一種外差光譜儀光柵膠合的裝調(diào)結(jié)構(gòu)及裝調(diào)方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種外差光譜儀光柵膠合的裝調(diào)結(jié)構(gòu)及裝調(diào)方法，包括有支撐底板、成像轉(zhuǎn)接板、準(zhǔn)直轉(zhuǎn)接板和L型待膠合干涉組件，在支撐底板的上下端分別安裝成像轉(zhuǎn)接板構(gòu)成豎直面，在支撐底板的左右端分別安裝準(zhǔn)直轉(zhuǎn)接板構(gòu)成水平面，豎直面和水平面組成三垂直面基準(zhǔn)組件，所述的L型待膠合干涉組件放置在三垂直面基準(zhǔn)組件上。本發(fā)明采用二維定位機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)對(duì)待膠合干涉組件角度和塔差精度的傳遞和繼承，采用旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和光學(xué)件擋塊實(shí)現(xiàn)光柵組件的初次限位、重復(fù)定位和高精度相位誤差調(diào)節(jié)的功能。本發(fā)明操作方便，可回復(fù)性強(qiáng)，固化區(qū)域均勻，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)干涉圖相位誤差的裝調(diào)效果。
【專利說明】
一種外差光譜儀光柵膠合的裝調(diào)結(jié)構(gòu)及裝調(diào)方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及光學(xué)系統(tǒng)裝調(diào)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種外差光譜儀光柵膠合的裝調(diào)結(jié)構(gòu)及裝調(diào)方法。
【背景技術(shù)】
[0002]空間外差光譜技術(shù)以其高通量、波段任意選擇、在較窄光譜范圍內(nèi)極易獲得極高光譜分辨力和集成化程度高的特點(diǎn)，在空間遙感領(lǐng)域，尤其是在復(fù)雜背景下對(duì)微量氣體的精細(xì)光譜探測(cè)方面得到廣泛的關(guān)注和應(yīng)用。
[0003]由于外差光譜儀直接獲取的為干涉圖，而最終所需的數(shù)據(jù)為光譜信號(hào)，因此，干涉圖零光程差點(diǎn)的相位誤差在很大程度上影響光譜信號(hào)的質(zhì)量，零光程差點(diǎn)相位誤差也為后續(xù)干涉信號(hào)相位誤差校正帶來了極大的困難。干涉儀為外差光譜儀中進(jìn)行空間調(diào)制的核心元件，為了適應(yīng)空間環(huán)境的使用要求，干涉儀通常采用一體化的膠合形式，其中干涉相位誤差的精確調(diào)整和控制主要體現(xiàn)在光柵的調(diào)整和膠合過程中。依據(jù)現(xiàn)行的光學(xué)元件加工和光膠技術(shù)，除光柵外的膠合件的角度和塔差可控制在10〃以內(nèi)，由該項(xiàng)誤差引起的干涉儀性能改變(如:基頻等)可忽略不計(jì)。
[0004]申請(qǐng)?zhí)?00910185001.7(公告號(hào)CN 101699328 B《一種空間外差干涉儀中光柵膠合的裝調(diào)機(jī)構(gòu)》)介紹了一種光柵膠合的裝調(diào)結(jié)構(gòu)，其中二維調(diào)整機(jī)構(gòu)對(duì)角度調(diào)整過程中也會(huì)將塔差引入，使得干涉信號(hào)質(zhì)量下降；由于光柵質(zhì)量較輕，因此依靠重力擠壓滾軸的這種方式受到一定的限制，導(dǎo)致光柵刻線方向的調(diào)整機(jī)構(gòu)可回復(fù)性能較差;在光柵調(diào)整完畢固化過程中，光柵與光柵隔片膠合區(qū)域暴露部分留給紫外光照區(qū)域較少，固化時(shí)間較長(zhǎng)。然而，現(xiàn)有的光學(xué)加工精度已滿足對(duì)塔差和角度的容差要求，而在保證不破壞角度和塔差的精度下對(duì)干涉條紋零光程差點(diǎn)相位誤差，尤其是針對(duì)具有高光譜分辨率外差光譜儀中高刻線密度的光柵調(diào)整和膠合尤為重要；另一方面，裝調(diào)結(jié)構(gòu)提供足夠的光柵與光柵隔片膠合暴露區(qū)域，以滿足干涉儀光柵膠合固化均勻性和強(qiáng)度的要求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明目的就是為了彌補(bǔ)已有技術(shù)的缺陷，提供一種外差光譜儀光柵膠合的裝調(diào)結(jié)構(gòu)及裝調(diào)方法。
[0006]本發(fā)明是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:
一種外差光譜儀光柵膠合的裝調(diào)結(jié)構(gòu)，包括有支撐底板、成像轉(zhuǎn)接板、準(zhǔn)直轉(zhuǎn)接板和L型待膠合干涉組件，在支撐底板的上下端分別安裝成像轉(zhuǎn)接板構(gòu)成豎直面，在支撐底板的左右端分別安裝準(zhǔn)直轉(zhuǎn)接板構(gòu)成水平面，豎直面和水平面組成三垂直面基準(zhǔn)組件，所述的L型待膠合干涉組件放置在三垂直面基準(zhǔn)組件上，在L型待膠合干涉組件的兩臂的端部均安裝有光柵組件和定位裝調(diào)結(jié)構(gòu)，所述的光柵組件安裝在光柵座組件內(nèi)，所述的定位裝調(diào)結(jié)構(gòu)是由二維定位機(jī)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)構(gòu)成的。
[0007]所述的光柵座組件包括有光柵盒、光柵盒蓋和光柵轉(zhuǎn)動(dòng)臂，在所述的光柵盒上設(shè)置有軸承壓套槽，且在光柵組件和L型待膠合干涉組件膠合位置處均布有開口，實(shí)現(xiàn)對(duì)光柵組件和待膠合干涉組件的均勻固化;所述的二維定位機(jī)構(gòu)通過軸承壓套槽固定在光柵座組件上，以實(shí)現(xiàn)對(duì)待膠合組件角度和塔差精度的傳遞和保持，在所述的光柵座組件上設(shè)置有兩個(gè)所述的光柵轉(zhuǎn)動(dòng)臂，與所述的旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)點(diǎn)接觸;所述的光柵座組件在光柵組件上方設(shè)置有所述的光柵盒蓋，通過擠壓光柵組件實(shí)現(xiàn)定位，固化完成后拆除所述的光柵盒蓋，實(shí)現(xiàn)二維定位機(jī)構(gòu)、旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與光柵組件的分離。
[0008]所述的二維定位機(jī)構(gòu)包括有軸承、軸承壓套、滾軸、滾軸壓套、壓簧、頂桿和頂桿支架，所述的軸承安裝在光柵座組件上，軸承壓套安裝軸承的外部，軸承壓套固定在所述的軸承壓套槽內(nèi)，在軸承上安裝所述的滾軸，滾軸外側(cè)安裝滾軸壓套，在滾軸壓套外側(cè)還套有壓簧，在壓簧上方依次安裝有頂桿和頂桿支架，在所述的頂桿支架上設(shè)置有通孔，并固定于所述的支撐底板上。通過滾軸自動(dòng)調(diào)節(jié)二維定位機(jī)構(gòu)與待膠合干涉組件存在的角度和塔差誤差，實(shí)現(xiàn)對(duì)待膠合干涉組件角度和塔差精度的傳遞和繼承。
[0009]所述的旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)是在光柵轉(zhuǎn)動(dòng)臂下方設(shè)置有微調(diào)螺紋支架和微調(diào)螺紋副構(gòu)成的，所述的微調(diào)螺紋副通過點(diǎn)接觸推頂光柵轉(zhuǎn)動(dòng)臂。
[0010]所述的準(zhǔn)直轉(zhuǎn)接板和成像轉(zhuǎn)接板上分別設(shè)有與功能鏡頭連接相匹配的轉(zhuǎn)接口；所述的準(zhǔn)直轉(zhuǎn)接板和成像轉(zhuǎn)接板側(cè)邊分別設(shè)有光學(xué)件擋塊。
[0011]所述的光柵組件由光柵底板、光柵外框和光柵膠合組成，與待膠合干涉組件接觸固化區(qū)域?yàn)楣鈻磐饪蛲獗砻妗?br>[0012]—種外差光譜儀光柵膠合的裝調(diào)結(jié)構(gòu)的裝調(diào)方法，包括以下步驟:
(1)將所述L型待膠合干涉組件靠緊安裝在的三垂直面基準(zhǔn)上，所述的三垂直面基準(zhǔn)由支撐底板、準(zhǔn)直轉(zhuǎn)接板和成像轉(zhuǎn)接板組成;并將頂桿支架安裝在支撐底板上，所述的頂桿通過螺紋連接安裝在頂桿支架上；
(2)將光柵組件放置于設(shè)有光柵轉(zhuǎn)動(dòng)臂和軸承壓套槽的光柵座組件內(nèi)，光柵盒蓋通過螺釘壓緊光柵組件；
(3)將光柵座組件與光柵組件靠緊L型待膠合干涉組件“L”形任意一臂，同時(shí)依靠準(zhǔn)直轉(zhuǎn)接板或成像轉(zhuǎn)接板的光學(xué)件擋塊進(jìn)行限位；
(4)依次將滾軸、滾軸壓套、壓簧、頂桿按順序安裝在軸承壓套上，通過頂桿與頂桿支架的螺紋連接使壓簧處于壓緊狀態(tài)，完成二維定位結(jié)構(gòu)對(duì)待膠合干涉組件角度和塔差精度的傳遞和繼承；
(5)依次將旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)安裝在支撐底板上，并調(diào)節(jié)兩臂微調(diào)螺紋副，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)干涉圖相位變化情況，直至滿足設(shè)計(jì)的相位誤差的要求，保留光學(xué)件擋塊和旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的調(diào)節(jié)位置，以便實(shí)現(xiàn)對(duì)光柵組件的復(fù)位；
(6)拆除二維定位機(jī)構(gòu)，將安裝有光柵組件的光柵座組件取下，紫外固化膠均勻涂覆于光柵外框表面；
(7)重復(fù)(3)~(4)，監(jiān)測(cè)兩臂光柵組件的刻線方向一致性，此時(shí)若復(fù)位精度不高，可微量調(diào)節(jié)單臂旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，使之滿足干涉圖相位誤差的要求；
(8)調(diào)節(jié)完成后，開啟紫外固化設(shè)備，均勻照明至光柵盒在光柵組件背面開口部分，將光柵組件和待膠合干涉組件固化；
(9)固化完成后，拆除光柵盒蓋，并通過頂桿與頂桿支架的螺紋連接使壓簧處于放松狀態(tài)，此時(shí)光柵組件與光柵盒組件、二維定位機(jī)構(gòu)及旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)分離，從而完成外差光譜儀中光柵的裝調(diào)和膠合過程。
[0013]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是:1、本發(fā)明通過二維定位機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)對(duì)待膠合干涉組件加工和膠合精度的傳遞和集成，在不破壞角度和塔差精度的前提下，實(shí)現(xiàn)對(duì)兩臂光柵刻線方向的精密調(diào)整；
2、本發(fā)明可通過采用不同螺距的標(biāo)準(zhǔn)螺紋副實(shí)現(xiàn)不同光譜分辨率和不同光柵刻線密度條件下干涉圖相位誤差的高精度調(diào)整和控制；
3、本發(fā)明通過光學(xué)塊擋板和旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)光柵組件的初次限位、復(fù)位和高精度調(diào)節(jié)的功能;通過在光柵盒特定位置設(shè)置開口，滿足膠合固化均勻的要求;該裝調(diào)結(jié)構(gòu)和方法可適用于試驗(yàn)平臺(tái)的搭建、調(diào)試和一體化干涉儀膠合集成等不同的應(yīng)用場(chǎng)合。
【附圖說明】
[0014]圖1為本發(fā)明的外差光譜儀的光柵膠合裝調(diào)結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]圖2為圖1的上視圖A-A的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0016]如圖1、2所示，在支撐底板3上，安裝由準(zhǔn)直轉(zhuǎn)接板1、成像轉(zhuǎn)接板2并與支撐底板3組成的三垂直面基準(zhǔn)，呈“L”形的待膠合干涉組件4靠緊放置于三垂直面基準(zhǔn)上，待膠合干涉組件4 “L”形兩臂設(shè)置有光柵組件6，光柵組件6安裝于光柵座組件7內(nèi)；在“L”形的兩臂光柵盒7處分別設(shè)有定位裝調(diào)結(jié)構(gòu)，定位裝調(diào)結(jié)構(gòu)由二維定位機(jī)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)組成；
光柵盒701在X ’ oy ’平行面上設(shè)有軸承壓套槽，且在光柵組件6和待膠合干涉組件4膠合區(qū)域設(shè)有均布的開口，實(shí)現(xiàn)對(duì)光柵外框601外表面和待膠合干涉組件4接觸區(qū)域的均勻固化；
待膠合干涉組件4 “L”形兩臂分別設(shè)置的二維定位機(jī)構(gòu)，沿-z’方向依次由軸承壓套10、滾軸11、滾軸壓套12、壓簧13、頂桿14和頂桿支架15;頂桿支架15在y’方向上布置有通孔，并固定于支撐底板3上;通過滾軸11自動(dòng)調(diào)節(jié)二維定位機(jī)構(gòu)與待膠合干涉組件4存在的角度和塔差誤差，實(shí)現(xiàn)對(duì)待膠合干涉組件4角度和塔差精度的傳遞和繼承；
光柵座組件7在光柵組件6上方設(shè)置有光柵盒蓋701，沿y’方向上的兩個(gè)光柵轉(zhuǎn)動(dòng)臂703通過螺紋連接擠壓固定光柵組件7在光柵盒702內(nèi)；在光柵轉(zhuǎn)動(dòng)臂703下方設(shè)置有微調(diào)螺紋支架8和微調(diào)螺紋副9，微調(diào)螺紋副9通過點(diǎn)接觸推頂光柵轉(zhuǎn)動(dòng)臂703，實(shí)現(xiàn)光柵組件6刻線方向的調(diào)節(jié)和復(fù)位;光柵組件4與待膠合干涉組件4固化完成后拆除所述的光柵盒蓋701，實(shí)現(xiàn)二維定位機(jī)構(gòu)、旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與光柵組件6的分離；
準(zhǔn)直轉(zhuǎn)接板I和成像轉(zhuǎn)接板2的厚度依據(jù)不同的光路設(shè)計(jì)決定，并布置有轉(zhuǎn)接口用于實(shí)現(xiàn)與準(zhǔn)直功能鏡頭和成像功能鏡頭的連接和光軸的傳遞;準(zhǔn)直轉(zhuǎn)接板I和成像轉(zhuǎn)接板2側(cè)邊布置有光學(xué)件擋塊5，實(shí)現(xiàn)對(duì)光柵組件6在y’方向上的限位以及裝調(diào)膠合過程中重復(fù)定位；光柵組件6由光柵外框601、光柵基板602和光柵底板603膠合組成，與待膠合干涉組件4膠合固化區(qū)域?yàn)楣鈻磐饪?01外表面。
[0017]操作過程:
(I)將待膠合干涉組件4靠緊放置在由支撐底板3、準(zhǔn)直轉(zhuǎn)接板I和成像轉(zhuǎn)接板2組成的三垂直面基準(zhǔn)上;并將頂桿支架15安裝在支撐底板3上，所述的頂桿14通過螺紋連接安裝在頂桿支架15上；
(2)將光柵組件6放置于安裝有光柵轉(zhuǎn)動(dòng)臂703和軸承壓套10的光柵盒702內(nèi)，光柵盒蓋701壓緊光柵組件6;
(3)將光柵座組件7與光柵組件6分別靠緊待膠合干涉組件4“L”形的兩臂，同時(shí)依靠準(zhǔn)直轉(zhuǎn)接板I或成像轉(zhuǎn)接板2的光學(xué)件擋塊5進(jìn)行y ’方向的限位；
(4)依次將滾軸11、滾軸壓套12、壓簧13、頂桿14按順序安裝在軸承壓套10上，通過頂桿14與頂桿支架15的螺紋連接使壓簧13處于壓緊狀態(tài)，完成二維定位結(jié)構(gòu)對(duì)待膠合干涉組件4角度和塔差精度的傳遞和繼承；
(5)將由微調(diào)螺紋副9和微調(diào)螺紋支架8組成的旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)安裝在支撐底板3上，并調(diào)節(jié)單臂兩端的微調(diào)螺紋副9，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)干涉圖相位變化情況，直至滿足設(shè)計(jì)的相位誤差的要求，保留光學(xué)件擋塊5和旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的調(diào)節(jié)位置，以便實(shí)現(xiàn)對(duì)光柵組件6的復(fù)位；
(6)拆除二維定位機(jī)構(gòu)，將安裝有光柵組件6的光柵座組件7取下，紫外固化膠均勻涂覆于光柵外框601外表面；
(7)重復(fù)(3)?(4)，監(jiān)測(cè)兩臂光柵組件6的刻線方向一致性，此時(shí)若復(fù)位精度不高，可微量調(diào)節(jié)單臂兩側(cè)旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的微調(diào)螺紋副9，使之滿足干涉圖相位誤差的要求；
(8)調(diào)節(jié)完成后，開啟紫外固化設(shè)備，均勻照明至光柵盒702和光柵組件6背面開口部分，將光柵組件6和待膠合干涉組件4進(jìn)行固化；
(9)固化完成后，拆除光柵盒蓋702，并通過頂桿14與頂桿支架15的螺紋連接使壓簧13處于放松狀態(tài)，此時(shí)光柵組件6與光柵座組件7、二維定位機(jī)構(gòu)及旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)分離，從而完成外差光譜儀中光柵的裝調(diào)和膠合過程。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種外差光譜儀光柵膠合的裝調(diào)結(jié)構(gòu)，其特征在于:包括有支撐底板、成像轉(zhuǎn)接板、準(zhǔn)直轉(zhuǎn)接板和L型待膠合干涉組件，在支撐底板的上下端分別安裝成像轉(zhuǎn)接板構(gòu)成豎直面，在支撐底板的左右端分別安裝準(zhǔn)直轉(zhuǎn)接板構(gòu)成水平面，豎直面和水平面組成三垂直面基準(zhǔn)組件，所述的L型待膠合干涉組件放置在三垂直面基準(zhǔn)組件上，在L型待膠合干涉組件的兩臂的端部均安裝有光柵組件和定位裝調(diào)結(jié)構(gòu)，所述的光柵組件安裝在光柵座組件內(nèi)，所述的定位裝調(diào)結(jié)構(gòu)是由二維定位機(jī)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)構(gòu)成的。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種外差光譜儀光柵膠合的裝調(diào)結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的光柵座組件包括有光柵盒、光柵盒蓋和光柵轉(zhuǎn)動(dòng)臂，在所述的光柵盒上設(shè)置有軸承壓套槽，且在光柵組件和L型待膠合干涉組件膠合位置處均布有開口；所述的二維定位機(jī)構(gòu)通過軸承壓套槽固定在光柵座組件上，在所述的光柵座組件上設(shè)置有兩個(gè)所述的光柵轉(zhuǎn)動(dòng)臂，與所述的旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)點(diǎn)接觸;所述的光柵座組件在光柵組件上方設(shè)置有所述的光柵盒蓋，通過擠壓光柵組件實(shí)現(xiàn)定位。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種外差光譜儀光柵膠合的裝調(diào)結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的二維定位機(jī)構(gòu)包括有軸承、軸承壓套、滾軸、滾軸壓套、壓簧、頂桿和頂桿支架，所述的軸承安裝在光柵座組件上，軸承壓套安裝軸承的外部，軸承壓套固定在所述的軸承壓套槽內(nèi)，在軸承上安裝所述的滾軸，滾軸外側(cè)安裝滾軸壓套，在滾軸壓套外側(cè)還套有壓簧，在壓簧上方依次安裝有頂桿和頂桿支架，在所述的頂桿支架上設(shè)置有通孔，并固定于所述的支撐底板上。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種外差光譜儀光柵膠合的裝調(diào)結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)是在光柵轉(zhuǎn)動(dòng)臂下方設(shè)置有微調(diào)螺紋支架和微調(diào)螺紋副構(gòu)成的，所述的微調(diào)螺紋副通過點(diǎn)接觸推頂光柵轉(zhuǎn)動(dòng)臂。5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的一種外差光譜儀光柵膠合的裝調(diào)結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的準(zhǔn)直轉(zhuǎn)接板和成像轉(zhuǎn)接板上分別設(shè)有與功能鏡頭連接相匹配的轉(zhuǎn)接口；所述的準(zhǔn)直轉(zhuǎn)接板和成像轉(zhuǎn)接板側(cè)邊分別設(shè)有光學(xué)件擋塊。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種外差光譜儀光柵膠合的裝調(diào)結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的光柵組件由光柵底板、光柵外框和光柵膠合組成，與待膠合干涉組件接觸固化區(qū)域?yàn)楣鈻磐饪蛲獗砻妗?.一種外差光譜儀光柵膠合的裝調(diào)結(jié)構(gòu)的裝調(diào)方法，其特征在于:包括以下步驟: (1)將所述L型待膠合干涉組件靠緊安裝在的三垂直面基準(zhǔn)上，所述的三垂直面基準(zhǔn)由支撐底板、準(zhǔn)直轉(zhuǎn)接板和成像轉(zhuǎn)接板組成;并將頂桿支架安裝在支撐底板上，所述的頂桿通過螺紋連接安裝在頂桿支架上； (2)將光柵組件放置于設(shè)有光柵轉(zhuǎn)動(dòng)臂和軸承壓套槽的光柵座組件內(nèi)，光柵盒蓋通過螺釘壓緊光柵組件； (3)將光柵座組件與光柵組件靠緊L型待膠合干涉組件“L”形任意一臂，同時(shí)依靠準(zhǔn)直轉(zhuǎn)接板或成像轉(zhuǎn)接板的光學(xué)件擋塊進(jìn)行限位； (4)依次將滾軸、滾軸壓套、壓簧、頂桿按順序安裝在軸承壓套上，通過頂桿與頂桿支架的螺紋連接使壓簧處于壓緊狀態(tài)，完成二維定位結(jié)構(gòu)對(duì)待膠合干涉組件角度和塔差精度的傳遞和繼承； (5)依次將旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)安裝在支撐底板上，并調(diào)節(jié)兩臂微調(diào)螺紋副，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)干涉圖相位變化情況，直至滿足設(shè)計(jì)的相位誤差的要求，保留光學(xué)件擋塊和旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的調(diào)節(jié)位置，以便實(shí)現(xiàn)對(duì)光柵組件的復(fù)位； (6)拆除二維定位機(jī)構(gòu)，將安裝有光柵組件的光柵座組件取下，紫外固化膠均勻涂覆于光柵外框表面； (7)重復(fù)(3)?(4)，監(jiān)測(cè)兩臂光柵組件的刻線方向一致性，此時(shí)若復(fù)位精度不高，可微量調(diào)節(jié)單臂旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，使之滿足干涉圖相位誤差的要求； (8)調(diào)節(jié)完成后，開啟紫外固化設(shè)備，均勻照明至光柵盒在光柵組件背面開口部分，將光柵組件和待膠合干涉組件固化； (9)固化完成后，拆除光柵盒蓋，并通過頂桿與頂桿支架的螺紋連接使壓簧處于放松狀態(tài)，此時(shí)光柵組件與光柵盒組件、二維定位機(jī)構(gòu)及旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)分離，從而完成外差光譜儀中光柵的裝調(diào)和膠合過程。
【文檔編號(hào)】G01J3/02GK106017684SQ201610297748
【公開日】2016年10月12日
【申請(qǐng)日】2016年5月4日
【發(fā)明人】熊偉, 羅海燕, 劉占才, 李雙, 施海亮
【申請(qǐng)人】中國科學(xué)院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院