專利名稱：用于第三方支持裝備的預測性維護的制作方法
技術領域：
本發(fā)明的實施例一般涉及預測維護，并且實施例更具體地涉及用于第三方制造支持裝備的線內(nèi)預測性維護(inline predictive maintenance)。
背景技術：
制造設施可包括多個制造工具來執(zhí)行建立產(chǎn)品(例如，半導體)的工藝。一般地，監(jiān)控制造工具的操作以供預測性和預防性維護。第三方支持裝備可耦接至處理工具以支持所述處理工具的操作。舉例而言，射頻(RF)匹配單元將傳至處理腔室的最佳遞送功率維持在射頻處。第三方支持裝備的其它實例可包括射頻產(chǎn)生器、真空系統(tǒng)、機器人馬達、臭氧產(chǎn)生器等。當前，未監(jiān)控第三方支持裝備的實時操作以供預測性維護。因此，如果支持裝備不可預期地失效，則生產(chǎn)線必定停止以更換所述失效的支持裝備。生產(chǎn)線的停工導致未排定的停機時間以及相關聯(lián)的非計劃成本。在支持裝備失效之后，裝備被拉離線且返回至第三方制造商以供失效分析。制造商可從支持裝備中手動地提取數(shù)據(jù)以作為事后剖析(post-mortem)工藝的一部分而決定失效的原因。然而,事后剖析失效分析僅發(fā)生在生產(chǎn)線已遭受未排定的停機時間以及相關聯(lián)的非計劃成本之后。


本發(fā)明在附圖的諸圖中以舉例而非限制的方式來圖示，并且其中:圖1圖示根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的用于決定線內(nèi)第三方支持裝備的狀態(tài)以防止未排定的停機時間的示例性網(wǎng)聯(lián)環(huán)境；圖2為根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的圖示支持裝備性能子系統(tǒng)的方塊圖；圖3圖示根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的用于模擬第三方支持裝備的未來狀態(tài)的示例性模型；圖4圖示根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的用于配置支持裝備性能子系統(tǒng)的示例性GUI ；圖5為圖示用于決定線內(nèi)第三方支持裝備的狀態(tài)以防止未排定的停機時間的方法的一個實施例的流程圖；以及圖6圖示了示例性計算機系統(tǒng)。
具體實施例方式本發(fā)明的實施例涉及用于自動地執(zhí)行第三方支持裝備的預測性維護的方法和系統(tǒng)。在制造環(huán)境中，服務器在第三方支持裝備的操作期間自第三方支持裝備中接收裝備數(shù)據(jù)。服務器經(jīng)由第三方支持裝備上的第一端口接收裝備數(shù)據(jù)。第三方支持裝備經(jīng)由第三方支持裝備上的第二端口與處理工具相通信。基于裝備數(shù)據(jù)，服務器決定第三方支持裝備的未來狀態(tài)，并且通知用戶第三方支持裝備的未來狀態(tài)。通常，第三方支持裝備的失效為不可預期的，并且導致生產(chǎn)線的未排定的停機時間。本發(fā)明的實施例提供第三方支持裝備的自動且實時的監(jiān)控以供預測性維護。本發(fā)明的實施例允許諸如工廠管理者和工藝工程師之類的用戶預料何時第三方裝備將失效，并且本發(fā)明的實施例允許排定適當時間以更換裝備而不中斷生產(chǎn)線的操作。對支持裝備的自動和動態(tài)的監(jiān)控和預測可避免與未排定的停機相關聯(lián)的成本。圖1圖示了示例性網(wǎng)絡架構100，在所述示例性網(wǎng)絡架構100上可實施本發(fā)明的實施例。所述網(wǎng)絡架構100可包括處理工具101、第三方支持裝備103、以及裝備控制系統(tǒng)105。工廠可為制造產(chǎn)品(諸如半導體或者類似產(chǎn)品)的工廠，所述工廠利用生產(chǎn)線來建立最終產(chǎn)品。裝備控制系統(tǒng)105可耦接至處理工具101，以用于收集處理工具數(shù)據(jù)且用于管理生產(chǎn)線。裝備控制系統(tǒng)105的一個實例為Applied E3 服務器。裝備控制系統(tǒng)105可由任何類型的計算設備主存(host)，所述計算設備包括服務器計算機、臺式計算機、膝上型計算機、手持式計算機、或者類似計算設備。裝備控制系統(tǒng)105、第三方支持裝備103、以及處理工具101可由工廠管理者維護。處理工具101的實例包括用于制造電子設備(諸如半導體)的工具(例如，蝕刻器、化學氣相沉積反應器等)，或者用于制造其它產(chǎn)品的類型的工具。晶圓制造場所(工廠)可包括處理工具101，所述處理工具101為群集工具。舉例而言，處理工具101可具有工具部件，諸如一個主移送腔室和幾個處理腔室(例如，多腔室群集工具上的等離子體蝕刻)。第三方支持裝備103可耦接至處理工具101以支持處理工具101的操作。第三方支持裝備103的實例可包括但不限于功率產(chǎn)生器(例如，RF功率產(chǎn)生器、直流(DC)功率產(chǎn)生器)、RF匹配單元、遠程等離子體系統(tǒng)(RPS)單元、真空部件/系統(tǒng)、機器人馬達、流量控制器、氣體產(chǎn)生器、控制閥、冷卻系統(tǒng)等。RF匹配單元將傳至處理腔室的最佳遞送功率維持在射頻上。RF產(chǎn)生器為例如用于為RF匹配單元建立波的電源。真空系統(tǒng)可耦接至諸如腔室之類的處理工具且控制所述腔室工藝。第三方支持裝備103可經(jīng)由諸如在第三方支持裝備103上的通信端口 115之類的硬件接口來耦接至處理工具101，以在第三方支持裝備103與處理工具101之間建立工具通信信道113。第三方支持裝備103還可經(jīng)由諸如在第三方支持裝備103上的通信端口 117之類的硬件接口來耦接至裝備控制系統(tǒng)105，以在第三方支持裝備103與裝備控制系統(tǒng)105之間建立預測性維護通信信道121。通信端口 117還可稱為輔助端口。預測性維護通信信道121為獨立的且與工具通信信道113分離。在一個實施例中，第三方支持裝備103可包括通信模塊119，所述通信模塊119用于向裝備控制系統(tǒng)105提供支持裝備數(shù)據(jù)。通信模塊119可將數(shù)據(jù)信號遞送至輔助端口 117，所述輔助端口 117由裝備控制系統(tǒng)105存取。通信模塊119的一個實例為用于第三方支持裝備103的固件。在一個實施例中，裝備控制系統(tǒng)105 (例如，E3服務器)可包括支持裝備性能子系統(tǒng)125，用來決定線內(nèi)第三方支持裝備103的狀態(tài)以防止未排定的停機時間。支持裝備性能子系統(tǒng)125可決定第三方支持裝備103的當前狀態(tài)和/或未來狀態(tài)。用于第三方支持裝備103的不同狀態(tài)的實例可包括但不限于正常性能、部分展示磨損的記號、部分接近失效、部分失效等。在另一實施例中，裝備控制系統(tǒng)105和支持裝備性能子系統(tǒng)125可各自由一個或多個計算設備主存，所述計算設備包括服務器計算機、臺式計算機、膝上型計算機、手持式計算機、或者類似計算設備。在此類實施例中，第三方支持裝備103可經(jīng)由諸如在第三方支持裝備103上的通信端口 117之類的硬件接口來耦接至支持裝備性能子系統(tǒng)125，以在第三方支持裝備103與支持裝備性能子系統(tǒng)125之間建立預測性維護通信信道121。在一個實施例中，第三方支持裝備103可包括通信模塊119，所述通信模塊119用于向支持裝備性能子系統(tǒng)125提供支持裝備數(shù)據(jù)。通信模塊119可將數(shù)據(jù)信號遞送至輔助端口 117，所述輔助端口 117由支持裝備性能子系統(tǒng)125存取。當裝備103在生產(chǎn)期間操作時，支持裝備性能子系統(tǒng)125可自第三方支持裝備103中自動地收集數(shù)據(jù)且分析(例如，建模)所述數(shù)據(jù)，以實時地決定第三方支持裝備103的狀態(tài)(例如，當前狀態(tài)、未來狀態(tài))。第三方支持裝備103可由一方(第三方或第三實體)制造，所述一方不同于提供和/或維護支持裝備性能子系統(tǒng)125的一方(或?qū)嶓w)。支持裝備性能子系統(tǒng)125可自動地收集數(shù)據(jù)且決定由許多不同的第三方制造的支持裝備的狀態(tài)。舉例而言，射頻(RF)單元由供貨商A制造且真空系統(tǒng)由供貨商B制造。支持裝備性能子系統(tǒng)125可自由供貨商A制造的支持裝備(RF單元)以及由供貨商B制造的支持裝備(真空系統(tǒng))中收集數(shù)據(jù)，并且所述支持裝備性能子系統(tǒng)125可決定由供貨商A制造的支持裝備(RF單元)的未來狀態(tài)以及由供貨商B制造的支持裝備(真空系統(tǒng))的未來狀態(tài)。此外，如果供貨商A制得的現(xiàn)有支持裝備被供貨商C制得的支持裝備更換，則支持裝備性能子系統(tǒng)125可自由供貨商C制造的支持裝備中收集數(shù)據(jù)，并且所述支持裝備性能子系統(tǒng)125可決定由供貨商C制造的支持裝備的未來狀態(tài)，而不中斷生產(chǎn)線。支持裝備性能子系統(tǒng)125還為模塊化，因為支持裝備性能子系統(tǒng)125還可自生產(chǎn)設施中移除而不影響工具性能。支持裝備性能子系統(tǒng)125可經(jīng)由客戶機107通知用戶(諸如，工廠管理者、工藝工程師、遠程服務工程師、支持裝備擁有者等)第三方支持裝備103的狀態(tài)(例如，當前狀態(tài)、未來狀態(tài))。接著，用戶可為排定的停機時間訂計劃，以在失效發(fā)生之前更換第三方支持裝備103。支持裝備性能子系統(tǒng)125以及一個或多個客戶機107可經(jīng)由網(wǎng)絡109耦接。網(wǎng)絡109可為局域網(wǎng)(LAN)(諸如公司內(nèi)的內(nèi)聯(lián)網(wǎng)、無線網(wǎng)絡、移動通信網(wǎng)絡)、廣域網(wǎng)(WAN)(諸如因特網(wǎng))、或者類似通信系統(tǒng)。網(wǎng)絡109可包括任何數(shù)目的網(wǎng)聯(lián)和計算設備，諸如有線設備和無線設備?？蛻魴C107可由任何類型的計算設備主存，所述計算設備包括臺式計算機、膝上型計算機、移動通信設備、蜂窩電話、智能電話、手持式計算機、或者類似計算設備。圖2為方塊圖，所述方塊示用于決定線內(nèi)第三方支持裝備的狀態(tài)(例如，當前狀態(tài)、未來狀態(tài))，以防止未排定的停機時間的支持裝備性能子系統(tǒng)200。在一個實施例中，支持裝備性能子系統(tǒng)200由如結合圖1所描述的計算設備主存。支持裝備性能子系統(tǒng)200可包括數(shù)據(jù)收集器201、數(shù)據(jù)分析器203、輸出管理器205、以及圖形用戶接口(⑶I)產(chǎn)生器207。支持裝備性能子系統(tǒng)200可經(jīng)由第三方支持裝備(未圖示)上的端口(例如，輔助端口)耦接至所述第三方支持裝備，所述耦接建立通信信道，所述通信信道為獨立的且與在第三方支持裝備與處理工具之間的通信信道分離。數(shù)據(jù)收集器201可經(jīng)由第三方支持裝備上的輔助端口自所述第三方支持裝備中提取支持裝備性能數(shù)據(jù)253 (裝備性能數(shù)據(jù))。當支持裝備在生產(chǎn)中操作時，可存取裝備性能數(shù)據(jù)253。裝備性能數(shù)據(jù)253指示第三方支持裝備的磨損。裝備性能數(shù)據(jù)253的實例可包括但不限于消耗的能量、機械運動計數(shù)等。裝備性能數(shù)據(jù)253可專屬于第三方支持裝備。舉例而言，對于RF產(chǎn)生器，裝備性能數(shù)據(jù)253可包括但不限于RF消耗的能量。在另一實例中，對于RF匹配單元，裝備性能數(shù)據(jù)253的實例可包括但不限于機械運動的計數(shù)，諸如馬達運動的次數(shù)。裝備性能數(shù)據(jù)253可被儲存在數(shù)據(jù)儲存器210中，所述數(shù)據(jù)儲存器210被耦接至支持裝備性能子系統(tǒng)200。數(shù)據(jù)儲存器210可為持續(xù)儲存單元。持續(xù)儲存單元可為本地儲存單元或遠程儲存單元。持續(xù)儲存單元可為磁性儲存單元、光學儲存單元、固態(tài)儲存單元、電子儲存單元(主存儲器)、或者類似儲存單元。持續(xù)儲存單元可為單塊設備或分布式設備組。如本文所使用的‘組’代表任何正整數(shù)的項目。數(shù)據(jù)收集器201可利用端口(例如，輔助端口)的端口數(shù)來配置，以與第三方支持裝備相通信，并且存取所述輔助端口來提取裝備性能數(shù)據(jù)253。配置數(shù)據(jù)251可被儲存在數(shù)據(jù)儲存器210中。配置數(shù)據(jù)251的實例可包括但不限于第三方支持裝備的端口數(shù)、自第三方支持裝備中接收的裝備性能數(shù)據(jù)的格式、用于規(guī)定何時收集裝備性能數(shù)據(jù)的時間周期的收集參數(shù)、用于產(chǎn)生報告和發(fā)送通知的輸出參數(shù)等。配置數(shù)據(jù)251可由用戶定義。舉例而言，工藝工程師或第三方供貨商可經(jīng)由用戶接口 221提供配置數(shù)據(jù)251。配置數(shù)據(jù)251可被儲存在數(shù)據(jù)儲存器210內(nèi)的文件中且由數(shù)據(jù)收集器201存取。數(shù)據(jù)收集器201可周期性地收集裝備性能數(shù)據(jù)251。配置數(shù)據(jù)251可包括收集參數(shù)，所述收集參數(shù)規(guī)定數(shù)據(jù)收集器201何時要自第三方支持裝備中取得裝備性能數(shù)據(jù)253的時間周期(例如，每周、每分鐘、每晶圓等)。收集參數(shù)可由用戶定義。收集參數(shù)可專屬于支持裝備。舉例而言，對于RF匹配單元，數(shù)據(jù)收集器201收集與部件運動的次數(shù)有關的數(shù)據(jù)。對于RF單元，工藝工程師或第三方供貨商可經(jīng)由用戶接口 221提供收集參數(shù)，以規(guī)定數(shù)據(jù)收集器201每周一次地收集機械計數(shù)。裝備性能數(shù)據(jù)253 (例如，消耗能量、機械運動計數(shù)等)還可包括但不限于第三方支持裝備識別符(例如，序號)、第三方支持裝備的制造商、所述支持裝備的通信模塊的版本、收集數(shù)據(jù)的日期和時間等。數(shù)據(jù)分析器203可決定第三方支持裝備的狀態(tài)(例如，當前狀態(tài)、未來狀態(tài))且實時地監(jiān)控所述狀態(tài)，以識別潛在未來裝備失效和/或以通知用戶狀態(tài)。數(shù)據(jù)分析器203可使用裝備性能數(shù)據(jù)253來填充(populate)模型255，以模擬第三方支持裝備的性能(例如，未來狀態(tài))。模型255的實例可包括但不限于模擬第三方支持裝備性能、工藝性能、工具性能等的模型。模型255可由用戶定義。圖3圖示用于模擬諸如質(zhì)量流量控制器之類的第三方支持裝備的未來狀態(tài)的示例性模型。返回到圖2，數(shù)據(jù)分析器203可產(chǎn)生建模結果，并且將所述建模結果作為分析結果257的一部分儲存在數(shù)據(jù)儲存器210中。數(shù)據(jù)分析器203可基于分析結果257預測第三方支持裝備的狀態(tài)，并且決定第三方支持裝備是否可能失效以及何時可能失效。下文結合圖5更詳細地描述使用模型來決定第三方支持裝備的狀態(tài)(例如，當前狀態(tài)、未來狀態(tài))的方法的一個實施例。數(shù)據(jù)分析器203還可使用閾值數(shù)據(jù)259來決定第三方支持裝備的狀態(tài)(例如來預測第三方支持裝備是否可能失效以及何時可能失效)。第三方支持裝備可具有相應的性能閾值。閾值數(shù)據(jù)259可為數(shù)值、范圍、百分比等。性能閾值可為支持裝備何時可能失效的指示。舉例而言，通常，取決于RF單元正在執(zhí)行何種工藝、執(zhí)行RF單元運行的頻率以及向RF單元供給多少功率，RF單元具有兩年至三年的壽命。RF匹配單元的示例性能閾值可包括但不限于100萬次機械運動的數(shù)目。數(shù)據(jù)分析器203連續(xù)地收集性能數(shù)據(jù)253，并且所述數(shù)據(jù)分析器203可實時地比較當前裝備性能數(shù)據(jù)253與閾值數(shù)據(jù)259，以決定部件是否接近100萬閾值。數(shù)據(jù)分析器203可產(chǎn)生閾值結果，并且將所述閾值結果作為分析結果257的一部分儲存在數(shù)據(jù)儲存器210中。當裝備性能數(shù)據(jù)253接近閾值時，數(shù)據(jù)分析器203決定支持裝備可能很快失效。閾值數(shù)據(jù)259可由用戶定義。舉例而言，工藝工程師或第三方供貨商可經(jīng)由用戶接口 221提供閾值數(shù)據(jù)259。閾值數(shù)據(jù)259可被儲存在數(shù)據(jù)儲存器210中。閾值數(shù)據(jù)259可被儲存在數(shù)據(jù)儲存器210的文件內(nèi)，并且由數(shù)據(jù)分析器203存取。在一個實施例中，控制系統(tǒng)(例如，E3服務器)自處理工具(例如，圖1中的處理工具101)中收集工具數(shù)據(jù)，并且將所述工具數(shù)據(jù)儲存在數(shù)據(jù)儲存器(例如，數(shù)據(jù)儲存器210)中。數(shù)據(jù)分析器203可耦接數(shù)據(jù)儲存器以存取工具數(shù)據(jù)。在一些情況下，可自支持裝備中以允許數(shù)據(jù)分析器203容易地整合支持裝備性能數(shù)據(jù)與工具數(shù)據(jù)的格式來接收裝備性能數(shù)據(jù)253。在其它情況下，數(shù)據(jù)分析器203可將支持裝備性能數(shù)據(jù)253的格式轉(zhuǎn)換為與工具數(shù)據(jù)兼容的格式。數(shù)據(jù)分析器203可例如使用模型255和/或閾值數(shù)據(jù)259來整合支持裝備性能數(shù)據(jù)253與工具數(shù)據(jù)且執(zhí)行綜合的預測性維護分析。輸出管理器205可產(chǎn)生通知且將通知發(fā)送至用戶，諸如工廠管理者、備用團隊成員、工藝工程師、遠程服務工程師、支持裝備擁有者等。輸出管理器205可通知一個或多個用戶第三方支持裝備的狀態(tài)(例如，當前狀態(tài)、未來狀態(tài))。舉例而言，當數(shù)據(jù)分析器203決定RF單元的機械計數(shù)接近閾值時，輸出管理器205可將所述RF單元處于部分接近失效狀態(tài)的通知發(fā)送至用戶。通知的實例可包括但不限于在網(wǎng)絡上傳送的消息(例如，電子郵件消息、文本消息、即時消息、社交網(wǎng)絡消息等)、在客戶端設備(例如，圖1中的客戶機107)上的視覺/聲音警報指示器等。接著，用戶可為排定的停機時間訂計劃，以藉由在預料的失效發(fā)生之前更換支持裝備來防止工藝失效。輸出管理器205還可基于配置數(shù)據(jù)251來產(chǎn)生報告且將所述報告輸出至輸出設備(例如，客戶機107上的顯示器、打印機等)，所述配置數(shù)據(jù)251規(guī)定用于產(chǎn)生報告和發(fā)送通知的輸出參數(shù)。輸出參數(shù)可由例如工藝工程師、遠程服務工程師、工廠管理者、第三方供貨商等用戶來定義。輸出參數(shù)可規(guī)定:何時產(chǎn)生報告以及產(chǎn)生報告的類型的條件。輸出參數(shù)可規(guī)定:通知一個或多個用戶第三方支持裝備的狀態(tài)的條件。輸出管理器205還可使動作得以執(zhí)行，諸如使支持裝備和/或處理工具離線。下文結合圖4和圖5更詳細描述用于基于輸出參數(shù)產(chǎn)生報告和/或通知的方法的一個實施例。圖形用戶接口(⑶I)產(chǎn)生器207可產(chǎn)生顯示由輸出管理器205產(chǎn)生的輸出(例如，通知、報告等)的GUI。Gn可包括可由用戶經(jīng)由客戶端設備(例如，客戶機107)存取的網(wǎng)頁。⑶I產(chǎn)生器207還可產(chǎn)生用戶接口 221以接收用戶輸入。用戶接口 221可為圖形用戶接口。圖4圖示示例性GUI，所述示例性GUI用于配置支持裝備性能子系統(tǒng)以使用裝備性能數(shù)據(jù)253 (例如，質(zhì)量統(tǒng)計401)來觸發(fā)例如要由輸出管理器205執(zhí)行的動作。輸出參數(shù)可規(guī)定在報告產(chǎn)生之前要滿足的狀態(tài)條件和產(chǎn)生的報告類型，以及何時通知一個或多個用戶第三方支持裝備的狀態(tài)和遞送的通知類型。舉例而言，當對裝備性能數(shù)據(jù)253 (例如，質(zhì)量統(tǒng)計401)的分析指示第三方支持裝備處于‘正常部分性能’ 403A的狀態(tài)時，輸出管理器205可產(chǎn)生標準報告407A。輸出參數(shù)的其它實例可包括但不限于，當對質(zhì)量統(tǒng)計401的分析指示第三方支持裝備處于‘部分展示磨損的記號’ 403B的狀態(tài)時產(chǎn)生差異報告407B、當對質(zhì)量統(tǒng)計401的分析指示第三方支持裝備處于‘部分接近失效’ 403C的狀態(tài)時產(chǎn)生警告報告407C且通知備用團隊405、以及當對質(zhì)量統(tǒng)計401的分析指示第三方支持裝備處于‘部分失效’ 403D的狀態(tài)時產(chǎn)生警報報告407D。圖5為圖示用于決定線內(nèi)第三方支持裝備的狀態(tài)(例如，當前狀態(tài)、未來狀態(tài))以防止未排定的停機時間的方法500的一個實施例的流程圖。方法500可由處理邏輯執(zhí)行，所述處理邏輯可包含硬件(例如，電路系統(tǒng)、專屬邏輯、可編程邏輯、微代碼等)、軟件(例如，在處理設備上運行的指令)、或者硬件與軟件的組合。在一個實施例中，方法500由圖1的支持裝備性能子系統(tǒng)125執(zhí)行。在方塊501，支持裝備性能子系統(tǒng)自一個或多個第三方支持裝備中接收裝備性能數(shù)據(jù)。支持裝備性能子系統(tǒng)可經(jīng)由通信信道耦接至第三方支持裝備，所述通信信道為獨立的，并且與在第三方支持裝備與處理工具之間的通信信道分離。舉例而言，RF匹配單元可經(jīng)由所述RF匹配單元上的輔助端口耦接至支持裝備性能子系統(tǒng)，并且所述RF匹配單元可經(jīng)由所述RF匹配單元上的不同的端口耦接至處理工具。當支持裝備在生產(chǎn)中操作時，支持裝備性能子系統(tǒng)可存取裝備性能數(shù)據(jù)。舉例而言，當RF匹配單元在操作中時，支持裝備性能子系統(tǒng)可自射頻匹配單元中提取表示機械運動的數(shù)據(jù)，并且所述支持裝備性能子系統(tǒng)可將裝備性能數(shù)據(jù)儲存在數(shù)據(jù)儲存器中，所述數(shù)據(jù)儲存器被耦接至所述支持裝備性能子系統(tǒng)。支持裝備性能子系統(tǒng)可自支持裝備中周期性地取得裝備性能數(shù)據(jù)。支持裝備性能子系統(tǒng)可基于配置數(shù)據(jù)來決定何時收集裝備性能數(shù)據(jù)，所述配置數(shù)據(jù)規(guī)定與特定第三方裝備相對應的時間周期(例如，每周、每分鐘、每晶圓等)。舉例而言，支持裝備性能子系統(tǒng)可每周一次地自RF匹配單元中提取機械運動計數(shù)。在另一實例中，每當處理晶圓時，支持裝備性能子系統(tǒng)可自機器人馬達中提取裝備性能數(shù)據(jù)。在方塊503，支持裝備性能子系統(tǒng)分析數(shù)據(jù)以決定使用裝備性能數(shù)據(jù)的一個或多個第三方支持裝備的狀態(tài)。所述狀態(tài)可為第三方支持裝備的當前狀態(tài)和/或未來狀態(tài)。支持裝備性能子系統(tǒng)可比較已收集的裝備性能數(shù)據(jù)與閾值數(shù)據(jù)，以決定第三方支持裝備的狀態(tài)，并且預測第三方支持裝備是否可能失效以及何時可能失效。閾值數(shù)據(jù)可為數(shù)值、范圍、百分比等、和/或所述數(shù)值、范圍、百分比的組合。舉例而言，支持裝備性能子系統(tǒng)可決定RF匹配單元的當前機械運動的數(shù)目是否在用戶定義的100萬的范圍內(nèi)。如果機械運動接近閾值，則支持裝備性能子系統(tǒng)決定RF匹配單元處于‘部分接近失效’狀態(tài)，并且預測所述RF單元將很快失效。支持裝備性能子系統(tǒng)可產(chǎn)生閾值結果，并且將所述閾值結果作為分析結果的一部分儲存在數(shù)據(jù)儲存器中，所述數(shù)據(jù)儲存器被耦接至所述支持裝備性能子系統(tǒng)。支持裝備性能子系統(tǒng)可使用模型來執(zhí)行更綜合的分析，以決定第三方支持裝備的未來狀態(tài)，并且決定所述第三方裝備是否可能失效以及何時可能失效。舉例而言，支持裝備性能子系統(tǒng)可使用裝備性能數(shù)據(jù)來填充模型以模擬第三方支持裝備的未來性能。模型的實例可包括但不限于模擬第三方支持裝備性能、工藝性能、工具性能等的模型。模型可由用戶定義。支持裝備性能子系統(tǒng)可產(chǎn)生建模結果，并且將所述建模結果作為分析結果的一部分儲存在數(shù)據(jù)儲存器中。支持裝備性能子系統(tǒng)基于自分析結果(例如，建模結果)中已預測的狀態(tài)可預測第三方支持裝備是否可能失效以及何時可能失效。在一個實施例中，控制系統(tǒng)(例如，E3服務器)自處理工具中收集工具數(shù)據(jù)，并且將所述工具數(shù)據(jù)儲存在數(shù)據(jù)儲存器中。支持裝備性能子系統(tǒng)可耦接數(shù)據(jù)儲存器以存取工具數(shù)據(jù)，并且例如使用模型和/或閾值數(shù)據(jù)來整合裝備性能數(shù)據(jù)與工具數(shù)據(jù)且執(zhí)行綜合的預測性維護分析。在方塊505，基于在方塊503的預測，支持裝備性能子系統(tǒng)決定是否產(chǎn)生報告和/或通知用戶已預測的性能。如上文結合圖4的一個實施例中所述，當滿足預定義條件時，支持裝備性能子系統(tǒng)可經(jīng)配置以產(chǎn)生報告和/或通知一個或多個用戶第三方支持裝備的狀態(tài)。舉例而言，當對裝備性能數(shù)據(jù)的分析指示第三方支持裝備處于‘部分接近失效’的狀態(tài)時，支持裝備性能子系統(tǒng)可產(chǎn)生警告報告且通知備用團隊。舉例而言，當支持裝備性能子系統(tǒng)決定RF匹配單元的當前機械運動的數(shù)目在用戶定義的100萬的范圍內(nèi)時，支持裝備性能子系統(tǒng)決定所述RF匹配單元接近于失效(S卩，滿足處于‘部分接近失效’狀態(tài)的條件)。其它實例可包括但不限于，當對裝備性能數(shù)據(jù)的分析指示第三方支持裝備處于‘正常部分性能’的狀態(tài)時產(chǎn)生標準報告供用戶核查、當對裝備性能數(shù)據(jù)的分析指示第三方支持裝備處于‘部分展示磨損的記號’的狀態(tài)時產(chǎn)生差異報告、以及當對裝備性能數(shù)據(jù)的分析指示第三方支持裝備處于‘部分失效’的狀態(tài)時產(chǎn)生警報報告。如果支持裝備性能子系統(tǒng)決定不產(chǎn)生報告和/或通知用戶(方塊505)，則支持裝備性能子系統(tǒng)返回到方塊501以繼續(xù)接收裝備性能數(shù)據(jù)。如果支持裝備性能子系統(tǒng)決定產(chǎn)生報告和/或通知用戶(方塊505)，則在方塊507所述支持裝備性能子系統(tǒng)產(chǎn)生適當報告和/或?qū)⑦m當通知發(fā)送至一個或多個用戶，并且返回到方塊501以繼續(xù)接收裝備性能數(shù)據(jù)。支持裝備性能子系統(tǒng)可產(chǎn)生通知且將通知送至用戶，諸如工廠管理者、備用團隊成員、工藝工程師、遠程服務工程師、支持裝備擁有者等。通知的實例可包括但不限于在網(wǎng)絡上傳送的消息(例如，電子郵件消息、文本消息、即時消息、社交網(wǎng)絡消息等)、在客戶端設備(例如，圖1中的客戶機107)上的視覺/聲音警報指示器等。接著，用戶可為排定的停機時間訂計劃，以藉由在預料的失效發(fā)生之前更換支持裝備來防止工藝失效。舉例而言，工廠管理者可知道在晚上排定的預防性維護，并且可在此排定的預防性維護期間計劃以更換RF匹配單元。圖6為計算機系統(tǒng)的一個實施例的圖解，所述計算機系統(tǒng)用于決定線內(nèi)第三方支持裝備的狀態(tài)(例如，當前狀態(tài)、未來狀態(tài))以防止未排定的停機時間。計算機系統(tǒng)600內(nèi)有用于使機器來執(zhí)行本文所論述的方法中的任何一種或多種方法的指令集。在替代性實施例中，機器可連接(例如，網(wǎng)連)至LAN、內(nèi)聯(lián)網(wǎng)、外聯(lián)網(wǎng)或因特網(wǎng)中的其它機器。機器可在客戶端-服務器網(wǎng)絡環(huán)境中以服務器或客戶機(例如，執(zhí)行瀏覽器的客戶端計算機以及執(zhí)行自動任務委托和項目管理的服務器計算機)的能力、或者作為在同級間(或分布式)網(wǎng)絡環(huán)境中的同級機器來操作。機器可為個人計算機(PC)、平板PC、控制臺設備或機頂盒(STB)、個人數(shù)字助理(PDA)、蜂窩電話、網(wǎng)電器(web appliance)、服務器、網(wǎng)絡路由器、交換機或橋接器，或者能夠執(zhí)行指令集(順序地或以其它方式)的任何機器，所述指令集規(guī)定要由所述機器采用的動作。另外，盡管僅圖示單個機器，但術語“機器”還應理解為包括任何機器(例如，計算機)的集合，所述機器各自或共同地執(zhí)行指令集(或多個集)以執(zhí)行本文所討論的方法中的任何一種或多種方法。
示例性計算機系統(tǒng)600包括處理設備602、主存儲器604(例如，只讀存儲器(ROM)、閃存、諸如同步DRAM (SDRAM)或DRAM (RDRAM)等動態(tài)隨機存取存儲器(DRAM))、靜態(tài)存儲器606 (例如，閃存、靜態(tài)隨機存取存儲器(SRAM)等)、以及次存儲器616 (例如，呈驅(qū)動單元形式的數(shù)據(jù)儲存設備，所述數(shù)據(jù)儲存設備可包括固定式計算機可讀儲存介質(zhì)或可移除計算機可讀儲存介質(zhì))，所述設備經(jīng)由總線608相互通信。處理設備602表示一個或多個通用處理設備，諸如微處理器、中央處理單元、或者類似處理設備。更具體地，處理設備602可為復雜指令集計算(CISC)微處理器、簡化指令集計算(RISC)微處理器、超長指令字(VLIW)微處理器、實施其它指令集的處理器、或者實施指令集的組合的處理器。處理設備602還可為一個或多個專用處理設備，諸如專用集成電路(ASIC)、現(xiàn)場可編程門陣列(FPGA)、數(shù)字信號處理器(DSP)、網(wǎng)絡處理器、或者類似處理設備。處理設備602經(jīng)配置以執(zhí)行用于執(zhí)行本文所述的操作和步驟的支持裝備性能子系統(tǒng) 626。計算機系統(tǒng)600可進一步包括網(wǎng)絡接口設備622。計算機系統(tǒng)600還可包括通過圖形端口和圖形芯片組連接至計算機系統(tǒng)的視頻顯示器單元610 (例如，液晶顯示器(LCD)或陰極射線管(CRT))、字母數(shù)字輸入設備612 (例如，鍵盤)、光標控制設備614 (例如，鼠標)、及信號產(chǎn)生設備620 (例如,揚聲器)。次存儲器616可包括機器可讀儲存介質(zhì)(或者更具體而言，計算機可讀儲存介質(zhì))624，一個或多個指令集(例如，支持裝備性能子系統(tǒng)626)被儲存在所述機器可讀儲存介質(zhì)624上，所述一個或多個指令集實施本文所描述的方法或功能中的任何一種或多種方法或功能。在藉由計算機系統(tǒng)600執(zhí)行支持裝備性能子系統(tǒng)626期間，支持裝備性能子系統(tǒng)626還可完全或至少部分地駐留在主存儲器604內(nèi)和/或在處理設備602內(nèi)，所述主存儲器604和所述處理設備602還構成機器可讀儲存介質(zhì)。可經(jīng)由網(wǎng)絡接口設備622在網(wǎng)絡618上進一步傳送或接收支持裝備性能子系統(tǒng)626。計算機可讀儲存介質(zhì)624還可用于持續(xù)地儲存支持裝備性能子系統(tǒng)626。盡管在示例性實施例中計算機可讀儲存介質(zhì)624圖示為單個介質(zhì)，但術語“計算機可讀儲存介質(zhì)”應理解為包括儲存一個或多個指令集的單個介質(zhì)或多個介質(zhì)(例如，集中式數(shù)據(jù)庫或分布式數(shù)據(jù)庫、和/或相關聯(lián)的高速緩存和服務器)。術語“計算機可讀儲存介質(zhì)”還應理解為包括能夠儲存或編碼由機器執(zhí)行的指令集且使機器執(zhí)行本發(fā)明的方法中的任何一種或多種方法的任何介質(zhì)。因此，術語“計算機可讀儲存介質(zhì)”應理解為包括但不限于固態(tài)存儲器、以及光學介質(zhì)和磁性介質(zhì)。支持裝備性能子系統(tǒng)626、本文(例如，關于圖1)所描述的部件以及其它特征結構可被實施為離散式硬件部件、或者按硬件部件(諸如ASICS、FPGA、DSP、或者類似設備)的功能進行整合。此外，支持裝備性能子系統(tǒng)626可被實施為固件、或者硬件設備內(nèi)的功能電路。另外，支持裝備性能子系統(tǒng)626可以硬件設備與軟件部件的任何組合來實施。在上文描述中，闡釋了大量細節(jié)。然而，對本領域技術人員而言顯而易見的是，本發(fā)明可在沒有這些特定細節(jié)的情況下實施。在一些情況下，公知結構和設備以方塊圖而非細節(jié)的形式圖示，以免使本發(fā)明模糊。下文依據(jù)在計算機存儲器內(nèi)的數(shù)據(jù)位的操作的算法和符號表示呈現(xiàn)了詳細描述的一些部分。這些算法的描述和表示為數(shù)據(jù)處理領域的技術人員用以將工作的實質(zhì)最有效地傳達至本領域其他技術人員的手段。此處且通常，算法被構思為產(chǎn)生結果的自相容(self-consistent)步驟序列。所述步驟是要求物理量的物理操縱的步驟。通常(雖然并非必然)，這些量采用能夠被儲存、移送、組合、比較和以其它方式處理的電氣信號或磁性信號的形式。主要出于共同使用的原因，數(shù)次證明將這些信號稱為位、值、元件、符號、字符、術語、編號、或者類似物為便利的。然而，應考慮到，所有這些以及類似術語將與適當?shù)奈锢砹肯嚓P聯(lián)且僅為施加到這些量的便利標簽。除非下文論述中特別說明，否則如顯而易見的，應了解，在整個描述中，利用諸如“接收”、“產(chǎn)生”、“決定”、“通知”、或者類似物的術語的論述代表計算機系統(tǒng)或者類似電子計算設備的動作和工藝，所述計算機系統(tǒng)或者類似電子計算設備將在計算機系統(tǒng)的寄存器和存儲器內(nèi)表示為物理(例如，電子)量的數(shù)據(jù)操縱且變換為在計算機系統(tǒng)存儲器或寄存器或者其它此類信息儲存器、傳送或顯示設備內(nèi)類似地表示為物理量的其它數(shù)據(jù)。本發(fā)明的實施例還涉及用于執(zhí)行本文中操作的裝置。可為所要求的目的而特定地構建所述設備，或者所述設備可包含由儲存在計算機系統(tǒng)內(nèi)的計算機程序特定編程的通用計算機系統(tǒng)。此類計算機程序可被儲存在計算機可讀儲存介質(zhì)中，諸如但不限于包括光盤、CD-ROM和磁性光盤的任何類型的磁盤、只讀存儲器(ROM)、隨機存取存儲器(RAM)、EPR0M、EEPR0M、磁卡或光卡、或者適合于儲存電子指令的任何類型的介質(zhì)。本文所呈現(xiàn)的算法和顯示不是固有地與任何特定計算機或其它裝置有關。各種通用系統(tǒng)可與根據(jù)本文的示教的程序一起使用，或者可證明構建更專用的裝置以執(zhí)行方法步驟為便利的。下文描述中將出現(xiàn)用于各種這些系統(tǒng)的結構。此外，并未參照任何特定編程語言而描述本發(fā)明的實施例。應了解，各種編程語言可用于實施如本文所描述的本發(fā)明的實施例的示教。計算機可讀儲存介質(zhì)可包括用于以由機器(例如，計算機)可讀的形式儲存信息的任何機制，但不限于光盤、壓縮盤、只讀存儲器(CD-ROM)和磁光盤、只讀存儲器(ROM)、隨機存取存儲器(RAM)、可擦除可編程只讀存儲器(EPROM)、電子可擦除可編程只讀存儲器(EEPROM)、磁卡或光卡、閃存、或者類似物。因此，本發(fā)明提供用于決定線內(nèi)第三方支持裝備的狀態(tài)(例如，當前狀態(tài)、未來狀態(tài))以防止未排定的停機時間的方法和裝置。應理解，以上描述旨在是說明性而非限制性的。在閱讀和理解以上描述之后許多其它實施例對于本領域技術人員而言將為顯而易見的。因此，應參閱所附權利要求連同此類權利要求的等效物的整個范圍來決定本發(fā)明的范圍。
權利要求
1.一種計算機實施的方法，所述方法包含: 在制造環(huán)境中，藉由包含支持裝備性能子系統(tǒng)和處理設備的服務器在第三方支持裝備的操作期間自所述第三方支持裝備中接收裝備數(shù)據(jù)，其中所述裝備數(shù)據(jù)經(jīng)由所述第三方支持裝備上的第一端口接收，并且所述第三方支持裝備經(jīng)由所述第三方支持裝備上的第二端口與處理工具相通信； 基于所述裝備數(shù)據(jù)，藉由所述服務器決定所述第三方支持裝備的未來狀態(tài)；以及 藉由所述服務器通知用戶所述第三方支持裝備的所述未來狀態(tài)性能。
2.如權利要求1所述的計算機實施的方法，其特征在于，所述第三方支持裝備由第一實體制造，并且所述支持裝備性能子系統(tǒng)由第二實體維護，其中所述第一實體與所述第二實體不同。
3.如權利要求1所述的計算機實施的方法，其特征在于，所述支持裝備性能子系統(tǒng)可從所述制造環(huán)境中移除，而不影響所述制造環(huán)境的性能。
4.如權利要求1所述的計算機實施的方法，所述方法進一步包含: 藉由所述支持裝備性能子系統(tǒng)接收配置數(shù)據(jù)，所述配置數(shù)據(jù)包含用于接收所述裝備數(shù)據(jù)的時間周期。
5.如權利要求1所述的計算機實施的方法，其特征在于，所述第三方支持裝備的所述未來狀態(tài)預測所述第三方支持裝備的失效。
6.如權利要求1所述的計算機實施的方法，其特征在于，所述第三方支持裝備的所述未來狀態(tài)包含正常性能、部分展示磨損的記號、部分接近失效、以及部分失效中的至少一個。
7.如權利要求1所述的計算機實施的方法，所述方法進一步包含: 實時地比較所述裝備數(shù)據(jù)與閾值數(shù)據(jù)以決定所述第三方支持裝備是否在性能閾值之上，其中所述性能閾值指示所述第三方支持裝備的失效。
8.如權利要求1所述的計算機實施的方法，其特征在于，所述第一端口為獨立的，并且所述第一端口與所述第二端口分離。
9.一種非瞬態(tài)計算機可讀存儲器介質(zhì)，所述非瞬態(tài)計算機可讀存儲器介質(zhì)含有使處理器執(zhí)行包含以下操作的可執(zhí)行代碼: 在制造環(huán)境中，在第三方支持裝備的操作期間自所述第三方支持裝備中接收裝備數(shù)據(jù)，其中所述裝備數(shù)據(jù)經(jīng)由所述第三方支持裝備上的第一端口接收，并且所述第三方支持裝備經(jīng)由所述第三方支持裝備上的第二端口與處理工具相通信； 基于所述裝備數(shù)據(jù)，決定所述第三方支持裝備的未來狀態(tài)；以及 通知用戶所述第三方支持裝備的所述未來狀態(tài)性能。
10.如權利要求9所述的非瞬態(tài)計算機可讀存儲器介質(zhì)，其特征在于，所述支持裝備性能子系統(tǒng)可從所述制造環(huán)境中移除，而不影響所述制造環(huán)境的性能。
11.如權利要求9所述的非瞬態(tài)計算機可讀存儲器介質(zhì)，所述非瞬態(tài)計算機可讀存儲器介質(zhì)進一步包含: 接受配置數(shù)據(jù)，所述配置數(shù)據(jù)包含用于接收所述裝備數(shù)據(jù)的時間周期。
12.如權利要求9所述的非瞬態(tài)計算機可讀存儲器介質(zhì)，其特征在于，所述第三方支持裝備的所述未來狀態(tài)預測所述第三方支持裝備的失效。
13.如權利要求9所述的非瞬態(tài)計算機可讀存儲器介質(zhì)，其特征在于，所述第三方支持裝備的所述未來狀態(tài)包含正常性能、部分展示磨損的記號、部分接近失效、以及部分失效中的至少一個。
14.如權利要求9所述的非瞬態(tài)計算機可讀存儲器介質(zhì)，所述非瞬態(tài)計算機可讀存儲器介質(zhì)進一步包含: 實時地比較所述裝備數(shù)據(jù)與閾值數(shù)據(jù)以決定所述第三方支持裝備是否在性能閾值之上，其中所述性能閾值指示所述第三 方支持裝備的失效。
15.如權利要求9所述的非瞬態(tài)計算機可讀存儲器介質(zhì)，其特征在于，所述第一端口為獨立的，并且所述第一端口與所述第二端口分離。
16.一種計算機化系統(tǒng)，所述計算機化系統(tǒng)包含: 處理器，所述處理器通過總線耦接至存儲器；以及 指令，所述指令由所述處理器自所述存儲器中執(zhí)行以使所述處理器: 在制造環(huán)境中，在第三方支持裝備的操作期間自所述第三方支持裝備中接收裝備數(shù)據(jù)，其中所述裝備數(shù)據(jù)經(jīng)由所述第三方支持裝備上的第一端口接收，并且所述第三方支持裝備經(jīng)由所述第三方支持裝備上的第二端口與處理工具相通信； 基于所述裝備數(shù)據(jù)，決定所述第三方支持裝備的未來狀態(tài)；以及 通知用戶所述第三方支持裝備的所述未來狀態(tài)性能。
17.如權利要求16所述的計算機化系統(tǒng)，其特征在于，所述指令進一步使所述處理器: 接收配置數(shù)據(jù)，所述配置數(shù)據(jù)包含用于接收所述裝備數(shù)據(jù)的時間周期。
18.如權利要求16所述的計算機化系統(tǒng)，其特征在于，所述第三方支持裝備的所述未來狀態(tài)預測所述第三方支持裝備的失效。
19.如權利要求16所述的計算機化系統(tǒng)，其特征在于，所述指令進一步使所述處理器:實時地比較所述裝備數(shù)據(jù)與閾值數(shù)據(jù)以決定所述第三方支持裝備是否在性能閾值之上，其中所述性能閾值指示所述第三方支持裝備的失效。
20.如權利要求16所述的計算機化系統(tǒng)，其特征在于，所述第一端口為獨立的，并且所述第一端口與所述第二端口分離。
全文摘要
在制造環(huán)境中，服務器在第三方支持裝備的操作期間自第三方支持裝備中接收裝備數(shù)據(jù)。服務器經(jīng)由第三方支持裝備上的第一端口接收裝備數(shù)據(jù)。第三方支持裝備經(jīng)由第三方支持裝備上的第二端口與處理工具相通信。基于裝備數(shù)據(jù)，服務器決定第三方支持裝備的未來狀態(tài)，并且通知用戶第三方支持裝備的未來狀態(tài)。
文檔編號G05B23/00GK103201691SQ201180053750
公開日2013年7月10日 申請日期2011年11月30日 優(yōu)先權日2010年11月30日
發(fā)明者J·R·斯威耶爾斯, M·耶達托勒, T·L·戴維斯, D·特納, M·W·約翰遜 申請人:應用材料公司