氣動(dòng)傳感器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及傳感器技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種氣動(dòng)傳感器。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著科技及人們生活需求的不斷發(fā)展，氣動(dòng)傳感器在生活中的多個(gè)方面都得到了應(yīng)用。但是現(xiàn)有的氣動(dòng)傳感器存在制作成本高、制作工藝復(fù)雜、輸出信號(hào)偏小、對(duì)外接信號(hào)處理電路要求也較高的問題，而且還很容易受到外界振動(dòng)的干擾。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的發(fā)明目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供了一種氣動(dòng)傳感器，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中的氣動(dòng)傳感器的輸出信號(hào)小、對(duì)外接信號(hào)處理電路要求高、易受外界振動(dòng)干擾的問題。
[0004]本實(shí)用新型提供一種氣動(dòng)傳感器，包括:屏蔽殼、在屏蔽殼的部分或全部?jī)?nèi)側(cè)表面設(shè)置的絕緣層、及至少一個(gè)傳感單元；屏蔽殼上開設(shè)有至少兩個(gè)通氣口，氣流在通氣口之間通過；傳感單元包括:至少一層固定層和一層自由層；至少一層固定層固設(shè)在屏蔽殼上；自由層具有固定部和摩擦部；自由層的固定部與至少一層固定層或屏蔽殼固定連接；自由層通過摩擦部與至少一層固定層和/或屏蔽殼摩擦；其中，至少一層固定層和/或屏蔽殼為氣動(dòng)傳感器的信號(hào)輸出端。
[0005]進(jìn)一步，氣流的進(jìn)氣方向平行于至少一層固定層所在平面或者氣流的進(jìn)氣方向垂直于至少一層固定層所在平面。
[0006]進(jìn)一步，傳感單元包括:一層固定層和一層自由層；固定層包含電極，絕緣層設(shè)置在電極與屏蔽殼內(nèi)側(cè)表面之間；自由層通過摩擦部與固定層和/或屏蔽殼摩擦，電極和屏蔽殼為氣動(dòng)傳感器的信號(hào)輸出端。
[0007]進(jìn)一步，固定層為電極，或者，固定層為一側(cè)表面鍍有電極的高分子聚合物絕緣層O
[0008]進(jìn)一步，至少一層固定層為兩層，分別為第一固定層和第二固定層；第一固定層和第二固定層分離固設(shè)在屏蔽殼上，自由層位于第一固定層和第二固定層之間；第一固定層包含第一電極，絕緣層設(shè)置在第一電極與屏蔽殼內(nèi)側(cè)表面之間；自由層的固定部與第一固定層或第二固定層固定連接，自由層通過摩擦部與第一固定層和/或第二固定層摩擦。
[0009]進(jìn)一步，第一固定層為第一電極，或者，第一固定層為一側(cè)表面鍍有第一電極的第一高分子聚合物絕緣層。
[0010]進(jìn)一步，第二固定層為第二高分子聚合物絕緣層，第一電極和屏蔽殼為氣動(dòng)傳感器的信號(hào)輸出端。
[0011]進(jìn)一步，第二固定層包含第二電極，第二電極與屏蔽殼內(nèi)側(cè)表面接觸，第一電極和屏蔽殼為氣動(dòng)傳感器的信號(hào)輸出端。
[0012]進(jìn)一步，第二固定層包含第二電極，絕緣層還設(shè)置在第二電極與屏蔽殼內(nèi)側(cè)表面之間；第一電極和第二電極為氣動(dòng)傳感器的信號(hào)輸出端。
[0013]進(jìn)一步，第二固定層為第二高分子聚合物絕緣層，第一電極由兩個(gè)叉指電極組成，兩個(gè)叉指電極為氣動(dòng)傳感器的信號(hào)輸出端。
[0014]進(jìn)一步，第二固定層包含第二電極，絕緣層還設(shè)置在第二電極與屏蔽殼內(nèi)側(cè)表面之間；第一電極由兩個(gè)叉指電極組成，第二電極由兩個(gè)叉指電極組成，四個(gè)叉指電極為氣動(dòng)傳感器的信號(hào)輸出端。
[0015]進(jìn)一步，第二固定層中間開設(shè)有與通氣口相對(duì)的集風(fēng)口，第一固定層與屏蔽殼之間形成兩個(gè)與通氣口相對(duì)的出風(fēng)口，自由層由對(duì)稱的兩個(gè)部分組成，自由層的固定部與所述屏蔽殼固定連接。
[0016]進(jìn)一步，第二固定層為第二電極，或者，第二固定層為一側(cè)表面鍍有第二電極的第二高分子聚合物絕緣層。
[0017]進(jìn)一步，傳感單元為多個(gè)，屏蔽殼內(nèi)還設(shè)置有至少一個(gè)隔板，多個(gè)傳感單元通過隔板隔開，多個(gè)傳感單元并聯(lián)連接。
[0018]進(jìn)一步，傳感單元為多個(gè)，多個(gè)傳感單元通過絕緣層隔開，多個(gè)傳感單元并聯(lián)連接。
[0019]進(jìn)一步，自由層的固定部通過兩個(gè)墊片與至少一層固定層的一邊或?qū)枪潭ㄟB接，或者自由層的固定部通過四個(gè)墊片與至少一層固定層的四個(gè)角固定連接。
[0020]進(jìn)一步，屏蔽殼的材料為金屬材料，屏蔽殼接地。
[0021]進(jìn)一步，隔板與屏蔽殼的材料相同。
[0022]進(jìn)一步，在屏蔽殼的通氣口設(shè)置透氣屏蔽層，透氣屏蔽層為網(wǎng)狀金屬層或帶孔洞的金屬層。
[0023]進(jìn)一步，自由層經(jīng)過預(yù)熱壓和預(yù)固化處理，使得自由層在迎風(fēng)處具有彎曲結(jié)構(gòu)或彎折結(jié)構(gòu)。
[0024]進(jìn)一步，氣動(dòng)傳感器的摩擦界面的兩層相對(duì)的面中至少一面設(shè)有微納結(jié)構(gòu)。
[0025]本實(shí)用新型提供另一種氣動(dòng)傳感器，包括:屏蔽殼、在屏蔽殼的部分或全部?jī)?nèi)側(cè)表面設(shè)置的絕緣層、及至少一個(gè)傳感單元；屏蔽殼上開設(shè)有至少兩個(gè)通氣口，氣流在通氣口之間通過；傳感單元包括:自由層，自由層的一側(cè)表面鍍有電極；自由層具有固定部和摩擦部；自由層的固定部與屏蔽殼固定連接；自由層沒鍍電極的表面通過摩擦部與屏蔽殼摩擦；絕緣層設(shè)置在能夠與自由層鍍有電極的表面接觸的屏蔽殼的部分內(nèi)側(cè)表面；其中，自由層的電極和/或屏蔽殼為氣動(dòng)傳感器的信號(hào)輸出端。
[0026]本實(shí)用新型提供另一種氣動(dòng)傳感器，包括:屏蔽殼、在屏蔽殼的部分或全部?jī)?nèi)側(cè)表面設(shè)置的絕緣層、及至少一個(gè)傳感單元；屏蔽殼上開設(shè)有至少兩個(gè)通氣口，氣流在通氣口之間通過；傳感單元包括:至少一層固定層和自由層，自由層的一側(cè)表面鍍有電極，自由層具有固定部和摩擦部；至少一層固定層固設(shè)在屏蔽殼上；自由層的固定部與屏蔽殼或至少一層固定層固定連接，自由層沒鍍電極的表面通過摩擦部與固定層摩擦；絕緣層設(shè)置在能夠與自由層鍍有電極的表面接觸的屏蔽殼的部分內(nèi)側(cè)表面；其中，自由層的電極和/或屏蔽殼為氣動(dòng)傳感器的信號(hào)輸出端。
[0027]本實(shí)用新型提供的氣動(dòng)傳感器的制作成本低、輸出信號(hào)大，對(duì)外接信號(hào)處理電路要求低，可以輕易地通過氣動(dòng)傳感器的電路設(shè)計(jì)來區(qū)分氣流和外界振動(dòng)干擾產(chǎn)生的電信號(hào)，同時(shí)設(shè)置了屏蔽殼，從而進(jìn)一步減少了外界振動(dòng)對(duì)氣動(dòng)傳感器的干擾，提高了氣動(dòng)傳感器工作的準(zhǔn)確性。
【附圖說明】
[0028]圖1a為本實(shí)用新型提供的氣動(dòng)傳感器實(shí)施例一的截面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖1b為本實(shí)用新型提供的氣動(dòng)傳感器實(shí)施例一中屏蔽殼的正視圖一；
[0030]圖1c為本實(shí)用新型提供的氣動(dòng)傳感器實(shí)施例一中屏蔽殼的正視圖二 ；
[0031]圖1d為本實(shí)用新型提供的氣動(dòng)傳感器實(shí)施例一中屏蔽殼的正視圖三；
[0032]圖2為本實(shí)用新型提供的自由層通過墊片與固定層固定連接方法一的示意圖；
[0033]圖3為本實(shí)用新型提供的自由層通過墊片與固定層固定連接方法二的示意圖；
[0034]圖4為本實(shí)用新型提供的自由層通過墊片與固定層固定連接方法三的示意圖；
[0035]圖5為本實(shí)用新型提供的自由層通過墊片與固定層固定連接方法四的示意圖；
[0036]圖6為本實(shí)用新型提供的自由層通過墊片與固定層固定連接方法五的示意圖；
[0037]圖7為本實(shí)用新型提供的氣動(dòng)傳感器實(shí)施例二的截面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0038]圖8a為本實(shí)用新型提供的氣動(dòng)傳感器實(shí)施例三的截面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0039]圖Sb為本實(shí)用新型提供的氣動(dòng)傳感器實(shí)施例三中屏蔽殼的正視圖一；
[0040]圖Sc為本實(shí)用新型提供的氣動(dòng)傳感器實(shí)施例三中屏蔽殼的正視圖二 ；
[0041]圖9為本實(shí)用新型提供的氣動(dòng)傳感器的實(shí)施例四的截面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0042]圖10為本實(shí)用新型提供的氣動(dòng)傳感器的實(shí)施例五的截面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0043]圖11為本實(shí)用新型提供的氣動(dòng)傳感器的實(shí)施例六的截面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0044]圖12a為本實(shí)用新型提供的氣動(dòng)傳感器的實(shí)施例七的截面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0045]圖12b為叉指電極的設(shè)置圖；
[0046]圖13為本實(shí)用新型提供的氣動(dòng)傳感器的實(shí)施例八的截面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0047]圖14為本實(shí)用新型提供的氣動(dòng)傳感器的實(shí)施例九的截面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0048]圖15為實(shí)施例九的第二固定層的縱截面示意圖；
[0049]圖16為實(shí)施例九的第一固定層的縱截面示意圖；
[0050]圖17為實(shí)施例九的自由層結(jié)構(gòu)一縱截面示意圖；
[0051]圖18為實(shí)施例九的自由層結(jié)構(gòu)二縱截面示意圖；
[0052]圖19為本實(shí)用新型提供的氣動(dòng)傳感器的實(shí)施例十的截面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0053]圖20為本實(shí)用新型提供的氣動(dòng)傳感器的實(shí)施例十一的截面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0054]圖21為本實(shí)用新型提供的氣動(dòng)傳感器的實(shí)施例十二的截面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0055]圖22為本實(shí)用新型提供的氣動(dòng)傳感器的實(shí)施例十三的截面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0056]圖23a為自由層結(jié)構(gòu)一的示意圖；
[0057]圖23b為自由層結(jié)構(gòu)二的示意圖。