改良微納米尺度力學(xué)性能測(cè)試儀的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于力學(xué)性能檢測(cè)儀器領(lǐng)域，尤其與一種改良微納米尺度力學(xué)性能測(cè)試儀有關(guān)。
【背景技術(shù)】
[0002]專利公開號(hào)為CN2890890公開了一種微納米尺度力學(xué)性能測(cè)試儀，其結(jié)構(gòu)為??二維工作臺(tái)由一個(gè)大行程二維工作臺(tái)和一個(gè)小行程二維微動(dòng)工作臺(tái)組成，小行程微動(dòng)工作臺(tái)安裝在大行程工作臺(tái)上，試樣放置在小行程微動(dòng)工作臺(tái)上，由大行程工作臺(tái)帶動(dòng)小行程微動(dòng)工作臺(tái)在兩個(gè)檢測(cè)裝置之間運(yùn)動(dòng)，大行程工作臺(tái)由壓電陶瓷電機(jī)驅(qū)動(dòng)，在導(dǎo)軌上運(yùn)動(dòng)，并由光柵尺檢測(cè)運(yùn)動(dòng)位移。而小行程微動(dòng)工作臺(tái)帶動(dòng)試樣在兩個(gè)檢測(cè)裝置的壓頭下進(jìn)行高精度的小范圍運(yùn)動(dòng)，以便精密調(diào)整檢測(cè)位置和掃描壓痕圖，小行程微動(dòng)工作臺(tái)由線切割形成柔性鉸鏈，由壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，電容式位移傳感器檢測(cè)位移，該測(cè)試儀是由兩組不同位移速度同向的X和Y驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)距離調(diào)整，然而由于壓痕制備裝置和壓痕掃描裝置固定，實(shí)驗(yàn)樣品位于工作臺(tái)位置位移相似，無需通過大小位移調(diào)整機(jī)構(gòu)對(duì)樣品工作臺(tái)進(jìn)行位移兩次調(diào)整，影響壓痕制備裝置和壓痕掃描裝置的關(guān)鍵是壓痕制備裝置和壓痕掃描裝置與工作臺(tái)之間的相對(duì)位置，其相對(duì)位置調(diào)整則需要人工手動(dòng)調(diào)整。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]針對(duì)上述問題，本實(shí)用新型的目的旨在提供一種自動(dòng)化程度高、調(diào)整方便的改良微納米尺度力學(xué)性能測(cè)試儀來解決該問題。
[0004]為此，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案:改良微納米尺度力學(xué)性能測(cè)試儀，包括機(jī)架、分列于機(jī)架兩側(cè)并分別通過支架支撐的壓痕制備裝置和壓痕掃描裝置、X位移驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和Y位移驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)交叉層疊組成的位移工作臺(tái)，所述的位移工作臺(tái)設(shè)置于機(jī)架上，位移工作臺(tái)上設(shè)有升降機(jī)構(gòu)，升降機(jī)構(gòu)上設(shè)有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)上設(shè)有用于放置樣品的工作臺(tái)。
[0005]使用本實(shí)用新型可以達(dá)到以下有益效果:本實(shí)用新型將壓痕制備裝置和壓痕掃描裝置與機(jī)架位置相對(duì)固定，無需重復(fù)定位，通過升降機(jī)構(gòu)、XY方向位移機(jī)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的快速檢測(cè)和分析，本實(shí)用新型無需人工調(diào)整，整個(gè)過程自動(dòng)完成。本實(shí)用新型增加了旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，可以方便壓痕制備裝置和壓痕掃描裝置兩個(gè)同時(shí)進(jìn)行工作，從而提高壓痕制備裝置和壓痕掃描裝置的工作效率。
【附圖說明】
[0006]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0007]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0008]實(shí)施例:如圖1所示，本實(shí)用新型包括機(jī)架1、分列于機(jī)架1兩側(cè)并分別通過支架支撐的壓痕制備裝置6和壓痕掃描裝置7、X位移驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和Y位移驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)交叉層疊組成的位移工作臺(tái)2，位移工作臺(tái)2設(shè)置于機(jī)架1上，位移工作臺(tái)2上設(shè)有升降機(jī)構(gòu)3，升降機(jī)構(gòu)3上設(shè)有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4上設(shè)有用于放置樣品的工作臺(tái)5。
[0009]優(yōu)選地，升降機(jī)構(gòu)3為液壓驅(qū)動(dòng)的液壓油缸，通過油缸驅(qū)動(dòng)，從而確保工作臺(tái)升降時(shí)的穩(wěn)定性。
[0010]優(yōu)選地，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4呈圓盤形，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4的驅(qū)動(dòng)源設(shè)置于圓盤形旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的內(nèi)腔中，從而有利于帶動(dòng)工作臺(tái)的自由旋轉(zhuǎn)，也減小了旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的體積；作為優(yōu)選地，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4由電機(jī)驅(qū)動(dòng)。
[0011]進(jìn)一步地，壓痕制備裝置6和壓痕掃描裝置7分別通過調(diào)整機(jī)構(gòu)固定于支架上。
[0012]本實(shí)用新型將壓痕制備裝置和壓痕掃描裝置與機(jī)架位置相對(duì)固定，無需重復(fù)定位，通過升降機(jī)構(gòu)、XY方向位移機(jī)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的快速檢測(cè)和分析，本實(shí)用新型無需人工調(diào)整，整個(gè)過程自動(dòng)完成。本實(shí)用新型增加了旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)可以方便壓痕制備裝置和壓痕掃描裝置兩個(gè)同時(shí)進(jìn)行工作，從而提高壓痕制備裝置和壓痕掃描裝置的工作效率。
[0013]以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理和主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說明書中描述的只是說明本實(shí)用新型的原理，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下，本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.改良微納米尺度力學(xué)性能測(cè)試儀，包括機(jī)架(1)、分列于機(jī)架(1)兩側(cè)并分別通過支架支撐的壓痕制備裝置(6)和壓痕掃描裝置(7)、X位移驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和Y位移驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)交叉層疊組成的位移工作臺(tái)(2)，其特征在于:所述的位移工作臺(tái)(2)設(shè)置于機(jī)架(1)上，位移工作臺(tái)(2)上設(shè)有升降機(jī)構(gòu)(3)，升降機(jī)構(gòu)(3)上設(shè)有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(4)，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(4)上設(shè)有用于放置樣品的工作臺(tái)(5)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的改良微納米尺度力學(xué)性能測(cè)試儀，其特征在于:所述的升降機(jī)構(gòu)(3)為液壓驅(qū)動(dòng)的液壓油缸。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的改良微納米尺度力學(xué)性能測(cè)試儀，其特征在于:所述的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(4)呈圓盤形，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(4)的驅(qū)動(dòng)源設(shè)置于圓盤形旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的內(nèi)腔中。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的改良微納米尺度力學(xué)性能測(cè)試儀，其特征在于:所述的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(4)由電機(jī)驅(qū)動(dòng)。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的改良微納米尺度力學(xué)性能測(cè)試儀，其特征在于:所述的壓痕制備裝置(6)和壓痕掃描裝置(7)分別通過調(diào)整機(jī)構(gòu)固定于所述的支架上。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種改良微納米尺度力學(xué)性能測(cè)試儀，屬于力學(xué)性能檢測(cè)儀器領(lǐng)域。本實(shí)用新型包括機(jī)架、分列于機(jī)架兩側(cè)并分別通過支架支撐的壓痕制備裝置和壓痕掃描裝置、位移工作臺(tái)，位移工作臺(tái)設(shè)置于機(jī)架上，位移工作臺(tái)上設(shè)有升降機(jī)構(gòu)，升降機(jī)構(gòu)上設(shè)有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)上設(shè)有用于放置樣品的工作臺(tái)。本實(shí)用新型將壓痕制備裝置和壓痕掃描裝置與機(jī)架位置相對(duì)固定，無需重復(fù)定位，通過升降機(jī)構(gòu)、XY方向位移機(jī)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的快速檢測(cè)和分析，本實(shí)用新型無需人工調(diào)整，整個(gè)過程自動(dòng)完成。本實(shí)用新型增加了旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)可以方便壓痕制備裝置和壓痕掃描裝置兩個(gè)同時(shí)進(jìn)行工作，從而提高壓痕制備裝置和壓痕掃描裝置的工作效率。
【IPC分類】G01N3/42
【公開號(hào)】CN205120512
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520803225
【發(fā)明人】鄒佳琪
【申請(qǐng)人】中南大學(xué)
【公開日】2016年3月30日
【申請(qǐng)日】2015年10月15日