專利名稱：一種硅基微定位平臺驅(qū)動電源的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本申請涉及驅(qū)動電源技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種硅基微定位平臺驅(qū)動電源。
背景技術(shù)：
硅基微定位平臺是微定位技術(shù)的一種具體應用，微定位平臺的驅(qū)動電源系統(tǒng)的性能直接決定微定位平臺的性能，而且，對于不同應用場合，微定位平臺的位移量也有不同的要求，這就需要硅基微定位平臺的驅(qū)動電壓可控并且在許可的范圍內(nèi)可調(diào)。但是，傳統(tǒng)的微定位平臺的驅(qū)動電源系統(tǒng)采用穩(wěn)壓直流電源驅(qū)動，輸出電壓恒定，不能滿足硅基微定位平臺的不同應用需求。靜電驅(qū)動是常用的驅(qū)動方式之一，靜電梳齒驅(qū)動因其控制簡單、驅(qū)動效率高、精確定位等特點得到了廣泛的應用。但是如果加載梳齒上的電壓的紋波過大會導致梳齒驅(qū)動失穩(wěn)，動齒跟定齒會產(chǎn)生側(cè)壁黏附效應。傳統(tǒng)的微定位平臺的驅(qū)動電源系統(tǒng)的電壓紋波大、穩(wěn)
定性差。

發(fā)明內(nèi)容
為解決上述技術(shù)問題，本申請實施例提供一種硅基微定位平臺驅(qū)動電源，以實現(xiàn)硅基微定位平臺的驅(qū)動電壓可控、電壓紋波小、精度高，技術(shù)方案如下一種硅基微定位平臺驅(qū)動電源，包括控制器、功率放大模塊、反饋電路，其中，所述控制器接收預設的目標電壓后，產(chǎn)生相應的控制信號傳輸給所述功率放大模塊；所述功率放大模塊根據(jù)接收到的所述控制信號后輸出驅(qū)動電壓驅(qū)動硅基微定位平臺的經(jīng)典梳齒驅(qū)動器；所述反饋電路采樣所述功率放大模塊的實際輸出電壓信號作為反饋信號，提供給所述控制器；所述控制器根據(jù)接收到的所述反饋信號調(diào)節(jié)輸出的控制信號，使所述功率放大模塊輸出的驅(qū)動電壓與所述預設的目標電壓的差值在預設范圍內(nèi)。優(yōu)選的，所述控制器包括主控制器，輸入模塊、模數(shù)轉(zhuǎn)換器、數(shù)模轉(zhuǎn)換器，其中所述輸入模塊與所述主控制器連接，用于輸入預設的目標電壓值；所述模數(shù)轉(zhuǎn)換器與所述主控制器連接，用于將所述反饋電路發(fā)送的模擬的反饋信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字的反饋信號提供給所述主控制器；所述數(shù)模轉(zhuǎn)換器與所述主控制器連接，用于將主控制器發(fā)送的數(shù)字的控制信號轉(zhuǎn)換成模擬的控制信號提供給所述功率放大模塊。優(yōu)選的，所述功率放大電路包括放大電路和升壓模塊，其中，所述放大電路與所述控制器相連，用于根據(jù)所述控制器提供的控制信號輸出相應的驅(qū)動電壓，驅(qū)動所述硅基微定位平臺的靜電梳齒驅(qū)動器；所述升壓模塊與所述放大電路相連，用于為所述放大電路提供電源。
優(yōu)選的，所述放大電路包括第一加減運算電路、第二加減運算電路、電壓放大電路，所述第一加減運算電路，用于將所述預設的目標電壓對應的控制信號與所述反饋電壓信號作減法運算，得到預設的目標電壓與實際輸出電壓的差值對應的電壓信號；所述第二加減運算電路，用于將所述第一加減運算電路輸出的電壓信號與所述預設的目標電壓對應的控制信號作加法運算，得到放大電壓放大電路輸出的電壓達到所述預設的目標電壓所需的控制電壓；所述電壓放大電路，用于將所述第二加減運算電路輸出的所述控制電壓進行放大，以驅(qū)動所述硅基微定位平臺的經(jīng)典梳齒驅(qū)動器。優(yōu)選的，所述升壓模塊包括升壓控制電路、升壓電路，所述升壓控制電路的輸入端與所述數(shù)模轉(zhuǎn)換器連接，輸出端與所述升壓電路連接，用于根據(jù)所述控制器輸出的升壓控制信號，控制所述升壓電路的輸出電壓；所述升壓電路用于根據(jù)所述升壓控制信號，將輸入的第一電壓升壓為與所述升壓控制信號對應的第二電壓。優(yōu)選的，所述反饋電路包括分壓電路和電壓跟隨器，所述分壓電路與所述功率放大電路的輸出端相連，用于采樣得到所述功率放大電路輸出電壓的電壓采樣信號；所述電壓跟隨器與所述分壓電路的輸出端相連，用于將所述電壓采樣信號提供給所述模數(shù)轉(zhuǎn)換器。優(yōu)選的，還包括供電電源，用于為所述控制器及所述功率放大模塊提供電源或基準電壓。優(yōu)選的，所述輸入模塊為矩陣鍵盤。優(yōu)選的，所述主控制器為現(xiàn)場可編程門陣列。由以上本申請實施例提供的技術(shù)方案可見，所述硅基微定位平臺驅(qū)動電源為所述微定位平臺的專用驅(qū)動電源，其內(nèi)部的控制器根據(jù)接收到的預設的目標電壓，以及反饋電路采樣得到的所述功率放大模塊實際輸出的驅(qū)動電壓的反饋信號，調(diào)節(jié)所述功率放大模塊輸出電壓，使其達到預設的目標電壓。本申請實施例提供的硅基微定位平臺驅(qū)動電源通過閉環(huán)控制電路實現(xiàn)，能夠?qū)崟r根據(jù)實際的輸出電壓調(diào)節(jié)輸出的驅(qū)動電壓，使得該驅(qū)動電源輸出的驅(qū)動電壓可調(diào)，精度高，且電壓紋波小。


為了更清楚地說明本申請實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本申請中記載的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下， 還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為一種硅基微定位平臺的結(jié)構(gòu)圖；圖2為另一種硅基微定位平臺的運動平臺的位移示意圖；圖3為本申請實施例一種硅基微定位平臺驅(qū)動電源的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本申請實施例另一種硅基微定位平臺驅(qū)動電源的結(jié)構(gòu)示意圖5為本申請實施例放大電路的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為本申請?zhí)峁┑墓杌⒍ㄎ黄脚_驅(qū)動電源的靜態(tài)輸出曲線圖；圖7為本申請?zhí)峁┑墓杌⒍ㄎ黄脚_驅(qū)動電源的階躍響應曲線圖。
具體實施例方式為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本申請中的技術(shù)方案，下面將結(jié)合本申請實施例中的附圖，對本申請實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本申請一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒旧暾堉械膶嵤├?，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都應當屬于本申請保護的范圍。首先對硅基微定位平臺進行說明，請參見圖1，該微定位平臺主要包括運動平臺 1、折疊梁(圖中未示出)、柔性彎曲梁2、梳齒靜電驅(qū)動器3和檢測梁4，其中，運動平臺1由四對柔性彎曲梁2、折疊梁和檢測梁4支撐，懸浮在整個堆積微定位平臺的中心位置；梳齒靜電驅(qū)動器3位于折疊梁和檢測梁4之間，檢測梁位于每一組梳齒靜電驅(qū)動器3的末端，運動平臺1 一旦有唯一變化，檢測梁4在相應的運動方向上將發(fā)生等值形變，硅基微定位平臺通過對四對梳齒靜電驅(qū)動器3分別實現(xiàn)運動平臺沿X、-X、Y和-Y四個方向的運動。圖1為硅基微定位平臺在X方向發(fā)生位移的示意圖，圖2為硅基微定位平臺在X方向和Y方向上發(fā)生位移的示意圖。請參見圖3，示出了本申請實施例提供的一種硅基微定位平臺驅(qū)動電源的原理框圖，該驅(qū)動電源包括控制器100、功率放大模塊200、反饋電路300，其中所述控制器100的輸出端與所述功率放大模塊200的輸入端相連，功率放大模塊 200的輸出端與所述梳齒靜電驅(qū)動器相連，用于驅(qū)動梳齒靜電驅(qū)動器。所述反饋電路300采樣所述功率放大模塊200輸出的實際電壓作為反饋信號輸送給所述控制器100?？刂破?00根據(jù)接收到的預設的目標電壓，以及所述反饋電路300反饋回來的所述功率放大模塊200輸出的實際電壓的反饋信號，調(diào)節(jié)所述功率放大模塊200輸出電壓的大小，使驅(qū)動所述梳齒靜電驅(qū)動器的驅(qū)動電壓達到所述預設的目標電壓。本實施例提供的所述硅基微定位平臺驅(qū)動電源為所述微定位平臺的專用驅(qū)動電源，其內(nèi)部的控制器根據(jù)接收到的預設的目標電壓，以及反饋電路采樣得到的所述功率放大模塊實際輸出的驅(qū)動電壓的反饋信號，調(diào)節(jié)所述功率放大模塊輸出電壓，使其達到預設的目標電壓。本申請實施例提供的硅基微定位平臺驅(qū)動電源通過閉環(huán)控制電路實現(xiàn)，能夠?qū)崟r根據(jù)實際的輸出電壓調(diào)節(jié)輸出的驅(qū)動電壓，使得該驅(qū)動電源輸出的驅(qū)動電壓可調(diào)，精度高，且電壓紋波小。請參見圖4，示出了另一種硅基微定位平臺驅(qū)動電源的結(jié)構(gòu)示意圖，其中控制器包括主控制器101、輸入模塊102、模數(shù)轉(zhuǎn)換器103、數(shù)模轉(zhuǎn)換器104。功率放大模塊包括放大電路201和升壓模塊202。反饋電路包括分壓電路301和電壓跟隨器302。所述輸入模塊102與所述主控制器101相連，模數(shù)轉(zhuǎn)換器103與主控制器101的輸入端相連，數(shù)模轉(zhuǎn)換器104與主控制器101的輸出端相連。放大電路201與所述數(shù)模轉(zhuǎn)換器104相連，升壓模塊202與所述放大電路201相連，用于為該放大電路201提供電源。分壓電路301與功率放大模塊200的輸出端相連，電壓跟隨器302的輸入端與分壓電路301的輸出端相連，電壓跟隨器302的輸出端與所述模數(shù)轉(zhuǎn)換器的輸入端相連。該硅基微定位平臺的工作過程如下通過輸入模塊102為主控制器101輸入預設的目標電壓，主控制器101將接收到的所述預設的目標電壓信號進行處理，產(chǎn)生相應的控制信號經(jīng)過數(shù)模轉(zhuǎn)換器104進行數(shù)模轉(zhuǎn)換后提供給所述放大電路201，該放大電路將根據(jù)數(shù)模轉(zhuǎn)換器104提供的信號，最終輸出的電壓用于驅(qū)動所述梳齒靜電驅(qū)動器。分壓電路301采樣得到功率放大模塊200提供給梳齒靜電驅(qū)動器的驅(qū)動電壓的電壓采樣信號，通過電壓跟隨器302將所述電壓采樣信號輸送給模數(shù)轉(zhuǎn)換器103，由該模數(shù)轉(zhuǎn)換器將所述電壓采樣信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號后反饋給主控制器101。主控制器101根據(jù)接收到的電壓反饋信號調(diào)節(jié)輸出的控制信號，以使功率放大模塊輸出電壓達到所述預設的目標電壓。采用這種閉環(huán)控制系統(tǒng)，使該驅(qū)動電源輸出的電壓可控，且控制精度高，電壓紋波小。優(yōu)選的，參見圖4，所述升壓模塊202包括升壓控制電路203和升壓電路204，其中，升壓控制電路203的輸入端與數(shù)模轉(zhuǎn)換器104連接，輸出端與所述升壓電路204相連?？刂破魍ㄟ^所述升壓控制電路203控制該升壓模塊202的輸出的電壓，具體的，所述主控制器產(chǎn)生升壓控制信號，經(jīng)過所述數(shù)模轉(zhuǎn)換器104進行數(shù)模轉(zhuǎn)換后提供給所述升壓控制電路203，以控制所述升壓電路204的輸出電壓，使升壓電路輸出的電壓滿足放大電路的用電需求。所述升壓電路204具體可以為Boost升壓電路，其基本原理是由于Boost升壓電路中的開關(guān)管的開關(guān)作用，使電路中的電感儲存能量，并將儲存能量的電感當作電源，與電路中原有的電源串聯(lián)，從而提高電路的輸出電壓。為擴大所述升壓電路的輸出電流、提高輸出功率，采用高速功率場效應管 IRF630 進行擴流。而且，由于 Boost 升壓電路中的 MOSFET (Metal-Oxidelemiconductor Field-Effect Transistor，金氧半導體場效應晶體管)管存在寄生電容，在MOSFET管開通和關(guān)斷的過程中，驅(qū)動電路必須能夠?qū)ζ浼纳娙葸M行快速充電和放電，故本申請實施例采用晶體管構(gòu)成的推挽電路作為Boost升壓電路的驅(qū)動電路。優(yōu)選的，參見圖4，該驅(qū)動電源還包括供電電源400，該供電電源用于為上述的主控制器101、模數(shù)轉(zhuǎn)換器103、數(shù)模轉(zhuǎn)換器104、升壓控制電路203及升壓電路204提供工作所必需的電源。優(yōu)選的，請參見圖5，示出了所述放大電路的結(jié)構(gòu)示意圖，該放大電路包括第一加減運算電路205、第二加減運算電路206、電壓放大電路207。所述第一加減運算電路205、第二加減運算電路206均包括第一輸入端、第二輸入端和輸出端。所述第一加減運算電路205的第一輸入端與所述數(shù)模轉(zhuǎn)換電路104的輸出端相連，第二輸入端與所述電壓跟隨器302的另一輸出端相連，輸出端與所述第二加減運算電路206的第一輸入端相連。該第一加減運算電路205用于將所述主控制器101通過數(shù)模轉(zhuǎn)換器104傳輸來的所述預設的目標電壓對應的控制信號，以及所述功率放大模塊實際的輸出電壓的電壓采樣信號，作減法運算，得到預設目標電壓與實際輸出電壓的差值對應的電壓信號，并傳輸給所述第二加減運算電路206。所述第二加減運算電路206的第二輸入端與所述數(shù)模轉(zhuǎn)換電路104的輸出端相連，輸出端與所述電壓放大電路207相連。該第二加減運算電路206用于將所述第一加減運算電路205輸出的電壓信號與所述預設的目標電壓對應的控制信號作加法運算，得到電壓放大電路207輸出的電壓達到所述預設的目標電壓所需的控制電壓，并提供給所述電壓放大電路207。電壓放大電路207用于將所述第二加減運算電路206輸出的電壓進放大到所述預設的目標電壓，用于驅(qū)動所述梳齒靜電驅(qū)動器。其中所述第一加減運算電路205、第二加減運算電路206及電壓放大電路207均可通過運算放大器實現(xiàn)，屬于本領(lǐng)域公知常識，此處不再贅述。驅(qū)動電源的性能測試主要是靜態(tài)性能和動態(tài)性能，靜態(tài)性能主要是對驅(qū)動電源的輸出線性度進行測試，動態(tài)性能主要是對驅(qū)動電源進行階躍響應測試。具體的，如圖6所示，為所述硅基微定位平臺驅(qū)動電源的靜態(tài)輸出曲線圖，該曲線圖是在0V-40V范圍內(nèi)每隔5V輸出一個電壓，并測量記錄驅(qū)動電源的實際輸出電壓，利用測得的所有電壓值繪制得到所述靜態(tài)輸出曲線，由圖6所示的靜態(tài)輸出曲線可知，本申請?zhí)峁┑尿?qū)動電源的輸出具有良好的線性度、具有較高精度的電壓輸出。如圖7所示為所述硅基微定位平臺驅(qū)動電源0V-30V的動態(tài)階躍響應測試曲線，上升時間小于20us，紋波小于5mV，故本申請實施例提供的硅基微定位平臺驅(qū)動電源具有電壓紋波小、穩(wěn)定性高的優(yōu)點，且具有良好的動態(tài)性能。需要說明的是，上述實施例中的硅基微定位平臺驅(qū)動電源中的功率放大模塊直接驅(qū)動運動平臺，實現(xiàn)運動平臺在X、-X、Y和-Y四個方向的運動，需要四路功率放大模塊，每一路控制一個唯一的方向，同樣，所述反饋電路也需要四路，分別采樣四個功率放大模塊輸出的實際電壓。優(yōu)選的，上述所有實施例中的輸入模塊具體可以為矩陣鍵盤，將所需的信息輸入到主控制器中。所述主控制器具體采用FPGA(Field Programmable Gate Array，現(xiàn)場可編程門陣列)，F(xiàn)PGA具有較高的工作頻率，且具有很強的使用靈活性。FPGA使用非常靈活，同一片 FPGA通過不同的編程數(shù)據(jù)可以產(chǎn)生不同的電路功能。FPGA內(nèi)部有豐富的觸發(fā)器和I/O引腳，可以連接很多外圍器件，有利于電路的功能擴展。FPGA可以與CMOS、TTL電平兼容，使外圍器件的連接變得簡單。FPGA的現(xiàn)場可編程的特性大大縮短了設計實現(xiàn)周期；FPGA可以提供足夠大的有效邏輯容量密度，不僅大大減少了印刷電路板的使用空間，降低了系統(tǒng)功耗，而且提高了系統(tǒng)的可靠性；FPGA可以反復編程，重復使用，可以在開發(fā)系統(tǒng)中直接進行系統(tǒng)仿真。需要說明的是，上述所有實施例中的主控制器具體由FPGA芯片與必要的外圍器件組成，比如，必要的外圍器件包括配置芯片、SDRAM(Synchronous Dynamic Random Access Memory，同步動態(tài)隨機存儲器)、晶振電路和JTAG(Joint Test Action Group，聯(lián)合測試行動小組)接口，其中，所述配置芯片用于當FPGA芯片上電后重新配置該FPGA芯片； 所述晶振電路為FPGA芯片正常工作提供工作頻率。所述JTAG接口用于系統(tǒng)的配置程序與應用程序下載，以及程序的在線調(diào)試與設置。需要說明的是，在本文中，諸如第一和第二等之類的關(guān)系術(shù)語僅僅用來將一個實體或者操作與另一個實體或操作區(qū)分開來，而不一定要求或者暗示這些實體或操作之間存在任何這種實際的關(guān)系或者順序。以上所述僅是本申請的具體實施方式
，應當指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本申請原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本申請的保護范圍。
權(quán)利要求
1.一種硅基微定位平臺驅(qū)動電源，其特征在于，包括控制器、功率放大模塊、反饋電路，其中，所述控制器接收預設的目標電壓后，產(chǎn)生相應的控制信號傳輸給所述功率放大模塊； 所述功率放大模塊根據(jù)接收到的所述控制信號后輸出驅(qū)動電壓驅(qū)動硅基微定位平臺的經(jīng)典梳齒驅(qū)動器；所述反饋電路采樣所述功率放大模塊的實際輸出電壓信號作為反饋信號，提供給所述控制器；所述控制器根據(jù)接收到的所述反饋信號調(diào)節(jié)輸出的控制信號，使所述功率放大模塊輸出的驅(qū)動電壓與所述預設的目標電壓的差值在預設范圍內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅基微定位平臺驅(qū)動電源，其特征在于，所述控制器包括主控制器，輸入模塊、模數(shù)轉(zhuǎn)換器、數(shù)模轉(zhuǎn)換器，其中所述輸入模塊與所述主控制器連接，用于輸入預設的目標電壓值； 所述模數(shù)轉(zhuǎn)換器與所述主控制器連接，用于將所述反饋電路發(fā)送的模擬的反饋信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字的反饋信號提供給所述主控制器；所述數(shù)模轉(zhuǎn)換器與所述主控制器連接，用于將主控制器發(fā)送的數(shù)字的控制信號轉(zhuǎn)換成模擬的控制信號提供給所述功率放大模塊。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅基微定位平臺驅(qū)動電源，其特征在于，所述功率放大電路包括放大電路和升壓模塊，其中，所述放大電路與所述控制器相連，用于根據(jù)所述控制器提供的控制信號輸出相應的驅(qū)動電壓，驅(qū)動所述硅基微定位平臺的靜電梳齒驅(qū)動器；所述升壓模塊與所述放大電路相連，用于為所述放大電路提供電源。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅基微定位平臺驅(qū)動電源，其特征在于，所述放大電路包括 第一加減運算電路、第二加減運算電路、電壓放大電路，所述第一加減運算電路，用于將所述預設的目標電壓對應的控制信號與所述反饋電壓信號作減法運算，得到預設的目標電壓與實際輸出電壓的差值對應的電壓信號；所述第二加減運算電路，用于將所述第一加減運算電路輸出的電壓信號與所述預設的目標電壓對應的控制信號作加法運算，得到放大電壓放大電路輸出的電壓達到所述預設的目標電壓所需的控制電壓；所述電壓放大電路，用于將所述第二加減運算電路輸出的所述控制電壓進行放大，以驅(qū)動所述硅基微定位平臺的經(jīng)典梳齒驅(qū)動器。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅基微定位平臺驅(qū)動電源，其特征在于，所述升壓模塊包括 升壓控制電路、升壓電路，所述升壓控制電路的輸入端與所述數(shù)模轉(zhuǎn)換器連接，輸出端與所述升壓電路連接，用于根據(jù)所述控制器輸出的升壓控制信號，控制所述升壓電路的輸出電壓；所述升壓電路用于根據(jù)所述升壓控制信號，將輸入的第一電壓升壓為與所述升壓控制信號對應的第二電壓。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項所述的硅基微定位平臺驅(qū)動電源，其特征在于，所述反饋電路包括分壓電路和電壓跟隨器，所述分壓電路與所述功率放大電路的輸出端相連，用于采樣得到所述功率放大電路輸出電壓的電壓采樣信號；所述電壓跟隨器與所述分壓電路的輸出端相連，用于將所述電壓采樣信號提供給所述模數(shù)轉(zhuǎn)換器。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅基微定位平臺驅(qū)動電源，其特征在于，還包括供電電源， 用于為所述控制器及所述功率放大模塊提供電源或基準電壓。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅基微定位平臺驅(qū)動電源，其特征在于，所述輸入模塊為矩陣鍵盤。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅基微定位平臺驅(qū)動電源，其特征在于，所述主控制器為現(xiàn)場可編程門陣列。
全文摘要
本申請公開了一種硅基微定位平臺驅(qū)動電源，該硅基微定位平臺驅(qū)動電源為所述微定位平臺的專用驅(qū)動電源，其內(nèi)部的控制器根據(jù)接收到的預設的目標電壓，以及反饋電路采樣得到的所述功率放大模塊實際輸出的驅(qū)動電壓的反饋信號，調(diào)節(jié)所述功率放大模塊輸出電壓，使其達到預設的目標電壓。本申請實施例提供的硅基微定位平臺驅(qū)動電源通過閉環(huán)控制電路實現(xiàn)，能夠?qū)崟r根據(jù)實際的輸出電壓調(diào)節(jié)輸出的驅(qū)動電壓，使得該驅(qū)動電源輸出的驅(qū)動電壓可調(diào)，精度高，且電壓紋波小。
文檔編號G05F1/46GK102495653SQ20111042088
公開日2012年6月13日 申請日期2011年12月15日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月15日
發(fā)明者孫立寧, 房增華, 汝長海, 陳立國, 黃海波 申請人:蘇州大學