一種微納電極的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種電極，具體涉及一種底部帶螺旋狀的微納電極。
【背景技術(shù)】
[0002]微納電極在傳感器領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用，一般用于敏感材料的電信號(hào)測(cè)量。比較常見(jiàn)的電極形式為叉指電極，這種電極能在有限的空間體積內(nèi)提供盡可能多的傳感電信號(hào)通道，提高測(cè)量靈敏度。
[0003]現(xiàn)有的叉指電極結(jié)構(gòu)用于力學(xué)傳感器(如應(yīng)變傳感器)測(cè)量時(shí)，其結(jié)構(gòu)特征導(dǎo)致在電極在平面內(nèi)平行于叉指方向和垂直于叉指方向的靈敏度會(huì)有很大不同。某些應(yīng)用條件下，會(huì)產(chǎn)生測(cè)量誤差。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]實(shí)用新型目的:為克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供一種螺旋狀的微納電極，用于力學(xué)傳感器測(cè)量時(shí)，基本不存在方向性問(wèn)題，每個(gè)方向的測(cè)量靈敏度都能保持一致。
[0005]技術(shù)方案:一種微納電極，包括絕緣襯底和電極對(duì)，所述電極對(duì)設(shè)置在所述絕緣襯底上，所述電極對(duì)為鏡像對(duì)稱的一對(duì)平面螺旋狀金屬，這一對(duì)平面螺旋狀金屬的螺旋交錯(cuò)分布ο
[0006]進(jìn)一步的，絕緣襯底為柔性材料。
[0007]進(jìn)一步的，柔性材料為聚二甲基硅氧烷或聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯。
[0008]進(jìn)一步的，電極為金或銀材質(zhì)。
[0009]進(jìn)一步的，電極的線寬尺寸為納米或微米量級(jí)。
[0010]有益效果:本實(shí)用新型提供的一種微納電極，通過(guò)改變電極的內(nèi)部結(jié)構(gòu)，將通常的叉指狀改為螺旋狀，當(dāng)用于力學(xué)傳感器測(cè)量時(shí)，螺旋狀的微納電極能夠保持每個(gè)測(cè)量方向的靈敏度一致，提高了測(cè)量靈敏度，避免了測(cè)量誤差，使用更加方便。
【附圖說(shuō)明】
[0011]圖1為本實(shí)用新型的電極結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】做進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。
[0013]如圖1所示，一種微納電極，包括絕緣襯底1和電極2，電極2設(shè)置在絕緣襯底1內(nèi)，電極2為螺旋狀。
[0014]絕緣襯底1為柔性材料，例如聚二甲基硅氧烷PDMS或聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯PET ；電極2為導(dǎo)電性良好的金屬，例如銀或金；電極2的線寬尺寸為納米或微米量級(jí)，一般用光刻或者掩模蒸發(fā)的方法制備。鏡像對(duì)稱的一對(duì)平面螺旋狀金屬，這一對(duì)平面螺旋狀金屬的螺旋交錯(cuò)分布。如可以是太極圖形的一圈左右螺旋形分布，也可以是如圖的多圈螺旋分布。
[0015]用作傳感器基底時(shí)，可將敏感材料覆于電極2與絕緣襯底1之間的襯底表面，例如將Ag納米粒子沉積于此微納電極2的表面。當(dāng)絕緣襯底1在任意方向收到拉伸或彎曲形變時(shí)，電極之間的間距變化量相同。因此，每個(gè)方向的測(cè)量靈敏度都能夠保持一致，避免了測(cè)量誤差，使用更加方便。
[0016]最后應(yīng)當(dāng)說(shuō)明的是:以上實(shí)施例僅用于說(shuō)明本申請(qǐng)的技術(shù)方案而非對(duì)其保護(hù)范圍的限制，本實(shí)用新型所述技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各種的更改和潤(rùn)飾。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求書(shū)所界定者為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種微納電極，其特征在于:包括絕緣襯底⑴和電極對(duì)(2)，所述電極對(duì)(2)設(shè)置在所述絕緣襯底(1)上，所述電極對(duì)(2)為鏡像對(duì)稱的一對(duì)平面螺旋狀金屬，這一對(duì)平面螺旋狀金屬的螺旋交錯(cuò)分布。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微納電極，其特征在于:所述絕緣襯底(1)為柔性材料。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微納電極，其特征在于:所述電極對(duì)(2)的線寬尺寸為納米或微米量級(jí)。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供了一種微納電極，包括絕緣襯底（1）和電極（2），電極（2）設(shè)置在絕緣襯底（1）內(nèi)，電極（2）呈現(xiàn)螺旋狀。通過(guò)改變電極的內(nèi)部結(jié)構(gòu)，將通常的叉指狀改為螺旋狀，當(dāng)用于力學(xué)傳感器測(cè)量時(shí)，螺旋狀的微納電極能夠保持每個(gè)測(cè)量方向的靈敏度一致，提高了測(cè)量靈敏度，避免了測(cè)量誤差，使用更加方便。
【IPC分類】G01D5/12
【公開(kāi)號(hào)】CN205049158
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520779179
【發(fā)明人】陸偉華, 宋鳳麒, 謝波
【申請(qǐng)人】蘇州新銳博納米科技有限公司
【公開(kāi)日】2016年2月24日
【申請(qǐng)日】2015年10月10日