述液體脈沖緩沖器內(nèi)。
[0025]優(yōu)選地，所述進氣控制裝置具體為一電磁閥，通過所述電磁閥的通電與斷電來控制所述液體脈沖緩沖器上的進氣口的打開與關閉。
[0026]優(yōu)選地，所述進氣控制裝置還包括:
[0027]一流量監(jiān)控裝置，連接在所述進氣控制裝置與所述進氣口之間，用于監(jiān)控進氣是否正常以及監(jiān)測所述進氣控制裝置是否損壞。
[0028]相應地，本申請實施例還提供一種氣體控制方法，應用于一氣體控制系統(tǒng)中，所述氣體控制系統(tǒng)包括:機臺設備，與所述機臺設備連接的控制器，與所述機臺設備的進液管道及所述控制器分別連接的液體供應系統(tǒng)，所述液體供應系統(tǒng)還分別與一氣體源裝置及一液體源裝置連接，所述氣體控制方法包括:
[0029]在所述機臺設備在需要液體時，生成第一控制信號，以及在不需要所述液體時，生成第二控制信號；
[0030]所述控制器接收所述第一控制信號及所述第二控制信號；
[0031]當所述液體供應系統(tǒng)接收到所述第一控制信號時，執(zhí)行所述第一控制信號，獲得來自所述氣體源裝置的氣體，以保持所述液體供應系統(tǒng)中的液體壓力符合一預設條件，同時將來自所述液體源裝置的所述液體通過所述進液管道供給所述機臺設備；
[0032]當所述液體供應系統(tǒng)接收到所述第二控制信號時，執(zhí)行所述第二控制信號，以使所述氣體不能進入所述液體供應系統(tǒng)，并停止提供所述液體給所述機臺設備。
[0033]優(yōu)選地，所述控制器接收所述第一控制信號及所述第二控制信號之后，所述方法還包括:通過一分別與所述控制器、所述液體供應系統(tǒng)以及所述機臺設備連接的閥控制箱來控制所述閥控制箱上與所述機臺設備相對應的閥門的開啟與關閉，具體為當所述閥控制箱接收到所述第一控制信號時，執(zhí)行所述第一控制信號，以使所述閥門處于開啟狀態(tài)，當所述閥控制箱接收到所述第二控制信號時，執(zhí)行所述第二控制信號，以使所述閥門處于關閉狀態(tài)。
[0034]優(yōu)選地，所述控制器接收所述第一控制信號及所述第二控制信號具體為:
[0035]可編程邏輯器件控制的輸入輸出控制板來接收所述第一控制信號及所述第二控制信號。
[0036]優(yōu)選地，所述當所述液體供應系統(tǒng)接收到所述第一控制信號時，執(zhí)行所述第一控制信號，獲得來自所述氣體源裝置的氣體，以保持所述液體供應系統(tǒng)中的液體壓力符合一預設條件，同時將來自所述液體源裝置的所述液體通過所述進液管道供給所述機臺設備具體為:
[0037]所述液體供應系統(tǒng)的進液控制裝置接收到所述第一控制信號后，通過執(zhí)行所述第一控制信號，將所述液體源裝置中的液體通過所述液體供應系統(tǒng)的液體脈沖緩沖器上的進液口輸送到所述液體脈沖緩沖器，再通過所述液體脈沖緩沖器上的出液口輸送到所述液體供應系統(tǒng)的液體輸出裝置，所述液體輸出裝置再將所述液體輸送到所述機臺設備，同時，所述液體供應系統(tǒng)的進氣控制裝置控制所述液體脈沖緩沖器上的進氣口打開，以使所述氣體源裝置中的氣體輸送到所述液體脈沖緩沖器內(nèi)，以保持所述液體脈沖緩沖器內(nèi)的液體壓力符合所述預設條件。
[0038]優(yōu)選地，所述當所述液體供應系統(tǒng)接收到所述第二控制信號時，執(zhí)行所述第二控制信號，以使所述氣體不能進入所述液體供應系統(tǒng)，并停止提供所述液體給所述機臺設備具體為:
[0039]所述液體供應系統(tǒng)的進液控制裝置接收到所述第二控制信號后，通過執(zhí)行所述第二控制信號，所述進液控制裝置停止將所述液體通過所述液體脈沖緩沖器上的進液口輸送到所述液體脈沖緩沖器，同時，所述液體供應系統(tǒng)的進氣控制裝置會控制所述液體脈沖緩沖器上的進氣口關閉，以使所述氣體不能進入所述液體脈沖緩沖器內(nèi)。
[0040]優(yōu)選地，所述進氣控制裝置控制所述進氣口打開以及控制所述進氣口關閉，具體為:通過一電磁閥的通電以及斷電來控制所述進氣口的打開以及關閉。
[0041]優(yōu)選地，在所述當所述液體供應系統(tǒng)接收到所述第一控制信號后，執(zhí)行所述第一控制信號，獲得來自所述氣體源裝置的氣體之后，所述方法還包括:
[0042]通過一連接在所述進氣控制裝置與所述進氣口之間的流量監(jiān)控裝置監(jiān)控進氣是否正常以及監(jiān)測所述進氣控制裝置是否損壞。
[0043]本申請實施例中提供的一個或多個技術(shù)方案，至少具有如下技術(shù)效果或優(yōu)點:
[0044]1、由于采用了根據(jù)機臺設備的實際需求，在緩沖器內(nèi)的液體不輸送時，緩沖器的進氣口自動關閉的技術(shù)手段，解決了現(xiàn)有技術(shù)中化學品供應系統(tǒng)的液體脈沖緩沖器的進氣口一直處于開啟狀態(tài)時，緩沖器內(nèi)的流體的微小顫動都將導致緩沖器的風囊來回震蕩使得進氣口需要不停的供氣給緩沖器，而這部分氣體卻從緩沖器的出氣口排出，導致極大的浪費的技術(shù)問題，因此，具有緩沖器的進氣口不受內(nèi)部液體震蕩而導致進氣口持續(xù)進氣造成的氣體浪費，同時還能在需要緩沖器液體輸送時能正常起到緩沖液體壓力的作用的技術(shù)效果O[0045]2、由于采用了上述的技術(shù)手段，因而可以避免因緩沖器內(nèi)及其后部管道內(nèi)液體的震蕩導致供給緩沖器的氣體的浪費，并且減小因液體震蕩導致緩沖器內(nèi)部風囊的長時間來回震蕩達到機械疲勞造成風囊損壞的危險，從而提高緩沖器的使用壽命。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0046]圖1為本申請實施例中一種氣體控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0047]圖2為本申請實施例中液體供應系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0048]圖3為本申請實施例中機臺設備生產(chǎn)第一控制信號時，所示氣體控制方法的具體流程圖；
[0049]圖4為本申請實施例中機臺設備生產(chǎn)第二控制信號時，所示氣體控制方法的具體流程圖。
【具體實施方式】
[0050]本申請實施例通過提供一種氣體控制系統(tǒng)，解決了化學品供應系統(tǒng)的液體脈沖緩沖器的進氣口 一直處于開啟狀態(tài)時，緩沖器內(nèi)的流體的微小顫動都將導致緩沖器的風囊來回震蕩使得進氣口需要不停的供氣給緩沖器，而這部分氣體卻從緩沖器的出氣口排出，導致極大的浪費的技術(shù)問題。
[0051]本申請實施例的技術(shù)方案為解決上述技術(shù)問題，總體思路如下:
[0052]在現(xiàn)有的氣體控制系統(tǒng)中的液體脈沖緩沖器的進氣口上連接一進氣控制裝置，當氣體控制系統(tǒng)中的機臺設備發(fā)出“需要液體”的信號到控制器后，控制器會將接收到的“需要液體”信號發(fā)送到液體供應系統(tǒng)，液體供應系統(tǒng)接收到“需要液體”信號后，該液體供應系統(tǒng)中的進液控制裝置會啟動運行，將一液體源裝置中的液體通過液體脈沖緩沖器上的進液口輸送到液體脈沖緩沖器中，同時，該液體供應系統(tǒng)中的進氣控制裝置會控制液體脈沖緩沖器上的進氣口打開，并將一氣體源裝置中的氣體輸送到該液體脈沖緩沖器中?；谕瑯拥脑?，當氣體控制系統(tǒng)中的機臺設備發(fā)出“不需要液體”的信號到控制器后，控制器會將接收到的“不需要液體”信號發(fā)送到液體供應系統(tǒng)，液體供應系統(tǒng)接收到“不需要液體”信號后，該液體供應系統(tǒng)中的進液控制裝置會停止運行，停止輸送液體源裝置中的液體到液體脈沖緩沖器中，同時，所述進氣控制裝置會控制液體脈沖緩沖器上的進氣口關閉，停止輸送氣體源裝置中的氣體到液體脈沖緩沖器中。
[0053]通過采用本申請實施例中的技術(shù)方案，在緩沖器前端的進液控制裝置運行時控制緩沖器上的進氣口打開以給氣，在緩沖器前端的進液控制裝置停止運行時控制緩沖器上的進氣口關閉以停止給氣，從而就能實現(xiàn)對液體脈沖緩沖器上的進氣口是否進氣的控制。這樣就避免了進氣口長期給氣導致緩沖器的氣囊長期處于震蕩狀態(tài)造成風囊使用壽命縮短，以及不必要的能量浪費。
[0054]為了更好的理解上述技術(shù)方案，下面將結(jié)合說明書附圖以及具體的實施方式對上述技術(shù)方案進行詳細的說明。
[0055]本申請實施例提供的一種氣體控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)如圖1所示，具體包括:
[0056]機臺設備101,用于在需要液體時,生成第一控制信號，以及在不需要所述液體時，生成第二控制信號；[0057]控制器102，與所述機臺設備101連接，用于接收所述第一控制信號及所述第二控制信號；
[0058]液體供應系統(tǒng)103，分別與所述機臺設備101的進液管道及所述控制器102連接，所述液體供應系統(tǒng)103還分別與一氣體源裝置105及一液體源裝置106連接，其中:
[0059]當所述液體供應系統(tǒng)103接收到所述第一控制信號后，執(zhí)行所述第一控制信號，獲得來自所述氣體源裝置105的氣體，以保持所述液體供應系統(tǒng)103中的液體壓力符合一預設條件，同時將來自所述液體源裝置106的所述液體通過所述進液管道供給所述機臺設備 101 ；
[0060]當所述液體供應系統(tǒng)103接收到所述第二控制信號后，執(zhí)行所述第二控制信號，以使所述氣體不能進入所述液體供應系統(tǒng)103，并停止提供所述液體給所述機臺設備101。
[0061]在具體的實施過程中，所述氣體控制系統(tǒng)還包括閥控制箱104，分別與所述控制器102、所述液體供應系統(tǒng)103以及所述機臺設備101連接，所述閥控制箱104具有與所述機臺設備101相對應的閥門，其中，當所述閥控制箱104接收到所述第一控制信號時，執(zhí)行所述第一控制信號，以使所述閥門處于開啟狀態(tài)，當所述閥控制箱104接收到所述第二控制信號時，執(zhí)行所述第二控制信號，以使所述閥門處于關閉狀態(tài)。
[0062]在具體地實施過程中，機臺設備101 —般是應用在半導體、微電子、太陽能等行業(yè)內(nèi)的設備，能夠根據(jù)自身的實際需求發(fā)送相應的是否需要液體的信號，因此，此處的第一控制信號為機臺設備101的“需要液體”信號，而第二控制信號為機臺設備101的“不需要液
體”信號。
[0063]在具體地實施過程中，所述控制器102具體為可編程邏輯輸入輸出控制板。通過可編程邏輯控制器能夠自動完成信號的接收以及將接收到的信號發(fā)送給相應的其他相關設備。
[0064]在具體實施過程中,所述液體供應系統(tǒng)103如圖2所示,具體包括:
[0065]液體脈沖緩沖器1031，具有一進氣口 10311、進液口 10312、出液口 10313 ；
[0066]進氣控制裝置1032，分別與所述氣體源裝置105、所述進氣口 10311連接；
[0067]進液控制裝置1033，分別與所述液體源裝置106、所述進液口 10312連接；
[0068]液體輸出裝置1034，分別與所述出液口 10313、所述機臺設備101連接；
[0069]其中，當所述進液控制裝置1033接收到所述第一控制信號后，通過執(zhí)行所述第一控制信號，將所述液體源裝置106中的液體通過所述進液口 10312輸送到所述液體脈沖緩沖器1031中，再通過所述出液口 10313輸送到所述液體輸出裝置1034，所述液體輸出裝置1034再將所述液體輸送到所述機臺設備101，同時，所述進氣控制裝置1032會控制所述進氣口 10311打開，以使所述氣體源裝置105中的氣體輸送到所述液體脈沖緩沖器1031內(nèi)，以保持所述液體脈沖緩沖器1031內(nèi)的液體壓力符合所述預設條件；
[0070]當所述進液控制裝置1033接收到所述第二控制信號后，通過執(zhí)行所述第二控制信號，所述進液控制裝置1033停止將所述液體通過所述進液口 10312輸送到所述液體脈沖緩沖器1031中，同時，所述進氣控制裝置1032會控制所述進氣口 10311關閉，以使所述氣體不能進入所述液體脈沖緩沖器1031內(nèi)。
[0071]在具體實施過程中，所述進氣控制裝置1032可以為一電磁閥，該電磁閥具體為一單電控常閉電磁閥，通過所述單電控常閉電磁閥的通電與斷電來控制所述液體脈沖緩沖器1031上的進氣口 10311的打開與關閉；進氣控制裝置1032還可以是一可編程邏輯器件，通過該邏輯器件實現(xiàn)對進氣口 10311的打開與關閉的控制。以上對于本申請實施例中進氣控制裝置1032的舉例并不用于限制所述進氣控制裝置1032的范圍，凡是能夠?qū)崿F(xiàn)對所述進氣口 10311打開與關閉的控制的裝置都應包含在本申請要求保護的范圍內(nèi)。
[0072]而在具體的實施過程中，所述進液控制裝置1033具體可以為容積泵，通過該容積泵將液體源裝置106中的液體輸送到液體脈沖緩沖器1031中，進液控制裝置1033還可以為葉片泵，與容積泵起同樣作用，用于將液體源裝置106中的液體輸送到液體脈沖緩沖器
1031中，以上對于本申請實施例中進液控制裝置1033的舉例并不用于限制所述進液控制裝置1033的范圍，凡是能夠?qū)崿F(xiàn)對將液體源裝置106中的液體輸送到液體脈沖緩沖器1031中的裝置都應包含在本申請要求保護的范圍內(nèi)。
[0073]在具體實施過程中，所述液體供應系統(tǒng)103還包括:
[0074]一流量監(jiān)控裝置，連接在所述進氣控制裝置1032與所述進氣口 10311之間，用于監(jiān)控進氣是否正常以及監(jiān)測所述進氣控制裝置1032是否損壞。更具體地，該流量監(jiān)控裝置為一氣體流量表，能夠監(jiān)測單位時間內(nèi)流進液體脈沖緩沖器1031中的氣流量，當該氣流量的值在一個固定值上下小幅變化時則說明流進液體脈沖緩沖器1031中的氣流正常，而由于進氣口會在進液控制裝置1033停止運行時關閉，因此，氣體流量表監(jiān)測到的氣流量會在進液控制裝置1033停止運行變?yōu)榱?，在進液控制裝置1033運行時恢復正常，所以監(jiān)測到的氣流量值也可以用于檢測前段的進氣控制裝置1032是否損壞。比如當監(jiān)測到的氣流量值為100ml/min時,若后續(xù)的氣流量值為95ml/min, 102ml/min時,貝U說明進氣正常，而當檢測到的氣流量值有為接近于零的情況時，則說明進氣控制裝置1032正常，否則，則說明進氣控制裝置1032已損壞。本申請實施例并不限制所述流量監(jiān)測裝置的具體范圍，只要能夠?qū)崿F(xiàn)監(jiān)控進氣是否正常以及監(jiān)測所述進氣控制裝置1032是否損壞的監(jiān)測裝置都應包含在本申請要求保護的范圍內(nèi)。
[0075]相應地,本申請實施例還提供與所述氣體控制系統(tǒng)相對應的氣體控制方法,所述氣體控制系統(tǒng)包括:機臺設備101，與所述機臺設備連接的控制器102，與所述機臺設備101的進液管道及所述控制器102分別連接的液體供應系統(tǒng)103，所述液體供應系統(tǒng)103還分別與一氣體源裝置105及一液體源裝置106連接，所述方法包括兩種情況，為了便于理解，下面將分別予以說明，第一種情況是機臺設備101在需要所述液體供應系統(tǒng)103供給液體時，其具體步驟如圖3所述，包括:
[0076]步驟301:所述機臺設備101在需要液體時，生成第一控制信號，該第一控制信號實際為“需要液體”信號；
[0077]在所述機臺設備101需要所述液體供應系統(tǒng)103供給液體，進而生成“需要液體”的第一控制信號后，所述方法進入步驟302:所述控制器102接收所述第一控制信號；在具體的實施過程中，所述氣體控制系統(tǒng)還包括一閥控制箱104，分別與所述控制器102、所述液體供應系統(tǒng)103以及所述機臺設備101連接，所述閥控制箱104具有與所述機臺設備101相對應的閥門，因此，當所述控制器102接收到第一控制信號后，會將所述第一控制信號發(fā)送給所述閥控制箱104以及液體供應系統(tǒng)103，該閥控制箱104接收到所述第一控制信號后，會執(zhí)行該第一控制信號，控制與發(fā)出“需要液體”信號的機臺設備101相對應的閥門處于開啟狀態(tài)，這樣，液體就能通過打開的閥門輸送到發(fā)出“需要液體”信號的機臺設備101中。
[0078]在控制器102接收到所述第一控制信號并將該信號發(fā)送給所述閥控制箱104，以及液體供應系統(tǒng)103后，所述方法進入步驟303:當所述液體供應系統(tǒng)103接收到所述第一控制信號時，執(zhí)行所述第一控制信號，獲得來自所述氣體源裝置105的氣體，以保持所述液體供應系統(tǒng)103中的液體壓力符合一預設條件，同時將來自所述液體源裝置106的所述液體通過所述進液管道供給所述機臺設備101 ；
[0079]在具體實施過程中，所述液體供應系統(tǒng)103的具體結(jié)構(gòu)如圖2所示，由于本申請實施例對此已做詳細說明，因此在此不再贅述。
[0080]而在具體的實施過程中，步驟303的詳細過程為:當液體供應系統(tǒng)103中的所述進液控制裝置1033接收到所述第一控制信號后，通過執(zhí)行所述第一控制信號，將所述液體源裝置106中的液體通過所述進液口 10312輸送到所述液體脈沖緩沖器1031中，再通過所述出液口 10313輸送到所述液體輸出裝置1034，所述液體輸出裝置1034再通過閥控制箱104中與發(fā)送第一控制信號的機臺設備101相對應的閥門將所述液體輸送到所述機臺設備101中，同時，所述進氣控制裝置1032會控制所述進氣口 10311打開，以使所述氣體源裝置105中的氣體輸送到所述液體脈沖緩沖器1031內(nèi)，以保持所述液體脈沖緩沖器1031內(nèi)的液體壓力符合所述預設條件。
[0081]在具體實施過程中，在所述當所述液體供應系統(tǒng)103接收到所述第一控制信號后，執(zhí)行所述第一控制信號，獲得來自所述氣體源裝置105的氣體之后，所述的氣體控制方法還包括:
[0082]通過一連接在所述進氣控制裝置1032與所述進氣口 10311之間的流量監(jiān)控裝置監(jiān)控進氣是否正常以及監(jiān)測所述進氣控制裝置1032是否損壞。
[0083]在具體實施過程中，所述流量監(jiān)控裝置為一氣體流量表，能夠監(jiān)測單位時間內(nèi)流進液體脈沖緩沖器1031中的氣流量，當該氣流量的值在一個固定值上下小幅變化時則說明流進液體脈沖緩沖器1031中的氣流正常，而由于進氣口會在進液控制裝置1033停止運行時關閉，因此，氣體流量表監(jiān)測到的氣流量會在進液控制裝置1033停止運行變?yōu)榱悖谶M液控制裝置1033運行時恢復正常，所以監(jiān)測到的氣流量值也可以用于檢測前段的進氣控制裝置1032是否損壞。比如當監(jiān)測到的氣流量值為100ml/min時，若后續(xù)的氣流量值為95ml/min, 102ml/min時，則說明進氣正常，而當檢測到的氣流量值有接近于零的情況時，則說明進氣控制裝置1032正常，否則，則說明進氣控制裝置1032已損壞。當然，所述的流量監(jiān)控裝置并不僅限于氣體流量表，還可以為一氣體報警裝置，當氣流量的波動在一預設的范圍內(nèi)時則，說明流進液體脈沖緩沖器1031中的氣流正常，否則發(fā)出報警聲，說明進氣不正常，而如果不能檢測到氣流量的波動值時，則說明進氣控制裝置1032已損壞。比如，氣流量為100ml/min、95ml/min, 102ml/min時，而假設預設的波動范圍為±5ml/min,貝U說明流進液體脈沖緩沖器1031中的氣流正常，當檢測到的氣流量的波動范圍一直為零時，則說明進氣控制裝置1032已損壞。本申請實施例并不限制所述流量監(jiān)測裝置的具體范圍，只要能夠?qū)崿F(xiàn)監(jiān)控進氣是否正常以及監(jiān)測所述進氣控制裝置1032是否損壞的監(jiān)測裝置都應包含在本申請要求保護的范圍內(nèi)。
[0084]而另一種情況是機臺設備不需要液體時，該方法的具體步驟如圖4所述，包括:
[0085]步驟401:所述機臺設備101在不需要液體時，生成第二控制信號，該第一控制信號實際為“不需要液體”信號；
[0086]在所述機臺設備101不需要所述液體供應系統(tǒng)103供給液體，進而生成“不需要液體”的第二控制信號后，所述方法進入步驟402:所述控制器102接收所述第二控制信號；在具體的實施過程中，所述氣體控制系統(tǒng)還包括一閥控制箱104，分別與所述控制器102、所述液體供應系統(tǒng)103以及所述機臺設備101連接，所述閥控制箱104具有與所述機臺設備101相對應的閥門，因此，當所述控制器102接收到第二控制信號后，會將所述第二控制信號發(fā)送給所述閥控制箱104以及液體供應系統(tǒng)103，該閥控制箱104接收到所述第二控制信號后，會執(zhí)行該第二控制信號，控制與發(fā)出“不需要液體”信號的機臺設備101相對應的閥門處于關閉狀態(tài)，這樣，液體供應系統(tǒng)103就不能供給相應的機臺設備101液體了。
[0087]在控制器102接收到所述第一控制信號并將該信號發(fā)送給所述閥控制箱104，以及液體供應系統(tǒng)103后，所述方法進入步驟403:當所述液體供應系統(tǒng)103接收到所述第二控制信號時，執(zhí)行所述第二控制信號，以使所述氣體不能進入所述液體供應系統(tǒng)103，并停止提供所述液體給所述機臺設備101 ；
[0088]在具體實施過程中，所述液體供應系統(tǒng)103的具體結(jié)構(gòu)如圖2所示，由于本申請實施例對此已做詳細說明，因此在此不再贅述。
[0089]而在具體的實施過程中，步驟403的詳細過程為:當所述進液控制裝置1033接收到所述第二控制信號后，通過執(zhí)行所述第二控制信號，所述進液控制裝置1033停止將所述液體通過所述進液口 10312輸送到所述液體脈沖緩沖器1031中，同時，所述進氣控制裝置
1032會控制所述進氣口 10311關閉，以使所述氣體不能進入所述液體脈沖緩沖器1031內(nèi)。
[0090]通過圖3和圖4所示的方法，就能實現(xiàn)在緩沖器前端的進液控制裝置1033運行時控制緩沖器上的進氣口 10311打開以給氣，在緩沖器前端的進液控制裝置1033停止運行時控制緩沖器上的進氣口 10311關閉以停止給氣，從而就能實現(xiàn)對液體脈沖緩沖器1031上的進氣口 10311是否進氣的控制。
[0091]在具體實施過程中，圖3和圖4所示的方法中所述制器102接收所述第一控制信號及所述第二控制信號具體為:通過可編程邏輯器件控制的輸入輸出控制板來接收所述第一控制信號及所述第二控制信號。
[0092]而在具體實施過程中，圖3和圖4所示的方法中的所述進氣控制裝置1032控制所述進氣口 10311打開以及控制所述進氣口 10311關閉為通過一電磁閥的通電以及斷電來控制所述進氣口的打開以及關閉。該電磁閥具體為一單電控常閉電磁閥，通過所述單電控常閉電磁閥的通電與斷電來控制所述液體脈沖緩沖器1031上的進氣口 10311的打開與關閉；或者通過一可編程邏輯器件實現(xiàn)對進氣口 10311的打開與關閉的控制。以上對于本申請實施例中進氣控制裝置1032的舉例并不用于限制所述進氣控制裝置1032的范圍，凡是能夠?qū)崿F(xiàn)對所述進氣口 10311打開與關閉的控制的裝置都應包含在本申請要求保護的范圍內(nèi)。
[0093]而在具體的實施過程中，圖3和圖4所示的方法中的所述進液控制裝置1033具體可以為容積泵，通過該容積泵將液體源裝置106中的液體輸送到液體脈沖緩沖器1031中；或者可以為葉片泵，與容積泵起同樣作用，用于將液體源裝置106中的液體輸送到液體脈沖緩沖器1031中，以上對于本申請實施例中進液控制裝置1033的舉例并不用于限制所述進液控制裝置1033的范圍，凡是能夠?qū)崿F(xiàn)對將液體源裝置106中的液體輸送到液體脈沖緩沖器1031中的裝置都應包含在本申請要求保護的范圍內(nèi)。[0094]通過本申請實施例中的一個或多個技術(shù)方案，可以實現(xiàn)如下技術(shù)效果:
[0095]1、由于采用了根據(jù)機臺設備的實際需求，在緩沖器內(nèi)的液體不輸送時，緩沖器的進氣口自動關閉的技術(shù)手段，解決了現(xiàn)有技術(shù)中化學品供應系統(tǒng)的液體脈沖緩沖器的進氣口一直處于開啟狀態(tài)時，緩沖器內(nèi)的流體的微小顫動都將導致緩沖器的風囊來回震蕩使得進氣口需要不停的供氣給緩沖器，而這部分氣體卻從緩沖器的出氣口排出，導致極大的浪費的技術(shù)問題，因此，具有緩沖器的進氣口不受內(nèi)部液體震蕩而導致進氣口持續(xù)進氣造成的氣體浪費，同時還能在需要緩沖器液體輸送時能正常起到緩沖液體壓力的作用的技術(shù)效果O
[0096]2、由于采用了上述的技術(shù)手段，因而可以避免因緩沖器內(nèi)及其后部管道內(nèi)液體的震蕩導致供給緩沖器的氣體的浪費，并且減小因液體震蕩導致緩沖器內(nèi)部風囊的長時間來回震蕩達到機械疲勞造成風囊損壞的危險，從而提高緩沖器的使用壽命。
[0097]在此說明書中，本發(fā)明已參照其特定的實施例作了描述，但是，本領域的技術(shù)人員可以對本發(fā)明進行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種氣體控制系統(tǒng)，其特征在于，所述氣體控制系統(tǒng)包括: 機臺設備，用于在需要液體時，生成第一控制信號，以及在不需要所述液體時，生成第二控制信號； 控制器，與所述機臺設備連接，用于接收所述第一控制信號及所述第二控制信號；液體供應系統(tǒng)，分別與所述機臺設備的進液管道及所述控制器連接，所述液體供應系統(tǒng)還分別與一氣體源裝置及一液體源裝置連接，其中: 當所述液體供應系統(tǒng)接收到所述第一控制信號后，執(zhí)行所述第一控制信號，獲得來自所述氣體源裝置的氣體，以保持所述液體供應系統(tǒng)中的液體壓力符合一預設條件，同時將來自所述液體源裝置的所述液體通過所述進液管道供給所述機臺設備； 當所述液體供應系統(tǒng)接收到所述第二控制信號后，執(zhí)行所述第二控制信號，以使所述氣體不能進入所述液體供應系統(tǒng)，并停止提供所述液體給所述機臺設備。
2.如權(quán)利要求1所述的氣體控制系統(tǒng)，其特征在于，所述氣體控制系統(tǒng)還包括: 一閥控制箱，分別與所述控制器、所述液體供應系統(tǒng)以及所述機臺設備連接，所述閥控制箱具有與所述機臺設備相對應的閥門； 其中，當所述閥控制箱接收到所述第一控制信號時，執(zhí)行所述第一控制信號，以使所述閥門處于開啟狀態(tài)，當所述閥控制箱接收到所述第二控制信號時，執(zhí)行所述第二控制信號，以使所述閥門處于關閉狀態(tài)。
3.如權(quán)利要求1所述的氣體控制系統(tǒng)，其特征在于，所述控制器具體為可編程邏輯輸入輸出控制板。
4.如權(quán)利要求1所述的氣體控制系統(tǒng)，其特征在于，所述液體供應系統(tǒng)具體包括 液體脈沖緩沖器，具有一進氣口、進液口、出液口 ； 進氣控制裝置，分別與所述氣體源裝置、所述進氣口連接； 進液控制裝置，分別與所述液體源裝置、所述進液口連接； 液體輸出裝置，分別與所述出液口、所述機臺設備連接； 其中，當所述進液控制裝置接收到所述第一控制信號后，通過執(zhí)行所述第一控制信號，將所述液體源裝置中的液體通過所述進液口輸送到所述液體脈沖緩沖器，再通過所述出液口輸送到所述液體輸出裝置，所述液體輸出裝置再將所述液體輸送到所述機臺設備，同時，所述進氣控制裝置會控制所述進氣口打開，以使所述氣體源裝置中的氣體輸送到所述液體脈沖緩沖器內(nèi)，以保持所述液體脈沖緩沖器內(nèi)的液體壓力符合所述預設條件； 當所述進液控制裝置接收到所述第二控制信號后，通過執(zhí)行所述第二控制信號，所述進液控制裝置停止將所述液體通過所述進液口輸送到所述液體脈沖緩沖器，同時，所述進氣控制裝置會控制所述進氣口關閉，以使所述氣體不能進入所述液體脈沖緩沖器內(nèi)。
5.如權(quán)利要求4所述的氣體控制系統(tǒng)，其特征在于，所述進氣控制裝置具體為一電磁閥，通過所述電磁閥的通電與斷電來控制所述液體脈沖緩沖器上的進氣口的打開與關閉。
6.如權(quán)利要求4所述的氣體控制系統(tǒng)，其特征在于，所述進氣控制裝置還包括: 一流量監(jiān)控裝置，連接在所述進氣控制裝置與所述進氣口之間，用于監(jiān)控進氣是否正常以及監(jiān)測所述進氣控制裝置是否損壞。
7.一種氣體控制方法，應用于一氣體控制系統(tǒng)，其特征在于，所述氣體控制系統(tǒng)包括:機臺設備，與所述機臺設備連接的控制器，與所述機臺設備的進液管道及所述控制器分別連接的液體供應系統(tǒng)，所述液體供應系統(tǒng)還分別與一氣體源裝置及一液體源裝置連接，所述方法包括: 所述機臺設備在需要液體時，生成第一控制信號，以及在不需要所述液體時，生成第二控制信號； 所述控制器接收所述第一控制信號及所述第二控制信號； 當所述液體供應系統(tǒng)接收到所述第一控制信號時，執(zhí)行所述第一控制信號，獲得來自所述氣體源裝置的氣體，以保持所述液體供應系統(tǒng)中的液體壓力符合一預設條件，同時將來自所述液體源裝置的所述液體通過所述進液管道供給所述機臺設備； 當所述液體供應系統(tǒng)接收到所述第二控制信號時，執(zhí)行所述第二控制信號，以使所述氣體不能進入所述液體供應系統(tǒng)，并停止提供所述液體給所述機臺設備。
8.如權(quán)利要求7所述的氣體控制方法，其特征在于，所述控制器接收所述第一控制信號及所述第二控制信號之后，所述方法還包括: 通過一分別與所述控制器、所述液體供應系統(tǒng)以及所述機臺設備連接的閥控制箱來控制所述閥控制箱上與所述機臺設備相對應的閥門的開啟與關閉，具體為當所述閥控制箱接收到所述第一控制信號時，執(zhí)行所述第一控制信號，以使所述閥門處于開啟狀態(tài)，當所述閥控制箱接收到所述第二控制信號時，執(zhí)行所述第二控制信號，以使所述閥門處于關閉狀態(tài)。
9.如權(quán)利要求7所述的氣體控制方法，其特征在于，所述控制器接收所述第一控制信號及所述第二控制信號具體為: 可編程邏輯器件控制的輸入輸出控制板來接收所述第一控制信號及所述第二控制信號。
10.如權(quán)利要求7所述的氣體控制方法，其特征在于，所述當所述液體供應系統(tǒng)接收到所述第一控制信號時，執(zhí)行所述第一控制信號，獲得來自所述氣體源裝置的氣體，以保持所述液體供應系統(tǒng)中的液體壓力符合一預設條件，同時將來自所述液體源裝置的所述液體通過所述進液管道供給所述機臺設備，具體為: 所述液體供應系統(tǒng)的進液控制裝置接收到所述第一控制信號后，通過執(zhí)行所述第一控制信號，將所述液體源裝置中的液體通過所述液體供應系統(tǒng)的液體脈沖緩沖器上的進液口輸送到所述液體脈沖緩沖器，再通過所述液體脈沖緩沖器上的出液口輸送到所述液體供應系統(tǒng)的液體輸出裝置，所述液體輸出裝置再將所述液體輸送到所述機臺設備，同時，所述液體供應系統(tǒng)的進氣控制裝置控制所述液體脈沖緩沖器上的進氣口打開，以使所述氣體源裝置中的氣體輸送到所述液體脈沖緩沖器內(nèi)，以保持所述液體脈沖緩沖器內(nèi)的液體壓力符合所述預設條件。
11.如權(quán)利要求1所述的氣體控制方法，其特征在于，所述當所述液體供應系統(tǒng)接收到所述第二控制信號時，執(zhí)行所述第二控制信號，以使所述氣體不能進入所述液體供應系統(tǒng)，并停止提供所述液體給所述機臺設備，具體為: 所述液體供應系統(tǒng)的進液控制裝置接收到所述第二控制信號后，通過執(zhí)行所述第二控制信號，所述進液控制裝置停止將所述液體通過所述液體脈沖緩沖器上的進液口輸送到所述液體脈沖緩沖器，同時，所述液體供應系統(tǒng)的進氣控制裝置會控制所述液體脈沖緩沖器上的進氣口關閉，以使所述氣體不能進入所述液體脈沖緩沖器內(nèi)。
12.如權(quán)利要求10或11所述的氣體控制方法，其特征在于，所述進氣控制裝置控制所述進氣口打開以及控制所述進氣口關閉，具體為:通過一電磁閥的通電以及斷電來控制所述進氣口的打開以及關閉。
13.如權(quán)利要求10所述的氣體控制方法，其特征在于，在所述當所述液體供應系統(tǒng)接收到所述第一控制信號后，執(zhí)行所述第一控制信號，獲得來自所述氣體源裝置的氣體之后，所述方法還包括: 通過一連接在所述進氣控制裝置與所述進氣口之間的流量監(jiān)控裝置監(jiān)控進氣是否正常以及監(jiān)測所述進氣 控制裝置是否損壞。
【文檔編號】G05B19/04GK103941598SQ201310021589
【公開日】2014年7月23日 申請日期:2013年1月21日 優(yōu)先權(quán)日:2013年1月21日
【發(fā)明者】李成 申請人:北大方正集團有限公司, 深圳方正微電子有限公司