專利名稱：特殊氣體泄漏保護(hù)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種特殊氣體泄露保護(hù)裝置。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有，在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，大宗特殊氣體系統(tǒng)(簡(jiǎn)稱BSGS，全稱 BulkSpecialty Gas System)通過(guò)Y鋼瓶(臥式的)向設(shè)備供應(yīng)大流量的特殊氣體，比如三 氟化氮NF3、氨氣NH3等等。由于這些特殊氣體中，有的具有毒性，如三氟化氮NF3。 如果泄露，人體吸到這些有毒氣體后，會(huì)有損健康甚至于中毒死亡，而且泄露的NF3也 會(huì)污染環(huán)境。有的特殊氣體具有易燃性，如氨氣NH3。泄露的NH3會(huì)腐蝕設(shè)備，同時(shí) 還會(huì)污染環(huán)境。總之，大宗特殊氣體的泄露，容易導(dǎo)致嚴(yán)重的安全事故，致使人員傷亡 和環(huán)境污染。因此，我們必須防止泄露的氣體造成危害。目前，特殊氣體的泄露主要集中在鋼瓶的輸出口和輸出管(俗稱豬尾管)的連接 處。因此，如何防止泄露的特殊氣體擴(kuò)散到周圍環(huán)境中是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一 個(gè)技術(shù)問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種特殊氣體泄露保護(hù)裝置，可以防止泄露的氣體 擴(kuò)散到周圍環(huán)境中，從而，即保護(hù)工作人員的生命安全，又防止環(huán)境污染。為了達(dá)到上述的目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案一種特殊氣體泄露保護(hù)裝置，包括密封腔體和用于抽排所述密封腔體內(nèi)氣體的 排放管路，所述特殊氣體容置于鋼瓶?jī)?nèi)，所述鋼瓶的輸出口與輸出管的輸入口連接，所 述鋼瓶和輸出管的連接處設(shè)置于所述密封腔體內(nèi)部，所述密封腔體設(shè)有排放口，所述排 放管路的輸入口與所述密封腔體的排放口密封固定連接。所述排放管路與真空抽吸器連接。所述排放管路與處于負(fù)壓狀態(tài)的總排放管路連接。所述特殊氣體泄露保護(hù)裝置還包括氣體處理裝置，所述氣體處理裝置的輸入口 與所述排放管路的輸出口密封固定連接。所述排放管路內(nèi)設(shè)置有氣體探測(cè)器。所述氣體探測(cè)器直接與報(bào)警器連接。所述排放管路內(nèi)設(shè)有氣體探測(cè)器，所述氣體探測(cè)器與監(jiān)視器連接，所述監(jiān)視器 與自動(dòng)語(yǔ)音廣播單元連接。所述氣體探測(cè)器采用電化學(xué)傳感器。所述密封腔體設(shè)有第一接口孔和第二接口孔，所述鋼瓶的瓶頸密封穿套于所述 第一接口孔內(nèi)，所述輸出管密封穿套于所述第二接口孔內(nèi)。所述密封腔體分成左腔體和右腔體，所述左腔體和右腔體相互鉸接，所述左腔 體和右腔體相互接觸的表面上設(shè)有密封墊圈，所述左腔體和右腔體的相互接觸處除鉸接
3部位外其他部位通過(guò)卡扣連接。本實(shí)用新型的有益效果如下本實(shí)用新型特殊氣體泄露保護(hù)裝置通過(guò)在鋼瓶和輸出管的連接位置(容易發(fā)生 泄露的位置)設(shè)置密封腔體及其排放管路，可以將泄露的氣體通過(guò)排放管路排到指定的 裝置，從而可以防止有毒或易燃或易腐蝕的特殊氣體擴(kuò)散到周圍環(huán)境中，從而保護(hù)工作 人員的生命安全，防止環(huán)境污染。另外，通過(guò)設(shè)置氣體探測(cè)器，可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)泄露情況 并通知管理人員，以便管理人員及時(shí)采取措施防止泄露擴(kuò)大，造成浪費(fèi)以及更為嚴(yán)重的 安全事故。綜上所述，本實(shí)用新型可以有效保護(hù)環(huán)境和人身安全，并可將泄露氣體回收 利用。

本實(shí)用新型的特殊氣體泄露保護(hù)裝置由以下的實(shí)施例及附圖給出。圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例的密封腔體的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例的密封腔體增設(shè)調(diào)節(jié)合頁(yè)后的結(jié)構(gòu)示意圖；圖中，1-密封腔體、11-左腔體、12-右腔體、13-第一接口孔、14-排放口、 15-第二接口孔、16-不銹鋼合頁(yè)、17-卡扣、18-調(diào)節(jié)合頁(yè)、2-鋼瓶、3-輸出管、4-排 放管路、5-真空抽吸器、6-氣體處理裝置、7-氣體探測(cè)器、8-監(jiān)視器、9-自動(dòng)語(yǔ)音廣播 單元。
具體實(shí)施方式
以下將對(duì)本實(shí)用新型的特殊氣體泄露保護(hù)裝置作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。下面將參照附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu) 選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用 新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并 不作為對(duì)本實(shí)用新型的限制。為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的 功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本實(shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際 實(shí)施例的開(kāi)發(fā)中，必須作出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開(kāi)發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng) 或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開(kāi)發(fā)工作 可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)僅僅是常規(guī)工作。為使本實(shí)用新型的目的、特征更明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體 實(shí)施方式作進(jìn)一步的說(shuō)明。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的 比率，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。請(qǐng)參閱圖1和圖2，這種特殊氣體泄露保護(hù)裝置，包括密封腔體1和用于抽排所 述密封腔體1內(nèi)氣體的排放管路4。所述特殊氣體容置于鋼瓶2內(nèi)。所述鋼瓶2的輸出 口與輸出管3的輸入口連接。所述鋼瓶2和輸出管3的連接處設(shè)置于所述密封腔體1內(nèi) 部。所述密封腔體1設(shè)有排放口 14，所述排放管路4的輸入口與所述密封腔體1的排放 口 14密封固定連接。[0028]請(qǐng)參閱圖2，所述密封腔體1分成左腔體11和右腔體12。所述左腔體11和右 腔體12鉸接在一起，即通過(guò)不銹鋼合頁(yè)16相互鉸接，使得左腔體11和右腔體12具有打 開(kāi)和合攏兩種狀態(tài)。所述左腔體11和右腔體12相互接觸的表面上設(shè)有密封墊圈。所述 密封墊圈是橡膠密封墊圈。所述左腔體11和右腔體12的相互接觸處除鉸接部位外其他 部位通過(guò)卡扣17連接。請(qǐng)結(jié)合參閱圖1和圖2，所述密封腔體1設(shè)有第一接口孔13和第二接口孔15。 所述鋼瓶2的瓶頸密封穿套于所述第一接口孔13內(nèi)。所述輸出管3密封穿套于所述第二 接口孔15內(nèi)。為了制作和安裝方便，將所述第一接口孔13和第二接口孔15均設(shè)置成圓 孔，并以半圓孔的形式分設(shè)在所述左腔體11和右腔體12的對(duì)應(yīng)位置上。另外，所述排 放口 14也設(shè)置成圓孔，所述排放口 14通過(guò)法蘭與輸出管3密封固定連接。請(qǐng)參閱圖3，所述密封腔體1由若干連接板合圍而成，相鄰接的連接板通過(guò)調(diào)節(jié) 合頁(yè)18鉸接。通過(guò)調(diào)節(jié)合頁(yè)18鉸接在一起的兩塊連接板的連接角度可以自由調(diào)節(jié)，從 而，方便所述密封腔體1與所述鋼瓶2及輸出管4密封固定安裝，從而使得此三者不需要 非常高的位置、尺寸精度。該調(diào)節(jié)合頁(yè)18和用于連接左腔體11和右腔體12的不銹鋼合 頁(yè)16結(jié)構(gòu)相同。請(qǐng)參閱圖1，所述排放管路4與真空抽吸器5連接，真空抽氣器使得排放管路 處于負(fù)壓狀態(tài)，以便排放密封腔體內(nèi)的氣體。當(dāng)然，所述排放管路4也可以與生產(chǎn)車間 內(nèi)的總排放管路相連，所述總排放管路有專門的真空抽氣器保證該總排放管路處于負(fù)壓 狀態(tài)。所述排放管路4通過(guò)所述總排放管路，將泄露的氣體排放到指定的氣體處理裝置 中。請(qǐng)繼續(xù)參閱圖1，所述排放管路4內(nèi)設(shè)置有氣體探測(cè)器7，所述氣體探測(cè)器7與 監(jiān)視器8連接，所述監(jiān)視器8與自動(dòng)語(yǔ)音廣播單元9連接。如此，一旦氣體探測(cè)器7感應(yīng) 到泄露氣體，會(huì)馬上把該信息傳輸?shù)奖O(jiān)視器8，然后監(jiān)視器8通過(guò)自動(dòng)語(yǔ)音廣播單元9發(fā) 出警報(bào)。因此，可以及時(shí)將泄露情況告知操作人員，以便操作人員及時(shí)采取措施，防止 泄露擴(kuò)大甚至引發(fā)安全事故。監(jiān)視器8是生產(chǎn)線上的已有設(shè)備，還用于監(jiān)測(cè)其他工況。 監(jiān)視器8可以對(duì)氣體探測(cè)器7傳送的信息，進(jìn)行分析、處理和儲(chǔ)存，以便操作人員進(jìn)行 決策。當(dāng)然，所述氣體探測(cè)器7也可以直接與報(bào)警器連接，具有安裝方便、投入小的優(yōu) 點(diǎn)ο所述氣體探測(cè)器7采用電化學(xué)傳感器，電化學(xué)傳感器具有壽命長(zhǎng)、靈敏度高、 性能穩(wěn)定可靠的優(yōu)點(diǎn)。本實(shí)用新型是這樣工作的，請(qǐng)參閱圖1和圖2，一旦，密封腔體1內(nèi)的鋼瓶2和輸出管3的連接處發(fā)生泄露現(xiàn)象，特殊氣體流入 密封腔體1內(nèi)部。由于排放管路4與密封腔體1密閉連通且排放管路4處于負(fù)壓狀態(tài)， 所以，密封腔體1內(nèi)的特殊氣體被抽吸到排放管路4。此時(shí)，設(shè)置在排放管路4中的氣體 探測(cè)器7馬上感應(yīng)到該特殊氣體，并立即將信號(hào)傳遞給所述監(jiān)視器8。監(jiān)視器8具有發(fā)出 所有設(shè)備的警報(bào)的功能，管理人員收到警報(bào)后可以及時(shí)采取相應(yīng)措施，比如控制對(duì)應(yīng)氣 體的供應(yīng)設(shè)備以及泄露氣體的輸送方向。當(dāng)泄露的氣體危害性比較嚴(yán)重的時(shí)候，自動(dòng)語(yǔ) 音廣播單元9與監(jiān)視器8連動(dòng)，自動(dòng)語(yǔ)音廣播單元9進(jìn)行全廠或部分區(qū)域的廣播，使該區(qū) 域的人知道氣體泄漏的情況并及時(shí)疏散，同時(shí)通知相應(yīng)的人員在第一時(shí)間內(nèi)做出正確的應(yīng)急措施，避免泄露擴(kuò)大，進(jìn)而引發(fā)更為嚴(yán)重的安全生產(chǎn)事故。然后，排放管路4將抽 吸到的特殊氣體排放到相應(yīng)的氣體處理裝置6，以防止這些特殊氣體外流到環(huán)境中，從而 造成人員中毒傷亡和環(huán)境污染事故。 顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí) 用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要 求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種特殊氣體泄露保護(hù)裝置，其特征在于，包括密封腔體和用于抽排所述密封腔 體內(nèi)氣體的排放管路，所述特殊氣體容置于鋼瓶?jī)?nèi)，所述鋼瓶的輸出口與輸出管的輸入 口連接，所述鋼瓶和輸出管的連接處設(shè)置于所述密封腔體內(nèi)部，所述密封腔體設(shè)有排放 口，所述排放管路的輸入口與所述密封腔體的排放口密封固定連接。
2.如權(quán)利要求1所述的特殊氣體泄露保護(hù)裝置，其特征在于，所述排放管路與真空抽 吸器連接。
3.如權(quán)利要求1所述的特殊氣體泄露保護(hù)裝置，其特征在于，所述排放管路與處于負(fù) 壓狀態(tài)的總排放管路連接。
4.如權(quán)利要求1所述的特殊氣體泄露保護(hù)裝置，其特征在于，所述特殊氣體泄露保護(hù) 裝置還包括氣體處理裝置，所述氣體處理裝置的輸入口與所述排放管路的輸出口密封固 定連接。
5.如權(quán)利要求1所述的特殊氣體泄露保護(hù)裝置， 氣體探測(cè)器，所述氣體探測(cè)器直接與報(bào)警器連接。
6.如權(quán)利要求1所述的特殊氣體泄露保護(hù)裝置， 體探測(cè)器，所述氣體探測(cè)器與監(jiān)視器連接。
7.如權(quán)利要求6所述的特殊氣體泄露保護(hù)裝置， 廣播單元連接。
8.如權(quán)利要求5或6所述的特殊氣體泄露保護(hù)裝置，其特征在于，所述氣體探測(cè)器采 用電化學(xué)傳感器。
9.如權(quán)利要求1所述的特殊氣體泄露保護(hù)裝置，其特征在于，所述密封腔體設(shè)有第一 接口孔和第二接口孔，所述鋼瓶的瓶頸密封穿套于所述第一接口孔內(nèi)，所述輸出管密封 穿套于所述第二接口孔內(nèi)。
10.如權(quán)利要求1所述的特殊氣體泄露保護(hù)裝置，其特征在于，所述密封腔體分成 左腔體和右腔體，所述左腔體和右腔體相互鉸接，所述左腔體和右腔體相互接觸的表面 上設(shè)有密封墊圈，所述左腔體和右腔體的相互接觸處除鉸接部位外其他部位通過(guò)卡扣連 接。其特征在于，所述排放管路內(nèi)設(shè)置有 其特征在于，所述排放管路內(nèi)設(shè)有氣 其特征在于，所述監(jiān)視器與自動(dòng)語(yǔ)音
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種特殊氣體泄漏保護(hù)裝置。公開(kāi)了一種特殊氣體泄漏保護(hù)裝置，包括密封腔體和用于抽排所述密封腔體內(nèi)氣體的排放管路，所述特殊氣體容置于鋼瓶?jī)?nèi)，所述鋼瓶的輸出口與輸出管的輸入口連接，所述鋼瓶和輸出管的連接處設(shè)置于所述密封腔體內(nèi)部，所述密封腔體設(shè)有排放口，所述排放管路的輸入口與所述密封腔體的排放口密封固定連接。通過(guò)在鋼瓶和輸出管的連接處設(shè)置密封腔體及排放管路，可以將泄漏的氣體通過(guò)排放管路排到指定的裝置，從而可以防止這些有毒或易燃的特殊氣體擴(kuò)散到周圍環(huán)境中，從而保護(hù)工作人員的生命安全，防止環(huán)境污染。另外，通過(guò)設(shè)置氣體探測(cè)器，可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)泄漏情況并通知管理人員，以減少損失和防止擴(kuò)散。
文檔編號(hào)G05B19/048GK201796258SQ20102020107
公開(kāi)日2011年4月13日 申請(qǐng)日期2010年5月21日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月21日
發(fā)明者付曉明, 余鶴鵬, 姚念, 李凱, 高輝 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司, 武漢新芯集成電路制造有限公司