一種外觀瑕疵凸顯檢測(cè)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及光學(xué)檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，具體是指一種外觀瑕疵凸顯檢測(cè)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體設(shè)備制造中，光學(xué)檢測(cè)通常被用來(lái)檢測(cè)晶圓片表面的缺陷，如污染顆粒，劃傷以及材料層殘留物。上述缺陷能導(dǎo)致設(shè)備失效，從而切實(shí)影響生產(chǎn)收益。因此，在生產(chǎn)過(guò)程的不同階段中為確保清潔和質(zhì)量，需要對(duì)圖案化和未圖案化的晶圓片進(jìn)行仔細(xì)的檢測(cè)。
[0003]檢測(cè)半導(dǎo)體晶圓片的一個(gè)通常使用的方法是用一束光照射晶圓片表面，測(cè)量從每一光束入射點(diǎn)散射回來(lái)的光。例如，LED引線框架外觀的瑕疵，目前其外觀采用目檢方式，由于采用普通光源的入射光線角度固定，光照的反射造成單獨(dú)區(qū)域?qū)Ρ榷炔灰恢拢嬖诼z、誤檢、效率低下、批量外觀的差異太大等弊端，無(wú)法完美凸顯其外觀上的瑕疵。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足之處，提供一種輪廓清晰、避免光照的反射造成單獨(dú)區(qū)域?qū)Ρ榷鹊牟灰恢碌耐庥^瑕疵凸顯檢測(cè)裝置。
[0005]本實(shí)用新型的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的:
[0006]一種外觀瑕疵凸顯檢測(cè)裝置，包括從上至下依次設(shè)置的圖像采集裝置、光源裝置及檢測(cè)臺(tái)，所述光源裝置包括導(dǎo)光杯體，該導(dǎo)光杯體中部開(kāi)設(shè)有供圖像采集裝置采集檢測(cè)臺(tái)上的待檢測(cè)區(qū)域的檢測(cè)通道，所述導(dǎo)光杯體下端設(shè)有容納腔，所述容納腔內(nèi)以圓周陣列閉合成環(huán)狀方式布置有若干列LED光源，所述若干列LED光源分別設(shè)置在容納腔不同角度的安裝面上，所述若干列LED光源分別連接有光源控制裝置。
[0007]作為本實(shí)用新型的一種改進(jìn)，所述容納腔呈碗狀結(jié)構(gòu)，所述安裝面包括設(shè)置在該碗狀結(jié)構(gòu)的側(cè)壁上多個(gè)與水平面呈一夾角的環(huán)形基臺(tái)，多個(gè)環(huán)形基臺(tái)周向分布且與碗狀結(jié)構(gòu)垂直中心線的夾角自上而下逐漸變小。
[0008]本實(shí)用新型相比現(xiàn)有技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn)及有益效果:
[0009]本實(shí)用新型的圖像采集裝置通過(guò)導(dǎo)光杯體設(shè)置的檢測(cè)通道檢測(cè)檢測(cè)臺(tái)上的待檢測(cè)產(chǎn)品，檢測(cè)時(shí)以圓周陣列閉合成環(huán)狀方式布置的若干列LED光源對(duì)產(chǎn)品的各個(gè)檢測(cè)部位進(jìn)行照射，通過(guò)光源控制裝置將不同的光源亮度、照射角度的LED光源滿(mǎn)足圖像采集裝置檢測(cè)需求，達(dá)到檢測(cè)的真實(shí)度與解析度要求，從而獲得產(chǎn)品輪廓明顯清晰、對(duì)比度強(qiáng)烈的圖像，提尚檢測(cè)精準(zhǔn)度。
【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0011]下面結(jié)合實(shí)施例及附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的描述，但本實(shí)用新型的實(shí)施方式不限于此。
[0012]實(shí)施例
[0013]如圖1所示，本實(shí)施例提供一種外觀瑕疵凸顯檢測(cè)裝置，包括從上至下依次設(shè)置的圖像采集裝置1、光源裝置2及檢測(cè)臺(tái)3，所述光源裝置2包括導(dǎo)光杯體201，該導(dǎo)光杯體201中部開(kāi)設(shè)有供圖像采集裝置采集檢測(cè)臺(tái)上的待檢測(cè)區(qū)域的檢測(cè)通道202，所述導(dǎo)光杯體201下端設(shè)有容納腔，所述容納腔內(nèi)以圓周陣列閉合成環(huán)狀方式布置有若干列LED光源203，所述若干列LED光源203分別設(shè)置在容納腔不同角度的安裝面上，所述若干列LED光源分別連接有光源控制裝置(圖中未示出)。
[0014]本實(shí)施例中，所述圖像采集裝置為(XD照相機(jī)。
[0015]作為本實(shí)用新型的一種改進(jìn)，所述容納腔呈碗狀結(jié)構(gòu)，所述安裝面包括設(shè)置在該碗狀結(jié)構(gòu)的側(cè)壁上多個(gè)與水平面呈一夾角的環(huán)形基臺(tái)204，多個(gè)環(huán)形基臺(tái)204周向分布且與碗狀結(jié)構(gòu)垂直中心線的夾角自上而下逐漸變小。
[0016]本實(shí)施例中，外觀瑕疵凸顯檢測(cè)裝置依據(jù)待檢測(cè)產(chǎn)品的產(chǎn)品大小、產(chǎn)品檢測(cè)的需求，將檢測(cè)的區(qū)域分割區(qū)域，根據(jù)各個(gè)分割區(qū)域的大小及各自特點(diǎn)，開(kāi)發(fā)了 4個(gè)單獨(dú)控制亮度以及多角度的LED光源；每個(gè)LED光源因?yàn)榘惭b角度不一致，使其各環(huán)形基臺(tái)204上的LED光源203照射角度分別主要指向各個(gè)分割區(qū)域，由此能夠?qū)Ξa(chǎn)品的4個(gè)區(qū)域的亮度進(jìn)行單獨(dú)控制，從而達(dá)到各個(gè)區(qū)域的輪廓清晰、避免光照的反射造成單獨(dú)區(qū)域?qū)Ρ榷鹊牟灰恢碌膯?wèn)題。
[0017]上述實(shí)施例為本實(shí)用新型較佳的實(shí)施方式，但本實(shí)用新型的實(shí)施方式并不受上述實(shí)施例的限制，其他的任何未背離本實(shí)用新型的精神實(shí)質(zhì)與原理下所作的改變、修飾、替代、組合、簡(jiǎn)化，均應(yīng)為等效的置換方式，都包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種外觀瑕疵凸顯檢測(cè)裝置，包括從上至下依次設(shè)置的圖像采集裝置、光源裝置及檢測(cè)臺(tái)，其特征在于:所述光源裝置包括導(dǎo)光杯體，該導(dǎo)光杯體中部開(kāi)設(shè)有供圖像采集裝置采集檢測(cè)臺(tái)上的待檢測(cè)區(qū)域的檢測(cè)通道，所述導(dǎo)光杯體下端設(shè)有容納腔，所述容納腔內(nèi)以圓周陣列閉合成環(huán)狀方式布置有若干列LED光源，所述若干列LED光源分別設(shè)置在容納腔不同角度的安裝面上，所述若干列LED光源分別連接有光源控制裝置。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外觀瑕疵凸顯檢測(cè)裝置，其特征在于:所述容納腔呈碗狀結(jié)構(gòu)，所述安裝面包括設(shè)置在該碗狀結(jié)構(gòu)的側(cè)壁上多個(gè)與水平面呈一夾角的環(huán)形基臺(tái)，多個(gè)環(huán)形基臺(tái)周向分布且與碗狀結(jié)構(gòu)垂直中心線的夾角自上而下逐漸變小。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種外觀瑕疵凸顯檢測(cè)裝置，包括從上至下依次設(shè)置的圖像采集裝置、光源裝置及檢測(cè)臺(tái)，光源裝置包括導(dǎo)光杯體，該導(dǎo)光杯體中部開(kāi)設(shè)有供圖像采集裝置采集檢測(cè)臺(tái)上的待檢測(cè)區(qū)域的檢測(cè)通道，導(dǎo)光杯體下端設(shè)有容納腔，容納腔內(nèi)以圓周陣列閉合成環(huán)狀方式布置有若干列LED光源，所述若干列LED光源分別設(shè)置在容納腔不同角度的安裝面上，若干列LED光源分別連接有光源控制裝置。本實(shí)用新型檢測(cè)時(shí)以圓周陣列閉合成環(huán)狀方式布置的若干列LED光源對(duì)產(chǎn)品的各個(gè)檢測(cè)部位進(jìn)行照射，通過(guò)光源控制裝置將不同的光源亮度、照射角度的LED光源滿(mǎn)足圖像采集裝置檢測(cè)需求，達(dá)到檢測(cè)的真實(shí)度與解析度要求。
【IPC分類(lèi)】G01N21/95
【公開(kāi)號(hào)】CN205015293
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520718509
【發(fā)明人】龔溥輝
【申請(qǐng)人】惠州市緯訊科技有限公司
【公開(kāi)日】2016年2月3日
【申請(qǐng)日】2015年9月16日