一種利用信息碼識別的探針卡及方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及自動識別技術，尤其涉及一種利用信息碼識別的探針卡及方法。
【背景技術】
[0002]射頻識別，RFID(Rad1 Frequency Identificat1n)技術，又稱無線射頻識別，是一種通信技術，可通過無線電訊號識別特定目標并讀寫相關數(shù)據(jù)，而無需識別系統(tǒng)與特定目標之間建立機械或光學接觸。電阻所帶有的阻值差異性，也決定了其可以應用于工業(yè)識別。
[0003]現(xiàn)有技術通過射頻識別技術(RFID)識別WAT測試探針卡，會出現(xiàn)幾個問題:RFID粘結不牢固、粘膠的老化、廠商對探針卡進行PM時容易使RFID掉落或者丟失，不僅增加很多額外的工作量，且很可能造成不同探針卡之間RFID粘錯，給測試帶來麻煩;探針卡在測試時容易掉落，將可能造成機臺的宕機，其后果無法估量;RFID安裝位置不準確，將導致機臺無法識別探針卡;RFID安裝不當，將導致探針卡在測試時損壞機臺內(nèi)部敏感元件;RFID的實物性及消耗性導致需要定期購買，這也是一筆不小的費用。而通過電阻來識別探針卡時，會產(chǎn)生識別信息有限、讀錯風險高等問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]針對上述問題，本發(fā)明提出了一種利用信息碼識別探針卡的方法，包括:
[0005]S1:利用信息碼生成器將探針卡的信息轉(zhuǎn)換為信息碼；
[0006]S2:將所述信息碼掃描在探針卡上；
[0007]S3:在測試頭上安裝信息碼識別器；
[0008]S4:利用所述信息碼識別器讀取所述探針卡上的所述信息碼；
[0009]S5:利用信息碼解碼器將所述信息碼轉(zhuǎn)換為所述探針卡的信息。
[0010]上述的利用信息碼識別探針卡的方法，其中，將所述信息碼掃描在探針卡上的位置為探針卡PCB基板表面。
[0011]上述的利用信息碼識別探針卡的方法，其中，安裝所述信息碼識別器于所述測試頭上的位置必須與所述探針卡上的所述信息碼位置相對應，以保證所述信息碼能夠被掃描。
[0012]上述的利用信息碼識別探針卡的方法，其中，所述信息碼為一維碼或二維碼。
[0013]提出了一種利用信息碼識別的探針卡，包括:
[0014]PCB基板，處于所述探針卡的上部，是所述探針卡電路的載體；
[0015]探針結構，與所述PCB板相連接，用于引出探針以連接外部電路；
[0016]信息碼，處于所述PCB板上表面，用于識別所述探針卡。
[0017]上述的利用信息碼識別的探針卡，其中，所述信息碼是一維碼或二維碼。
[0018]還提出了一種利用信息碼識別探針卡的WAT測試設備，其特征在于，所述測試設備包括:
[0019]探針卡，放置于圓晶上，用于測試所述圓晶的參數(shù)；
[0020]信息碼，掃描于所述探針卡上表面，用于識別所述探針；
[0021 ]測試頭，位于所述探針卡上方，用于安裝信息碼識別器；
[0022]信息碼識別器，安裝于所述測試頭突出物表面，用于讀取所述信息碼信息；
[0023]載物臺，處于所述設備最下部，用于支撐所述晶圓。
[0024]上述的利用信息碼識別探針卡的WAT測試設備，其中，所述信息碼識別器的位置必須與所述信息碼的位置相對應，以保證所述信息碼能夠被掃描。
[0025]上述的利用信息碼識別探針卡的WAT測試設備，其中，所述信息碼是一維碼或二維碼。
[0026]有益效果，本發(fā)明提出了一種利用信息碼識別的探針卡及方法，不僅確保了探針卡的識別，避免了目前RFID容易掉落、丟失等造成的后果，同時節(jié)約了購買RFID需要的費用，降低了WAT測試所需探針卡部分的支出，還降低了探針卡在廠商維修等過程中造成的錯誤。
【附圖說明】
[0027]圖1是本發(fā)明實施例中利用信息碼識別探針卡的方法的流程示意圖；
[0028]圖2是本發(fā)明實施例中利用信息碼識別探針卡的WAT測試設備的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0029]下面結合附圖對本發(fā)明具體的實施例作進一步的說明。
[0030]如圖1所示，本實施例中提出了本發(fā)明提出了本發(fā)明提出了一種利用信息碼識別探針卡的方法，包括:
[0031]S1:利用信息碼生成器將探針卡的信息轉(zhuǎn)換為信息碼；
[0032]S2:將所述信息碼掃描在探針卡上；
[0033]S3:在測試頭上安裝信息碼識別器；
[0034]S4:利用所述信息碼識別器讀取所述探針卡上的所述信息碼；
[0035]S5:利用信息碼解碼器將所述信息碼轉(zhuǎn)換為所述探針卡的信息。
[0036]優(yōu)選的，將所述信息碼掃描在探針卡上的位置為探針卡PCB基板表面。
[0037]優(yōu)選的，安裝所述信息碼識別器于所述測試頭上的位置必須與所述探針卡上的所述信息碼位置相對應，以保證所述信息碼能夠被掃描。
[0038]優(yōu)選的，所述信息碼為一維碼或二維碼。
[0039]提出了一種利用信息碼識別的探針卡，包括:
[0040]PCB基板，處于所述探針卡的上部，是所述探針卡電路的載體；
[0041]探針結構，與所述PCB板相連接，用于引出探針以連接外部電路；
[0042]信息碼，處于所述PCB板上表面，用于識別所述探針卡。
[0043]優(yōu)選的，所述信息碼是一維碼或二維碼。
[0044]如圖2所示，還提出了一種利用信息碼識別探針卡的WAT測試設備，其特征在于，所述測試設備包括:
[0045]探針卡2，放置于圓晶上，用于測試晶圓的參數(shù)；
[0046]信息碼I，掃描于所述探針卡上表面，用于識別探針卡2;
[0047]測試頭3，位于所述探針卡上方，用于安裝信息碼識別器4;
[0048]信息碼識別器4，安裝于測試頭3突出物表面，用于讀取信息碼I信息；
[0049]載物臺5，處于設備最下部，用于支撐晶圓。
[0050]優(yōu)選的，信息碼識別器4的位置必須與所述信息碼的位置相對應，以保證信息碼I能夠被掃描。
[0051]優(yōu)選的，信息碼I是一維碼或二維碼，也可以是其他有效信息碼，在此并不作為限制。
[0052]具體的，利用信息碼生成器將探針卡2的信息轉(zhuǎn)換為信息碼I后，將信息碼I掃描在探針卡2上(位置可以為探針卡2的PCB基板表面，也可以是能夠保證信息碼I被信息碼識別器4讀取的其他位置)，然后在測試頭3上安裝信息碼識別器4(安裝信息碼識別器4于測試頭3上的位置必須探針卡2上的信息碼I位置相對應，以保證信息碼I能夠被掃描)，再將探針卡2放置于載物臺5上的晶圓上，利用信息碼識別器4讀取探針卡2上的信息碼I，最后利用信息碼解碼器將信息碼I轉(zhuǎn)換為探針卡2的信息，以達到獲取探針卡2信息的目的。
[0053]綜上所述，本發(fā)明提出了一種利用信息碼識別的探針卡及方法，不僅確保了探針卡的識別，避免了目前RFID容易掉落、丟失等造成的后果，同時節(jié)約了購買RFID需要的費用，降低了WAT測試所需探針卡部分的支出，還降低了探針卡在廠商維修等過程中造成的錯誤。
[0054]通過說明和附圖，給出了【具體實施方式】的典型實施例，基于本發(fā)明精神，還可作其他的轉(zhuǎn)換。盡管上述發(fā)明提供了具體的實施例，然而，這些內(nèi)容并不作為局限。
[0055]對于本領域的技術人員而言，閱讀上述說明后，各種變化和修正無疑將顯而易見。因此，所附的權利要求書應看作是涵蓋本發(fā)明的真實意圖和范圍的全部變化和修正。在權利要求書范圍內(nèi)任何和所有等價的范圍與內(nèi)容，都應認為仍屬本發(fā)明的意圖和范圍內(nèi)。
【主權項】
1.一種利用信息碼識別探針卡的方法，其特征在于，所述方法包括: S1:利用信息碼生成器將探針卡的信息轉(zhuǎn)換為信息碼； 52:將所述信息碼掃描在探針卡上； 53:在測試頭上安裝信息碼識別器； S4:利用所述信息碼識別器讀取所述探針卡上的所述信息碼； S5:利用信息碼解碼器將所述信息碼轉(zhuǎn)換為所述探針卡的信息。2.根據(jù)權利要求1所述的利用信息碼識別探針卡的方法，其特征在于，所述方法中: 將所述信息碼掃描在所述探針卡上的步驟中，掃描的位置為所述探針卡的PCB基板表面。3.根據(jù)權利要求1所述的利用信息碼識別探針卡的方法，其特征在于，所述方法中: 安裝所述信息碼識別器于所述測試頭上的位置必須與所述探針卡上的所述信息碼位置相對應，以保證所述信息碼能夠被掃描。4.根據(jù)權利要求1所述的利用信息碼識別探針卡的方法，其特征在于，所述方法中: 所述信息碼為一維碼或二維碼。5.一種利用信息碼識別的探針卡，其特征在于，所述探針卡包括: PCB基板，處于所述探針卡的上部，是所述探針卡電路的載體； 探針結構，與所述PCB板相連接，用于引出探針以連接外部電路； 信息碼，處于所述PCB板上表面，用于識別所述探針卡。6.根據(jù)權利要求5所述的利用信息碼識別的探針卡，其特征在于，所述探針卡中: 所述信息碼是一維碼或二維碼。7.一種利用信息碼識別探針卡的WAT測試設備，其特征在于，所述測試設備包括: 探針卡，放置于圓晶上，用于測試所述晶圓的參數(shù)； 信息碼，掃描于所述探針卡上表面，用于識別所述探針卡； 測試頭，位于所述探針卡上方，用于安裝信息碼識別器； 信息碼識別器，安裝于所述測試頭突出物表面，用于讀取所述信息碼信息； 載物臺，處于所述設備最下部，用于支撐所述晶圓。8.根據(jù)權利要求7所述的利用信息碼識別探針卡的WAT測試設備，其特征在于，所述測試設備中: 所述信息碼識別器的位置必須與所述信息碼的位置相對應，以保證所述信息碼能夠被掃描。9.根據(jù)權利要求7所述的利用信息碼識別探針卡的WAT測試設備，其特征在于，所述測試設備中: 所述信息碼是一維碼或二維碼。
【專利摘要】本發(fā)明涉及自動識別領域，尤其涉及一種利用信息碼識別的探針卡及方法，不僅確保了探針卡的識別，避免了目前RFID容易掉落、丟失等造成的后果，同時節(jié)約了購買RFID需要的費用，降低了WAT測試所需探針卡部分的支出，還降低了探針卡在廠商維修等過程中造成的錯誤。
【IPC分類】G01R1/073, G01R31/00
【公開號】CN105606854
【申請?zhí)枴緾N201510662503
【發(fā)明人】謝翠萍, 莫保章
【申請人】上海華力微電子有限公司
【公開日】2016年5月25日
【申請日】2015年10月14日