磁檢測傳感器以及磁計測裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供磁檢測傳感器，即使更換磁反應(yīng)部也不用調(diào)整光路并能夠簡便地恢復(fù)檢測磁的靈敏度。磁傳感器(4)具備以與磁矢量(58)的強度對應(yīng)的方式使通過的激光(43)的偏振光面旋轉(zhuǎn)且具有被填充了氣體的氣體單元(53)的磁反應(yīng)部(34)、將激光(43)引導(dǎo)至磁反應(yīng)部(34)的導(dǎo)光部(38)、以及檢測通過了磁反應(yīng)部(34)的激光(43)的偏振光面的旋轉(zhuǎn)角的光檢測部(41)，導(dǎo)光部(38)與光檢測部(41)的相對位置固定，磁反應(yīng)部(34)相對于導(dǎo)光部(38)以及光檢測部(41)以能夠拆裝的方式設(shè)置。
【專利說明】
磁檢測傳感器以及磁計測裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本發(fā)明涉及磁檢測傳感器以及磁計測裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]用于測定比地磁微小的心臟磁場、腦磁場等的生物體磁場計測裝置正在被研究。生物體磁場計測裝置為非侵入式，能夠不對被檢體施加負荷地計測臟器的狀態(tài)。專利文獻I公開了檢測微小的磁場的磁測定裝置。由此，本裝置使用光栗式磁檢測傳感器。該磁檢測傳感器中在單元內(nèi)裝入有包含堿金屬原子的氣體。而且，向單元照射激光。此時單元內(nèi)堿金屬原子的磁力矩的方向一致。
[0003]在磁作用于磁檢測傳感器時磁力矩產(chǎn)生旋進(歳差運動)。在使直線偏振光通過單元時，由于磁力矩的旋進，光的偏振光面旋轉(zhuǎn)。而且，通過檢測偏振光面的旋轉(zhuǎn)角，由此計測作用于磁檢測傳感器的磁的強度。磁檢測傳感器中具備單元配置為矩陣狀的磁反應(yīng)部。而且，向各單元導(dǎo)入光的導(dǎo)光部與檢測通過單元光的偏振光面的旋轉(zhuǎn)角的光檢測部重疊。
[0004]專利文獻I:日本特開2012-177585號公報
[0005]密封于單元的氣體隨著時間的經(jīng)過而漏出。由此，磁檢測傳感器的靈敏度降低。因此，在從將氣體密封于單元開始經(jīng)過規(guī)定的時間時，需要向單元再次填充氣體。此時，在專利文獻I的磁檢測傳感器中，將導(dǎo)光部、磁反應(yīng)部以及光檢測部分離。然后，向磁反應(yīng)部的各單元再次填充氣體。接下來，將導(dǎo)光部、磁反應(yīng)部以及光檢測部重疊組裝。進行使導(dǎo)光部的光軸與光檢測部的光軸一致的調(diào)整，并進行光軸的檢查。在單元的數(shù)量變多的程度上使光軸一致的作業(yè)變得很難。因此，期望更換磁反應(yīng)部而省去光路的調(diào)整并能夠簡便地恢復(fù)檢測磁的靈敏度的磁檢測傳感器。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明是為了解決上述課題而完成的，能夠通過以下的方式或者應(yīng)用例來實現(xiàn)。
[0007]應(yīng)用例I
[0008]本應(yīng)用例的磁檢測傳感器的特征在于，具備:磁反應(yīng)部，其與磁的強度對應(yīng)地使在該磁反應(yīng)部通過的光的偏振光面旋轉(zhuǎn)，并且具有填充有氣體的氣體室;導(dǎo)光部，其將光引導(dǎo)至上述磁反應(yīng)部；以及光檢測部，其檢測在上述磁反應(yīng)部通過的光的偏振光面的旋轉(zhuǎn)角，上述導(dǎo)光部與上述光檢測部的相對位置固定，上述磁反應(yīng)部相對于上述導(dǎo)光部以及上述光檢測部以能夠拆裝的方式設(shè)置。
[0009]根據(jù)本應(yīng)用例，磁檢測傳感器具備導(dǎo)光部、磁反應(yīng)部以及光檢測部。導(dǎo)光部將光引導(dǎo)至磁反應(yīng)部。磁反應(yīng)部具有氣體室，在氣體室填充有與磁反應(yīng)而使通過的光的偏振光面旋轉(zhuǎn)的氣體。而且，被導(dǎo)光部引導(dǎo)的光通過氣體室。通過氣體室的光與磁反應(yīng)而偏振光面旋轉(zhuǎn)。通過了氣體室的光向光檢測部輸入。光檢測部檢測光的偏振光面的旋轉(zhuǎn)角。光的偏振光面的旋轉(zhuǎn)角與磁的強度對應(yīng)。因此，能夠根據(jù)光檢測部的輸出檢測磁的強度。
[0010]磁反應(yīng)部相對于導(dǎo)光部以及光檢測部以能夠拆裝的方式設(shè)置。被填充到氣體室的氣體會隨著時間的經(jīng)過而漏出。而且，經(jīng)過了規(guī)定的時間時更換由此能夠恢復(fù)檢測磁的靈敏度。導(dǎo)光部與光檢測部的相對位置固定。因此，即使磁反應(yīng)部從導(dǎo)光部以及光檢測部被取下并再次設(shè)置也不會改變從導(dǎo)光部朝向光檢測部的光路。其結(jié)果是，即使更換磁反應(yīng)部也能夠省去光路的調(diào)整，所以能夠簡便地恢復(fù)檢測磁的靈敏度。
[0011]應(yīng)用例2
[0012]在上述應(yīng)用例的磁檢測傳感器中，其特征在于，具備將上述磁反應(yīng)部收納為能夠拆裝的收納部。
[0013]根據(jù)本應(yīng)用例，磁檢測傳感器具備收納部，收納部將磁反應(yīng)部收納為能夠拆裝。收納部確保配置磁反應(yīng)部的空間。因此，在磁反應(yīng)部被取下時，也能維持配置磁反應(yīng)部的空間。其結(jié)果是，能夠在與取下了磁反應(yīng)部的位置相同的位置容易地設(shè)置磁反應(yīng)部。
[0014]應(yīng)用例3
[0015]在上述應(yīng)用例的磁檢測傳感器中，其特征在于，上述磁反應(yīng)部具備多個上述氣體室，上述光檢測部具備多個接收光的受光元件，上述導(dǎo)光部將光引導(dǎo)至多個上述氣體室，上述氣體室與上述受光元件以同一間隔配置。
[0016]根據(jù)本應(yīng)用例，磁反應(yīng)部具備多個氣體室。并且，光檢測部具備多個接收光的受光元件。導(dǎo)光部將光引導(dǎo)至多個氣體室，所以光從多個氣體室通過。而且，氣體室與受光元件以同一間隔配置，所以能夠使通過氣體室的各光輸入至受光元件。
[0017]應(yīng)用例4
[0018]在上述應(yīng)用例的磁檢測傳感器中，其特征在于，以使從上述導(dǎo)光部向上述磁反應(yīng)部行進的光軸與從上述磁反應(yīng)部向上述光檢測部行進的光軸位于同一直線上的方式配置上述導(dǎo)光部以及上述光檢測部。
[0019]根據(jù)本應(yīng)用例，從導(dǎo)光部向磁反應(yīng)部行進的光軸與從磁反應(yīng)部向光檢測部行進的光軸位于同一直線上。因此，能夠使從導(dǎo)光部向磁反應(yīng)部行進的光可靠地輸入至光檢測部。
[0020]應(yīng)用例5
[0021]在上述應(yīng)用例的磁檢測傳感器中，其特征在于，在拆裝上述磁反應(yīng)部時上述磁反應(yīng)部移動的方向即拆裝方向與從上述導(dǎo)光部向上述光檢測部行進的光軸正交。
[0022]根據(jù)本應(yīng)用例，拆裝方向與從導(dǎo)光部向光檢測部行進的光軸正交。
[0023]因此，能夠不改變導(dǎo)光部與光檢測部的距離地使磁反應(yīng)部沿拆裝方向移動。
[0024]應(yīng)用例6
[0025]在上述應(yīng)用例的磁檢測傳感器中，其特征在于，上述收納部具備沿上述拆裝方向引導(dǎo)上述磁反應(yīng)部的引導(dǎo)部。
[0026]根據(jù)本應(yīng)用例，收納部具備引導(dǎo)部，引導(dǎo)部沿拆裝方向引導(dǎo)磁反應(yīng)部。因此，能夠使用引導(dǎo)部容易地使磁反應(yīng)部沿拆裝方向移動。
[0027]應(yīng)用例7
[0028]在上述應(yīng)用例的磁檢測傳感器中，其特征在于，上述引導(dǎo)部沿上述拆裝方向延伸，在與上述拆裝方向正交的方向設(shè)置于上述磁反應(yīng)部的兩側(cè)。
[0029]根據(jù)本應(yīng)用例，引導(dǎo)部在與拆裝方向正交的方向設(shè)置于磁反應(yīng)部的兩側(cè)。而且，弓丨導(dǎo)部沿拆裝方向延伸。因此，磁反應(yīng)部在與拆裝方向正交的方向的兩側(cè)被支承，所以磁反應(yīng)部能夠相對于導(dǎo)光部以及光檢測部分離地被支承。其結(jié)果是，能夠?qū)⒋欧磻?yīng)部與導(dǎo)光部隔熱，并將磁反應(yīng)部與光檢測部隔熱。
[0030]應(yīng)用例8
[0031]在上述應(yīng)用例的磁檢測傳感器中，其特征在于，上述磁反應(yīng)部位于上述導(dǎo)光部與上述光檢測部之間。
[0032]根據(jù)本應(yīng)用例，導(dǎo)光部、磁反應(yīng)部、光檢測部按該順序排列。因此，3個部位沿光的行進方向排列配置，所以不需要控制光的行進的光學(xué)元件，因此使磁檢測傳感器成為生產(chǎn)性良好的構(gòu)造。
[0033]應(yīng)用例9
[0034]在上述應(yīng)用例的磁檢測傳感器中，其特征在于，具備將從上述導(dǎo)光部行進的光向上述光檢測部反射的反射部，上述反射部、上述磁反應(yīng)部、上述導(dǎo)光部、上述光檢測部按該順序設(shè)置。
[0035]根據(jù)本應(yīng)用例，導(dǎo)光部將光引導(dǎo)至磁反應(yīng)部。而且，通過了磁反應(yīng)部的光被反射部反射，并再次通過磁反應(yīng)部。通過了磁反應(yīng)部的光通過導(dǎo)光部并向光檢測部輸入。光在磁反應(yīng)部根據(jù)磁的強度而使偏振光面旋轉(zhuǎn)，光檢測部檢測偏振光面的旋轉(zhuǎn)角。因此，磁檢測傳感器能夠檢測磁的強度。并且，光通過磁反應(yīng)部2次，所以光受到2倍的磁的影響。因此，磁檢測傳感器能夠以高的靈敏度檢測磁。
[0036]應(yīng)用例10
[0037]在上述應(yīng)用例的磁檢測傳感器中，其特征在于，上述導(dǎo)光部包含輸出直線偏振光的偏振光轉(zhuǎn)換元件，上述氣體包含堿金屬，上述光檢測部包含正交分離元件。
[0038]根據(jù)本應(yīng)用例，導(dǎo)光部包含輸出直線偏振光的偏振光轉(zhuǎn)換元件。因此，導(dǎo)光部向磁反應(yīng)部輸出直線偏振光。磁反應(yīng)部被填充有包含堿金屬的氣體。因此，磁反應(yīng)部能夠以與磁的強度對應(yīng)的方式使通過的光的偏振光面旋轉(zhuǎn)。而且，光檢測部包含正交分離元件，能夠?qū)⒐夥譃檎坏?個方向的直線偏振光。因此，檢測兩個直線偏振光的光強度由此能夠檢測偏振光面的旋轉(zhuǎn)角。偏振光面的旋轉(zhuǎn)角與磁的強度對應(yīng)，所以磁檢測傳感器能夠檢測磁的強度。
[0039]應(yīng)用例11
[0040]本應(yīng)用例的磁計測裝置的特征在于，具備:檢測從被檢體出來的磁的磁檢測傳感器、和顯示上述磁檢測傳感器所檢測的磁的狀態(tài)的顯示部，上述磁檢測傳感器是權(quán)利要求1?10中任一項所述的磁檢測傳感器。
[0041]根據(jù)本應(yīng)用例，磁計測裝置具備磁檢測傳感器以及顯示部。磁檢測傳感器檢測磁，顯示部顯示磁的狀態(tài)。而且，磁檢測傳感器使用上述記載的磁檢測傳感器。因此，即使磁計測裝置更換磁反應(yīng)部也不需要進行光軸的調(diào)整，所以能夠形成具備能夠簡便地恢復(fù)檢測磁的靈敏度的磁檢測傳感器的裝置。
【附圖說明】
[0042]圖1是表示第一實施方式的生物體磁場計測裝置的結(jié)構(gòu)的簡要立體圖。
[0043]圖2中，(a)是用于說明生物體磁場計測裝置的構(gòu)造的示意側(cè)剖視圖，(b)是用于說明生物體磁場計測裝置的構(gòu)造的示意側(cè)視圖。
[0044]圖3中，(a)以及(b)是表示工作臺的構(gòu)造的示意側(cè)剖視圖。
[0045]圖4中，(a)是表示磁傳感器的構(gòu)造的簡要立體圖，(b)是表示磁傳感器的構(gòu)造的簡要分解立體圖。
[0046]圖5中，(a)是表示磁傳感器的構(gòu)造的示意側(cè)剖視圖，(b)是表示磁傳感器的構(gòu)造的示意側(cè)視圖。
[0047]圖6中，(a)是表示磁傳感器的構(gòu)造的示意透視側(cè)視圖，(b)是表示磁傳感器的構(gòu)造的不意俯視圖。
[0048]圖7是控制部的電氣控制框圖。
[0049]圖8是用于說明磁反應(yīng)部的更換方法的示意圖。
[0050]圖9是表示第二實施方式的磁傳感器的構(gòu)造的主要部位示意透視側(cè)視圖。
【具體實施方式】
[0051]以下，結(jié)合附圖來說明實施方式。另外，各附圖的各部件在各附圖上是能夠識別的大小，所以針對各部件使比例尺不同來圖示。
[0052]第一實施方式
[0053]在本實施方式中，結(jié)合附圖來說明生物體磁場計測裝置、和該生物體磁場計測裝置的維護方法的特征例。結(jié)合圖1?圖7來說明本實施方式的生物體磁場計測裝置的構(gòu)造。圖1是表示生物體磁場計測裝置的結(jié)構(gòu)的簡要立體圖。如圖1所示，作為磁計測裝置的生物體磁場計測裝置I主要由電磁屏蔽裝置2、工作臺3、作為磁檢測傳感器的磁傳感器4以及激光棒5構(gòu)成。
[0054]電磁屏蔽裝置2具備角筒狀的主體部2a，將主體部2a的長邊方向設(shè)為Y方向。將重力加速度方向設(shè)為-Z方向，將與Y方向以及Z方向正交的方向設(shè)為X方向。
[0055]電磁屏蔽裝置2抑制地磁等外部磁場向配置有磁傳感器4的空間流入的情況。即，利用電磁屏蔽裝置2抑制外部磁場對磁傳感器4的影響，具有磁傳感器4的位置被控制為比外部磁場顯著低的磁場。主體部2a沿Y方向延伸，其本身作為被動式磁屏蔽發(fā)揮功能。主體部2a的內(nèi)部形成空洞，從X方向以及Z方向通過的面(在XZ剖面中與Y方向正交的平面)的剖面形狀大體為四邊形。在本實施方式中，主體部2a的剖面形狀為正方形。電磁屏蔽裝置2在-Y方向側(cè)設(shè)置有第一開口部2b，工作臺3從第一開口部2b突出。電磁屏蔽裝置2的大小沒有特別限定，在本實施方式中，例如，Y方向的長度約為200cm，第一開口部2b的一邊為90cm左右。而且，設(shè)置于工作臺3上的被檢體6能夠與工作臺3—起從電磁屏蔽裝置2的第一開口部2b出入。
[0056]主體部2a由比透磁率例如為數(shù)千以上的強磁性體或者高傳導(dǎo)率的導(dǎo)體形成。強磁性體可以使用坡莫合金、鐵素體、或者鐵、鉻或鈷系的非晶體等。高傳導(dǎo)率的導(dǎo)體例如可以使用鋁等通過渦流效果而具有磁場減少效果的材料。另外，也可以將強磁性體與高傳導(dǎo)率的導(dǎo)體交替層疊來形成主體部2a。在本實施方式中例如主體部2a是將鋁板和坡莫合金板交替各層疊雙層，其合計的厚度為20?30mm左右。
[0057]在主體部2a的+Y方向側(cè)以及-Y方向側(cè)的端部設(shè)置有第一亥姆霍茲線圈2c。將第一亥姆霍茲線圈2c稱為第一修正線圈。第一亥姆霍茲線圈2c是用于修正朝主體部2a的內(nèi)部空間流入的流入磁場的線圈。流入磁場是外部磁場通過第一開口部2b進入內(nèi)部空間的磁場。流入磁場相對于第一開口部2b而言在Y方向上最強。第一亥姆霍茲線圈2c產(chǎn)生磁場以便通過電流取消流入磁場。
[0058]工作臺3具備臺基7。在工作臺3的臺基7上設(shè)置有一對沿Y方向延伸的Y方向?qū)к?。在Y方向?qū)к?上設(shè)置有沿Y方向?qū)к?而在Y方向上移動的Y方向工作臺9。在兩個Y方向?qū)к?之間設(shè)置有使Y方向工作臺9移動的Y方向直動機構(gòu)1。
[0059]在Y方向工作臺9上設(shè)置有Z方向工作臺11，在Y方向工作臺9與Z方向工作臺11之間設(shè)置有未圖示的升降裝置。升降裝置將Z方向工作臺11升降。在Z方向工作臺11的+Z方向側(cè)的面設(shè)置有6條沿X方向延伸的X方向?qū)к?2。而且，在X方向?qū)к?2上設(shè)置有沿X方向?qū)к?2而在X方向上移動的X方向工作臺13。
[0060]在Z方向工作臺11上的-Y方向側(cè)設(shè)置有使X方向工作臺13沿X方向移動的X方向直動機構(gòu)H13X方向直動機構(gòu)14具有一對軸承部14a，軸承部14a在Z方向工作臺11上立起設(shè)置。在兩個軸承部14a之間設(shè)置有X方向工作臺13。而且，兩個軸承部14a將第一螺紋棒14b支承為能夠旋轉(zhuǎn)。在X方向工作臺13設(shè)置有沿X方向貫通的未圖示的第一貫通孔，第一螺紋棒14b以貫通X方向工作臺13的第一貫通孔的方式設(shè)置。而且，在第一貫通孔形成有未圖示的內(nèi)螺紋，第一螺紋棒14b與內(nèi)螺紋卡合。
[0061 ]在第一螺紋棒14b的-X方向側(cè)的一端設(shè)置有脫著部15，脫著部15固定于第一螺紋棒14b。而且，若使脫著部15旋轉(zhuǎn)則第一螺紋棒14b旋轉(zhuǎn)。第一螺紋棒14b與X方向工作臺13的內(nèi)螺紋卡合，所以若第一螺紋棒14b旋轉(zhuǎn)則X方向工作臺13沿X方向移動。脫著部15與X方向工作臺馬達16的旋轉(zhuǎn)軸連接。因此，X方向工作臺馬達16能夠通過使脫著部15旋轉(zhuǎn)而使X方向工作臺13沿X方向移動。
[0062]X方向工作臺馬達16與使X方向工作臺馬達16沿X方向移動的馬達移動部17連接。在馬達移動部17使X方向工作臺馬達16沿-X方向移動時，脫著部15同有槽圓筒15a以及有槽棒15b分離。有槽圓筒15a與X方向工作臺馬達16的旋轉(zhuǎn)軸連接，有槽棒15b與第一螺紋棒14b連接。而且，在脫著部15同有槽圓筒15a以及有槽棒15b分離時，X方向工作臺13能夠與X方向工作臺馬達16分離而沿Y方向移動。X方向直動機構(gòu)14由軸承部14a、第一螺紋棒14b、脫著部15、X方向工作臺馬達16以及馬達移動部17等構(gòu)成。
[0063]在電磁屏蔽裝置2上，在第一開口部2b的+Z方向側(cè)設(shè)置有激光棒5。激光棒5在被檢體6的定位時使用。設(shè)置于工作臺3的被檢體6通過第一開口部2b。被檢體6通過激光棒5的附近，所以激光棒5能夠容易對被檢體6照射光線。
[0064]在電磁屏蔽裝置2的內(nèi)部設(shè)置有磁傳感器4。磁傳感器4是檢測從被檢體6的心臟發(fā)出的磁場的傳感器。磁傳感器4固定于電磁屏蔽裝置2。生物體磁場計測裝置I所在的位置通過電磁屏蔽裝置2調(diào)整為幾乎沒有磁場的狀態(tài)。因此，磁傳感器4能夠不受噪聲的影響來計測從心臟發(fā)出的磁場。磁傳感器4檢測與Z方向相同的方向即磁場檢測方向4a的磁場的強度分量。
[0065]磁場檢測方向4a與Y方向是正交的方向。磁場檢測方向4a與X方向是正交的方向。而且，Y方向與X方向也是正交的方向。工作臺3使被檢體6在相互正交的Y方向與X方向移動。因此，工作臺3能夠使被檢體6沿正交的坐標系移動，所以能夠容易控制工作臺3的移動位置。電磁屏蔽裝置2延伸的方向為Y方向。
[0066]在從第一開口部2b離開的位置設(shè)置有控制部18?？刂撇?8使電信號流動來控制生物體磁場計測裝置I。詳細地說，控制部18控制電磁屏蔽裝置2、工作臺3、磁傳感器4以及激光棒5。通過控制部18的電信號產(chǎn)生磁場、殘留磁場，在通過磁傳感器4檢測時成為噪聲?？刂撇?8位于從第一開口部2b離開的位置，所以由控制部18產(chǎn)生的磁場、殘留的磁場難以到達磁傳感器4。其結(jié)果是，磁傳感器4能夠進行噪聲少的計測。
[0067]在控制部18設(shè)置有作為顯示部的顯示裝置21以及輸入裝置22。顯示裝置21是LCD(Liquid Crystal Display;液晶顯不器)、0LED(0rganic light-emitting d1de;有機發(fā)光二極管)等顯示裝置。在顯示裝置21顯示測定的狀況、測定結(jié)果等。輸入裝置22由鍵盤、旋鈕等構(gòu)成。操作者操作輸入裝置22，進行生物體磁場計測裝置I的測定開始指示、測定條件等各種指不輸入。
[0068]圖2的(a)是用于說明生物體磁場計測裝置的構(gòu)造的示意側(cè)剖視圖，是沿電磁屏蔽裝置2的側(cè)面剖切而得的圖。圖2的(b)是用于說明生物體磁場計測裝置的構(gòu)造的示意側(cè)視圖，是從-Y方向觀察生物體磁場計測裝置I的圖。在圖2中，激光棒5設(shè)置于第一開口部2b的主體部2a的天井，向-Z方向射出激光5cο激光5c照射被檢體6的正面6a。激光5c在正面6a反射的反射點5d為一個點。
[0069]在被檢體6的對位時，被檢體6在工作臺3上仰面設(shè)置。
[0070]然后，激光棒5在被檢體6的胸部照射激光5c。然后，調(diào)整Y方向工作臺9以及X方向工作臺13的位置以使激光5c照射位于胸部的劍狀突起6e。
[0071]首先，操作者驅(qū)動Y方向直動機構(gòu)10使Y方向工作臺9移動。然后，向有槽圓筒15a與有槽棒15b對置的位置移動Y方向工作臺9。接下來，操作者驅(qū)動馬達移動部17使有槽圓筒15a與有槽棒15b連結(jié)。并且，操作者驅(qū)動X方向直動機構(gòu)14以及X方向工作臺馬達16使X方向工作臺13沿X方向移動。然后，調(diào)整X方向工作臺13的位置以使激光5c位于在被檢體6的劍狀突起6e通過的的Y方向的線上。接下來，操作者驅(qū)動馬達移動部17使有槽圓筒15a與有槽棒15b分離。接著，操作者驅(qū)動Y方向直動機構(gòu)10使Y方向工作臺9沿Y方向移動。然后，操作者調(diào)整工作臺3的X方向以及Y方向的位置以使激光5c照射劍狀突起6e。
[0072]圖3是表示工作臺的構(gòu)造的示意側(cè)剖視圖。圖3的(a)示出了工作臺3沿-Y方向移動的狀態(tài)，圖3的(b)示出了工作臺3向電磁屏蔽裝置2的內(nèi)部移動并計測被檢體6的心磁場的狀態(tài)。如圖3的(a)所示，臺基7由下臺基7a以及上臺基7b構(gòu)成。在下臺基7a配置有一對第一亥姆霍茲線圈2c。第一亥姆霍茲線圈2c的形狀為框狀，以包圍主體部2a的方式配置。在下臺基7a上設(shè)置有主體部2a，在主體部2a的-Z方向側(cè)的部分以及下臺基7a上設(shè)置有上臺基7b。由下臺基7a和上臺基7b形成夾住主體部2a的一部分的構(gòu)造。上臺基7b配置于主體部2a的內(nèi)側(cè)的底面上，從主體部2a的內(nèi)部經(jīng)由第一開口部2b到第一開口部2b的外側(cè)，沿被檢體6能夠移動的方向即Y方向延伸。
[0073]下臺基7a以及上臺基7b的材質(zhì)為非磁性，具有剛性即可，沒有特別限定。下臺基7a以及上臺基7b的材質(zhì)由木材、樹脂、陶瓷、非磁性金屬等非磁性材料形成。在本實施方式中例如下臺基7a以及上臺基7b的材質(zhì)使用木材。在上臺基7b上設(shè)置有第二亥姆霍茲線圈20。在第二亥姆霍茲線圈20的下側(cè)的部分上設(shè)置有Y方向?qū)к?以及Y方向直動機構(gòu)10。
[0074]Y方向直動機構(gòu)10具備馬達10a。在馬達1a的旋轉(zhuǎn)軸設(shè)置有第一帶輪10b，在Y方向直動機構(gòu)10的Y方向側(cè)的端部以能夠旋轉(zhuǎn)的方式設(shè)置有第二帶輪10c。而且，在第一帶輪1b與第二帶輪1c上掛有正時皮帶10d。在正時皮帶1d上設(shè)置有連結(jié)部10e，連結(jié)部1e將正時皮帶1d與Y方向工作臺9連結(jié)。在馬達1a使第一帶輪1b旋轉(zhuǎn)時，連結(jié)部1e通過馬達1a的扭矩而沿Y方向移動。通過連結(jié)部1e的移動，Y方向工作臺9移動。因此，馬達1a能夠使Y方向工作臺9沿Y方向移動。馬達1a改變第一帶輪1b的旋轉(zhuǎn)方向，由此能夠使Y方向工作臺9的移動方向朝+Y方向和-Y方向兩個方向移動。
[0075]Y方向?qū)к?、第二帶輪10c、正時皮帶1d以及連結(jié)部1e的材質(zhì)為非磁性的材質(zhì)。正時皮帶1d由橡膠以及樹脂形成。Y方向?qū)к?、第二帶輪1c以及連結(jié)部1e由陶瓷構(gòu)成。
[0076]因此，Y方向直動機構(gòu)1中進入電磁屏蔽裝置2的內(nèi)部的部分為非磁性。
[0077]在Y方向工作臺9上朝四個Y方向排列設(shè)置有升降裝置23。各升降裝置23是氣缸沿X方向排列有三個而成的構(gòu)造。升降裝置23使氣缸伸縮由此能夠使Z方向工作臺11沿磁場檢測方向4a升降。在各氣缸設(shè)置有未圖示的測長裝置，升降裝置23能夠檢測Z方向工作臺11的移動量。而且，各氣缸使Z方向工作臺11移動相同的距離由此升降裝置23能夠使Z方向工作臺11平行移動。在控制部18的內(nèi)部設(shè)置有未圖示的壓縮機以及電磁閥等空壓機器。而且，升降裝置23由控制部18控制。Y方向工作臺9、升降裝置23以及Z方向工作臺11的材質(zhì)為非磁性，在本實施方式中例如由陶瓷構(gòu)成。因此，Y方向工作臺9、升降裝置23以及Z方向工作臺11為非磁性。
[0078]在X方向工作臺13上以與X方向?qū)к?2接觸的方式設(shè)置有車輪24。車輪24旋轉(zhuǎn)由此能夠使X方向工作臺13容易地沿X方向移動。X方向工作臺13、X方向?qū)к?2以及車輪24的材質(zhì)為非磁性的材質(zhì)，由陶瓷構(gòu)成。因此，X方向工作臺13、X方向?qū)к?2以及車輪24為非磁性。而且，工作臺3中向電磁屏蔽裝置2的內(nèi)部移動的部分為非磁性。因此，能夠抑制工作臺3磁化對磁場測定產(chǎn)生的影響。
[0079]磁傳感器4經(jīng)由支承部件25設(shè)置于主體部2a的天井。磁傳感器4的中心的Z方向的位置是主體部2a的天井和主體部2a的底面的中央的位置。磁傳感器4的中心的X方向的位置是主體部2a的+X方向側(cè)的壁和-X方向側(cè)的壁的中央的位置。在Y方向上磁傳感器4的中心與主體部2a的-Y方向側(cè)的端的距離是磁傳感器4的中心與主體部2a的+Y方向側(cè)的壁的距離的2倍。在磁傳感器4的中心的位置位于該位置時，磁傳感器4能夠很難受到從電磁屏蔽裝置2的外部進入的磁場的影響。
[0080]第二亥姆霍茲線圈20配置于電磁屏蔽裝置2的內(nèi)部，具有立方體的框狀的外形。將第二亥姆霍茲線圈20稱為第二修正線圈。具體而言，以與X方向、Y方向、Z方向分別正交的方式，設(shè)置有至少3對第二修正線圈。與X方向正交的第二亥姆霍茲線圈20的一對線圈從X方向(左右方向)夾住在被檢體6計測時被配置的計測空間和磁傳感器4。與X方向正交的第二亥姆霍茲線圈2 O能夠在X方向產(chǎn)生磁場而取消X方向的外部磁場，以使計測空間和配置有磁傳感器4的空間的磁場的X分量減小到不對計測產(chǎn)生負面影響的程度以下。與Y方向正交的第二亥姆霍茲線圈20的二對線圈(S卩，四個線圈)從Y方向(前后方向)夾住計測空間和磁傳感器4。與Y方向正交的第二亥姆霍茲線圈20能夠在Y方向產(chǎn)生磁場而取消Y方向的外部磁場，以使計測空間和配置有磁傳感器4的空間的磁場的Y分量減小到不對計測產(chǎn)生負面影響的程度以下。主體部2a是前后方向的筒狀，沿Y方向的流入磁場大，所以在Y方向設(shè)置2對第二亥姆霍茲線圈20。與Z方向正交的第二亥姆霍茲線圈20的一對線圈從Z方向(上下方向)夾住計測空間和磁傳感器4。與Z方向正交的第二亥姆霍茲線圈20能夠在Z方向產(chǎn)生磁場而取消Z方向的外部磁場以使計測空間和配置有磁傳感器4的空間的磁場的Z分量減小到不對計測產(chǎn)生負面影響的程度以下。第二亥姆霍茲線圈20從分別正交的方向側(cè)觀察的形狀為正方形的框狀，以與正方形的框的中心的位置和磁傳感器4的中心的位置重疊的方式配置。正方形的邊的長度沒有特別限定，在本實施方式中例如一邊的長度為75cm以上、85cm以下。另外，圖中第二亥姆霍茲線圈20的形狀為了便于看圖而呈長方形，本來的形狀為正方形。
[0081]正方形的框狀且與Y方向正交的第二亥姆霍茲線圈20在Y方向上等間隔地配置有4個。而且，從X方向觀察時第二亥姆霍茲線圈20的外周為正方形的框狀，并且是在正方形的框狀中配置有兩個線圈的構(gòu)造。而且，正方形的框的中心的位置與磁傳感器4的中心的位置重疊地配置。
[0082]從Z方向觀察第二亥姆霍茲線圈20的形狀是與從X方向觀察的形狀相同的形狀。而且，正方形的框的中心的位置與磁傳感器4的中心的位置以重疊的方式配置。使第二亥姆霍茲線圈20成為該形狀，由此能夠進一步降低磁傳感器4的外亂的磁場。特別是能夠降低從電磁屏蔽裝置2的-Y方向側(cè)進入的磁的影響。
[0083]在工作臺3位于-Y方向側(cè)時，工作臺3的一半以上從電磁屏蔽裝置2突出。由此，容易將被檢體6載置于工作臺3上。而且，在工作臺3上設(shè)置有被檢體6時的從床到被檢體6的鼻子的高度比從床到磁傳感器4的-Z方向側(cè)的面的高度低。因此，在沿Y方向移動Y方向工作臺9時，被檢體6不與磁傳感器4干涉。
[0084]如圖3(b)所示，在沿Y方向移動了Y方向工作臺9后，使Z方向工作臺11上升。將被檢體6的胸部6c的表面中磁傳感器4所測定的位置設(shè)為測定面6d。此時，測定面6d位于與磁傳感器4對置的位置，與磁傳感器4接近。而且，測定面6d與磁傳感器4的距離是接近到不接觸的程度的距離。該距離沒有特別限定，在本實施方式中，例如，測定面6d與磁傳感器4的距離為5mm。而且，磁傳感器4測定測定面6d。
[0085]圖4的(a)是表示磁傳感器的構(gòu)造的簡要立體圖，圖4的(b)是表示磁傳感器的構(gòu)造的簡要分解立體圖。如圖4的(a)所示，磁傳感器4具備立方體的殼體26。殼體26的+Z方向側(cè)的面是與支承部件25連接的面。在殼體26的+Y方向側(cè)設(shè)置有第一蓋部27。第一蓋部27是沿X方向較長的板。在第一蓋部27的四角設(shè)置有第一螺釘28，通過第一螺釘28將第一蓋部27固定于殼體26。
[0086]在第一蓋部27的+Y方向側(cè)的面設(shè)置有加熱器29。加熱器29也被設(shè)置于殼體26的-Y方向側(cè)的面、+X方向側(cè)的面、-X方向側(cè)的面。加熱器29優(yōu)選為不產(chǎn)生磁場的構(gòu)造，例如可以使用在流路中通過蒸氣、熱風(fēng)來加熱的方式的加熱器。此外，也可以通過高頻電壓對作為氣體室的氣體單元53進行電感應(yīng)加熱。
[0087]在殼體26的-X方向側(cè)的面設(shè)置有光連接器30，在光連接器30連接有光纖31的一端。光纖31的另一端與控制部18連接。光連接器30能夠相對于磁傳感器4拆裝。
[0088]如圖4的(b)所示，在殼體26設(shè)置有第一內(nèi)螺紋26a。旋轉(zhuǎn)第一螺釘28，由此能夠?qū)⒌谝宦葆?8從第一內(nèi)螺紋26a拆下。
[0089]而且，能夠使第一蓋部27從殼體26脫離。在殼體26設(shè)置有朝+Y方向開口的空洞32?？斩? 2的形狀為立方體。在空洞32的-Z方向側(cè)的面，且在+X方向側(cè)和-X方向側(cè)設(shè)置有作為引導(dǎo)部的導(dǎo)軌33。各導(dǎo)軌33沿Y方向延伸。
[0090]在導(dǎo)軌33上設(shè)置有磁反應(yīng)部34，磁反應(yīng)部34能夠沿導(dǎo)軌33移動。并且，將磁反應(yīng)部34拉出，由此，能夠?qū)⒋欧磻?yīng)部34從空洞32取出。因此，磁反應(yīng)部34能夠相對于磁傳感器4拆裝。磁反應(yīng)部34是與磁反應(yīng)而改變通過磁反應(yīng)部34的光的偏振光面的角度的部位。
[0091]在導(dǎo)軌33的+Y方向側(cè)的面設(shè)置有第二內(nèi)螺紋33a。在磁反應(yīng)部34的+Y方向側(cè)設(shè)置有抑制部35，抑制部35通過第二螺釘36固定于導(dǎo)軌33。因此，抑制部35能夠相對于導(dǎo)軌33拆裝。由空洞32、導(dǎo)軌33、抑制部35以及第一蓋部27等構(gòu)成了收納部37。在收納部37中將磁反應(yīng)部34沿導(dǎo)軌33移動的方向設(shè)為拆裝方向37a。拆裝方向37a為Y方向。而且，能夠沿拆裝方向37a將磁反應(yīng)部34收納于收納部37，并能夠從收納部37取出。即，收納部37具備沿拆裝方向37a引導(dǎo)磁反應(yīng)部34的導(dǎo)軌33。使用導(dǎo)軌33能夠容易使磁反應(yīng)部34沿拆裝方向37a移動。殼體26以及收納部37的材質(zhì)為非磁性，只要是剛性的材質(zhì)即可?？梢允褂锰沾?、樹脂材料、木材等。在本實施方式中，例如，殼體26以及收納部37的材質(zhì)使用陶瓷。
[0092]圖5的(a)是表示磁傳感器的構(gòu)造的示意側(cè)剖視圖，是從-X方向側(cè)觀察沿圖4的(a)的A-Y線剖切的切剖面的圖。如圖5的(a)所示，在殼體26的內(nèi)部，在-Z方向側(cè)設(shè)置有導(dǎo)光部38，在+Z方向側(cè)設(shè)置有光檢測部41。導(dǎo)光部38是向磁反應(yīng)部34引導(dǎo)光的部位，光檢測部41是檢測光的偏振光角的部位。
[0093]在導(dǎo)光部38與光檢測部41之間設(shè)置有空洞32，在空洞32設(shè)置有導(dǎo)軌33以及磁反應(yīng)部34。通過重力將磁反應(yīng)部34載置于導(dǎo)軌33上。在導(dǎo)軌33的-Y方向側(cè)設(shè)置有突起部33b。通過抑制部35將磁反應(yīng)部34按壓并固定于突起部33b。由此，磁反應(yīng)部34被設(shè)定為Y方向的位置的再現(xiàn)性良好。利用第一蓋部27封閉空洞32，防止塵土、灰塵的進入。
[0094]圖5的(b)是表示磁傳感器的構(gòu)造的示意側(cè)視圖，是從+Y方向側(cè)觀察磁傳感器4的圖。本圖是除去第一蓋部27以及抑制部35之后的圖。如圖5的(b)所示，導(dǎo)軌33位于導(dǎo)光部38與磁反應(yīng)部34之間，沿拆裝方向37a延伸。而且，在與拆裝方向37a正交的X方向上設(shè)置于磁反應(yīng)部34的兩側(cè)。一對導(dǎo)軌33之間形成有空間，所以光能夠從導(dǎo)光部38朝向磁反應(yīng)部34通過。并且，磁反應(yīng)部34在與拆裝方向37a正交的方向的兩側(cè)被支承，所以磁反應(yīng)部34能夠相對于導(dǎo)光部38以及光檢測部41分離地被支承。其結(jié)果是，能夠?qū)⒋欧磻?yīng)部34與導(dǎo)光部38隔熱，并將磁反應(yīng)部34與光檢測部41隔熱。
[0095]在磁反應(yīng)部34的+Z方向側(cè)設(shè)有光檢測部41，磁反應(yīng)部34與光檢測部41之間形成有空間。而且，光能夠從磁反應(yīng)部34朝向光檢測部41通過。
[0096]導(dǎo)軌33還與磁反應(yīng)部34的+X方向側(cè)的面以及-X方向側(cè)的面接觸。由此，導(dǎo)軌33也對磁反應(yīng)部34的X方向的位置進行引導(dǎo)。因此，磁反應(yīng)部34被設(shè)定為通過導(dǎo)軌33而使X方向、Y方向以及Z方向的位置的再現(xiàn)性良好。
[0097]圖6的(a)是表示磁傳感器的構(gòu)造的示意透視側(cè)視圖，圖6的(b)是表示磁傳感器的構(gòu)造的示意俯視圖。如圖6所示，從激光源42向磁傳感器4供給作為光的激光43。激光源42設(shè)置于控制部18，通過光纖31向磁傳感器4供給。磁傳感器4與光纖31經(jīng)由光連接器30連接。
[0098]激光源42輸出與銫的吸收線對應(yīng)的波長的激光43。激光43的波長沒有特別限定，在本實施方式中，例如設(shè)定為與Dl線相當(dāng)?shù)?94nm的波長。激光源42是可調(diào)諧激光器，從激光源42輸出的激光43是具有一定光量的連續(xù)光。
[0099]經(jīng)由光連接器30供給的激光43向?qū)Ч獠?8行進。在導(dǎo)光部38，激光43朝+X方向行進，照射作為偏振光轉(zhuǎn)換元件的偏光板44。通過偏光板44的激光43成為直線偏振光。接下來，激光43依次照射第一半透半反鏡45、第二半透半反鏡46、第三半透半反鏡47、第一反射反射鏡48。第一半透半反鏡45、第二半透半反鏡46以及第三半透半反鏡47反射激光43的一部分并使其朝-Y方向行進。而且，使一部分的激光43通過并朝+X方向行進。第一反射反射鏡48將入射的激光43全部朝-Y方向反射。利用第一半透半反鏡45、第二半透半反鏡46、第三半透半反鏡47、第一反射反射鏡48，激光43被分割為4個光路。以使各光路的激光43成為光強度相同的光強度的方式設(shè)定各反射鏡的反射率。
[0100]接下來，激光43依次照射第四半透半反鏡49、第五半透半反鏡50、第六半透半反鏡51、第二反射反射鏡52。第四半透半反鏡49、第五半透半反鏡50以及第六半透半反鏡51反射激光43的一部分并使其朝+Z方向行進。而且，使一部分的激光43通過并朝-Y方向行進。第二反射反射鏡52將入射的激光43全部朝+Z方向反射。利用第四半透半反鏡49、第五半透半反鏡50、第六半透半反鏡51、第二反射反射鏡52，一個光路的激光43被分割為4個光路。以使各光路的激光43成為光強度相同的光強度的方式設(shè)定各反射鏡的反射率。因此，激光43被分為16個光路。而且，以使各光路的激光43的光強度成為相同的強度的方式設(shè)定各反射鏡的反射率。
[0101]在第四半透半反鏡49、第五半透半反鏡50、第六半透半反鏡51、第二反射反射鏡52的+Z方向側(cè)設(shè)有磁反應(yīng)部34。在磁反應(yīng)部34，在激光43的各光路設(shè)置有氣體單元53。氣體單元53是內(nèi)部具有空洞的箱，該空洞裝入有堿金屬的氣體。堿金屬沒有特別限定，可以使用鉀、銣或者銫。在本實施方式中例如堿金屬使用銫。氣體單元53的個數(shù)為4行4列的16個。而且，被第四半透半反鏡49、第五半透半反鏡50、第六半透半反鏡51、第二反射反射鏡52反射的激光43通過氣體單元53。
[0102]在各氣體單元53的+Z方向側(cè)設(shè)有光檢測部41。在光檢測部41設(shè)置有作為正交分離元件的偏振光分離器54。偏振光分離器54是將入射的激光43分離為相互正交的兩個偏振光分量的激光43的元件。偏振光分離器54例如可以使用沃拉斯頓棱鏡或者偏振光偏振光分光器。
[0?03] 在偏振光分離器54的+Z方向側(cè)設(shè)置有第一光檢測器55，在偏振光分離器54的-Y方向側(cè)設(shè)置有第二光檢測器56。由偏振光分離器54、第一光檢測器55以及第二光檢測器56等構(gòu)成了受光元件57。通過了偏振光分離器54的激光43照射第一光檢測器55，被偏振光分離器54反射的激光43照射第二光檢測器56。第一光檢測器55以及第二光檢測器56將與入射的激光43的光量對應(yīng)的電流輸出至控制部18。若第一光檢測器55以及第二光檢測器56產(chǎn)生磁場則存在對測定產(chǎn)生影響的可能性，所以第一光檢測器55以及第二光檢測器56優(yōu)選由非磁性的材料構(gòu)成。
[0104]磁傳感器4配置于被檢體6的+Z側(cè)。而且，作為被檢體6產(chǎn)生的磁的磁矢量58從-Z方向側(cè)向磁傳感器4輸入。磁矢量58通過導(dǎo)光部38，接下來通過磁反應(yīng)部34的氣體單元53。然后，通過光檢測部41并從磁傳感器4出來。
[0105]磁傳感器4是被稱為光栗磁力計、光栗原子磁傳感器的傳感器。在氣體單元53內(nèi)堿金屬的銫被加熱而成為氣體狀態(tài)。而且，向銫氣體照射成為直線偏振光的激光4 3，由此將銫原子激發(fā)，磁力矩的方向一致。在該狀態(tài)下磁矢量58向氣體單元53通過時，銫原子的磁力矩由于磁矢量58的磁場而旋進。將該旋進稱為拉莫爾旋進。拉莫爾旋進的大小相對于磁矢量58的強度具有正的相關(guān)性。拉莫爾旋進使激光43的偏振光面旋轉(zhuǎn)。拉莫爾旋進的大小與激光43的偏振光面的旋轉(zhuǎn)角的變化量具有正的相關(guān)性。因此，磁矢量58的強度與激光43的偏振光面的旋轉(zhuǎn)角的變化量具有正的相關(guān)性。磁傳感器4的磁矢量58的磁場檢測方向4a的靈敏度高，與磁場檢測方向4a正交的分量的靈敏度低。[Ο?Ο?] 偏振光分離器54將激光43分為正交的2個分量的直線偏振光。而且，第一光檢測器55以及第二光檢測器56檢測正交的2個分量的直線偏振光的強度。由此，第一光檢測器55以及第二光檢測器56能夠檢測激光43的偏振光面的旋轉(zhuǎn)角。而且，根據(jù)激光43的偏振光面的旋轉(zhuǎn)角的變化，磁傳感器4檢測磁矢量58的強度。
[0?07] 導(dǎo)光部38包含輸出直線偏振光的偏光板44。因此，導(dǎo)光部38向磁反應(yīng)部34輸出直線偏振光。磁反應(yīng)部34被填充銫氣體。因此，磁反應(yīng)部34能夠以與磁的強度對應(yīng)的方式使通過的光的偏振光面旋轉(zhuǎn)。而且，光檢測部41包含偏振光分離器54，能夠?qū)⒓す?3分為正交的2個方向的直線偏振光。因此，檢測兩個直線偏振光的光強度由此能夠檢測偏振光面的旋轉(zhuǎn)角。偏振光面的旋轉(zhuǎn)角與磁的強度對應(yīng)，所以磁傳感器4能夠檢測磁的強度。
[0?08] 將由氣體單兀53、偏振光分離器54、第一光檢測器55以及第二光檢測器56構(gòu)成的元件稱為傳感器元件4d。在磁傳感器4配置有4行4列的16個傳感器元件4d。磁傳感器4的傳感器元件4d的個數(shù)以及配置沒有特別限定。傳感器元件4d可以是3行以下也可以是5行以上。同樣傳感器元件4d可以是3列以下也可以是5列以上。傳感器元件4d的個數(shù)越多則越能夠提高空間分辨率。
[0109]將X方向的傳感器元件4d的間隔設(shè)為第一元件間隔61，將Y方向的傳感器元件4d的間隔設(shè)為第二元件間隔62。在X方向各元件間的第一元件間隔61是相同的間隔，在Y方向各元件間的第二元件間隔62是相同的間隔。而且，在磁反應(yīng)部34相鄰的氣體單元53的X方向的間隔為第一元件間隔61，相鄰的氣體單元53的Y方向的間隔為第二元件間隔62。在光檢測部41相鄰的受光元件57的X方向的間隔為第一元件間隔61，相鄰的受光元件57的Y方向的間隔為第二元件間隔62。因此，氣體單元53與受光元件57以同一間隔配置。因此，能夠?qū)⑼ㄟ^了氣體單元53的各激光43輸入至受光元件57。
[0110]以使從導(dǎo)光部38向磁反應(yīng)部34行進的激光43的光軸與從磁反應(yīng)部34向光檢測部41行進的激光43的光軸位于同一直線上的方式配置第一半透半反鏡45?第二反射反射鏡52以及受光元件57。由此，能夠?qū)膶?dǎo)光部38向磁反應(yīng)部34行進的光可靠地地輸入至光檢測部41。
[0111]拆裝方向37a與從導(dǎo)光部38向光檢測部41行進的激光43的光軸成為正交的配置。因此，不改變導(dǎo)光部38與光檢測部41的距離就能夠使磁反應(yīng)部34沿拆裝方向37a移動。
[0112]圖7是控制部的電氣控制框圖。如圖7所示，生物體磁場計測裝置I具備控制生物體磁場計測裝置I的動作的控制部18。而且，控制部18具備作為處理器進行各種運算處理的CPU63(Central Processing Unit;中央處理單元)、和存儲各種信息的存儲器64。激光棒5、工作臺驅(qū)動裝置65、電磁屏蔽裝置2、磁傳感器驅(qū)動裝置66、顯示裝置21以及輸入裝置22經(jīng)由輸入輸出接口 67以及數(shù)據(jù)總線68連接于CPU63。
[0113]工作臺驅(qū)動裝置65是驅(qū)動X方向工作臺13、Y方向工作臺9、Z方向工作臺11以及馬達移動部17的裝置。工作臺驅(qū)動裝置65從CPU63輸入使X方向工作臺13的位置移動的指示信號。能夠僅在有槽棒15b位于與有槽圓筒15a對置的位置時移動X方向工作臺13。因此，首先，移動Y方向工作臺9。工作臺驅(qū)動裝置65檢測Y方向工作臺9的位置。在Y方向工作臺9設(shè)置有檢測自身的位置的測長裝置，能夠檢測Y方向工作臺9的位置。而且，移動Y方向工作臺9，將Y方向工作臺9移動到有槽棒15b與有槽圓筒15a對置的位置。
[0114]接下來，工作臺驅(qū)動裝置65驅(qū)動馬達移動部17，將有槽圓筒15a與有槽棒15b結(jié)合。接著，工作臺驅(qū)動裝置65檢測X方向工作臺13的位置。在X方向工作臺13設(shè)置有檢測自身的位置的測長裝置，能夠檢測X方向工作臺13的位置。然后，運算移動X方向工作臺13的預(yù)定的位置與X方向工作臺13的當(dāng)前位置的差。然后，工作臺驅(qū)動裝置65驅(qū)動X方向工作臺馬達16并將X方向工作臺13移動到移動的預(yù)定的位置。由此，工作臺驅(qū)動裝置65能夠?qū)方向工作臺13移動到所指示的位置。接著，工作臺驅(qū)動裝置65驅(qū)動馬達移動部17，將有槽圓筒15a與有槽棒15b分離。
[0115]同樣，工作臺驅(qū)動裝置65從CPU63輸入移動Y方向工作臺9的位置的指示信號。工作臺驅(qū)動裝置65檢測Y方向工作臺9的位置。然后，運算移動Y方向工作臺9的預(yù)定的位置與Y方向工作臺9的當(dāng)前位置的差。然后，工作臺驅(qū)動裝置65驅(qū)動馬達1a并將Y方向工作臺9移動到移動的預(yù)定的位置。由此，工作臺驅(qū)動裝置65能夠使Y方向工作臺9移動到電磁屏蔽裝置2內(nèi)的位置與電磁屏蔽裝置2外的位置之間。
[0116]同樣，工作臺驅(qū)動裝置65從CPU63輸入移動Z方向工作臺11的位置的指示信號。在將Z方向工作臺11升降的升降裝置23分別設(shè)置有檢測Z方向工作臺11的位置的測長裝置，工作臺驅(qū)動裝置65檢測Z方向工作臺11的位置。然后，運算移動Z方向工作臺11的預(yù)定的位置與Z方向工作臺11的當(dāng)前位置的差。升降裝置23為氣缸，工作臺驅(qū)動裝置65具備驅(qū)動升降裝置23的壓縮機、電磁閥等空壓機器。而且，工作臺驅(qū)動裝置65控制向升降裝置23供給的空氣的量，將Z方向工作臺11移動到移動的預(yù)定的位置。
[0117]電磁屏蔽裝置2具備第一亥姆霍茲線圈2c、第二亥姆霍茲線圈20以及檢測內(nèi)部的磁場的傳感器。而且，電磁屏蔽裝置2接收CPU63的指示，驅(qū)動第一亥姆霍茲線圈2c以及第二亥姆霍茲線圈20使主體部2a的內(nèi)部的磁場減少。
[0118]磁傳感器驅(qū)動裝置66是驅(qū)動磁傳感器4以及激光源42的裝置。在磁傳感器4設(shè)置有第一光檢測器55、第二光檢測器56以及加熱器29。磁傳感器驅(qū)動裝置66驅(qū)動激光源42、加熱器29、第一光檢測器55以及第二光檢測器56。磁傳感器驅(qū)動裝置66驅(qū)動激光源42并向磁傳感器4供給激光43。并且，磁傳感器驅(qū)動裝置66驅(qū)動加熱器29并將磁傳感器4的磁反應(yīng)部34維持為規(guī)定的溫度。
[0?19] 而且，磁傳感器驅(qū)動裝置66將第一光檢測器55、第二光檢測器56所輸出的電信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號并輸出至CPU63。
[0120]顯示裝置21根據(jù)CPU63的指示來顯示規(guī)定的信息。操作者根據(jù)顯示內(nèi)容操作輸入裝置22并輸入指示內(nèi)容。然后，該指示內(nèi)容傳遞至CPU63 ο此外，顯示裝置21顯示磁傳感器4檢測的磁的狀態(tài)。
[0121]操作者觀察顯示裝置21并參照被檢體6的檢查結(jié)果。
[0122]存儲器64是包含RAM、R0M等半導(dǎo)體存儲器、硬盤以及DVD-ROM等外部存儲裝置在內(nèi)的概念。在功能上，生物體磁場計測裝置I的動作的控制順序設(shè)定上述存儲程序軟件69的存儲區(qū)域、用于存儲磁傳感器4的磁反應(yīng)部34運轉(zhuǎn)的累積時間的數(shù)據(jù)即傳感器老化數(shù)據(jù)70的存儲區(qū)域。傳感器老化數(shù)據(jù)70在更換磁反應(yīng)部34時被復(fù)位。而且，運轉(zhuǎn)磁反應(yīng)部34的時間在傳感器老化數(shù)據(jù)70中累積。此外，還設(shè)定用于存儲X方向工作臺13、Y方向工作臺9以及Z方向工作臺11的移動量的數(shù)據(jù)即工作臺移動量數(shù)據(jù)71的存儲區(qū)域。
[0123]此外，在存儲器64中設(shè)定用于存儲在驅(qū)動磁傳感器4時使用的參數(shù)等數(shù)據(jù)即磁傳感器相函數(shù)據(jù)72的存儲區(qū)域。此外，在存儲器64中設(shè)定用于存儲磁傳感器4測定出的數(shù)據(jù)即磁測定數(shù)據(jù)73的存儲區(qū)域。此外，還設(shè)定用于CPU63的工件區(qū)域、作為臨時文件等發(fā)揮功能的存儲區(qū)域、其它各種存儲區(qū)域。
[0124]CPU63根據(jù)存儲于存儲器64內(nèi)的程序軟件69，進行測定被檢體6的心臟所產(chǎn)生的磁場的控制。作為具體的功能實現(xiàn)部，CPU63具有工作臺移動控制部74。工作臺移動控制部74是控制X方向工作臺13、Y方向工作臺9以及Z方向工作臺11的移動和停止位置的部位。此外，CPU63具有電磁屏蔽控制部75。電磁屏蔽控制部75是驅(qū)動電磁屏蔽裝置2并進行抑制磁傳感器4的周圍的磁場的控制的部位。
[0125]此外，CPU63具有磁傳感器控制部76。磁傳感器控制部76是使磁傳感器驅(qū)動裝置66驅(qū)動磁傳感器4來進行檢測磁矢量58的強度的控制的部位。此外，CPU63具有激光棒控制部77。激光棒控制部77是驅(qū)動激光棒5并進行僅向規(guī)定的位置的一個位置照射激光5c的控制的部位。
[0126]此外，CPU63具有傳感器更換判定部78。傳感器更換判定部78是比較傳感器老化數(shù)據(jù)70與判定值，并進行在磁反應(yīng)部34的運轉(zhuǎn)時間超過判定值時更換磁反應(yīng)部34的判斷的部位。在進行了更換磁反應(yīng)部34的判斷時，傳感器更換判定部78指示在顯示裝置21上顯示催促磁反應(yīng)部34的更換。另外，在本實施方式中，生物體磁場計測裝置I的上述各功能是使用CPU63并通過程序軟件實現(xiàn)的，但在上述各功能通過不使用CPU63的單獨的電子電路(硬件)實現(xiàn)的情況下，也可以使用該電子電路。
[0127]接著，使用圖8來說明更換上述生物體磁場計測裝置I的磁反應(yīng)部34的更換方法。圖8是用于說明磁反應(yīng)部的更換方法的示意圖。
[0128]如圖8的(a)所示，在殼體26的內(nèi)部設(shè)置有磁反應(yīng)部34。磁反應(yīng)部34的運轉(zhuǎn)時間超過判定值，操作者進行更換磁反應(yīng)部34的作業(yè)。首先，旋轉(zhuǎn)設(shè)置于第一蓋部27的4個第一螺釘28。由此，第一螺釘28與殼體26的第一內(nèi)螺紋26a分離。然后，使第一蓋部27從殼體26脫離。由此，空洞32、抑制部35、第二螺釘36以及磁反應(yīng)部34的一部分朝殼體26的+Y方向側(cè)露出。
[0129]如圖8的(b)所示，旋轉(zhuǎn)設(shè)置于抑制部35的兩個第二螺釘36。由此，第二螺釘36與導(dǎo)軌33的第二內(nèi)螺紋33a分離。然后，使抑制部35從導(dǎo)軌33脫離。由此，空洞32以及磁反應(yīng)部34朝殼體26的+Y方向側(cè)露出。磁反應(yīng)部34設(shè)置于導(dǎo)軌33上。
[0130]如圖8的(C)所示，沿導(dǎo)軌33朝拆裝方向37a中的+Y方向移動磁反應(yīng)部34。由此，將磁反應(yīng)部34從殼體26脫離。接著，將未使用的磁反應(yīng)部34設(shè)置于殼體26內(nèi)的空洞32。沿導(dǎo)軌33朝拆裝方向37a中的-Y方向移動未使用的磁反應(yīng)部34。
[0131]如圖8的(b)所示，使抑制部35與導(dǎo)軌33以及磁反應(yīng)部34抵接。接下來，旋轉(zhuǎn)兩個第二螺釘36，使第二螺釘36與第二內(nèi)螺紋33a旋合。由此，將磁反應(yīng)部34固定于殼體26。而且，磁反應(yīng)部34的X方向的側(cè)面被導(dǎo)軌33夾住，所以磁反應(yīng)部34的X方向的位置由導(dǎo)軌33設(shè)定。磁反應(yīng)部34的Y方向的側(cè)面被導(dǎo)軌33的突起部33b和抑制部35夾住，所以磁反應(yīng)部34的Y方向的位置由導(dǎo)軌33以及抑制部35設(shè)定。磁反應(yīng)部34設(shè)置于導(dǎo)軌33上并由于重力而被導(dǎo)軌33按壓，所以磁反應(yīng)部34的Z方向的位置也由導(dǎo)軌33設(shè)定。
[0132]如圖8的(a)所示，將第一蓋部27與殼體26以及空洞32的開口的周圍抵接。接下來，旋轉(zhuǎn)4個第一螺釘28使第一螺釘28與第一內(nèi)螺紋26a旋合。由此，將第一蓋部27固定于殼體26。由此，結(jié)束磁反應(yīng)部34的更換作業(yè)。如上述那樣，在磁反應(yīng)部34的更換作業(yè)中不使導(dǎo)光部38以及光檢測部41從殼體26移動。因此，從導(dǎo)光部38經(jīng)由磁反應(yīng)部34進入光檢測部41的激光43的光軸的位置不變，所以可以不進行導(dǎo)光部38與光檢測部41的光軸調(diào)整，能夠以良好的生產(chǎn)性進行磁反應(yīng)部34的更換作業(yè)。
[0133]如上所述，根據(jù)本實施方式，具有以下的效果。
[0134](I)根據(jù)本實施方式，磁反應(yīng)部34相對于導(dǎo)光部38以及光檢測部41以能夠拆裝的方式設(shè)置。填充于氣體單元53的銫氣體會隨著時間的經(jīng)過而漏出。而且，在經(jīng)過了規(guī)定的時間時更換由此能夠恢復(fù)檢測磁的靈敏度。導(dǎo)光部38與光檢測部41的相對位置是固定的。因此，將磁反應(yīng)部34從導(dǎo)光部38以及光檢測部41取下并再次設(shè)置，從導(dǎo)光部38朝向光檢測部41的光路也不會變。其結(jié)果是，即使更換磁反應(yīng)部34也能夠省去光路的調(diào)整，所以能夠簡便地恢復(fù)檢測磁的靈敏度。
[0135](2)根據(jù)本實施方式，磁傳感器4具備收納部37，收納部37將磁反應(yīng)部34收納為能夠拆裝。收納部37具備配置磁反應(yīng)部34的空洞32。因此，在將磁反應(yīng)部34取下時，也能維持配置磁反應(yīng)部34的空洞32。其結(jié)果是，能夠容易地將磁反應(yīng)部34設(shè)置于磁傳感器4的規(guī)定的位置。
[0136](3)根據(jù)本實施方式，磁反應(yīng)部34具備多個氣體單元53。并且，光檢測部41具備多個接收激光43的受光元件57。導(dǎo)光部38將激光43引導(dǎo)至磁反應(yīng)部34，所以激光43從多個氣體單元53通過。而且，氣體單元53與受光元件57以相同間隔配置，所以能夠?qū)⑼ㄟ^氣體單元53的各激光43輸入至受光元件57。
[0137](4)根據(jù)本實施方式，從導(dǎo)光部38向磁反應(yīng)部34行進的光軸與從磁反應(yīng)部34向光檢測部41行進的光軸位于同一直線上。因此，能夠?qū)膶?dǎo)光部38向磁反應(yīng)部34行進的激光43可靠地輸入至光檢測部41。
[0138](5)根據(jù)本實施方式，拆裝方向37a與從導(dǎo)光部38向光檢測部41行進的光軸正交。因此，能夠不改變導(dǎo)光部38與光檢測部41的距離地使磁反應(yīng)部34沿拆裝方向37a移動。
[0139](6)根據(jù)本實施方式，收納部37具備導(dǎo)軌33，導(dǎo)軌33沿拆裝方向37a引導(dǎo)磁反應(yīng)部34。因此，使用導(dǎo)軌33能夠容易地使磁反應(yīng)部34沿拆裝方向37a移動。
[0140](7)根據(jù)本實施方式，導(dǎo)軌33在與拆裝方向37a正交的方向上設(shè)置于磁反應(yīng)部34的兩側(cè)。而且，導(dǎo)軌33沿拆裝方向37a延伸。
[0141]因此，磁反應(yīng)部34在與拆裝方向37a正交的方向的兩側(cè)被支承，所以磁反應(yīng)部34能夠以相對于導(dǎo)光部38以及光檢測部41分離的方式被支承。其結(jié)果是，能夠?qū)⒋欧磻?yīng)部34與導(dǎo)光部38隔熱，并能夠?qū)⒋欧磻?yīng)部34與光檢測部41隔熱。
[0142](8)根據(jù)本實施方式，導(dǎo)光部38、磁反應(yīng)部34、光檢測部41該按順序排列。因此，在激光43的行進方向上3個部位排列配置，所以不需要控制激光43的行進的光學(xué)元件，能夠以較少的元件數(shù)量形成生產(chǎn)性良好的構(gòu)造。
[OH3] (9)根據(jù)本實施方式，導(dǎo)光部38包含輸出直線偏振光的偏光板44。因此，導(dǎo)光部38向磁反應(yīng)部34輸出直線偏振光。磁反應(yīng)部34被填充包含堿金屬的氣體。因此，磁反應(yīng)部34能夠與磁的強度對應(yīng)地使通過的光的偏振光面旋轉(zhuǎn)。而且，光檢測部41包含偏振光分離器54，能夠?qū)⒓す?3分為正交的2個方向的直線偏振光。因此，檢測兩個直線偏振光的光強度由此能夠檢測偏振光面的旋轉(zhuǎn)角。偏振光面的旋轉(zhuǎn)角與磁的強度對應(yīng)，所以磁傳感器4能夠檢測磁的強度。
[0144](10)根據(jù)本實施方式，生物體磁場計測裝置I具備磁傳感器4以及顯示裝置21。磁傳感器4檢測磁，顯示裝置21顯示磁的狀態(tài)。
[0145]而且，磁傳感器4能夠更換磁反應(yīng)部34。因此，生物體磁場計測裝置I能夠成為具備通過更換磁反應(yīng)部34而能夠簡便地恢復(fù)檢測磁的靈敏度的磁傳感器4的裝置。
[0146]第二實施方式
[0147]接下來，使用圖9的磁傳感器的主要部位示意透視側(cè)視圖來說明將本發(fā)明具體化的磁傳感器的一實施方式。
[0148]本實施方式與第一實施方式不同之處是按照反射部、磁反應(yīng)部34、導(dǎo)光部、光檢測部41的順序?qū)⑺鼈冎丿B設(shè)置。另外，與第一實施方式相同的地方省略說明。
[0149]S卩，在本實施方式中，如圖9所示，設(shè)置于生物體磁場計測裝置81的磁傳感器82具備反射部83。反射部83具備反射板84，反射板84反射激光43。反射板84沿X方向以及Y方向延伸。而且，反射板84將從+Z方向朝-Z方向行進的激光43朝+Z方向反射。
[0150]在反射部83上設(shè)置有導(dǎo)軌33，在導(dǎo)軌33上設(shè)置有磁反應(yīng)部34。在磁反應(yīng)部34的內(nèi)部配置有4行4列氣體單元53。磁反應(yīng)部34能夠沿導(dǎo)軌33在拆裝方向37a上移動。而且，磁反應(yīng)部34能夠相對于磁傳感器82拆裝。
[0151 ] 在磁反應(yīng)部34的+Z方向側(cè)空開間隙而設(shè)置有導(dǎo)光部85。導(dǎo)光部85具備偏光板44、第一半透半反鏡45、第二半透半反鏡46、第三半透半反鏡47以及第一反射反射鏡48。此外，導(dǎo)光部85還具備第四半透半反鏡86、第五半透半反鏡87、第六半透半反鏡88、第二反射反射鏡89。在導(dǎo)光部85的+Z方向側(cè)設(shè)置有光檢測部41。導(dǎo)光部85與光檢測部41相互被固定。而且，反射部83也通過未圖示的殼體而與導(dǎo)光部85以及光檢測部41固定。因此，即使反射部83、導(dǎo)光部85以及光檢測部41在磁反應(yīng)部34移動，相對位置也不會變。而且，由設(shè)置于光檢測部41的受光元件57和氣體單元53構(gòu)成了傳感器元件82d。
[0152]經(jīng)由光連接器30供給的激光43向?qū)Ч獠?5行進。在導(dǎo)光部85，激光43朝+X方向行進并照射偏光板44。通過了偏光板44的激光43成為直線偏振光。接下來，激光43依次照射第一半透半反鏡45、第二半透半反鏡46、第三半透半反鏡47、第一反射反射鏡48。激光43被第一半透半反鏡45、第二半透半反鏡46、第三半透半反鏡47、第一反射反射鏡48分為4個光路而朝-Y方向行進。
[0153]接下來，激光43依次照射第四半透半反鏡86、第五半透半反鏡87、第六半透半反鏡88、第二反射反射鏡89 ο第四半透半反鏡86、第五半透半反鏡87以及第六半透半反鏡88反射激光43的一部分并使其朝-Z方向行進。而且，使一部分的激光43通過并朝-Y方向行進。第二反射反射鏡89將入射的激光43全部朝-Z方向反射。一個光路的激光43被第四半透半反鏡86、第五半透半反鏡87、第六半透半反鏡88、第二反射反射鏡89分為4個光路。因此，激光43被分為16個光路。而且，以使各光路的激光43的光強度為相同的強度的方式設(shè)定各反射鏡的反射率。
[0154]在第四半透半反鏡86、第五半透半反鏡87、第六半透半反鏡88、第二反射反射鏡89的-Z方向側(cè)設(shè)有磁反應(yīng)部34。在磁反應(yīng)部34，在激光43的各光路設(shè)置有氣體單元53。而且，被第四半透半反鏡86、第五半透半反鏡87、第六半透半反鏡88、第二反射反射鏡89反射的激光43從氣體單元53通過。
[0155]在磁反應(yīng)部34的-Z方向側(cè)設(shè)有反射部83。通過了氣體單元53的激光43向反射部83輸入并被反射板84反射而返回氣體單元53。因此，激光43通過氣體單元532次，所以通過氣體單元53的距離是第一實施方式的磁傳感器4的情況的2倍。通過了氣體單元53的激光43從導(dǎo)光部85通過并進入光檢測部41的受光元件57。光檢測部41的構(gòu)造以及作用與第一實施方式相同而省略說明。
[0156]如上所述，根據(jù)本實施方式，具有以下的效果。
[0157](I)根據(jù)本實施方式，導(dǎo)光部85將激光43引導(dǎo)至磁反應(yīng)部34。而且，通過了磁反應(yīng)部34的激光43被反射部83反射，并再次通過磁反應(yīng)部34。通過了磁反應(yīng)部34的激光43從導(dǎo)光部85通過而輸入至光檢測部41。激光43在磁反應(yīng)部34根據(jù)磁的強度而旋轉(zhuǎn)偏振光面，光檢測部41檢測偏振光面的旋轉(zhuǎn)角。因此，磁傳感器82能夠檢測磁的強度。并且，激光43通過磁反應(yīng)部342次，所以激光43受到2倍磁的影響。因此，磁傳感器82能夠以高靈敏度檢測磁。
[0158]另外，本發(fā)明不限定于上述實施方式，在本發(fā)明的技術(shù)思想內(nèi)，具有本領(lǐng)域常識的人可以進行各種改變、改進。以下說明變形例。
[0159]變形例I
[0160]在上述第一實施方式中，磁傳感器4的拆裝方向37a為Y方向，將磁反應(yīng)部34朝+Y方向移動并拆裝。也可以改變將磁傳感器4設(shè)置于支承部件25的方向。而且，也可以是將磁反應(yīng)部34朝-Y方向移動并拆裝的配置。也可以將拆裝方向37a設(shè)為X方向，將磁反應(yīng)部34沿X方向移動并拆裝。能夠容易拆裝磁反應(yīng)部34。
[0161]變形例2
[0162]上述實施方式中，在電磁屏蔽裝置2的內(nèi)部進行磁場的測定。在將生物體磁場計測裝置I設(shè)置于被電磁屏蔽的房間時也可以省略電磁屏蔽裝置2。
[0163]由于減少部件數(shù)所以能夠以良好的生產(chǎn)性制造生物體磁場計測裝置I。
[0164]變形例3
[0165]在上述實施方式中，在電磁屏蔽裝置2的-Y方向側(cè)沒有壁而是開口的?？梢栽陔姶牌帘窝b置2的-Y方向側(cè)的開口的位置設(shè)置門。門的材質(zhì)與主體部2a的材質(zhì)相同，是遮擋磁的材質(zhì)。而且，在Y方向工作臺9進入電磁屏蔽裝置2的內(nèi)部時將門關(guān)閉。由此，能夠遮擋從電磁屏蔽裝置2的-Y方向側(cè)朝磁傳感器4行進的磁。其結(jié)果是，磁傳感器4能夠不受磁場的外亂的影響而能夠以更高的精度檢測被檢體6的磁場。
[0166]優(yōu)選在電磁屏蔽裝置2的-Y方向側(cè)設(shè)置門時，改變磁傳感器4以及第二亥姆霍茲線圈20的位置。磁傳感器4的中心的Y方向的位置在主體部2a的+Y方向側(cè)的壁和-Y方向側(cè)的門的中央的位置。而且，使第二亥姆霍茲線圈20的中心的位置是與磁傳感器4的中心的位置相同的位置。磁傳感器4的中心的位置在該位置時，磁傳感器4能夠難以受到從電磁屏蔽裝置2的外部進入的磁場的影響。
[0167]變形例4
[0168]在上述實施方式中，在殼體26設(shè)置有加熱器29。也可以在磁反應(yīng)部34安裝加熱器29 ο熱源接近氣體單元53，所以能夠高效地加熱氣體單元53。
[0169]變形例5
[0170]在上述實施方式中加熱器29是采用蒸氣、熱風(fēng)、高頻電壓的方式。加熱器29也可以采用陶瓷加熱器。此時，在不測定時加熱，在測定時停止加熱。能夠抑制測定受到磁場的影響。
[0171]變形例6
[0172]上述實施方式中，在磁反應(yīng)部34排列配置有氣體單元53。磁反應(yīng)部34可以是僅將多個氣體單元53相互粘合的形態(tài)，也可以是在容器內(nèi)排列氣體單元53的形態(tài)。容器的材料只要是容器的磁化小到不對測定產(chǎn)生影響的程度并且熱傳導(dǎo)性高的材料即可。容器的材料例如可以使用黑鉛、碳化硅等。使用容器時可以在容器上設(shè)置加熱器29。也可以在容器上配置用于定位加熱器29的凹凸從而能夠?qū)⒓訜崞?9以較高位置精度設(shè)置于容器。
[0173]附圖標記的說明
[0174]I…作為磁計測裝置的生物體磁場計測裝置，4…作為磁檢測傳感器的磁傳感器，6…被檢體，21...作為顯示部的顯示裝置，33...作為引導(dǎo)部的導(dǎo)軌，34...磁反應(yīng)部，37...收納部，37a...拆裝方向，38、85...導(dǎo)光部，41...光檢測部，43...作為光的激光，44...作為偏振光轉(zhuǎn)換元件的偏光板，53...作為氣體室的氣體單元，54...作為正交分離元件的偏振光分離器，57...受光元件，58...作為磁的磁矢量，83...反射部。
【主權(quán)項】
1.一種磁檢測傳感器，其特征在于，具備: 磁反應(yīng)部，其與磁的強度對應(yīng)地使在該磁反應(yīng)部通過的光的偏振光面旋轉(zhuǎn)，并具有填充有氣體的氣體室； 導(dǎo)光部，其將光引導(dǎo)至所述磁反應(yīng)部；以及 光檢測部，其檢測在所述磁反應(yīng)部通過的光的偏振光面的旋轉(zhuǎn)角， 所述導(dǎo)光部與所述光檢測部的相對位置固定，所述磁反應(yīng)部相對于所述導(dǎo)光部以及所述光檢測部以能夠拆裝的方式設(shè)置。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁檢測傳感器，其特征在于， 具備將所述磁反應(yīng)部收納為能夠拆裝的收納部。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的磁檢測傳感器，其特征在于， 所述磁反應(yīng)部具備多個所述氣體室， 所述光檢測部具備多個接收光的受光元件， 所述導(dǎo)光部將光引導(dǎo)至多個所述氣體室， 所述氣體室與所述受光元件以同一間隔配置。4.根據(jù)權(quán)利要求1?3中任一項所述的磁檢測傳感器，其特征在于， 所述導(dǎo)光部以及所述光檢測部配置成:從所述導(dǎo)光部向所述磁反應(yīng)部行進的光軸與從所述磁反應(yīng)部向所述光檢測部行進的光軸位于同一直線上。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的磁檢測傳感器，其特征在于， 拆裝所述磁反應(yīng)部時所述磁反應(yīng)部移動的方向即拆裝方向與從所述導(dǎo)光部向所述光檢測部行進的光軸正交。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的磁檢測傳感器，其特征在于， 所述收納部具備沿所述拆裝方向引導(dǎo)所述磁反應(yīng)部的引導(dǎo)部。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的磁檢測傳感器，其特征在于， 所述引導(dǎo)部沿所述拆裝方向延伸，并且在與所述拆裝方向正交的方向設(shè)置于所述磁反應(yīng)部的兩側(cè)。8.根據(jù)權(quán)利要求1?7中任一項所述的磁檢測傳感器，其特征在于， 所述磁反應(yīng)部位于所述導(dǎo)光部與所述光檢測部之間。9.根據(jù)權(quán)利要求1?7中任一項所述的磁檢測傳感器，其特征在于， 具備將從所述導(dǎo)光部行進的光向所述光檢測部反射的反射部， 所述反射部、所述磁反應(yīng)部、所述導(dǎo)光部、所述光檢測部按該順序設(shè)置。10.根據(jù)權(quán)利要求1?7中任一項所述的磁檢測傳感器，其特征在于， 所述導(dǎo)光部包含輸出直線偏振光的偏振光轉(zhuǎn)換元件，所述氣體包含堿金屬，所述光檢測部包含正交分離元件。11.一種磁計測裝置，其特征在于，具備: 檢測從被檢體發(fā)出的磁的磁檢測傳感器；以及 顯示所述磁檢測傳感器所檢測的磁的狀態(tài)的顯示部， 所述磁檢測傳感器是權(quán)利要求1?10中任一項所述的磁檢測傳感器。
【文檔編號】G01R33/032GK106054089SQ201610197279
【公開日】2016年10月26日
【申請日】2016年3月31日 公開號201610197279.6, CN 106054089 A, CN 106054089A, CN 201610197279, CN-A-106054089, CN106054089 A, CN106054089A, CN201610197279, CN201610197279.6
【發(fā)明人】上野仁
【申請人】精工愛普生株式會社