基板缺陷位置定位方法及裝置和系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種基板缺陷位置定位方法、裝置和系統(tǒng)。一種基板缺陷位置定位方法，用于定位基板上的缺陷位置，缺陷具有灰階信息，包括步驟：根據(jù)缺陷的灰階信息，判斷缺陷類型；根據(jù)缺陷類型，調(diào)節(jié)光源強度并獲取視野圖片；將視野圖片轉(zhuǎn)換為二階化圖片；根據(jù)二階化圖片確定缺陷位置。一種基板缺陷位置定位裝置，用于上述基板缺陷位置定位方法，包括信息處理單元、光源控制單元、目視單元以及圖像處理單元。一種基板缺陷位置定位系統(tǒng)，包括自動光學檢測設備以及上述基板缺陷位置定位裝置，自動光學檢測設備連接基板缺陷位置定位裝置的信息處理單元。上述方法、裝置和系統(tǒng)能夠提高了缺陷定位的效率，降低了缺陷誤報率。
【專利說明】
基板缺陷位置定位方法及裝置和系統(tǒng)
技術(shù)領域
[0001]本發(fā)明涉及顯示屏基板生產(chǎn)領域，特別是涉及一種基板缺陷位置定位方法及裝置和基板缺陷位置定位系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]顯不器，不管是TFT-LCD(ThinFi ImTrans i storLiquidCry stalDi sp lay，薄膜晶體管液晶顯示器)還是0LED(0rganic Light-Emitting D1de，有機電激光顯示)，在生產(chǎn)時，往往難以避免存在一些缺陷。
[0003]為了修復缺陷，首先需要找到缺陷所在的位置，一般情況下缺陷的位置坐標可以由自動光學檢測(AOI)設備讀取，但是往往該缺陷并不是在修復設備的小倍率目視鏡頭的視野的中間位置上。
[0004]為了將該缺陷位置移至目視鏡頭的視野中間位置，一般是通過人工移動鏡頭，然后再切換至大倍率鏡頭進行修復，或者利用二階化圖像處理技術(shù)自動尋找缺陷位置。但是這樣的方法，往往會出現(xiàn)誤報現(xiàn)象，效率較低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]基于此，有必要針對基板缺陷的識別和定位問題，提供一種基板缺陷位置定位方法、基板缺陷位置定位裝置以及基板缺陷位置定位系統(tǒng)。
[0006]—種基板缺陷位置定位方法，用于定位基板上的缺陷位置，所述缺陷具有灰階信息，包括步驟:
[0007]根據(jù)所述缺陷的灰階信息，判斷所述缺陷類型；
[0008]根據(jù)所述缺陷類型，調(diào)節(jié)光源強度并獲取視野圖片；
[0009]將所述視野圖片轉(zhuǎn)換為二階化圖片；
[0010]根據(jù)所述二階化圖片確定所述缺陷位置。
[0011 ]這樣的基板缺陷位置定位方法，通過根據(jù)缺陷的灰階信息，判斷缺陷類型，然后根據(jù)不同的缺陷類型，調(diào)節(jié)光源強度，并進一步將圖片轉(zhuǎn)換為二階化圖片，從而加強缺陷和周圍圖案的對比度，將缺陷的對比度放大，從而能夠更容易也更精確地識別出缺陷，避免對于一些非缺陷的誤判，從而能夠更準確地定位缺陷位置，提高了缺陷定位的效率，并降低了缺陷誤報率。
[0012]在其中一個實施例中，在所述步驟根據(jù)所述缺陷的灰階信息，判斷所述缺陷類型中，所述缺陷類型包括暗點缺陷和亮點缺陷。
[0013]在其中一個實施例中，在所述步驟根據(jù)所述缺陷類型，調(diào)節(jié)光源強度并獲取視野圖片中，還包括步驟:
[0014]如果所述缺陷類型為暗點缺陷，將所述光源強度調(diào)高；
[0015]如果所述缺陷類型為亮點缺陷，將所述光源強度調(diào)低。
[0016]在其中一個實施例中，在所述步驟將所述視野圖片轉(zhuǎn)換為二階化圖片后，還包括步驟:
[0017]設定圖片對比周期及閾值；
[0018]所述根據(jù)所述二階化圖片確定所述缺陷位置的步驟，是當在所述視野圖片范圍內(nèi)存在所述缺陷時，根據(jù)所述圖片對比周期和閾值，確定所述缺陷位置。
[0019]在其中一個實施例中，在所述步驟根據(jù)所述二階化圖片確定所述缺陷位置后，還包括步驟:移動所述基板，將所述缺陷位置移動至視野中央。
[0020]—種基板缺陷位置定位裝置，用于定位基板上的缺陷位置，包括
[0021 ] 信息處理單元，所述信息處理單元用于處理灰階信息，判斷所述缺陷類型；
[0022]光源控制單元，所述光源控制單元和所述信息處理單元連接，用于根據(jù)所述缺陷類型，調(diào)節(jié)光源強度；
[0023]目視單元，所述目視單元和所述光源控制單元連接，所述目視單元的光源強度受所述光源控制單元所調(diào)節(jié)，所述目視單元用于獲取視野圖片；以及
[0024]圖像處理單元，所述圖像處理單元連接所述目視單元，用于將所述視野圖片轉(zhuǎn)換為二階化圖片并根據(jù)所述二階化圖片確定所述缺陷位置。
[0025]上述基板缺陷位置定位裝置，通過根據(jù)缺陷的灰階信息，判斷缺陷類型，然后根據(jù)不同的缺陷類型，調(diào)節(jié)光源強度，并進一步將圖片轉(zhuǎn)換為二階化圖片，從而加強缺陷和周圍圖案的對比度，將缺陷的對比度放大，從而能夠更容易也更精確地識別出缺陷，避免對于一些非缺陷的誤判，從而能夠更準確地定位缺陷位置，提高了缺陷定位的效率，并降低了缺陷誤報率。
[0026]在其中一個實施例中，所述目視單元包括彩色鏡頭圖像控制器。
[0027]在其中一個實施例中，所述圖像處理單元能夠設定圖片對比周期及閾值，當在所述視野圖片范圍內(nèi)存在所述缺陷時，根據(jù)所述圖片對比周期和閾值，確定所述缺陷位置。
[0028]在其中一個實施例中，還包括載臺和伺服運動單元，所述載臺用于承載所述基板，所述伺服運動單元連接所述圖像處理單元和所述載臺，用于根據(jù)所述缺陷位置，控制所述載臺移動。
[0029]—種基板缺陷位置定位系統(tǒng)，包括自動光學檢測設備以及上述任意一項所述的基板缺陷位置定位裝置，所述自動光學檢測設備連接所述基板缺陷位置定位裝置的信息處理單元。
[0030]上述基板缺陷位置定位系統(tǒng)，通過自動光學檢測(AOI)設備以及基板缺陷位置定位裝置，能夠?qū)崿F(xiàn)自動識別和定位基板缺陷位置，實現(xiàn)了定位的自動化，有效提高了修補缺陷的效率。
【附圖說明】
[0031 ]圖1為本發(fā)明一實施例的基板缺陷位置定位方法的步驟流程圖；
[0032]圖2為本發(fā)明一實施例的基板缺陷位置定位方法的部分子步驟流程圖；
[0033]圖3a、圖3b為本發(fā)明一實施例的暗缺陷一■階化圖片的不意圖；
[0034]圖4a、圖4b為本發(fā)明一實施例的殼缺陷的一■階化圖片的不意圖；
[0035]圖5為本發(fā)明又一實施例的基板缺陷位置定位方法的步驟流程圖；
[0036]圖6為本發(fā)明一實施例的基板缺陷定位裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0037]圖7為本發(fā)明一實施例的基板缺陷位置定位系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0038]為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更為明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的具體實施例做詳細的說明。
[0039]請參見圖1和圖2，分別為本發(fā)明一實施例的基板缺陷位置定位方法的步驟流程圖和部分子步驟流程圖。該基板缺陷位置定位方法用于定位基板上的缺陷位置，該缺陷具有灰階信息。如圖1所示，該基板缺陷位置定位方法包括，步驟SllO根據(jù)缺陷的灰階信息，判斷缺陷類型。該缺陷類型可以包括暗點缺陷和亮點缺陷，暗點缺陷就是說該缺陷的亮度低于正常亮度，亮點缺陷就是說該缺陷的亮度高于正常亮度。通常情況下，暗點缺陷的亮度會比其周圍的亮度要低，而亮點缺陷的亮度會比其周圍的亮度要高。
[0040]步驟S120根據(jù)缺陷類型，比如根據(jù)該缺陷是暗點缺陷還是亮點缺陷，調(diào)節(jié)光源強度并獲取視野圖片。
[0041]如圖2所示，在步驟S120中，還可以包括步驟S121，如果缺陷類型為暗點缺陷，則將光源強度調(diào)高。步驟S122，如果缺陷類型為亮點缺陷，則將光源強度調(diào)低，從而使得明暗對比度更為明顯。這樣，能夠便于獲取更為清晰，對比度強的視野圖片。
[0042]步驟S130將獲得的視野圖片轉(zhuǎn)換為二階化圖片。這樣通過二階化圖像處理的方式將視野圖片轉(zhuǎn)化為二階化圖片，能夠比較清楚地識別出缺陷的位置。
[0043]步驟S140根據(jù)二階化圖片確定缺陷位置。從而實現(xiàn)對缺陷位置的定位。
[0044]請參見圖3a、圖3b和圖4a、圖4b，分別為本發(fā)明一實施例的暗缺陷和亮缺陷的二階化圖片的示意圖。如圖3a所示，當缺陷類型為暗缺陷時，將光源強度調(diào)高后再進行二階化處理，可以得到圖3b所示的二階化圖片?？梢钥吹皆趫D3b中，缺陷的位置非常明顯，和周圍的亮度對比強烈，亮度遠低于周圍圖案的亮度。從而能夠有效快速地識別出缺陷位置，并避免誤報情況。如圖4a所示，當缺陷類型為亮缺陷時，將光源強度調(diào)低后再進行二階化處理，可以得到圖4b所示的二階化圖片。可以看到在圖4b中，缺陷的位置非常明顯，和周圍的亮度對比強烈，亮度遠高于周圍圖案的亮度。從而能夠有效快速地識別出缺陷位置，并避免誤報情況。
[0045]這樣的基板缺陷位置定位方法，通過根據(jù)缺陷的灰階信息，判斷缺陷類型，然后根據(jù)不同的缺陷類型，調(diào)節(jié)光源強度，并進一步將圖片轉(zhuǎn)換為二階化圖片，從而加強缺陷和周圍圖案的對比度，將缺陷的對比度放大，從而能夠更容易也更精確地識別出缺陷，避免對于一些非缺陷的誤判，從而能夠更準確地定位缺陷位置，提高了缺陷定位的效率，并降低了缺陷誤報率。
[0046]如圖1所示，在步驟S140根據(jù)二階化圖片確定缺陷位置后，還可以包括步驟S150，移動基板，將缺陷位置移動至視野中央。這樣不僅能夠確定缺陷的位置，還能夠根據(jù)缺陷位置，將缺陷自動移動至視野的中央，從而便于對缺陷的修補。
[0047]請參見圖5，為本發(fā)明另一實施例的基板缺陷位置定位方法的步驟流程圖。如圖所示，在步驟S130將獲得的視野圖片轉(zhuǎn)換為二階化圖片后，還包括步驟S141設定圖片對比周期及閾值。步驟S142當在視野圖片范圍內(nèi)存在缺陷時，根據(jù)圖片對比周期和閾值，確定缺陷位置。在本實施例中，該基板缺陷位置定位方法是通過步驟S142確定缺陷位置。
[0048]請結(jié)合圖3a、圖3b和圖4a、圖4b，通?；迳系膱D案都為周期性排列圖案，并且由于圖案的不一樣，出現(xiàn)亮度不均勻也是正常的，因此為了避免誤報缺陷，設定一定的對比周期，比如3個周期或5個周期等等。從而可以將識別出來的缺陷和周圍3個或5個周期性圖案進行對比，以確定該位置上是否是存在缺陷。同樣的，也可以設定一定閾值，由于對工藝精度的要求不一樣，在不同的情況下，有些缺陷可能是在可接受范圍內(nèi)的。通過設定的閾值，比如正負10個灰階等，能夠?qū)⒆R別出來的缺陷的灰階和周圍的周期性圖案上相同的位置的灰階相對比，如果灰階差值超過設定的閾值，則確認該缺陷為缺陷。如果灰階差值在設定的閾值內(nèi)，則認為該缺陷是可以忽略的，無需修補?？梢岳斫獾氖?，該對比周期和閾值可以根據(jù)不同的產(chǎn)品的排布周期以及材料的不同而設置。
[0049]這樣的基板缺陷位置定位方法，不僅僅是通過缺陷和其所在圖案相對比，確定缺陷位置，進一步地通過缺陷和其周圍幾個周期的圖案相對比，并設定一定的閾值，一方面可以根據(jù)具體的圖案情況有效降低誤報率，避免由于圖案本身的原因造成對缺陷的誤判；另一方面，也能夠增強識別和定位的靈活性，提高定位效率。
[0050]請參見圖6，為本發(fā)明一實施例的基板缺陷定位裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖所示，基板缺陷位置定位裝置200，用于定位基板300上的缺陷位置，包括信息處理單元210、光源控制單元220、目視單元230以及圖像處理單元240。其中，信息處理單元210用于處理灰階信息并判斷缺陷類型。光源控制單元220和信息處理單元210連接，用于根據(jù)缺陷類型，調(diào)節(jié)光源強度。目視單元230和光源控制單元220連接，目視單元230的光源強度受光源控制單元220所調(diào)節(jié)，目視單元230用于獲取視野圖片，優(yōu)選地，該目視單元230包括彩色鏡頭圖像控制器(CCD)。圖像處理單元240連接目視單元230，用于將視野圖片轉(zhuǎn)換為二階化圖片并根據(jù)二階化圖片確定缺陷位置。這樣的基板缺陷位置定位裝置，通過根據(jù)缺陷的灰階信息，判斷缺陷類型，然后根據(jù)不同的缺陷類型，調(diào)節(jié)光源強度，并進一步將圖片轉(zhuǎn)換為二階化圖片，從而加強缺陷和周圍圖案的對比度，將缺陷的對比度放大，從而能夠更容易也更精確地識別出缺陷，避免對于一些非缺陷的誤判，從而能夠更準確地定位缺陷位置，提高了缺陷定位的效率，并降低了缺陷誤報率。
[0051 ]在本實施例中，基板缺陷定位裝置200還包括伺服運動單元250和載臺260，載臺260用于承載基板300，該伺服運動單元250連接圖像處理單元240和載臺260，用于根據(jù)定位的缺陷位置，控制載臺260移動。圖像處理單元240將確定的缺陷位置發(fā)送給伺服運動單元250，伺服運動單元250根據(jù)接收到的缺陷位置控制載臺260移動，從而移動基板300，實現(xiàn)將缺陷位置移至目視單元230的視野中央，便于對缺陷的修補。
[0052]優(yōu)選地，圖像處理單元240能夠設定圖片對比周期及閾值，當在視野圖片范圍內(nèi)存在缺陷時，根據(jù)圖片對比周期和閾值，確定缺陷位置。通常基板上的圖案都為周期性排列圖案，并且由于圖案的不一樣，出現(xiàn)亮度不均勻也是正常的，因此為了避免誤報缺陷，設定一定的對比周期，比如3或5等等。從而可以將識別出來的缺陷和周圍3個或5個周期性圖案進行對比，以確定該位置上是否是存在缺陷。同樣的，也可以設定一定閾值，由于對工藝精度的要求不一樣，在不同的情況下，有些缺陷可能是在可接受范圍內(nèi)的。通過設定的閾值，比如正負10個灰階等，能夠?qū)⒆R別出來的缺陷的灰階和周圍的周期性圖案上相同的位置的灰階相對比，如果灰階差值超過設定的閾值，則確認該缺陷為缺陷。如果灰階差值在設定的閾值內(nèi)，則認為該缺陷是可以忽略的，無需修補。
[0053]這樣的基板缺陷位置定位裝置，不僅僅能夠通過缺陷和其所在圖案相對比，確定缺陷位置，進一步地還能夠通過缺陷和其周圍幾個周期的圖案相對比，并設定一定的閾值，一方面可以根據(jù)具體的圖案情況有效降低誤報率，避免由于圖案本身的原因造成對缺陷的誤判;另一方面，也能夠增強識別和定位的靈活性，提高定位效率。
[0054]請參見圖7，為本發(fā)明一實施例的基板缺陷位置定位系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖所示，該基板缺陷位置定位系統(tǒng)400包括自動光學檢測(AOI)設備410以及基板缺陷位置定位裝置420，其中基板缺陷位置定位裝置420可以為上述任一實施例的基板缺陷位置定位裝置。該自動光學檢測(AOI)設備410連接基板缺陷位置定位裝置420的信息處理單元421。從而能夠?qū)⒆詣庸鈱W檢測(AOI)設備410檢測出的缺陷的灰階信息發(fā)送給基板缺陷位置定位裝置420的信息處理單元421。這樣的基板缺陷位置定位系統(tǒng)，通過自動光學檢測(AOI)設備410以及基板缺陷位置定位裝置420，能夠?qū)崿F(xiàn)自動識別和定位基板缺陷位置，實現(xiàn)了定位的自動化，有效提尚了修補缺陷的效率。
[0055]以上所述實施例的各技術(shù)特征可以進行任意的組合，為使描述簡潔，未對上述實施例中的各個技術(shù)特征所有可能的組合都進行描述，然而，只要這些技術(shù)特征的組合不存在矛盾，都應當認為是本說明書記載的范圍。
[0056]以上所述實施例僅表達了本發(fā)明的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細，但并不能因此而理解為對發(fā)明專利范圍的限制。應當指出的是，對于本領域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本發(fā)明的保護范圍。因此，本發(fā)明專利的保護范圍應以所附權(quán)利要求為準。
【主權(quán)項】
1.一種基板缺陷位置定位方法，用于定位基板上的缺陷位置，所述缺陷具有灰階信息，其特征在于，包括步驟: 根據(jù)所述缺陷的灰階信息，判斷所述缺陷類型； 根據(jù)所述缺陷類型，調(diào)節(jié)光源強度并獲取視野圖片； 將所述視野圖片轉(zhuǎn)換為二階化圖片； 根據(jù)所述二階化圖片確定所述缺陷位置。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板缺陷位置定位方法，其特征在于，在所述步驟根據(jù)所述缺陷的灰階信息，判斷所述缺陷類型中，所述缺陷類型包括暗點缺陷和亮點缺陷。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板缺陷位置定位方法，其特征在于，在所述步驟根據(jù)所述缺陷類型，調(diào)節(jié)光源強度并獲取視野圖片中，還包括步驟: 如果所述缺陷類型為暗點缺陷，將所述光源強度調(diào)高； 如果所述缺陷類型為亮點缺陷，將所述光源強度調(diào)低。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板缺陷位置定位方法，其特征在于，在所述步驟將所述視野圖片轉(zhuǎn)換為二階化圖片后，還包括步驟: 設定圖片對比周期及閾值； 所述根據(jù)所述二階化圖片確定所述缺陷位置的步驟，是當在所述視野圖片范圍內(nèi)存在所述缺陷時，根據(jù)所述圖片對比周期和閾值，確定所述缺陷位置。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板缺陷位置定位方法，其特征在于，在所述步驟根據(jù)所述二階化圖片確定所述缺陷位置后，還包括步驟:移動所述基板，將所述缺陷位置移動至視野中央。6.—種基板缺陷位置定位裝置，用于定位基板上的缺陷位置，其特征在于，包括 信息處理單元，所述信息處理單元用于處理灰階信息，判斷所述缺陷類型； 光源控制單元，所述光源控制單元和所述信息處理單元連接，用于根據(jù)所述缺陷類型，調(diào)節(jié)光源強度； 目視單元，所述目視單元和所述光源控制單元連接，所述目視單元的光源強度受所述光源控制單元所調(diào)節(jié)，所述目視單元用于獲取視野圖片；以及 圖像處理單元，所述圖像處理單元連接所述目視單元，用于將所述視野圖片轉(zhuǎn)換為二階化圖片并根據(jù)所述二階化圖片確定所述缺陷位置。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板缺陷位置定位裝置，其特征在于，所述目視單元包括彩色鏡頭圖像控制器。8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板缺陷位置定位裝置，其特征在于，所述圖像處理單元能夠設定圖片對比周期及閾值，當在所述視野圖片范圍內(nèi)存在所述缺陷時，根據(jù)所述圖片對比周期和閾值，確定所述缺陷位置。9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板缺陷位置定位裝置，其特征在于，還包括載臺和伺服運動單元，所述載臺用于承載所述基板，所述伺服運動單元連接所述圖像處理單元和所述載臺，用于根據(jù)所述缺陷位置，控制所述載臺移動。10.一種基板缺陷位置定位系統(tǒng)，其特征在于，包括自動光學檢測設備以及權(quán)利要求6至9任意一項所述的基板缺陷位置定位裝置，所述自動光學檢測設備連接所述基板缺陷位置定位裝置的信息處理單元。
【文檔編號】G01N21/956GK106093073SQ201610389092
【公開日】2016年11月9日
【申請日】2016年6月2日 公開號201610389092.6, CN 106093073 A, CN 106093073A, CN 201610389092, CN-A-106093073, CN106093073 A, CN106093073A, CN201610389092, CN201610389092.6
【發(fā)明人】張祥
【申請人】昆山國顯光電有限公司